JPS6344133A - 遅延自己ホモダイン式スペクトル線幅検出装置 - Google Patents
遅延自己ホモダイン式スペクトル線幅検出装置Info
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- JPS6344133A JPS6344133A JP61189215A JP18921586A JPS6344133A JP S6344133 A JPS6344133 A JP S6344133A JP 61189215 A JP61189215 A JP 61189215A JP 18921586 A JP18921586 A JP 18921586A JP S6344133 A JPS6344133 A JP S6344133A
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J9/00—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength
- G01J9/02—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength by interferometric methods
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- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔!!! 要〕
2個の四端子方向性結合器を用いて遅延自己ホモダイン
系を構成してその出力に含まれる共振ビークを除去する
と共に入力光成分を抽出可能にした。
系を構成してその出力に含まれる共振ビークを除去する
と共に入力光成分を抽出可能にした。
本発明は遅延自己ホモダイン式スペクトル線幅検出装置
に関し、更に詳しく言えば、2個の四端子方向性結合器
を用いた遅延自己ホモダイン式スペクトル線幅検出装置
に関する。
に関し、更に詳しく言えば、2個の四端子方向性結合器
を用いた遅延自己ホモダイン式スペクトル線幅検出装置
に関する。
通信の分野においては、そこで取り扱う情報量の急激な
増大、通信速度の向上等に対処するべく、従来の電気通
信方式を補完乃至はこれに代わるものとして光通信方式
の開発が活発に行なわれている。この光通信方式では光
源を特徴とする特許その光源の代表的なものとして半導
体レーザがある。この半導体レーザは誘導放出を利用す
るため、現在使用可能な半導体レーザでは、そのレーザ
光のスペクトルに不回避的な広がりが生ずる。一方、現
在開発中にあるコヒーレント通信方式、とりわけ時間的
コヒーレンスを利用した通信方式では、レーザ光のスペ
クトル線幅が狭いほど、そこに含まれる他の成分による
通信情報への影響が現れにく(なり、その通信に好結果
をマすので、その狭スペクトル線幅化が要求され、狭ス
ペクトル線幅の下での高線幅制御が必要とされる。
増大、通信速度の向上等に対処するべく、従来の電気通
信方式を補完乃至はこれに代わるものとして光通信方式
の開発が活発に行なわれている。この光通信方式では光
源を特徴とする特許その光源の代表的なものとして半導
体レーザがある。この半導体レーザは誘導放出を利用す
るため、現在使用可能な半導体レーザでは、そのレーザ
光のスペクトルに不回避的な広がりが生ずる。一方、現
在開発中にあるコヒーレント通信方式、とりわけ時間的
コヒーレンスを利用した通信方式では、レーザ光のスペ
クトル線幅が狭いほど、そこに含まれる他の成分による
通信情報への影響が現れにく(なり、その通信に好結果
をマすので、その狭スペクトル線幅化が要求され、狭ス
ペクトル線幅の下での高線幅制御が必要とされる。
[従来の技術]
従来におけるレーザ光のスペクトル線幅制御のために用
いられる線幅検出手段には、例えば第7図に示すような
遅延自己ホモダイン法によるスペクトル線幅検出装置が
ある。
いられる線幅検出手段には、例えば第7図に示すような
遅延自己ホモダイン法によるスペクトル線幅検出装置が
ある。
これは外部共振器型半導体レーザからのレーザ光を四端
子方向性結合器70の一方の方向性結合端子対の入力端
子から入射させつつそのレーザ光成分を受光する前記一
方の方向性結合端子対の出力端子から光フアイバ遅延線
72を介して他の方向性結合端子対の入力端子へ伝播さ
せ、前記他の方向性結合端子対の出力端子からスペクト
