JPS6336117A - 液面レベル・界面レベル検出装置 - Google Patents

液面レベル・界面レベル検出装置

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JPS6336117A
JPS6336117A JP61178325A JP17832586A JPS6336117A JP S6336117 A JPS6336117 A JP S6336117A JP 61178325 A JP61178325 A JP 61178325A JP 17832586 A JP17832586 A JP 17832586A JP S6336117 A JPS6336117 A JP S6336117A
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JP
Japan
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level
liquid
interface
ultrasonic
liquid level
Prior art date
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Pending
Application number
JP61178325A
Other languages
English (en)
Inventor
Toshinori Murakoshi
村越 俊則
Koji Fujimaki
藤巻 耕二
Fumihiko Fukuda
服田 文彦
Shigeru Kanamori
金森 茂
Masato Kiritani
桐谷 正人
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Engineering Corp
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Engineering Corp
Toshiba Corp
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Publication date
Application filed by Toshiba Engineering Corp, Toshiba Corp filed Critical Toshiba Engineering Corp
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的1 (産業上の利用分野) 本発明は固体状粒子が液体中に混入しているような液体
の液面レベルと、液体中の液層と固定状粒子の沈[1と
の界面レベルを検出する液面レベル・界面レベル検出装
置に関する。
(従来の技術) 例えば粉末状あるいは粒子状の固体(以下固体状粒子と
いう)が混入しているような液体を貯留した貯槽では、
液体の比重と固体状粒子の比重の違いにより固体状粒子
の沈澱層と液留との二層に分離する。但し沈澱層の上に
液層が位置する。
このような固体状粒子が混入した液体にあっては、固体
状粒子の割合が高くなると貯槽の系外への固体状粒子の
流出・混入が懸念されるために、安全を見込んだ規定値
下での液面レベル、及び界面レベルの監視が必要となる
。そこで従来の液面レベル・界面レベル検出装置の構成
について説明する。
まず第1の従来例を第6図を参照して説明する。
第6図は超音波式レベル検出器により液面レベルを検出
するとともに、ディスプレーサにより界面レベルを検出
するものである。図中符号1は貯槽である。この貯槽1
内には固体状粒子2を含有した液体3が貯留されており
、上記固体状粒子2tま図にも示すように下方に沈澱し
て沈澱層4を形成している。この沈′R層4の上方に液
層5が形成されており、これら沈’11M4と液層5と
の間には界面6が形成されている。又符号7は液面であ
る。
貯槽1の上端壁1aには超音波式レベル検出器8が設置
されており、この超音波式レベル検出器8により液面7
までの距離を検出する。上記超音波式レベル検出器8に
はレベル指示計9が接続されている。まず超音波式レベ
ル検出器8より超音波aが発信され、この超音波aの液
面7からの反射波すが超音波式レベル検出器8に受信さ
れる。
この発信波aと受信波すどの時間差より超音波式レベル
検出器8から液面7までの距離を算出し、その距離と超
音波式レベル検出器8自体のレベルとから液面7のレベ
ルを算出するものである。算出された液面レベルは上記
レベル指示計9に指示される。
次に界面6の検出であるが、これはディスプレーサ11
がディスプレーサガイド12に沿って上下動し、液体3
と固体状粒子2との比重差により形成された界面6にて
