JPS6343102A - 偏光ビ−ムスプリツタ - Google Patents
偏光ビ−ムスプリツタInfo
- Publication number
- JPS6343102A JPS6343102A JP18741386A JP18741386A JPS6343102A JP S6343102 A JPS6343102 A JP S6343102A JP 18741386 A JP18741386 A JP 18741386A JP 18741386 A JP18741386 A JP 18741386A JP S6343102 A JPS6343102 A JP S6343102A
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- JP
- Japan
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- diffraction grating
- medium
- polarized light
- regions
- beam splitter
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000010287 polarization Effects 0.000 title claims description 24
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 21
- 125000000609 carbazolyl group Chemical group C1(=CC=CC=2C3=CC=CC=C3NC12)* 0.000 claims description 3
- 239000002075 main ingredient Substances 0.000 claims description 3
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 7
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 abstract description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract description 3
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 abstract description 3
- 229920003227 poly(N-vinyl carbazole) Polymers 0.000 description 7
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 206010041662 Splinter Diseases 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000011449 brick Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
通学の位相型回折格子からなる偏光ビームスプリッタは
偏光分離比を自由に変えることができない、そこで同一
基板上に偏光分離比の異なる領域を有する回折格子を形
成し、偏光ビームスプリッタにおける偏光分離比を可変
にしたものである。
偏光分離比を自由に変えることができない、そこで同一
基板上に偏光分離比の異なる領域を有する回折格子を形
成し、偏光ビームスプリッタにおける偏光分離比を可変
にしたものである。
本発明は位相型の回折格子からなる偏光ビームスプリッ
タに係り、特に光を入射させる位置によって偏光分離比
が変わる偏光ビームスプリッタに関する。
タに係り、特に光を入射させる位置によって偏光分離比
が変わる偏光ビームスプリッタに関する。
ホログラムは光学素子の小型軽量化と低価格化を可能に
するため、近来ホログラムを応用した各種光学素子が開
発されている。偏光ビームスプリフタにおいても同様に
偏光分離膜を用いた偏光ビームスプリンタに代わって、
ホログラムを応用した偏光ビームスプリフタの開発が進
められている。
するため、近来ホログラムを応用した各種光学素子が開
発されている。偏光ビームスプリフタにおいても同様に
偏光分離膜を用いた偏光ビームスプリンタに代わって、
ホログラムを応用した偏光ビームスプリフタの開発が進
められている。
第5図は従来の偏光ビームスプリッタを示す斜視図であ
る。
る。
図において従来のホログラムを応用したrIiij光ビ
−ムスプリンタは、ホログラフィックに作成された表面
レリーフ型または位相型の回折格子1からなり、例えば
偏光ビームスプリッタに入射したS偏光波は第5図fa
tに示す如く、大半が回折格子lによって回折され一部
が回折格子lを透過する。
−ムスプリンタは、ホログラフィックに作成された表面
レリーフ型または位相型の回折格子1からなり、例えば
偏光ビームスプリッタに入射したS偏光波は第5図fa