ル線幅成分を出力させ、この成分を光険出器74で検出
し、増幅器76で増幅した後線幅信号発生部78でスペ
クトル線幅信号を発生してレーザ光のスペクトル線幅制
御に供せんとするものである。
子方向性結合器70の一方の方向性結合端子対の入力端
子から入射させつつそのレーザ光成分を受光する前記一
方の方向性結合端子対の出力端子から光フアイバ遅延線
72を介して他の方向性結合端子対の入力端子へ伝播さ
せ、前記他の方向性結合端子対の出力端子からスペクト
ル線幅成分を出力させ、この成分を光険出器74で検出
し、増幅器76で増幅した後線幅信号発生部78でスペ
クトル線幅信号を発生してレーザ光のスペクトル線幅制
御に供せんとするものである。
〔発明が解決しようとする問題点]
上述の線幅検出装置によると、自己相関により第8図に
示す如き共振ピークが検出線幅に現れるため、その検出
精度が劣る。又、この装置では、検出線幅成分のみしか
得られず、他の使用目的のための光成分、例えば半導体
レーザの発振周波数制御のために必要となる光成分を得
ろためには全く別個の抽出光学系を用怠しなければなら
ない。
示す如き共振ピークが検出線幅に現れるため、その検出
精度が劣る。又、この装置では、検出線幅成分のみしか
得られず、他の使用目的のための光成分、例えば半導体
レーザの発振周波数制御のために必要となる光成分を得
ろためには全く別個の抽出光学系を用怠しなければなら
ない。
本発明は、斯かる問題点に鑑みて創作されたもので、検
出精度の向上が図れると共に入力光成分の出力も得られ
る遅延自己ホモダイン式スペクトル線幅検出装置を提供
することを目的とする。
出精度の向上が図れると共に入力光成分の出力も得られ
る遅延自己ホモダイン式スペクトル線幅検出装置を提供
することを目的とする。
第1図は本発明の原理ブロック図を示す。本発明は、第
1図に示す如く、第一の方向性結合端子対の入力端子に
入力光を受ける第一〇四端子方向性結合器1oと、該第
一の四端子方向性結合器10の前記第一の方向性結合端
子対の出力端子に第一の方向性結合端子対の入力端子を
光学的に結合すると共に第二の方向性結合端子対の入力
端子をダミー終端しく12A)、その出力端子を出力と
する第二の四端子方向性結合器12と、該第二の四端子
方向性結合器12の前記第一の方向性結合端子対の出力
端子を前記第一の四端子方向性結合器10の第二の方向
性結合端子対の入力端子に光学的に結合させる光遅延線
14と、前記第一〇四端子方向性結合器10の前記第二
の方向性結合端子対の出力端子に光学的に結合され、ス
ペクトル線幅信号を出力する信号出力部16とから遅延
自己ホモダイン式スペクトル線幅検出装置を構成したも
のである。
1図に示す如く、第一の方向性結合端子対の入力端子に
入力光を受ける第一〇四端子方向性結合器1oと、該第
一の四端子方向性結合器10の前記第一の方向性結合端
子対の出力端子に第一の方向性結合端子対の入力端子を
光学的に結合すると共に第二の方向性結合端子対の入力
端子をダミー終端しく12A)、その出力端子を出力と
する第二の四端子方向性結合器12と、該第二の四端子
方向性結合器12の前記第一の方向性結合端子対の出力
端子を前記第一の四端子方向性結合器10の第二の方向
性結合端子対の入力端子に光学的に結合させる光遅延線
14と、前記第一〇四端子方向性結合器10の前記第二
の方向性結合端子対の出力端子に光学的に結合され、ス
ペクトル線幅信号を出力する信号出力部16とから遅延
自己ホモダイン式スペクトル線幅検出装置を構成したも
のである。
この本発明装置においては、第一の四端子方向性結合器
10に入射された入力レーザ光は第二の方向性結合端子
対の入力端子をダミー終端している第二〇四端子方向性
結合器12の第一の方向性結合端子対、そして第一〇四
端子方向性結合器10におけるスペクトル間の相関を除
き得るに十分な遅延を光信号に与える光遅延線14を介
して第一〇四端子方向性結合器10の第二の方向性結合
端子対の入力端子から入射されてその出力端子からスペ
クトル線幅成分を得るようにしているから、上述した共
振ピークをほぼ除くことができ、スペクトル線幅の検出
精度が向上する。この機能と共に、第二の四端子方向性
結合器12から入力レーザ光成分を出力する機能も一体
化されている。
10に入射された入力レーザ光は第二の方向性結合端子
対の入力端子をダミー終端している第二〇四端子方向性