静止することによって検出される。すなわちその時のテ
ープ13の長さを検出して、上端壁1aのレベルから減
算することにより界面6のレベルを検出するものである
。尚図中符号14はディスプレーサ式レベル検出器であ
り、又符号15はレベル指示計である。このレベル指示
計15に界面6のレベルが指示される。
しかしながら上記液面レベル・界面レベル検出装置にあ
っては以下のような問題がある。
■まず超音波式レベル検出器8であるが、空気中におけ
る超音波の伝搬速度が周囲の雰囲気によって影響を受け
ないように貯槽1内の雰囲気温度および圧力を一定に保
持する必要があり、又超音波の伝搬路中に障害物がない
ことが必要である。ところが貯槽1内に貯留される液体
3の温度は一定ではなく、また貯留中でも温度は変化す
る。したがってそれに伴い貯tWI内の雰囲気温度、湿
度および圧力も変動してしまうのである。よって精度の
高い測定を行なう為には上記温度等の変化によって補正
を施す必要があり、煩雑な処理を余1!≧くされてしま
うのである。
■次に界面6の検出であるが、界面6を検出するために
はディスプレーサ11をその都度上下動させなければな
らない。換言すれば連続的な検出ができないという問題
があった。またディスプレーサ11はある一定の密度の
固体状粒子2に対してのみ検出可能なように設計される
ものであり、よって固体状粒子2の密度が変化するよう
な場合には正確な検出が不可能となると言う不具合もあ
った。
次に第7図を参照して第2の従来例を説明する。
この第2の従来例はまずエアーバージ式液面計により液
面7を検出するものである。図中符号21はバブラー管
であり、このバブラー管21にはエアー供給配管22を
介して一定量のエアーが供給される。その際エアーの供
給圧力は液面7のレベルに応じて変化し、この供給圧力
と大気圧との差圧を差圧計23により検出することによ
り液面7のレベルを検出するものである。
一方界面6の検出であるが、これは超音波レベルスイッ
チ24によりなされる。上記超音波レベルスイッチ24
には検出部25a及び25bにて超音波の送/受信が行
なわれ、液体3中での送/受信メカニズムと固体状粒子
2中での送/受信メカニズムとの相違を利用して界面6
を検出するものである(固体状粒子2は超音波を遮る)
しかしなかなかかる構成の液面・界面検出装置によると
以下のような問題がある。■まず液面7の検出であるが
、バブラー管21からのエアーの供給が停止すると固体
状粒子2がバブラー管2内に人込み、バブラー管21の
内部に付着するという問題があり、RRの場合には測定
不能となってしまう。
■また界面6の検出であるが、この場合にも最初の従来
例の場合と同様に連続して検出できないという問題があ
る。すなわち界面6が規定値に達しないと検出できない
のである。また超音波レベルスイッチ24を貯槽1の側
部より貫通配置させているので保守・点検を行なおうと
する場合には貯槽1内から液体を排出しなければならな
いという問題がある。
次に第8図及び第9図を参照して第3の従来例を説明す
る。図中符号31は超音波式レベル検出器であり、この
超音波式レベル検出器31は第1の従来例で示した超音
波式レベル検出器8と同様の作用により液面7のレベル
を検出する。
次に界面6の検出であるが、これは別の超音波レベルス
イッチ32によりなされる。この超音波レベルスイッチ
32は前記第2の従来例における超音波レベルスイッチ
24と同様のものであってその下端部に検出部33及び
34を備えている。
これら検出部33.34は第9図に示すように平面的に
配置された発信部35およびセンサ36とから構成され
ている。つまり発信部35から超音波を発信し、これを
センサ36で検出するものである。そして検出部33或
いは34が沈澱層4中に入っていると上記超音波が遮ら
れセンサ36に検出されなくなる。これによって界面6
が規定値に達したことを確認するものである。
この従来例においても以下のような問題がある。
■先ず超音波式レベル検出器31の場合には第1の従来
例の超音波式レベル検出器8と同様雰囲気状態の変化に
伴う誤差、その誤差を補正するための煩雑な処理という
問題がある。
■界面6の検出については前記2つの従来例と同様に連
続的な検出ができないという問題がある。
つまり規定値に達しないと界面6を検出することができ
ないのである。
(発明が解決しようとする問題点〉 このように従来の液面レベル・界面レベル検出装置にあ
っては、信頼性の高い検出を行なう上で種々の問題があ
り、本発明はこのような点に基づいてなされたものでそ
の目的とするところは、複雑な構成および煩mな操作を
要することなく高い精度で液面レベル及び界面レベルを
検出することができ、且つ界面レベルでは連続的な検出
を可能とする液面レベル・界面レベル検出装置を提供す
ることにある。
