JPS6333099B2

JPS6333099B2 -

Info

Publication number: JPS6333099B2
Application number: JP53098615A
Authority: JP
Inventors: Kenesei Bera
Original assignee: Bausch and Lomb Inc
Current assignee: Bausch and Lomb Inc
Priority date: 1977-08-17
Filing date: 1978-08-11
Publication date: 1988-07-04
Also published as: JPS5449194A; US4151418A; CA1095637A; DE2836106A1

Description

【発明の詳細な説明】本発明はＸ線アナライザー（electron probe
Ｘ―ray analyzer）の分光器、より詳しくはこ
の種の機器のための新しい分光結晶支持装置に関
する。

Ｘ線マイクロアナライザーは固形試料の表面上
の小さな区域のＸ線分光化学分析用の機器であ
る。この機器は基本的には三つの構成部分、すな
わち(a)試料上に電子ビームを集中させる電子光学
系と、(b)電子照射により試料から放射されたＸ線
を分析するＸ線光学系と、(c)分析されるべき正確
な区域を選定するための光学顕微鏡の如き観察系
とからなる。

米国特許第3107297号明細書に記載されている
ようなこの種の機器においては、電子光学系と観
察系とは同軸上にあり、Ｘ線分析系によつて検知
されるＸ線の出射角は、所望のライン―バツクグ
ラウンド比（line―to―background ratio）を得
るため、および表面の凹凸の影響を最小にするた
めに、最大にされる。その結果これらの要素がコ
ンパクトになるとこの種の機器のＸ線光学系の設
計に特別な問題が生じる。

この種の機器において波長の分散ないし分光に
使用される分光結晶（以下単に結晶という）によ
る回折は、結晶がＸ線源に対して設定されたそれ
ぞれの角度において特定の波長のＸ線のみを回折
する特性による。

ブラツグ角と呼ばれるこの角度が変ると、回折
される波長も変るが、一つの結晶は限られたブラ
ツグ角の範囲内でのみ有効に作用する。従つて、
Ｘ線スペクトルの広い範囲内でＸ線を検出するた
めには、それぞれスペクトルの異なつた部分を能
率よく回折する異なつた特性を有する多数の結晶
が使用される。

この種の機器における結晶は排気された室内に
配置される必要があるので、この真空を破ること
なく結晶の交換を行なうための種々の機構が提案
されている。これらの機構では、二つの結晶を背
中合わせにホルダーに取付け、遠隔制御機構で
180゜回転させることによつて結晶を互いに分析位
置に交換配置できるようにしている。

しかし、Ｘ線スペクトルの十分な範囲を走査す
るには二つの結晶では通常十分ではない。従つ
て、多数の結晶を遠隔操作によつて回転可能な円
筒状取付部材の周面上のホルダーにそれぞれ配置
し、これらの結晶のいずれをも分析位置に位置付
けるようにした構成も提案されている。

しかし、このような構成においても、取付けら
れた結晶を移動させることができる角度が限定さ
れる。これはこの種の装置における観察光学系
が、装置の形態上結晶のホルダーの運動を機械的
に制限するからであり、従つて所望の低いブラツ
グ角まで結晶を動かすことができない。

本発明の目的は上述した従来の機構の欠点を除
き、一連の結晶を遠隔操作によつて分析動作位置
に交換配置し、しかもこれらの結晶を所望の低い
ブラツグ角に設定することができる機構を提供す
ることにある。

本発明によれば、円筒の一部分の形をした部材
（円筒セグメントという）を有する結晶ホルダー
支持機構に複数の結晶のそれぞれの取付手段を設
け、円筒セグメントをその軸のまわりに回転ない
し移動させることによつて各結晶を分析動作位置
に移動配置できるように構成されている。

結晶ホルダー支持機構は分析動作位置にある結
晶のブラツグ角を変えるために、従来の結晶ホル
ダーと同じように可動に取付けられている。円筒
セグメントの凹部が電子光学系と観察系の共通軸
の方に向けられているので、どの結晶が分析動作
位置に置かれても、結晶ホルダーは上記共通軸に
対して従来技術で可能である以上に接近させるこ
とができ、従つて観察光学系を磁気対物レンズに
接近させた配置において達成可能なブラツグ角の
範囲を拡大することができる。