結合器12の第一の方向性結合端子対、そして第一〇四
端子方向性結合器10におけるスペクトル間の相関を除
き得るに十分な遅延を光信号に与える光遅延線14を介
して第一〇四端子方向性結合器10の第二の方向性結合
端子対の入力端子から入射されてその出力端子からスペ
クトル線幅成分を得るようにしているから、上述した共
振ピークをほぼ除くことができ、スペクトル線幅の検出
精度が向上する。この機能と共に、第二の四端子方向性
結合器12から入力レーザ光成分を出力する機能も一体
化されている。
第2図は本発明の一実施例を示す。この図において、第
1図構成要素と同一のものには同一参照番号を付しその
説明を省略する。その信号出力部の具体的構成要素は、
光検出器18.増幅器20゜線幅信号発生部22である
。
1図構成要素と同一のものには同一参照番号を付しその
説明を省略する。その信号出力部の具体的構成要素は、
光検出器18.増幅器20゜線幅信号発生部22である
。
この実施例要部は上述した原理構成図と同様であり、そ
の作用効果は第1図構成について述べたように第一の四
端子方向性結合器10の一方の方向性結合端子対の入力
端子に入力された入力光が半導体レーザ光であるとする
と、その第一の四端子方向性結合器10の一方の方向性
結合端子対の出力端子から出力されたレーザ光は第二の
四端子方向性結合器12内の、ダミー終端されている方
向性粘合端子対以外のもう一つの方向性結合端子対を介
して光遅延線14に入力され、この光遅延線14におい
て第一の四端子方向性結合器10における光スペクトル
間の相関性を除き得るだけ遅延された後、第一の四端子
方向性結合器10の他方の方向性結合端子対の入力端子
に入力され、そしてその出力端子からスペクトル線幅成
分のビート信号が得られる。そのスペクトル線幅成分に
は第3図に示すように共振ピークは殆ど現れない。
の作用効果は第1図構成について述べたように第一の四
端子方向性結合器10の一方の方向性結合端子対の入力
端子に入力された入力光が半導体レーザ光であるとする
と、その第一の四端子方向性結合器10の一方の方向性
結合端子対の出力端子から出力されたレーザ光は第二の
四端子方向性結合器12内の、ダミー終端されている方
向性粘合端子対以外のもう一つの方向性結合端子対を介
して光遅延線14に入力され、この光遅延線14におい
て第一の四端子方向性結合器10における光スペクトル
間の相関性を除き得るだけ遅延された後、第一の四端子
方向性結合器10の他方の方向性結合端子対の入力端子
に入力され、そしてその出力端子からスペクトル線幅成
分のビート信号が得られる。そのスペクトル線幅成分に
は第3図に示すように共振ピークは殆ど現れない。
従って、スペクトル線の検出精度が向上する。
又、第二の四端子方向性結合器12の他方の方向性結合
端子対のダミー終端12A側とは反対側の端子から大力
レーザ光成分が出力される。この出力光は後述するよう
に、例えば半導体レーザ光源の発振周波数の安定化に用
いられる。
端子対のダミー終端12A側とは反対側の端子から大力
レーザ光成分が出力される。この出力光は後述するよう
に、例えば半導体レーザ光源の発振周波数の安定化に用
いられる。
この本発明装置を半導体レーザ光源のスペクトル線幅制
御及び発振周波数安定化に用いた例が第4図及び第5図
に示される。
御及び発振周波数安定化に用いた例が第4図及び第5図
に示される。
第4図及び第5図に示されるように、第1図の遅延自己
ホモダイン式スペクトル線幅検出装置は第4図及び第5
図においては、参照番号30で参照される。この装置の
第一の四醋1子方向性結合器10の入力端子に第4図の
光カップラ40の出力を光学的に結合し、スペクトル線
幅検出装置30の検出出力をPZT41に印加するよう
にして半導体レーザ光源のスペクトル線幅制御系を構成
すると共に、第二の方向性結合器12の出力端子12B
を第5図の走査型ファブリペロ−干渉計の入力に光学的
に結合するようにして半導体レーザ光源の発振周波数制
御系を構成している。
ホモダイン式スペクトル線幅検出装置は第4図及び第5
図においては、参照番号30で参照される。この装置の
第一の四醋1子方向性結合器10の入力端子に第4図の
光カップラ40の出力を光学的に結合し、スペクトル線
幅検出装置30の検出出力をPZT41に印加するよう
にして半導体レーザ光源のスペクトル線幅制御系を構成
