JPS6336859A - ウオ−タジエツトの噴射ノズル装置 - Google Patents
ウオ−タジエツトの噴射ノズル装置Info
- Publication number
- JPS6336859A JPS6336859A JP17766986A JP17766986A JPS6336859A JP S6336859 A JPS6336859 A JP S6336859A JP 17766986 A JP17766986 A JP 17766986A JP 17766986 A JP17766986 A JP 17766986A JP S6336859 A JPS6336859 A JP S6336859A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shaft
- holder support
- holder
- nozzle
- nozzle device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 12
- 238000002347 injection Methods 0.000 title abstract description 6
- 239000007924 injection Substances 0.000 title abstract description 6
- 238000002018 water-jet injection Methods 0.000 claims description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 abstract description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Nozzles (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、ウォータジェットを噴射するノズルを水平方
向に回転しながら移動して対象物の表置に付滑した塗膜
等の付漬物を剥離あるいは先注するようにしたウォータ
ジェットの噴射ノズル装置に関するものである。
向に回転しながら移動して対象物の表置に付滑した塗膜
等の付漬物を剥離あるいは先注するようにしたウォータ
ジェットの噴射ノズル装置に関するものである。
従来の技術
従来のこの噴射ノズル装置は第10図に示すようになっ
ていて、対象物αの表面江平行に移動する機枠すにシャ
フトCが(ロ)転自在に支承されており、このシャツ)
cの偏心位置にホルダ支持@dが軸受1を介して回転自
在に支承されている。そしてこのホルダ支持軸dの上端
部に高圧水用ホースfが連結してあり、ま九その下端部
にホルダ支持軸dの通路に連通した複数個のノズルgを
一直線上に配設し次ノズルホルダhが固着されている。
ていて、対象物αの表面江平行に移動する機枠すにシャ
フトCが(ロ)転自在に支承されており、このシャツ)
cの偏心位置にホルダ支持@dが軸受1を介して回転自
在に支承されている。そしてこのホルダ支持軸dの上端
部に高圧水用ホースfが連結してあり、ま九その下端部
にホルダ支持軸dの通路に連通した複数個のノズルgを
一直線上に配設し次ノズルホルダhが固着されている。
上記シャフトCの外周には従動歯車りが設けてあり、こ
の従動歯車tにモータノ゛にてXIA動される駆動歯車
kが噛合しである。
の従動歯車tにモータノ゛にてXIA動される駆動歯車
kが噛合しである。
この構成において、駆動歯車にの回転によりシャフトC
が回転されると、ホルダ支持軸dは偏心量δを半径とす
る円形の軌跡を描いて回転(公転)する。このとき、ホ
ルダ支持@dは高圧水ホースfにて回転(自転)しない
ようになっているから、上記シャフトCの回転により、
ノズルホルダhの各ノズルIは第11図に示すようにそ
れぞれ円形の軌跡lを描く。この状態で各ノズルIより
クォータジェット’l[射しなから機枠すを上記ノズル
ホルダhのノズルlの配列方向と直角方向(矢印方向)
に移動することにより、対象物の表面が円形運動する各
ノズルiの合計の幅である作用幅りにわたって剥離ある
いは洗浄されるようになっている。
が回転されると、ホルダ支持軸dは偏心量δを半径とす
る円形の軌跡を描いて回転(公転)する。このとき、ホ
ルダ支持@dは高圧水ホースfにて回転(自転)しない
ようになっているから、上記シャフトCの回転により、
ノズルホルダhの各ノズルIは第11図に示すようにそ