[発明の構成] (問題点を解決するための手段) すなわち第1の発明による液面レベル・界面レベル検出
装置は、固体状粒子を含有する液体を貯留する貯槽にあ
って上記液体の液面レベルを検出するとともに液体中の
液層と固体状粒子の沈澱層との界面レベルを検出する液
面レベル・界面レベル検出装置において、上記液面に浮
遊し液面の変動に伴って上下動するフロートと、上記貯
槽の外部に取付けられ上記フロートに連結されたテープ
の長さによって液面レベルを検出するフロート式レベル
検出器と、上記フロートに取付けられ上記界面に向って
超音波を発信するとともに界面からの反射波を受信して
液面と界面との距離を検出する超音波式レベル検出器と
、上記フロート式レベル検出器からの検出信号と上記超
音波式レベル検出器からの検出信号を処理して液面レベ
ルおよび界面レベルを算出するとともにそれを指示する
111u処理手段とを具備したことを特徴とするもので
ある。
また第2の発明による液面レベル・界面レベル検出装置
は、固体状粒子を含有する液体を貯留する貯槽にあって
上記液体の液面レベルを検出するとともに液体中の液層
と固体状粒子の沈la層との界面レベルを検出する液面
レベル・界面レベル検出装置において、上記液面に浮遊
し液面の変動に伴って上下動するフロートと、このフロ
ートに取付けられ上記界面に向って超音波を発信すると
ともに界面からの反射波を受信して液面と界面との距離
を検出する第1の超音波式レベル検出器と、上記液面と
貯槽の上端壁との距離を検出する第2の超音波式レベル
検出器と、これら第1の超音波式レベル検出器からの検
出信号と第2の焔音波式レベル検出器からの検出信号と
を演算処理して液面レベル及び界面レベルを算出すると
ともにこれを指示する演算処理手段とを具備したことを
特徴とするものである。
(作用) つまり第1の発明は、まずフロートの上下動によりその
長さが変化するテープを介してフロート式レベル検出器
により液面レベルを検出するとともに、超音波式レベル
検出器により液面と界面との距離を検出し、これらを基
にして演算処理手段により液面レベル及び界面レベルを
算出し且つ指示するものである。
また第2の発明はフロートに取付けられた第1の超音波
式レベル検出器により液面と界面との距離を検出すると
ともに、第2の超音波式レベル検出器により液面と貯槽
上端壁との距離を検出し、これら各検出信号を基に演算
処理手段により液面レベル及び界面レベルを算出しかつ
指示するものである。
(実施例) 以下第1図及び第2図を参照して本発明の第1の実施例
を説明する。尚従来と同一部分には同一符号を付して示
しその説明は省略する。図中符号101は超音波式レベ
ル検出器であり、この超音波式レベル検出器101は第
2図にも示すようにフロート102に取付けられている
。上記フロート102は液面7位置にて浮遊し液面7の
変動に伴ないフロートガイド103に沿って上下動する
尚このフロートガイド103は貯槽1の底壁1bから上
@壁1aまで配置されている。そして上記超音波式レベ
ル検出器101は界面6に対して超音波を発信し、界面
6からの反射波を受信する。
そして発信波と受信波との時間差により液面7と界面6
との距II(hl>を検出する。
また図中符号104は上記)D−ト102に連結された
テープであって、このテープ104はフロート1o2の
位置によってその長さが変化する。
貯槽1の側部にはフロート式レベル検出器105が設置
されており、このフロート式レベル検出器105は上記
テープ104の長さと貯槽1の上端壁1aのレベルとか
ら液面7のレベルを検出する。
そしてM3@波式レベル検出器101の検出信号とフロ
ート式レベル検出器105の検出信号とは演算処理部1
06に入力される。演算処理部106はそれに基づいて
液面7のレベル(h++ )と界面6のレベル(h2)
を譚出し、2針式レベル指示計106aに夫々指示させ
る。
以上の構成を基にその作用を説明する。まず超音波式レ
ベル検出器101によって液面7と界面6との距離(h
l)が検出される。その際超音波式レベル検出器101
は固体状粒子2(こ対して3ト接触の状態にあるので、
固体状粒子2の密度変化に影響されることはない。一方
液面7のレベル(ha)についてはフロート式レベル検
出器105により検出される。これらの検出信号しよ演
譚処理部106に入力される。そして界面6のレベル(
hl)は以下の式により算出される。
(hl  )  −(ho   )  −(hl   
)  ・・・ ・・・ (I>このようにして算出され
た液面7のレベル(ha )及び界面6のレベル(hl
)は2針式レベル指示計106により夫々指示される。
以上本実施例によると以下のような効果を奏することが
できる。
■まず液面7のレベルの検出はもとより、界面6のレベ