すると共に、第二の方向性結合器12の出力端子12B
を第5図の走査型ファブリペロ−干渉計の入力に光学的
に結合するようにして半導体レーザ光源の発振周波数制
御系を構成している。
そのスペクトル線幅制御系の構成は第4図に示す如くで
ある。即ち、第4図において、42は半導体レーザダイ
オードで、これはレーザ駆動電源・13にて駆動される
。44.45はコリメートレンズである。46はチュー
ニングプレートで、これは、例えばPZT41によりピ
ボット47の回りに回転し得るように構成されている。
ある。即ち、第4図において、42は半導体レーザダイ
オードで、これはレーザ駆動電源・13にて駆動される
。44.45はコリメートレンズである。46はチュー
ニングプレートで、これは、例えばPZT41によりピ
ボット47の回りに回転し得るように構成されている。
48はグレーティングで、これは半導体レーザダイオー
ド42からのレーザ光を波長選択的に半導体レーザダイ
オード42へ帰還させるものである。
ド42からのレーザ光を波長選択的に半導体レーザダイ
オード42へ帰還させるものである。
これら半導体レーザダイオード42とグレーティング4
8との間に外部共振器が形成されるが、その分解能ΔV
E (は で与えられる。但し、上式において、K1は半導体レー
ザダイオード42の端面で構成されるファブリ・ペロー
共振器の分解能の裾の広がり倍率、K2はチューニング
プレート46のフィネスの裾の広がり倍率、FSRSL
は半導体レーザダイオード42の自由空間波長、QEC
は外部共振器ののフィネス、QTUはチューニングプレ
ート46のフィネス、そしてQSLは半導体レーザダイ
オード42のフィネスである。
8との間に外部共振器が形成されるが、その分解能ΔV
E (は で与えられる。但し、上式において、K1は半導体レー
ザダイオード42の端面で構成されるファブリ・ペロー
共振器の分解能の裾の広がり倍率、K2はチューニング
プレート46のフィネスの裾の広がり倍率、FSRSL
は半導体レーザダイオード42の自由空間波長、QEC
は外部共振器ののフィネス、QTUはチューニングプレ
ート46のフィネス、そしてQSLは半導体レーザダイ
オード42のフィネスである。
上式はレーザ光のスペクトル線幅がチューニングプレー
ト46のフィネスに反比例していることを示している。
ト46のフィネスに反比例していることを示している。
従って、チューニングプレート46のフィネスを変える
ことによって、レーザ光のスペクトル線幅を変えること
が可能になる。
ことによって、レーザ光のスペクトル線幅を変えること
が可能になる。
そのフィネス制御手段は、第4図では、光カプラ−40
、そして遅延自己ホモダーイン式スペクトル線幅検出装
置30からPZT電圧を受けるPZT41から成るフィ
ードバック系にて構成されるが、この系によれば半導体
レーザダイオード42の出力レーザ光が光カプラ−40
で分岐され、その分岐レーザ光を受光する遅延自己ホモ
ダイン式スペクトル線幅検出装置30でスペクトル線幅
が検出され、その検出結果に応じたPZT電圧がPZT
41へ帰遷されるから、上述した出力レーザ光のスペク
トル線1隔制御を為していることになる。
、そして遅延自己ホモダーイン式スペクトル線幅検出装
置30からPZT電圧を受けるPZT41から成るフィ
ードバック系にて構成されるが、この系によれば半導体
レーザダイオード42の出力レーザ光が光カプラ−40
で分岐され、その分岐レーザ光を受光する遅延自己ホモ
ダイン式スペクトル線幅検出装置30でスペクトル線幅
が検出され、その検出結果に応じたPZT電圧がPZT
41へ帰遷されるから、上述した出力レーザ光のスペク
トル線1隔制御を為していることになる。
又、上述した発振周波数制御系の構成は第5図に示す如
くである。即ち、第5図において、50は半導体レーザ
光源の外部共振器で、52は外部共振器50内に設けら
れて外部共振器長を変えるPZTである。54は走査型
ファブリペロ−干渉計で、これは外部共振器50に光学
的に結合されている。56は走査型ファブリベロー干渉
計54に接続され、そのミラーの走査制御を行なう走査
制御回路である。58は走査制御回路56による走査開
始時刻から走査周期内の所定期間の間持続する第1のパ
ルスを発生するモノマルチバイブレークである。60は
走査型ファブリベロー干渉計の光出力に光学的に結合さ
れた光検出器で、62は光検出器60の出力信号を増幅