れぞれ円形の軌跡lを描く。この状態で各ノズルIより
クォータジェット’l[射しなから機枠すを上記ノズル
ホルダhのノズルlの配列方向と直角方向(矢印方向)
に移動することにより、対象物の表面が円形運動する各
ノズルiの合計の幅である作用幅りにわたって剥離ある
いは洗浄されるようになっている。
発明が解決しようとする問題点
上記従来の噴射ノズル装置では、ホルダ支持軸dを自転
しないように固定しているのは高圧水ホースfだけであ
るので、この高圧水ホースfが回転方向にφんだ場合、
ホルダ支持軸dが回転方向に変位してしまい、従ってノ
ズルホルタ−hが回転方向に傾いてしまい、各ノズルI
は第12図に示すように進行方向に対して傾斜した状態
で進行してしまう。このため正常の場合に比較してその
作用幅りは傾斜した分り、たけ狭くなり、また、各ノズ
ルgに:る軌跡はそれぞれり、たけ重複してしまう。上
記作用幅りが狭くなるということは作業能率が想くなっ
てしまい、また各ノズルの軌跡が1松すると、このMU
部分が他の部分より余計にウォータジェットが噴射され
ることになり、この部分の下地が損傷してしまうという
問題があつ之。
しないように固定しているのは高圧水ホースfだけであ
るので、この高圧水ホースfが回転方向にφんだ場合、
ホルダ支持軸dが回転方向に変位してしまい、従ってノ
ズルホルタ−hが回転方向に傾いてしまい、各ノズルI
は第12図に示すように進行方向に対して傾斜した状態
で進行してしまう。このため正常の場合に比較してその
作用幅りは傾斜した分り、たけ狭くなり、また、各ノズ
ルgに:る軌跡はそれぞれり、たけ重複してしまう。上
記作用幅りが狭くなるということは作業能率が想くなっ
てしまい、また各ノズルの軌跡が1松すると、このMU
部分が他の部分より余計にウォータジェットが噴射され
ることになり、この部分の下地が損傷してしまうという
問題があつ之。
問題点を解決するための手段及び作用
本発明は上記のことにかんがみなされたもので、ノズル
ホルダがノズル装置の進行方向に対して常に直角状態と
なるようにして、対象物の剥離、洗浄作業において、作
業幅が変動することがなく、またノズル軌跡のX次によ
る剥離、洗浄ムラ、下地の損傷をなくすことができるよ
うにしたウォータジェットの噴射ノズル装置を提供しよ
うとするもので、その構成は、端面に複数個のノズルを
設けたノズルホルダに固着したホルダ支持軸を、回転す
るシャフトの偏心位置に支持し、このシャフトの回転に
従ってホルダ支持軸を介してノズルホルダを上記偏心量
を半径とする軌跡を描いて回転運動するようにし、かつ
一定方向に移動するようにしたウォータジェットの噴射
ノズル装置において、上記シャフトを支承する機枠に対
してホルダ支持軸が常に一定の姿勢を保持する姿勢保持
機構を上記機枠とホルダ支持軸との間に設けた構成とな
っており、ホルダ支持軸がシャフトの回転に従って回転
運動をしてもその姿勢は一定に保たれ、従ってノズルホ
ルダの姿勢がノズル装置の移動方向に対して一定の姿勢
が保持される。
ホルダがノズル装置の進行方向に対して常に直角状態と
なるようにして、対象物の剥離、洗浄作業において、作
業幅が変動することがなく、またノズル軌跡のX次によ
る剥離、洗浄ムラ、下地の損傷をなくすことができるよ
うにしたウォータジェットの噴射ノズル装置を提供しよ
うとするもので、その構成は、端面に複数個のノズルを
設けたノズルホルダに固着したホルダ支持軸を、回転す
るシャフトの偏心位置に支持し、このシャフトの回転に
従ってホルダ支持軸を介してノズルホルダを上記偏心量
を半径とする軌跡を描いて回転運動するようにし、かつ
一定方向に移動するようにしたウォータジェットの噴射
ノズル装置において、上記シャフトを支承する機枠に対
してホルダ支持軸が常に一定の姿勢を保持する姿勢保持
機構を上記機枠とホルダ支持軸との間に設けた構成とな
っており、ホルダ支持軸がシャフトの回転に従って回転
運動をしてもその姿勢は一定に保たれ、従ってノズルホ
ルダの姿勢がノズル装置の移動方向に対して一定の姿勢
が保持される。
実施例
本発明の実施例を第1図から第3図に基づいて説明する
。
。
図中1は機枠、2はこの機枠1に軸受3を介して回転自
在に支承されたシャフト、4はこのシャフト2の偏心位
置に軸受5を介して回転自在に支承され次ホルダ支持軸
であり、このホルダ支持軸4の上端部に高圧水用ホース
6が連結しである。またホルダ支持軸4の下端部にノズ
ルホルダ7が固着されている。このノズルホルダ7の下