tに示す如く、大半が回折格子lによって回折され一部
が回折格子lを透過する。
−刃部光ビームスプリフタに入射したP偏光波は第5図
(blに示す如く、大半が回折格子1を透過し一部が回
折格子lによって回折される。
(blに示す如く、大半が回折格子1を透過し一部が回
折格子lによって回折される。
この回折格子1によって回折されるS偏光波の光量とP
偏光波の光量との比、あるいはこの回折格子1を透過す
るP偏光波の光量とS偏光波の光量との比を偏光分離比
と称し、例えばS偏光波に対する回折効率とP偏光波に
対する透過効率が高い程、この回折格子が具えている偏
光分離比は大きいといえる。
偏光波の光量との比、あるいはこの回折格子1を透過す
るP偏光波の光量とS偏光波の光量との比を偏光分離比
と称し、例えばS偏光波に対する回折効率とP偏光波に
対する透過効率が高い程、この回折格子が具えている偏
光分離比は大きいといえる。
かかるホログラムを応用した偏光ビームスプリッタにお
ける偏光分離比は、回折格子をホログラフインクに作成
する際の媒体の材質を適当に選定し、空間周波数、媒体
の膜厚、露光量等を適当に制御し変えることが可能であ
る。
ける偏光分離比は、回折格子をホログラフインクに作成
する際の媒体の材質を適当に選定し、空間周波数、媒体
の膜厚、露光量等を適当に制御し変えることが可能であ
る。
偏光ビームスプリッタの偏光分離比はその用途によって
様々な値が要求される。例えばS偏光波の殆どを回折せ
しめP偏光波の殆どを透過せしめるもの、逆にP偏光波
の殆どを回折せしめS偏光波の殆どを透過せしめるもの
、あるいはS偏光波とP偏光波を同程度に回折し且つ透
過せしめるもの等が要求される。しかし従来の偏光ビー
ムスプリフタにおいて回折格子が具えている偏光分離比
は、回折格子を作成する際の媒体の材質や形成条件によ
って決まり、回折格子上のどの位置においても偏光分離
比は一様である。したがって用途に合わせてそれぞれ偏
光ビームスプリンタを形成し、その用途が変わる都度偏
光ビームスプリンタを交換しなければならないという問
題があった。
様々な値が要求される。例えばS偏光波の殆どを回折せ
しめP偏光波の殆どを透過せしめるもの、逆にP偏光波
の殆どを回折せしめS偏光波の殆どを透過せしめるもの
、あるいはS偏光波とP偏光波を同程度に回折し且つ透
過せしめるもの等が要求される。しかし従来の偏光ビー
ムスプリフタにおいて回折格子が具えている偏光分離比
は、回折格子を作成する際の媒体の材質や形成条件によ
って決まり、回折格子上のどの位置においても偏光分離
比は一様である。したがって用途に合わせてそれぞれ偏
光ビームスプリンタを形成し、その用途が変わる都度偏
光ビームスプリンタを交換しなければならないという問
題があった。
第1図は本発明になる偏光ビームスブリックの原理を示
す斜視図である。
す斜視図である。
上記問題点はカルバゾール環を有する重合体を主剤とす
る媒体21にホログラフィックに作成された、位相型の
回折格子2からなる偏光ビームスプリフタであって、回
折格子2を作成する際に媒体−21上の複数個の領域A
+ 、A2 、・・・Anに対する露光量にそれぞれ差
を設け、回折格子2上に偏光分離比の異なる複数個の領
域A+ 、A2 、・・・Anを形成してなる、本発明
の偏光ビームスプリフタによって解決される。
る媒体21にホログラフィックに作成された、位相型の
回折格子2からなる偏光ビームスプリフタであって、回
折格子2を作成する際に媒体−21上の複数個の領域A
+ 、A2 、・・・Anに対する露光量にそれぞれ差
を設け、回折格子2上に偏光分離比の異なる複数個の領
域A+ 、A2 、・・・Anを形成してなる、本発明
の偏光ビームスプリフタによって解決される。
第2図はPVCz系ホログラムの特性を示す図である。
なお図において実線はS偏光波に対する回折効率を表わ
す曲線、破線はP偏光波に対する回折効率を表わす曲線
である。
す曲線、破線はP偏光波に対する回折効率を表わす曲線
である。
カルバゾール環を有する重合体、例えばポリビニルカル
バゾール(PVCz)を主剤とする媒体からなるホログ
ラムは、第2図に示す如くホログラムを形成するときの
露光量と S偏光波或いはP偏光波に対する回折効率と
の間に相関関係がある。
バゾール(PVCz)を主剤とする媒体からなるホログ
ラムは、第2図に示す如くホログラムを形成するときの
露光量と S偏光波或いはP偏光波に対する回折効率と
の間に相関関係がある。
即ち露光量が小さい場合はS偏光波に対する回折効率が
高く、露光量が大きい場合はP偏光波に対する回折効率
が高くなる。そしてその中間においてはS偏光波および
P偏光波に対して同程度の回折効率を有する。
高く、露光量が大きい場合はP偏光波に対する回折効率
が高くなる。そしてその中間においてはS偏光波および
P偏光波に対して同程度の回折効率を有する。
第1図において例えばPVCzを主剤とする媒体21に
位相型の回折格子2を作成する際に、媒体21上の複数
個の領域A+ 、A2 、・・・Anに対する露光量に