以下本発明を図面の実施例によつて詳細に説明
する。

第１図は米国のボシユ・アンド・ロム・インコ
ーポレイテツドによつて製造された装置の一部で
あり、米国特許第3107297号明細書に記載された
装置と類似のものを示す。従つて本明細書で記載
されていない詳細部分については上記米国特許明
細書を参照されたい。

本発明の装置は電子源２０とこの電子源からの
電子ビームを試料台２４に配置されたビーム照射
試料に集束するための電磁対物レンズ２２とから
なる。

この装置はさらに被照射物質を観察するために
電子ビームと同軸をなす円筒状観察光学系２６を
備えている。この光学系は試料台２４に近接配置
され、電磁対物レンズ２２の間隙２８内に突入す
る円錐台状部分２７を有している。

この装置の動作において、前記米国特許明細書
に記載されているように、電子ビームの照射に応
じて試料台２４上の物質から放射されたＸ線は線
２９に沿つて間隙２８を通り、結晶によつて屈折
され線３０に沿つて検出器へ導かれる。

米国特許第3123710号明細書に詳述されている
ようなリンク機構によつて、この分光器のブラツ
グ角の調節範囲にわたつて試料、結晶および検出
器の間の正しい焦点関係を維持するようになつて
いる。

本発明の装置は前述の米国特許第3107297号明
細書に記載された単一結晶ホルダーと同様に結晶
位置付け機構の一構成部分であるキヤリツジ３５
（第１図）を有し、このキヤリツジは電子ビーム
と交叉する直線経路に沿つて移動でき、円筒セグ
メントを軸のまわりに揺動させ、そこに取付けら
れた結晶を前述の米国特許第3107297号に記載さ
れた結晶と同様に一定のブラツグ角の範囲内で揺
動させる。

第１図に示すように、キヤリツジ３５は間隔を
置いて穿設された取付け孔３７を有するベース３
６を備えている。延長部３８（第３図，第４図）
には、孔４０が設けられ、この孔内でベアリング
４２によつて回転可能にシヤフト４１が支持され
ている。

シヤフト４１の一端は延長部３８を越えて延長
突出しており、このシヤフトの突端部に分割円筒
部材ないし円筒セグメント４５のハブ４３が固定
されている。ウエブ４６がハブ４３と部材４５を
連結している。

シヤフト４１の他端には歯車４７が固定され、
この歯車はキヤリツジ３５のフランジ５１に取付
けられた二相ステツパモータ５０に連結されてい
る。

セグメント４５の外周面には４個の結晶ホルダ
ー５５がねじ５６によつて所定位置に調節可能に
固定されている。結晶（図示せず）は公知方法で
ホルダー５５の外面に固着されている。

結晶ホルダー５５の所望の一つを動作位置に一
致させるのは機械的もどり止め（detent）機構に
よつて行なわれる。この機構はシヤフト４１に固
定された扇形部材５７を有し、この部材５７の歯
５８には部材３５に設けたノツチ６２内でピン６
１によつて回動可能に取付けられたレバー６０の
一端近くの回転ローラ５９が係合される。圧縮ば
ね６３がレバー６０の一端と部材３５の間に介在
されてローラ５９を扇形部材５７に対して押しつ
けている。

歯５８のそれぞれの底辺の間の角度間隔は各結
晶ホルダー５５の中心の間の角度間隔と同じであ
り、モータ５０が消勢されるときはいつでもシヤ
フト４１が四つの位置のうちの一つに正確に位置
付けられ、従つて結晶ホルダー５５の所望の一つ
を動作位置に配置できる構成になつている。

円筒セグメント４５の位置を指示し、モータ５
０の動作を制御するために円筒セグメント４５の
位置付けを記録する手段が設けられている。この
手段は円筒セグメント４５のハブ４３に止めねじ
７１によつて固定されたアーム７０（第６図をも
参照）からなる。アーム７０の凹所７２（第３
図）にばね７３が嵌入されている。このばねは凹
所７２の底とこの凹所に摺動嵌入された電気接触
子７５との間に圧縮介在されている。

部材５の孔７７中に絶縁スリーブに被覆された
モータ位置帰還接点SW₁₂（第９図）が配備されて
いる。これらの接点の配置角度間隔は結晶ホルダ
ー５５の配置角度間隔と同じである。この構成に
よつて一つの結晶ホルダー５５が動作位置にある
ときはいつでも、これに対応する接点SW₁₂の一
つが接点７５との接触によつて接地される。