面には複数個のノズル8が一直線状に設けてあり、この
各ノズル8はホルダ支持軸4の軸心に設けた通路4αに
連通されている。上記シャフト2の外周には従動歯車9
が設けてあり、この従動歯車9は従来例と同様にモータ
10にて駆動される駆動歯車(図示せず)に噛合してい
て、モータ10により一定の速度で回転されるようにな
っている。
在に支承されたシャフト、4はこのシャフト2の偏心位
置に軸受5を介して回転自在に支承され次ホルダ支持軸
であり、このホルダ支持軸4の上端部に高圧水用ホース
6が連結しである。またホルダ支持軸4の下端部にノズ
ルホルダ7が固着されている。このノズルホルダ7の下
面には複数個のノズル8が一直線状に設けてあり、この
各ノズル8はホルダ支持軸4の軸心に設けた通路4αに
連通されている。上記シャフト2の外周には従動歯車9
が設けてあり、この従動歯車9は従来例と同様にモータ
10にて駆動される駆動歯車(図示せず)に噛合してい
て、モータ10により一定の速度で回転されるようにな
っている。
上記機枠1の上部−側に、噴射ノズル装置の移動方向と
同一方向に向けてガイドロッド11がブラケット12に
で固着されており、このガイドロッド11に摺動部材I
3が摺動自在に支持されている。この摺動部材13には
これの摺動方向と直角方向にガイド穴14が設けである
〇そしてこのガイド′に14に摺動ピン15が摺動自在
に嵌合してあり、との摺動ピン15の基端が上記ホルダ
支持軸4の上部にキー16にて回転方向に係合して嵌合
され、かつナツト17にて固着されている。そしてこの
ホルダ支持軸4と上記ノズルホルダ7との関係は、ノズ
ルホルダ7の各ノズル8の配列方向がノズル装置の移動
方向と直角となるようになっている。
同一方向に向けてガイドロッド11がブラケット12に
で固着されており、このガイドロッド11に摺動部材I
3が摺動自在に支持されている。この摺動部材13には
これの摺動方向と直角方向にガイド穴14が設けである
〇そしてこのガイド′に14に摺動ピン15が摺動自在
に嵌合してあり、との摺動ピン15の基端が上記ホルダ
支持軸4の上部にキー16にて回転方向に係合して嵌合
され、かつナツト17にて固着されている。そしてこの
ホルダ支持軸4と上記ノズルホルダ7との関係は、ノズ
ルホルダ7の各ノズル8の配列方向がノズル装置の移動
方向と直角となるようになっている。
上記構成において、モータ10の駆動によりシャフト2
が回転すると、ホルダ支持軸4はシャフト2に対する偏
心量δを半径とする軌跡を描いて回転する。このとき、
ホルダ支持軸4は摺動ピン15及び摺動部材13により
その姿勢が一定に保たれて回転することがない。
が回転すると、ホルダ支持軸4はシャフト2に対する偏
心量δを半径とする軌跡を描いて回転する。このとき、
ホルダ支持軸4は摺動ピン15及び摺動部材13により
その姿勢が一定に保たれて回転することがない。
すなわち、今第3図において、ホルダ支持軸4が01に
ある状態からシク、7ト2が矢印の方向に回転しだすと
、ホルダ支持軸4は02の位置へ向かうと同時に摺動ピ
ン15は図上右方向へ、また摺動部材13は上方へ移動
する。ホルダ支持軸4がO7からOlへ向かつと、摺動
ピン15はなお右方へ、摺動部材13は下方へ移動する
。
ある状態からシク、7ト2が矢印の方向に回転しだすと
、ホルダ支持軸4は02の位置へ向かうと同時に摺動ピ
ン15は図上右方向へ、また摺動部材13は上方へ移動
する。ホルダ支持軸4がO7からOlへ向かつと、摺動
ピン15はなお右方へ、摺動部材13は下方へ移動する
。
さらにO8から04へ向かうと摺動ピン15は左方へ、
摺動部材13はさらに下方へ移動し、ホルダ支持軸4が
元のOIの位置へもどると摺動ピン15、摺動部材13
も元の位置へもどる。このときホルダ支持軸4と摺動ピ
ン15はキー看されていることにより相対的に位置ずれ
はない。
摺動部材13はさらに下方へ移動し、ホルダ支持軸4が
元のOIの位置へもどると摺動ピン15、摺動部材13
も元の位置へもどる。このときホルダ支持軸4と摺動ピ
ン15はキー看されていることにより相対的に位置ずれ
はない。
従ってノズルホルダ7はm動ピン15と平行に移動し、
ノズル装置の移動方向と直角になっている姿勢がずれる
ことがない。
ノズル装置の移動方向と直角になっている姿勢がずれる
ことがない。
第4図から第9図は本発明の第2、第3の実施例を示す
ものであり、以下その構成を説明する。なお図中第1図
から第3図に示した第1の実施例の構成部材と同一部材
は同一符号を付して説明を省略する。
