JPS6340896A - 粗微動送り機構 - Google Patents

粗微動送り機構

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Publication number
JPS6340896A
JPS6340896A JP18441286A JP18441286A JPS6340896A JP S6340896 A JPS6340896 A JP S6340896A JP 18441286 A JP18441286 A JP 18441286A JP 18441286 A JP18441286 A JP 18441286A JP S6340896 A JPS6340896 A JP S6340896A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
coarse
fine movement
feed
movement
fine
Prior art date
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Pending
Application number
JP18441286A
Other languages
English (en)
Inventor
高村 二郎
平田 洋司
藤原 邦雄
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Filing date
Publication date
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Publication of JPS6340896A publication Critical patent/JPS6340896A/ja
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  • Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は粗動送りした後に微動送りする粗微動送り機
構に関する。
〔従来の技術〕
第2図は従来の粗微動送り機構を示す概念図であり、図
において、(1)はパルスモータ等の原動機、(2)は
原動機(1)により回転駆動される送りネジ、(3)は
送りネジにより作用中心線(F)に沿って駆動される粗
動送り体、(4)は電歪素子等からなる微動送り部、(
5)は負荷中心線(Llに沿って摺動可能な移動体、(
6)は移動体(5)を案内するガイド・バーである。微
動送り部(4)は移動体(5)Gこ固着されていて、か
つ粗動送り体(3)の腕を両側から挟んでいる。
次に動作について説明する。原動機(1)が回転すると
、送りネジ(2)が回転し、粗動送り体(3)が直進す
る。これは粗動送り体(3)に設けられて送りネジ(2
)と螺合している雌ねじ(図示せず)による。粗動送り
体(3)はその腕で前記微動送り部(4)を介して移動
体(5)を粗動送りする。なお、この間は微動送り部(
4)は休止されている。この粗動送りが達成されると原
動機(1)を止め粗動体(3)を停止させる。その後微
動送り部(4)を作動させる。原動機(1)が止められ
て送りネジ(2)の回転が阻止されているので、粗動送
り体(3)は固定した位vl+こある。この粗動送り体
(3)に対して微動送り部(4)は移動体(5)を微小
変位させて、微動送りを達成する。
〔発明が解決しようとする問題点〕
従来の粗微動送り機構は以上のように構成されているの
で、微動送りで高精度の位置決めをなすようにしている
が、ガイド・バー(6)と移動体(5)間の“°遊び°
゛(一般に遊びを完全に無くしてかつ摺動可能であるよ
うをこ製作することは不可能である)により、微動送り
部(4)を作動させたときに移動体(5)がガイド・バ
ー(6)に対して偏心し、微動送り部の変位に対応した
正確な送りが得られないという問題点があった。
この発明は、上記のような問題点を解消するためになさ
れたもので、微動送り部の変位に対応した誤差のない送
りを実現できる装置を得ることを目的とする。
〔問題点を解決するための手段〕
この発明に係る粗微動送り機構は、粗動送り体の移動の
中心線(すなわち作用中心線F)と、移動体の摺動の中
心線(すなわち負荷中心線L)とを一致させた上で、微
動送り部の作用中心線(FA)をスライダーの負荷中止
線(L)に一致するよう番こ配置したものである。
〔作用〕
この発明における粗微動送り機構は、中心線(F)、(
FA) 、(L)が一致しているために、微動送り部(
4)が移動体(5)を駆動するとき特に移動体(5)と
ガイド・バー(6)との間の遊びによるガイド・バー(
6)に対する移動体(5)の偏心(傾き)が発生せず、
微動送り部の変位をこ対応した正確な微動送りが実現さ
れる。
〔実施例〕
第1図は本発明の一実施例を示す斜視図であり、図にお
いて(1)〜(6)は従来のもの−と同じである。しか
し送りネジ(2)は2本のガイド・バー(6)の間に配
置されていて移動体(5)の負荷中心線にtnn送送体
(3)の作用中心線(F)が一致するようになされてい
る。かつ微動送り部(4)はその作用中心線が移動体(
5)の負荷中心線に一致するように粗動送り体(3)に
固定されている。
次に動作について説明する。先ず粗動送りするため原動
機(1)を回転する。原動機(1)の回転軸の回転運動
は送りネジ(2)に伝わり粗動送り体(3)に設けたナ
ツト(図示せず)により粗動送り体(3)は直進粗動運
動をする。また移動体(5)は、微動送り部(4)を介
して粗動送り体(3)に締結されているため、移動体(
5)は粗動送り体(3)の運動(こ従い、ガイド・バー
(6)上を粗動運動する。この粗動送りが完了すると、
原動機(1)を止めて粗動送り体(3)を定位置に保持
する。その後、移動体(5)と粗動送り体(3)との間
に介在する微動送り部(4)を作動させる。これにより
移動体(5)は微動送り部(4)の微動送りに従って微
小変位する。この際、4微動送りする力は移動体(5)
の負荷中心線に沿ってのくため、移動体(5)が偏心す
ることなく正確に移動体(5)を微動送り出来る。
なお、上記実施例では、直腺に対する高精度の粗微動送
りについて説明したが、微動送り部の前にレバーを設け
、これを回転運動機構に直結し、微動送り部でレバーを
押すようにすることにより、回転番二対する高精度の粗
微動送り機構を得ることもできる。
また、上記実施例では、粗動送り部にパルス・モータを
用いたが、エアーシリンダ等で代用も可能である。
〔発明の効果〕
以上のように、この発明によれば、粗動送り部の作用中
心線と微動送り部の作用中心線とがスライダの負荷中心
線に一致するように配置したため、微動送り部の変位に
対し移動体が偏心することなく、変位に対応した高精度
の送りが得られる効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の一実施例を示す概略斜視図、第2図
は従来の粗微動送り機構を示す概略斜視図である。 図において、(2+、 f3)は粗動送り部、(F)は
その作用中心線、(4)は微動送り部、(FA)はその
作用中心線、(5)は移動体、(L)はその負荷中心線
である。 なお、図中同一符号は同一または相当部分を示す。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)粗動送り部と微動送り部とからなる粗微動送り機
    構において、この粗微動送り機構により送られる移動体
    の負荷中心線に粗動送り部の作用中心線並びに微動送り
    部の作用中心線が共に一致するように配置したことを特
    徴とする粗微動送り機構。
  2. (2)微動送り部に電歪素子を用いた特許請求の範囲第
    1項記載の粗微動送り機構。
JP18441286A 1986-08-05 1986-08-05 粗微動送り機構 Pending JPS6340896A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18441286A JPS6340896A (ja) 1986-08-05 1986-08-05 粗微動送り機構

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18441286A JPS6340896A (ja) 1986-08-05 1986-08-05 粗微動送り機構

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6340896A true JPS6340896A (ja) 1988-02-22

Family

ID=16152715

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP18441286A Pending JPS6340896A (ja) 1986-08-05 1986-08-05 粗微動送り機構

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JP (1) JPS6340896A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003343678A (ja) * 2002-05-24 2003-12-03 Hiihaisuto Seiko Kk 並列粗微動駆動形多自由度位置決め機構

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003343678A (ja) * 2002-05-24 2003-12-03 Hiihaisuto Seiko Kk 並列粗微動駆動形多自由度位置決め機構

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