ルについて連続的に検出することができる。
したがって界面7のレベルが規定値に遅する時間も予想
できるので以後の処理に対する準備も余裕を持って行な
うことができる。
■次に超音波式レベル検出器101はフロート102に
取付けられており、固体状粒子2とは非接触の状態であ
る。したがって固体状粒子2の密度変化により影響され
ることもなく、信頼性の高い検出が可能である。
次に第3図を参照して第2の実施例を説明する。
この実施例ではフロート102に第1の超音波式レベル
検出器111及び第2の超音波式レベル検出器112が
取付けられている。上記第1の超音波式レベル検出器1
11は前記第1実施例の超音波式レベル検出器101と
同様のもので液面7と界面6との距離(hl〉を検出す
る。一方第2の超音波式レベル検出器112は液面7と
貯槽1の蓋体1a内面との距1!ff(ha)を検出す
るものである。
以上の構成を基にその作用を説明する。まず第1の超音
波式レベル検出器111により液面7と界面6との距#
(tL+)が検出される。一方第2の超音波式レベル検
出器112により液面7と上端壁1a内面との距離(h
a)が検出される。これら各検出信号は演算処理部10
6に入力される。
上端壁1a内面のレベル〈h4)は既知であるから、液
面7のレベル(ho )は次の式(I[>により算出さ
れる。
(ha )−(hq  )−(t’l  )・・・・・
・(II)また界面6のレベル(hl)は次の式(I[
[)により算出される。
(hl  )  =  (h  ロ  )−(ht) 
 ・・・ ・・・ (III)以上この第2実施例によ
ると、前記第1実施例と同様の効果を奏することができ
るのはもとより、第1の実施例におけるフロート式レベ
ル検出器105を設置しない構成であるので、装置とし
ての構成が簡略化される。また液面7の検出についても
超音波式レベル検出器を使用して信号形態を合わせてい
るので、演算処理部106での信号処理が容易となる。
次に第4図及び第5図を参照して第3の実施例を説明す
る。図中符号121は超音波式レベル検出器であり、こ
の超音波式レベル検出器121はフロート122上に取
付けられている。上記フロー1〜122は液面7の変動
に伴ってフロートガイド123に沿って上下動する。上
記超音波式レベル検出器121により液面7と界面6と
の距離(ht )を検出する。−力士端壁1aには別の
超音波レベル検出器124が設置されており、この超音
波式レベル検出器124により上端壁1aと液面7との
距離(ha)を検出する。この超音波式レベル検出器1
24及び前記超音波式レベル検出器121からの検出信
号は演算処理部106の変換器125.126に入力さ
れる。これら変換器125及び126で変換された信号
は加減演算器127に入力されて処理され、液面7のレ
ベル(ha)及び界面6のレベル(hl)か算出される
。これらはレベル指示計106aにて指示される。
以上の構成を基にその作用を説明する。まず超音波式レ
ベル検出器121により液面7と界面6との距離(hl
)を検出するとともに、if!4音波式レベル検出器1
24により上端壁1aと液面7との距wi(ha)を検
出する。これら各検出信号は演算処理部106の各変換
器125及び126に入力されるとともに、変換された
信号は加減演算器127に入力される。そしてまず液面
7のレベル(ha)は既知のレベル(h4 )と上記距
離(ha)より次の式により算出される。
(ho )= (hq )−(hq ) ・・・・・・
(IV)又界面6のレベル(hl)は次の式により算出
される。
(h2)= (ho )−(hl )= (V)以上こ
の第3の実施例の場合にも前記第2の実施例の場合と略
同様の効果を秦することができる。
[発明の効果コ 以上詳述したように本発明による液面レベル・界面レベ
ル検出装置によると、液面レベル及び界面レベルな高い
精度で連続的に検出することができ、液面レベル及び界
面レベルを監視する上で極めて効果的である。
【図面の簡単な説明】
第1図及び第2図は本発明の第1の実施例を示す図で、
第1図は液面・界面検出装置の構成図、第2図は第1図
の一部を拡大して示す断面図、第3図は第2の実施例に
よる液面・界面検出装置の構成図、第4図および第5図
は第3の実施例を示す図で第4図は液面・界面検出装置
の構成図、第5図は第4図のv−■断面図、第6図乃至
第9図は従来例を示す図で、第6図乃至第8図は液面・
界面検出装置の構成図、第9図は第8図の■−rX断面
図である。 1・・・貯槽、2・・・固体状粒子、3・・・液体、4
・・・沈澱層、5・・・液層、6・・・界面、7・・・
液面、101・・・超音波式レベル検出器、102・・
・フロート、104・・・テープ、105・・・フロー
ト式レベル検出器、106・・・演弾処理部、111.