ものであり、以下その構成を説明する。なお図中第1図
から第3図に示した第1の実施例の構成部材と同一部材
は同一符号を付して説明を省略する。
第4図と第6図は第2の実施例を示すもので、ノズル装
置の移動方向と直角方向でかつシャフト2の軸心を通る
中心線18上に、シャフト2の軸心から同一距離だけ両
側に離間する位置に支持ピン19a、19bがブラケッ
ト20にて支持して設けられている。そしてこの各支持
ピン19a、19bにホルダ支持@4の偏心量δと同一
長さのアーム21a、21bの一端が枢支されている。
置の移動方向と直角方向でかつシャフト2の軸心を通る
中心線18上に、シャフト2の軸心から同一距離だけ両
側に離間する位置に支持ピン19a、19bがブラケッ
ト20にて支持して設けられている。そしてこの各支持
ピン19a、19bにホルダ支持@4の偏心量δと同一
長さのアーム21a、21bの一端が枢支されている。
アーム21cL、21bの他端には連結棒22の両端部
が回転自在に連結されている。この連結棒22の長さは
上記支持ピン19a、1’?6の間隔と同一長さになっ
ている。そしてこの連結棒22のI/の長さの位置に上
記ホルダ支持軸4がキー23にて回転方向に係止して嵌
合されている。
が回転自在に連結されている。この連結棒22の長さは
上記支持ピン19a、1’?6の間隔と同一長さになっ
ている。そしてこの連結棒22のI/の長さの位置に上
記ホルダ支持軸4がキー23にて回転方向に係止して嵌
合されている。
上記構成において、シャフト2が回転するとホルダ支持
軸4の軸心も偏心量δを半径とする軌跡上を移動する。
軸4の軸心も偏心量δを半径とする軌跡上を移動する。
このとき連結n22も移動するが、この連結棒22はア
ーム21a、21bの回転により常時平行移動され、こ
れによりホルダ支持軸4は相対的に回転せず、常時同一
姿勢で上記偏心移動する。従ってホルダ支持@4の下端
に同右したノズルホルダ7も同一姿勢で移動する。
ーム21a、21bの回転により常時平行移動され、こ
れによりホルダ支持軸4は相対的に回転せず、常時同一
姿勢で上記偏心移動する。従ってホルダ支持@4の下端
に同右したノズルホルダ7も同一姿勢で移動する。
第7図から第9図は本発明の第3実施例を示すもので、
ノズルホルダ7は離間する2本のホルダ支持軸24a、
24bにて支持されており、この両ホルダ支持軸24a
、24bはそれぞれ異なるシャフト25a、25bの偏
心位置に支持されている。そして上記両シャフ)25c
L。
ノズルホルダ7は離間する2本のホルダ支持軸24a、
24bにて支持されており、この両ホルダ支持軸24a
、24bはそれぞれ異なるシャフト25a、25bの偏
心位置に支持されている。そして上記両シャフ)25c
L。
25bの外周には同一歯数の従動歯車26a、26bが
設けてあり、この両爾車26a、26bに1個の駆動歯
車27が噛合しである。上記ノズルホルダ7の各ノズル
8は一方のホルダ支持軸24αに設けた通路24Cに連
通してあり、このホルダ支持軸24αに高圧水ホース6
が接続されている。
設けてあり、この両爾車26a、26bに1個の駆動歯
車27が噛合しである。上記ノズルホルダ7の各ノズル
8は一方のホルダ支持軸24αに設けた通路24Cに連
通してあり、このホルダ支持軸24αに高圧水ホース6
が接続されている。
上記駆動において、駆動歯車27をモータ10にて、駆
動すると両従動歯車26a、26bは同一方向に回転し
、従ってこの両従動歯車26a、26bに偏心支持され
たホルダ支持軸24a、24bと共にノズルホルダ7は
同一姿勢を保持して平行移動される。この場合ノズル装
置は上記ノズルホルダ7と直角方向に移動する。
動すると両従動歯車26a、26bは同一方向に回転し
、従ってこの両従動歯車26a、26bに偏心支持され
たホルダ支持軸24a、24bと共にノズルホルダ7は
同一姿勢を保持して平行移動される。この場合ノズル装
置は上記ノズルホルダ7と直角方向に移動する。
発明の効果
本発明によれば、端面に袂数個のノズル8を一直線状に
設けたノズルホルダ7を、ノズル8の配列方向が常にノ
ズル装置の進行方向と直角状態に保持することができ、
ノズルホルダ7を回転しながら対象物の剥離、洗浄を行
なうときに、その作業幅が変動することなく、またノズ
ル軌跡の1複がなくなり、作業能率を良好に維持できる
と共に、剥離、洗浄ムラ及び下地の損傷をなくすことが
できる。
設けたノズルホルダ7を、ノズル8の配列方向が常にノ
