JPS63446U - - Google Patents
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- JPS63446U JPS63446U JP9371986U JP9371986U JPS63446U JP S63446 U JPS63446 U JP S63446U JP 9371986 U JP9371986 U JP 9371986U JP 9371986 U JP9371986 U JP 9371986U JP S63446 U JPS63446 U JP S63446U
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- thread
- cathode
- rod
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- type evaporation
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- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 4
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 4
- 239000010406 cathode material Substances 0.000 claims 1
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 claims 1
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 claims 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9371986U JPS63446U (pl) | 1986-06-19 | 1986-06-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9371986U JPS63446U (pl) | 1986-06-19 | 1986-06-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63446U true JPS63446U (pl) | 1988-01-05 |
Family
ID=30956531
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9371986U Pending JPS63446U (pl) | 1986-06-19 | 1986-06-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63446U (pl) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010525158A (ja) * | 2007-04-17 | 2010-07-22 | スルザー メタプラス ゲーエムベーハー | 真空アーク蒸発源、及び真空アーク蒸発源を有するアーク蒸発チャンバ |
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-
1986
- 1986-06-19 JP JP9371986U patent/JPS63446U/ja active Pending
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| US9266180B2 (en) | 2010-06-23 | 2016-02-23 | Kobe Steel, Ltd. | Arc evaporation source having fast film-forming speed, coating film manufacturing method and film formation apparatus using the arc evaporation source |
| JP2013100605A (ja) * | 2013-01-08 | 2013-05-23 | Fundacion Tekniker | 大きい表面領域を有するターゲットのための強力な磁気ガイドを伴うアーク蒸着装置 |