所望の動作位置を指示する回路を閉じることに
より、結晶ホルダー機構を一つの動作位置から直
接他の動作位置に移動させる制御手段が備えられ
ている。

この制御手段を第７図、第８図および第９図に
示す。２相同期電動機５０は特にステツプ動作の
ために設計されたもので、モータ巻線の端子間電
圧は普通の正弦波ではなく矩形波である。ステツ
パモータ１０１に加えられる矩形波は例えば第８
図にφ₁〜φ₄で示すような波形である。このモー
タとしては米国、カリフオルニア州、サンタフエ
スプリングズのコンピユータ・デバイシイズ・コ
ーポレイシヨン製の定格0.000012馬力の商標名ラ
ピツド―シン（Rapid―Syn）のような機種が使
用できる。

制御手段は固体閉ループデイジタル制御回路を
含む。この回路のブロツクダイヤグラムを第７図
に、また論理詳細図を第９図に示す。

制御回路は手動あるいはコンピユータで制御さ
れる。図示実施例においては、モータ５０を順方
向あるいは逆方向に最小角度でどの特定位置から
でも他の選択された位置へステツプさせることが
できる。

第７図に示すように、閉ループデイジタル制御
回路は、手動あるいはコンピユータで制御される
４位置切換目的位置スイツチSW₁₀と、モータ５
０に機械的に連結されかつモータが一つの角位置
から他の角位置へステツプするのに応じて一つの
スイツチ接点から他の接点にステツプするモータ
位置帰還（フイードバツク）コミユテータスイツ
チSW₁₂とによつて制御される。

モータ位置帰還スイツチSW₁₂は10進―２進変
換器１０３に接続されている。この変換器はスイ
ツチSW₁₂の四つのスイツチ位置を２―ビツト２
進位置コードＡに変換する。目的位置入力スイツ
チSW₁₀も同様の10進―２進変換器１０５に接続
されている。この換器器はスイツチSW₁₀の四つ
のスイツチ位置を２―ビツト２進目的位置コード
Ｂに変換する。

変換器１０３，１０５からの２進出力は比較器
１０７に導入される。この比較器は変換器１０３
からの２進信号Ａが変換器１０５からの２進信号
Ｂより小であるときは、出力信号をアンドゲート
１１０に導入する。比較器１０７は変換器１０３
からの２進信号Ａが変換器１０５からの２進信号
Ｂより大きいときは出力信号をアンドゲート１１
４に導入する。比較器１０７は、変換器１０３と
１０５からの２進信号ＡとＢが互いに等しいとき
は、クロツク発振器１０９に出力信号を送つてそ
の動作を停止させる。

変換器１０３と１０５からの２進信号が等しく
ないときは、クロツク発振器１０９が第８図に示
すクロツクパルスＣを発生する。このクロツクパ
ルスはアンドゲート１１０と１１４を介して変換
器１１２に送られ、ここでクロツクパルスが第８
図に示すモータ制御方形波φ₁〜φ₄に変換される。
これらの方形波はそれぞれアンドゲート１２６，
１２８，１３０，１３２およびパワートランジス
タQ₁，Q₂，Q₃，Q₄を介してモータ５０の巻線に
送られる。この巻線は24ボルト直流電源の正端子
に接続されている。

変換器１０３からの２進信号Ａが変換器１０５
からの２進信号Ｂより小さいときは、モータ５０
はその目的位置に向つて順方向に歩進し、２進信
号Ａが２進信号Ｂよりも大きいときは、モータ５
０はその目的位置に向つて逆方向に歩進する。こ
れは変換器１１２がリード線Ｆまたはリード線Ｒ
のいずれかのクロツクパルスに応答して、方形波
φ₁〜φ₄をアンドゲート１２６，１２８，１３０，
１３２およびパワートランジスタQ₁，Q₂，Q₃，
Q₄を介してモータ５０の界磁巻線に加えること
によつて達成される。

変換器１１２は、アンドゲート１１０が動作し
たときにはモータの順方向運動のための特定位相
で、またアンドゲート１１４が動作したときには
モータの逆方向運動のための特定位相で、モータ
５０の界磁巻線に方形波φ₁〜φ₄を加える。

モータ５０がその目的位置に向つて順方向にス
テツプすると、モータ位置帰還スイツチSW₁₂が
一つの接点から次の接点に移動する。目的位置に
達すると、２進信号Ａが２進信号Ｂと等しくな
り、クロツク発振器１０９はクロツクパルスＣの
発生を停止する。