ズル装置の進行方向と直角状態に保持することができ、
ノズルホルダ7を回転しながら対象物の剥離、洗浄を行
なうときに、その作業幅が変動することなく、またノズ
ル軌跡の1複がなくなり、作業能率を良好に維持できる
と共に、剥離、洗浄ムラ及び下地の損傷をなくすことが
できる。
第1図から第3図は本発明の第1実施例を示すもので、
第1図は縦断側面図、第2図は正面図、第3図は作用説
明図、第4図から第6図は第2の実施例を示すもので、
第4図は縦断側面図、第5図は正面図、第6図は平面図
、第7図から第9図は第3の実施例を示すもので、第7
図は第9図の■−■線に沿う断面図、第8図は正面図、
第9図は平面図、@10図は従来例を示す断面図、第1
1図、第12図はノズルの軌跡を示す説明図である。 1は機枠、2,25a、25bはシャフト、4.24a
、24bはホルダ支持軸、7はノズルホルダ、8はノズ
ル、13は摺動部材、15は摺動ピン、19a、19b
は支持ピン、21a、21bはアーム、22は連結棒。
第1図は縦断側面図、第2図は正面図、第3図は作用説
明図、第4図から第6図は第2の実施例を示すもので、
第4図は縦断側面図、第5図は正面図、第6図は平面図
、第7図から第9図は第3の実施例を示すもので、第7
図は第9図の■−■線に沿う断面図、第8図は正面図、
第9図は平面図、@10図は従来例を示す断面図、第1
1図、第12図はノズルの軌跡を示す説明図である。 1は機枠、2,25a、25bはシャフト、4.24a
、24bはホルダ支持軸、7はノズルホルダ、8はノズ
ル、13は摺動部材、15は摺動ピン、19a、19b
は支持ピン、21a、21bはアーム、22は連結棒。
Claims (4)
- (1)端面に複数個のノズル8を設けたノズルホルダ7
をホルダ支持軸4、24a、24bにて支持し、このホ
ルダ支持軸4、24a、24bを回転するシヤフト2、
25a、25bの偏心位置に支持し、このシャフト2、
25a、25aの回転に従つてホルダ支持軸4、24a
、24bを上記偏心量δを半径とする軌跡を描いて回転
運動するようにし、かつ一定方向に移動するようにした
ウォータジェットの噴射ノズル装置において、上記シャ
フト2、25a、25bを支承する機枠1に対してホル
ダ支持軸4、24a、24bが常に一定の姿勢を保持す
る姿勢保持機構を上記機枠1とホルダ支持軸4、24a
、24bとの間に設けたことを特徴とするウォータジェ
ットの噴射ノズル装置。 - (2)ホルダ支持軸4に摺動ピン15の一端を固着し、
この摺動ピン15の他端を、ノズル装置の移動方向に摺
動自在にした摺動部材13に、この摺動部材13の摺動
方向と直角方向に摺動自在に嵌合したことを特徴とする
特許請求の範囲第1項記載のウォータジェットの噴射ノ
ズル装置。 - (3)ホルダ支持軸4に連結棒22の中間点を固着し、
またシャフト1の軸心に対して両側同位置に支持ピン1
9a、19bを設け、この各支持ピン19a、19bに
シャフト2に対するホルダ支持軸4の偏心量と同一長さ
のアーム21a、21bの一端を連結し、この各アーム
21a、21bの他端を上記連結棒22の各端部に連結
したことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載のウォ
ータジェットの噴射ノズル装置。 - (4)ノズルホルダ7を2本のホルダ支持軸24a、2
4bにて支持し、この各ホルダ支持軸24a、24bを
それぞれシャフト25a、25bの偏心位置に支承し、
上記両シャフト25a、25bを同一方向に、かつ同一
回転数で回転するように駆動部に連結したことを特徴と
する特許請求の範囲第1項記載のウォータジェットの噴
射ノズル装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17766986A JPS6336859A (ja) | 1986-07-30 | 1986-07-30 | ウオ−タジエツトの噴射ノズル装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17766986A JPS6336859A (ja) | 1986-07-30 | 1986-07-30 | ウオ−タジエツトの噴射ノズル装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6336859A true JPS6336859A (ja) | 1988-02-17 |
Family
ID=16035037