それぞれ差を設けることによって、それぞれの領域にお
けるS偏光波或いはP偏光波に対する回折効率が異なり
、回折格子2上に偏光分離比の異なる複数個の領域A+
、A2 、・・・Anが形成される。
位相型の回折格子2を作成する際に、媒体21上の複数
個の領域A+ 、A2 、・・・Anに対する露光量に
それぞれ差を設けることによって、それぞれの領域にお
けるS偏光波或いはP偏光波に対する回折効率が異なり
、回折格子2上に偏光分離比の異なる複数個の領域A+
、A2 、・・・Anが形成される。
このように同一基板上に偏光分離比の異なる複数個の領
域を有する回折格子からなる偏光ビームスプリフタは、
その用途によって様々な偏光分離比値を要求されても、
光を入射させる位置を変えることによってその要求に対
応することができる。
域を有する回折格子からなる偏光ビームスプリフタは、
その用途によって様々な偏光分離比値を要求されても、
光を入射させる位置を変えることによってその要求に対
応することができる。
以下添付図により本発明の実施例について説明する。第
3図は本発明の一実施例を示す斜視図、第4図は本発明
の他の実施例を示す斜視図である。
3図は本発明の一実施例を示す斜視図、第4図は本発明
の他の実施例を示す斜視図である。
第3図(alにおいて基板22の表面にPVCzを主剤
とする媒体21が被着されており、媒体21にはNOフ
ィルタ31.32を介してコヒーレント光を照射し位相
型の回折格子2を形成する。NDフィルタ31.32に
は光の透過量の異なる複数個(図では5個)の領域が形
成されており、媒体21に形成された回折格子2は露光
量の異なる複数個の領域を有する。
とする媒体21が被着されており、媒体21にはNOフ
ィルタ31.32を介してコヒーレント光を照射し位相
型の回折格子2を形成する。NDフィルタ31.32に
は光の透過量の異なる複数個(図では5個)の領域が形
成されており、媒体21に形成された回折格子2は露光
量の異なる複数個の領域を有する。
媒体21に形成された回折格子2が有する複数個の領域
はそれぞれ偏光分離比が異なり、第3図(blに示す如
(回折格子形成時の露光量が小さい領域ではS偏光波の
殆どを回折せしめるがP偏光波の殆どを透過せしめる。
はそれぞれ偏光分離比が異なり、第3図(blに示す如
(回折格子形成時の露光量が小さい領域ではS偏光波の
殆どを回折せしめるがP偏光波の殆どを透過せしめる。
逆に回折格子形成時の露光量が大きい領域ではP偏光波
の殆どを回折せしめS偏光波の殆どを透過せしめる。ま
た回折格子形成時の露光量が中間の領域ではS偏光波と
P偏光波を同程度に回折し且つ透過せしめる。
の殆どを回折せしめS偏光波の殆どを透過せしめる。ま
た回折格子形成時の露光量が中間の領域ではS偏光波と
P偏光波を同程度に回折し且つ透過せしめる。
また第4図Talにおいて基板22の表面にPVCzを
主剤とする媒体21が被着されており、媒体21にはN
Oフィルタ33.34を介してコヒーレント光を照射し
位相型の回折格子2を形成する。NOフィルタ33.3
4は光の透過量が連続的に変化するように構成されてお
り、媒体21に形成された回折格子2は位置の変化に伴
って露光量が連続的に変化する。
主剤とする媒体21が被着されており、媒体21にはN
Oフィルタ33.34を介してコヒーレント光を照射し
位相型の回折格子2を形成する。NOフィルタ33.3
4は光の透過量が連続的に変化するように構成されてお
り、媒体21に形成された回折格子2は位置の変化に伴
って露光量が連続的に変化する。
したがって媒体21に形成された回折格子は位置の変化
に伴って偏光分離比が連続的に異なり、第4図(bJに
示す如く回折格子形成時の露光量が小さい領域ではS偏
光波の殆どを回折せしめるがP偏光波の殆どを透過せし
める。逆に回折格子形成時の露光量が大きい領域ではP
偏光波の殆どを回折せしめS偏光波の殆どを透過せしめ
る。なおその中間の領域ではS偏光波とP偏光波をそれ
ぞれ任怠の比率で回折せしめ、且つ透過せしめることが
可能になる。
に伴って偏光分離比が連続的に異なり、第4図(bJに
示す如く回折格子形成時の露光量が小さい領域ではS偏
光波の殆どを回折せしめるがP偏光波の殆どを透過せし
める。逆に回折格子形成時の露光量が大きい領域ではP
偏光波の殆どを回折せしめS偏光波の殆どを透過せしめ
る。なおその中間の領域ではS偏光波とP偏光波をそれ
ぞれ任怠の比率で回折せしめ、且つ透過せしめることが
可能になる。
このように同一基板上に偏光分離比の異なる複数個の領
域を有する回折格子からなる偏光ビームスプリフタは、
その用途によって様々な偏光分別比値を要求されても、
光を入射させる位置を変えることによってその要求に対
応することができる。
域を有する回折格子からなる偏光ビームスプリフタは、
その用途によって様々な偏光分別比値を要求されても、
光を入射させる位置を変えることによってその要求に対
応することができる。
上述の如く本発明によれば光を入射させる位置によって
偏光分離比が変わる偏光ビームスプリ・ツタを提供する