クロツク発振器がクロツクパルスＣの発生を停
止すると、アンドゲート１２６，１２８，１３
０，１３２が動作しなくなるのでモータ５０が目
的位置で停止する。前述したように、モータは機
械的もどり止め機構を備えているので、モータが
消勢されたときは選定された目的位置に正確に停
止する。

第９図の論理詳細図において、モータ位置帰還
スイツチSW₁₂の接点は発光ダイオードD₁，D₂，
D₃，D₄および150Ωの共通抵抗R₂₆を介して５ボ
ルト直流電源の正端子に接続されている。発光ダ
イオードはどの時点においてもモータ５０の実際
の角位置を表示する。

スイツチSW₁₂の接点は、また、例えば2719型
の集積回路チツプからなるダイオードアレー（di
―ode array）A₁₁にも接続されている。集積回
路A₁₁のピン１５，１６は10kΩの抵抗R₁₁とR₂を
介してラツチ回路L₁のＳおよびＲ入力端子に接
続されている。ピン１５，１６は更に100kΩの抵
抗R₁₀，R₁₁にも接続されている。抵抗R₁₀，R₁₁
は５ボルトの電源の正端子と、制御ユニツトのフ
レームに接続された0.01μFのコンデンサC₈，C₉
にそれぞれ接続されている。

ダイオードアレーA₁₁のピン１１，１２および
９，１０は10kΩの抵抗R₃，R₇を介してラツチ回
路L₂のＳおよびＲ入力端子に接続されている。
これらのピンは更に100kΩの抵抗R₂₄，R₂₅および
0.01μFのコンデンサC₁₀，C₁₁にも接続されてい
る。これらの抵抗は５ボルトの電源の正端子に、
またコンデンサはフレームにそれぞれ接続されて
いる。

ラツチ回路L₁，L₂のＱ出力端子は比較器１０
７を形成している集積回路のピン１０，１２に接
続されている。この集積回路は4063型を使用でき
る。この集積回路のピン３，１６は５ボルトの電
源の正端子に、また、ピン１，２，４，８，１
３，１４，１５はフレームに接続されている。

スイツチSW₁₀は、例えば2719型集積回路から
なるダイオードアレーA₁₂に接続されている。こ
の集積回路のピン１６および１４，１５は1MΩ
の抵抗R₅，R₆を介してラツチ回路L₃のＳおよび
Ｒ入力端子に接続され、ピン１１および９，１０
は1MΩの抵抗R₇，R₈を介してラツチ回路L₄のＳ
およびＲ入力端子に接続されている。

集積回路A₁₂のピン１６は10MΩの抵抗R₁₆と
0.01μFのコンデンサC₃の接続点に接続され、ピ
ン１４，１５は10MΩの抵抗R₁₃と0.01μFのコン
デンサC₄の接続点に接続されている。

同様にして、ピン１１，１２は10MΩの抵抗
R₁₄と0.01μFのコンデンサC₅の接続点に接続さ
れ、ピン９，１０は10MΩの抵抗R₁₅と0.01μFの
コンデンサC₆の接続点に接続されている。これ
らの抵抗は５ボルトの電源の正端子に、またコン
デンサはフレームに、それぞれ接続されている。

ラツチ回路L₁，L₂，L₃，L₄はすべて4044型の
単一の集積回路に含ませてもよい。ラツチ回路
L₃，L₄のＱ出力端子は集積回路比較器１０７の
ピン９，１１にそれぞれ接続されている。

第９図のラツチ回路L₁，L₂およびダイオード
アレーA₁₁は第７図の10進―２進変換器１０３を
構成しており、ラツチ回路L₃，L₄およびダイオ
ードアレーA₁₂は第７図の10進―２進変換器１０
５を構成している。

２進信号Ａが２進信号Ｂよりも小さいとき、比
較器１０７のピン７に出力が現われ、この出力が
インバータI₁からフリツプフロツプＦ／F₁のＳ入
力端子に与えられる。２進信号Ａが２進信号Ｂよ
りも大きいとき、比較器１０７のピン５に出力が
現われ、この出力がインバータI₂からフリツプフ
ロツプＦ／F₂のＳ入力端子に送られる。２進信
号Ａが２進信号Ｂに等しいときは、出力が比較器
１０７のピン６に現われ、この出力はナンドゲー
ト１０２，１０４を構成するセツト―リセツトフ
リツプフロツプとナンドゲート１００の入力端子
の一つに与えられる。ナンドゲート１００の出力
はフリツプフロツプＦ／F₁およびＦ／F₂をリセ
ツトする。ナンドゲート１００の出力は更にナン
ドゲート１０２，１０４によつて形成されたフリ
ツプフロツプをリセツトする。