する増幅器で、64は増幅器出力信号に応答して所定期
間の間持続する第2のパルスを発生するモノマルチハイ
ブレークである。66はアンド回路である。68はアン
下回路66の出力に接続された低域フィルタ、70は低
域フィルタ68の出力を基準電圧と比較する差動増幅器
、72は比較出力信号を増幅する増幅器である。増幅器
72の出力電圧がPZT52に印加される。
くである。即ち、第5図において、50は半導体レーザ
光源の外部共振器で、52は外部共振器50内に設けら
れて外部共振器長を変えるPZTである。54は走査型
ファブリペロ−干渉計で、これは外部共振器50に光学
的に結合されている。56は走査型ファブリベロー干渉
計54に接続され、そのミラーの走査制御を行なう走査
制御回路である。58は走査制御回路56による走査開
始時刻から走査周期内の所定期間の間持続する第1のパ
ルスを発生するモノマルチバイブレークである。60は
走査型ファブリベロー干渉計の光出力に光学的に結合さ
れた光検出器で、62は光検出器60の出力信号を増幅
する増幅器で、64は増幅器出力信号に応答して所定期
間の間持続する第2のパルスを発生するモノマルチハイ
ブレークである。66はアンド回路である。68はアン
下回路66の出力に接続された低域フィルタ、70は低
域フィルタ68の出力を基準電圧と比較する差動増幅器
、72は比較出力信号を増幅する増幅器である。増幅器
72の出力電圧がPZT52に印加される。
上述構成になる発振周波数安定化装置の動作態様を説明
する。
する。
この装置の動作が始まると、走査制御回路56から第6
図O)に示す如き走査制御用ランプ電圧が走査型ファブ
リペロ−干渉計54に周期的に供給されてその走査を反
復する。この走査と同期したトリガ信号(第6図の1)
)がモノマルチバイブレーク58に供給されてそこから
第6図の3)に示すような持続期間t1の第1のパルス
が発生される。
図O)に示す如き走査制御用ランプ電圧が走査型ファブ
リペロ−干渉計54に周期的に供給されてその走査を反
復する。この走査と同期したトリガ信号(第6図の1)
)がモノマルチバイブレーク58に供給されてそこから
第6図の3)に示すような持続期間t1の第1のパルス
が発生される。
上記走査が行なわれている走査型ファブリベロー干渉計
54からレーザ光の周波数に応じて決まる走査周期内の
時刻に光出力が光検出器60に照射され、その検出信号
が増幅器62で増幅されて(第6図の2))モノマルチ
バイブレーク64に印加される。そのモノマルチバイブ
レーク64からは第6図の4)に示されるような第2の
パルスが発生される。この第2のパルスも又第6図の4
)からも明らかな如くレーザ光の周波数変化によってそ
の発生時刻を異にする。
54からレーザ光の周波数に応じて決まる走査周期内の
時刻に光出力が光検出器60に照射され、その検出信号
が増幅器62で増幅されて(第6図の2))モノマルチ
バイブレーク64に印加される。そのモノマルチバイブ
レーク64からは第6図の4)に示されるような第2の
パルスが発生される。この第2のパルスも又第6図の4
)からも明らかな如くレーザ光の周波数変化によってそ
の発生時刻を異にする。
上述の第1及び第2のパルスの1自理積をアンド回路6
6でとることにより、レーザ光の周波′fl変化は第6
図の5)に示すように、パルス幅の変化に転化される。
6でとることにより、レーザ光の周波′fl変化は第6
図の5)に示すように、パルス幅の変化に転化される。
そのパルスが低域フィルタ68を介して差動増幅器70
で基準電圧(基準周波数を表す電圧)と比較されて出力
される誤差信号が増幅器72を介してPZT52に印加
されることによって、レーザ光の周波数は基準周波数ζ
こ安定化される。
で基準電圧(基準周波数を表す電圧)と比較されて出力
される誤差信号が増幅器72を介してPZT52に印加
されることによって、レーザ光の周波数は基準周波数ζ
こ安定化される。
以上述べたように本発明によれば、スペクトル線幅の検
出精度等に有利性をTらし得る。
出精度等に有利性をTらし得る。
第1図は本発明の原理構成図、
第2図は本発明の一実施例を示す図、
第3図は本発明装置でのビート信号スペクトル例を示す
図、 第4図はスペクトル線幅制御系の構成図、第5図は発振
周波数安定化系の構成図、第6図はタイミングチャート
、 第7図は従来の遅延自己ホモダイン式スペクトル線幅検