ことができる。
偏光分離比が変わる偏光ビームスプリ・ツタを提供する
ことができる。
第1図は本発明になる偏光ビームスプリッタの原理を示
す斜視図、 第2図はPVCz系ホログラムの特性を示す図、第3図
は本発明の一実施例を示す斜視図、第4図は本発明の他
の実施例を示す斜視図、第5図は従来の偏光ビームスプ
リッタを示す斜視図、 である。図において 2は回折格子、 21は媒体、 22は基板、 31.32.33.34はNOフィルタ、富イ量 (友
J10π2) 不414
す斜視図、 第2図はPVCz系ホログラムの特性を示す図、第3図
は本発明の一実施例を示す斜視図、第4図は本発明の他
の実施例を示す斜視図、第5図は従来の偏光ビームスプ
リッタを示す斜視図、 である。図において 2は回折格子、 21は媒体、 22は基板、 31.32.33.34はNOフィルタ、富イ量 (友
J10π2) 不414
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 カルバゾール環を有する重合体を主剤とする媒体(21
)にホログラフィックに作成された、位相型の回折格子
(2)からなる偏光ビームスプリッタであって、 該回折格子(2)を作成する際に該媒体(21)上の複
数個の領域(A_1、A_2、・・・A_n)に対する
露光量にそれぞれ差を設け、 該回折格子(2)上に偏光分離比の異なる複数個の領域
(A_1、A_2、・・・A_n)を形成してなること
を特徴とした偏光ビームスプリッタ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18741386A JPS6343102A (ja) | 1986-08-08 | 1986-08-08 | 偏光ビ−ムスプリツタ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18741386A JPS6343102A (ja) | 1986-08-08 | 1986-08-08 | 偏光ビ−ムスプリツタ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6343102A true JPS6343102A (ja) | 1988-02-24 |
Family
ID=16205606
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18741386A Pending JPS6343102A (ja) | 1986-08-08 | 1986-08-08 | 偏光ビ−ムスプリツタ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6343102A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05216386A (ja) * | 1991-10-11 | 1993-08-27 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | ホログラム・システム |
JPH0659124A (ja) * | 1991-12-17 | 1994-03-04 | Thomson Csf | 光学偏光分離器とディスプレイシステムへの応用 |
CN111595555A (zh) * | 2020-06-02 | 2020-08-28 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 利用宽光谱比值实现光栅掩膜实时显影监测的装置和监测方法 |
-
1986
- 1986-08-08 JP JP18741386A patent/JPS6343102A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05216386A (ja) * | 1991-10-11 | 1993-08-27 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | ホログラム・システム |
JPH0659124A (ja) * | 1991-12-17 | 1994-03-04 | Thomson Csf | 光学偏光分離器とディスプレイシステムへの応用 |
CN111595555A (zh) * | 2020-06-02 | 2020-08-28 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 利用宽光谱比值实现光栅掩膜实时显影监测的装置和监测方法 |
CN111595555B (zh) * | 2020-06-02 | 2021-02-02 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 利用宽光谱比值实现光栅掩膜实时显影监测的装置和监测方法 |
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