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17766986A Pending JPS6336859A (ja) | 1986-07-30 | 1986-07-30 | ウオ−タジエツトの噴射ノズル装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6336859A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0192249U (ja) * | 1987-12-12 | 1989-06-16 | ||
JPH0270741U (ja) * | 1988-11-19 | 1990-05-29 | ||
JPH05123788A (ja) * | 1991-11-01 | 1993-05-21 | Fuji Eng Kk | プレスラインの被成型部材搬送装置 |
JPH05138274A (ja) * | 1991-11-19 | 1993-06-01 | Fuji Eng Kk | プレスラインの被成型部材搬送装置 |
JP2019507015A (ja) * | 2015-12-23 | 2019-03-14 | エスエムエス グループ ゲーエムベーハー | 除去すべき表層を有する物体を洗浄するための装置及び方法 |
-
1986
- 1986-07-30 JP JP17766986A patent/JPS6336859A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0192249U (ja) * | 1987-12-12 | 1989-06-16 | ||
JPH0270741U (ja) * | 1988-11-19 | 1990-05-29 | ||
JPH05123788A (ja) * | 1991-11-01 | 1993-05-21 | Fuji Eng Kk | プレスラインの被成型部材搬送装置 |
JPH05138274A (ja) * | 1991-11-19 | 1993-06-01 | Fuji Eng Kk | プレスラインの被成型部材搬送装置 |
JP2019507015A (ja) * | 2015-12-23 | 2019-03-14 | エスエムエス グループ ゲーエムベーハー | 除去すべき表層を有する物体を洗浄するための装置及び方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100299333B1 (ko) | 기판세정장치 | |
TW200305460A (en) | Material coating device | |
TWI387488B (zh) | 流體噴射裝置 | |
JPS6336859A (ja) | ウオ−タジエツトの噴射ノズル装置 | |
JPH10337541A (ja) | 基板洗浄装置 | |
JPS61230900A (ja) | 高圧流体加工装置 | |
KR980001775A (ko) | 워이퍼의 세정 · 박리 방법 및 장치 | |
JP2000070875A (ja) | 基板洗浄装置および基板洗浄方法 | |
JP2854213B2 (ja) | 洗浄装置 | |
JP4230560B2 (ja) | 塗装方法 | |
JP3219375B2 (ja) | スクラブ洗浄部材およびそれを用いた基板処理装置、ならびに洗浄用ブラシ | |
JPH06151398A (ja) | ウエハ洗浄装置 | |
JPH0958461A (ja) | 走行車輪装置 | |
JPS6388073A (ja) | 自動塗装装置 | |
JP2904001B2 (ja) | ステアリングホイール芯金の洗浄方法 | |
JPH0352128Y2 (ja) | ||
JP3964517B2 (ja) | 洗浄装置とその方法 | |
JPH0446633B2 (ja) | ||
JPH0319977Y2 (ja) | ||
JPH072057U (ja) | グラビアロールの洗浄装置 | |
JPH04293578A (ja) | 洗浄装置 | |
JP2564180B2 (ja) | 対称する2ヘッドが1組のウォータージエット異心公転ガン | |
JP2002233832A (ja) | 処理装置 | |
JP3366690B2 (ja) | 粘性物の塗布装置 | |
JPH0415920A (ja) | ウエハの洗浄用保持装置およびその洗浄方法 |