クロツク発振器１０９は二つのナンドゲート１
０６，１０８によつて形成されており、ナンドゲ
ート１０８の出力は1μFのコンデンサC₁₃と
1.5MΩの抵抗R₁₆を介してナンドゲート１０６の
入力の一つに接続されている。ナンドゲート１０
６の出力はナンドゲート１０８の入力に接続され
ている。ナンドゲート１０８はインバータとして
接続されている。これら二つのナンドゲートの接
続点に500kΩのポテンシヨメータR₁₇が接続され
ている。このポテンシヨメータは抵抗R₁₆とコン
デンサC₁₃の接続点に接続されている。

クロツク発振器１０９はクロツクパルスＣをア
ンドゲート１１０と１１４に送る。このクロツク
発振器は、セツト―リセツトフリツプフロツプ１
０２，１０４がリセツトされている限り、クロツ
クパルスＣを発生する。このクロツク発振器の出
力はまた２伸カウンタCO₁にも与えられる。この
カウンタは例えば８までカウントして０（零）に
リセツトされるようになつている。カウンタCO₁
の出力はナンドゲート１００のもう一つの入力端
子に送られる。

アンドゲート１１０の出力は一連の排他的オア
ゲート１１８，１２０，１２２の各々の入力端子
の一方に接続される。アンドゲート１１４の出力
は排他的オアゲート１２０のもう一方の入力端子
に接続される。排他的オアゲート１１８，１２
０，１２２は別の排他的オアゲート１２４（これ
はインバータとして接続されている）とともに
4070型の集積回路のチツプに含ませてもよい。

排他的オアゲート１１８はフリツプフロツプ
Ｆ／F₃のＤ入力端子に、また排他的オアゲート
１２２はフリツプフロツプＦ／F₄のＤ入力端子
に、それぞれ接続されている。

排他的オアゲート１２０は1kΩの抵抗R₁₉を介
して排他的オアゲート１２４の一方の入力端子に
接続され、このオアゲートの他方の入力端子はフ
レームに接続されている。抵抗R₁₉は更に0.01μF
のコンデンサC₇を介してフレームにも接続され
ている。排他的オアゲート１２４の出力はフリツ
プフロツプＦ／F₃およびＦ／F₄のＣ入力端子に
接続されている。

フリツプフロツプＦ／F₃のＱ出力はアンドゲ
ート１２６に接続され、また、出力はアンドゲ
ート１２８と排他的オアゲート１２２の第２の入
力端子とに、それぞれ接続されている。フリツプ
フロツプＦ／F₄のＱ出力はアンドゲート１３０
と排他的オアゲート１１８の第２の入力端子とに
接続され、出力はアンドゲート１３２に接続さ
れている。

セツト―リセツトフリツプフロツプ１０２，１
０４の出力端子は更に使用中回線（busy line）
によつて10kΩの抵抗R₂₇を介してアンドゲート１
２６，１２８，１３０，１３２のそれぞれ第２の
入力端子に接続されている。抵抗R₂₇は更に停止
スイツチS₂にも接続されている。このスイツチの
可動アームはフレームに接続されている。

アンドゲート１２６，１２８，１３０，１３２
は10kΩの抵抗R₂₀，R₂₁，R₂₂，R₂₃を介してパワ
ートランジスタQ₁，Q₂，Q₃，Q₄に接続されてい
る。トランジスタQ₁〜Q₄としては2N6044型を使
用できる。これらのトランジスタのエミツタはフ
レームに、またコレクタはモータの巻線に接続さ
れ、またダイオードCR₁，CR₂，CR₃，CR₄を介
して24ボルトの直流電源に接続されている。

第９図の回路の動作において、２進信号Ａが２
進信号Ｂと等しくないときは、クロツク発振器１
０９がクロツクパルスＣを発生し、このクロツク
パルスをアンドゲート１１０と１１４に入力す
る。２進信号Ａが２進信号Ｂよりも小さいと、フ
リツプフロツプＦ／F₁がセツトされ、これによ
つてアンドゲート１１０が動作する。２進信号Ａ
が２進信号Ｂより大きいと、フリツプフロツプ
Ｆ／F₂がセツトされ、これによつてアンドゲー
ト１１４が動作する。