121・・・第1の超音波式レベル検出器、112.1
24・・・第2の超音波式レベル検出器。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 !!6図 に57図 第8図 第 9凶

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)固体状粒子を含有する液体を貯留する貯槽にあつ
    て上記液体の液面レベルを検出するとともに液体中の液
    層と固体状粒子の沈澱層との界面レベルを検出する液面
    レベル・界面レベル検出装置において、上記液面に浮遊
    し液面の変動に伴って上下動するフロートと、上記貯槽
    の外部に取付けられ上記フロートに連結されたテープの
    長さによって液面レベルを検出するフロート式レベル検
    出器と、上記フロートに取付けられ上記界面に向つて超
    音波を発信するとともに界面からの反射波を受信して液
    面と界面との距離を検出する超音波式レベル検出器と、
    上記フロート式レベル検出器からの検出信号と上記超音
    波式レベル検出器からの検出信号を演算処理して液面レ
    ベルおよび界面レベルを算出するとともにそれを指示す
    る演算処理手段とを具備したことを特徴とする液面レベ
    ル・界面レベル検出装置。
  2. (2)固体状粒子を含有する液体を貯留する貯槽にあつ
    て上記液体の液面レベルを検出するとともに液体中の液
    層と固体状粒子の沈澱層との界面レベルを検出する液面
    レベル・界面レベル検出装置において、上記液面に浮遊
    し液面の変動に伴って上下動するフロートと、このフロ
    ートに取付けられ上記界面に向って超音波を発信すると
    ともに界面からの反射波を受信して液面と界面との距離
    を検出する第1の超音波式レベル検出器と、上記液面と
    貯槽の上端壁との距離を検出する第2の超音波式レベル
    検出器と、これら第1の超音波式レベル検出器からの検
    出信号と第2の超音波式レベル検出器からの検出信号と
    を演算処理して液面レベル及び界面レベルを算出すると
    ともにこれを指示する演算処理手段とを具備したことを
    特徴とする液面レベル・界面レベル検出装置。
  3. (3)上記第2の超音波式レベル検出器は上記フロート
    に取付けられており、貯槽の上端壁に向って超音波を発
    信するとともに上端壁からの反射波を受信して液面と上
    端壁との距離を検出するものであることを特徴とする特
    許請求の範囲第2項記載の液面レベル・界面レベル検出
    装置。
  4. (4)前記第2の超音波式レベル検出器は、貯槽の上端
    壁に取付けられ液面に向かつて超音波を発信するととも
    に液面からの反射波を受信して液面と上端壁との距離を
    検出するものであることを特徴とする特許請求の範囲第
    2項記載の液面レベル・界面レベル検出装置。
JP61178325A 1986-07-29 1986-07-29 液面レベル・界面レベル検出装置 Pending JPS6336117A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102784788A (zh) * 2012-08-28 2012-11-21 常州捷佳创精密机械有限公司 硅片清洗槽液位控制及补液装置
CN104614040A (zh) * 2015-02-03 2015-05-13 北京城建亚泰建设集团有限公司 一种物料探测装置及方法
KR101939494B1 (ko) * 2017-09-18 2019-01-16 한전케이피에스 주식회사 수위 측정 장치

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