出装置を示す図、 第8図は第7図装置でのビート信号スペクトル例を示す
図である。 第1図及び第2図において、 10.12は四端子方向性結合器、 12Aはダミー終端、 14は光遅延線、 16は信号出力部である。 7” ’−−−−−二 本発明の原理構成図 第1図 本発明の一実施例 第2図 井Sと−り OにHz 50にH2 従来装置でのビート信号スヘクトル例 第8図 0にHz 50KHz 本発明装置でのビート信号ヌヘクト2し例第3図 ヌベクトル線幅制御系 第4図 発振周波数安定化系 第 5 図 5) PWM71.−オー寸j l −一タイミン
グチヤード 第6図
図、 第4図はスペクトル線幅制御系の構成図、第5図は発振
周波数安定化系の構成図、第6図はタイミングチャート
、 第7図は従来の遅延自己ホモダイン式スペクトル線幅検
出装置を示す図、 第8図は第7図装置でのビート信号スペクトル例を示す
図である。 第1図及び第2図において、 10.12は四端子方向性結合器、 12Aはダミー終端、 14は光遅延線、 16は信号出力部である。 7” ’−−−−−二 本発明の原理構成図 第1図 本発明の一実施例 第2図 井Sと−り OにHz 50にH2 従来装置でのビート信号スヘクトル例 第8図 0にHz 50KHz 本発明装置でのビート信号ヌヘクト2し例第3図 ヌベクトル線幅制御系 第4図 発振周波数安定化系 第 5 図 5) PWM71.−オー寸j l −一タイミン
グチヤード 第6図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 第一の四端子方向性結合端子対の入力端子に入力光を受
ける第一の四端子方向性結合器(10)と、 該第一の四端子方向性結合器(10)の前記第一の方向
性結合端子対の出力端子に第一の方向性結合端子対の入
力端子を光学的に結合すると共に、第二の方向性結合端
子対の入力端子をダミー終端し(12A)、その出力端
子を出力とする第二の四端子方向性結合器(12)と、 該第二の四端子方向性結合器(12)の前記第一の方向
性結合端子対の出力端子を前記第一の四端子方向性結合
器(10)の第二の方向性結合端子対の入力端子に光学
的に結合させる光遅延線(14)と、 前記第一の四端子方向性結合器(10)の前記第二の方
向性結合端子対の出力端子に光学的に結合され、スペク
トル線幅信号を出力する信号出力部(16)とから成る
遅延自己ホモダイン式スペクトル線幅検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61189215A JPS6344133A (ja) | 1986-08-12 | 1986-08-12 | 遅延自己ホモダイン式スペクトル線幅検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61189215A JPS6344133A (ja) | 1986-08-12 | 1986-08-12 | 遅延自己ホモダイン式スペクトル線幅検出装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6344133A true JPS6344133A (ja) | 1988-02-25 |
Family
ID=16237481
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61189215A Pending JPS6344133A (ja) | 1986-08-12 | 1986-08-12 | 遅延自己ホモダイン式スペクトル線幅検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6344133A (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5213885B2 (ja) * | 1972-04-17 | 1977-04-18 |
-
1986
- 1986-08-12 JP JP61189215A patent/JPS6344133A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5213885B2 (ja) * | 1972-04-17 | 1977-04-18 |
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