アンドゲート１１０が動作すると、フリツプフ
ロツプＦ／F₃およびＦ／F₄が特定の位相で四つ
の方形波Q₁，Q₂，Q₃，Q₄を発生するように動作
するので、モータ５０は選択された目的位置へ順
方向にステツプする。他方フリツプフロツプＦ／
F₂がセツトされると、フリツプフロツプＦ／F₃
およびＦ／F₄が、モータ５０が選択された目的
位置へ向つて逆方向に駆動されるようなタイミン
グで四つの方形波を発生させる。

図示実施例においては、モータ５０を一つの位
置から次の位置へステツプさせるのに８個のクロ
ツクパルスＣが必要である。カウンタCO₁は８番
目のクロツクパルスに対して出力を発生し、これ
がナンドゲート１００に送られる。しかしこのナ
ンドゲート１００は、所望の目的位置に達するま
では動作せず、目的位置に達したとき、２進信号
Ａが２進信号Ｂに等しくなる。そうすると、カウ
ンタCO₁からの出力パルスがナンドゲート１００
を通りセツト―リセツトフリツプフロツプ１０
２，１０４のセツト入力端子に入りこれをセツト
してクロツク発振器１０９を停止させるととも
に、フリツプフロツプＦ／F₁，Ｆ／F₂をもリセ
ツトする。

フリツプフロツプ１０２，１０４がセツトされ
ると、直ちに使用中回線を介してアンドゲート１
２６，１２８，１３０，１３２が動作しなくな
り、モータを停止させる。停止スイツチS₂を閉じ
ることによつてアンドゲート１２６，１２８，１
３０，１３２を不動作にし、モータをどの位置に
おいても停止させることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明一実施例の分光結晶支持装置を
備えたＸ線マイクロアナライザーの関連部分の正
面図、第２図は第１図の分光結晶支持装置の斜視
図、第３図は第２図の装置の平面図で一部を断面
で示した図、第４図は同装置の正面図で一部を断
面で示した図、第５図は第３図の５―５線断面
図、第６図は第３図の６―６線断面図、第７図は
モータ制御回路のブロツク図、第８図はモータの
制御信号波形図、第９図はモータ制御回路の詳細
図である。２０…電子源、２２…電磁対物レンズ、２４…
試料台、２６…観察光学系、３５…キヤリツジ、
４１…シヤフト、４５…円筒セグメント、５０…
モータ、５５…結晶ホルダー、７５，７７…電気
接点、１０３，１０５…10進―２進変換器、１０
７…比較器、１０９…クロツク発振器、１１２…
クロツクパルス―モータ制御信号変換器。

Claims

【特許請求の範囲】１試料台と、電子源と、この電子源からの電子
ビームを前記試料台に配置されたビーム照射試料
に集束させる空隙を有する対物磁気レンズを含む
手段と、電子ビームの経路と同軸をなし前記対物
磁気レンズの空隙内に延長する円錐部を有する円
筒状光学観察手段と、前記電子ビームの経路に対
して鋭角をなす経路に沿つて分光結晶を移動可能
に位置付けする分光結晶位置付け機構とからなる
Ｘ線アナライザーにおいて、前記分光結晶位置付け機構に固定される支持部
材と、この支持部材に回転可能に支持されたシヤ
フトと、このシヤフトにこれと同軸に取付けられ
前記円筒状光学観察手段を部分的に包囲する内側
凹面を有する円筒セグメントと、この円筒セグメ
ントの外側凸面に取付けられた複数の結晶ホルダ
ーと、前記支持部材に取付けられ前記シヤフトを
駆動するステツプモータとからなることを特徴と
する分光結晶支持装置。２前記円筒セグメント上の前記結晶ホルダーの
位置を各別に調節する手段を有する特許請求の範
囲第１項に記載の分光結晶支持装置。３前記円筒セグメントを予め定められた間隔の
回動位置に一致させて前記結晶ボルダーのそれぞ
れを択一的に所望の動作位置に位置付ける手段を
有する特許請求の範囲第１項に記載の分光結晶支
持装置。４前記支持部材に配備した一連の電気接触子
と、前記シヤフトの回転によつて前記結晶ボルダ
ーがそれぞれ予め定められた位置に位置付けられ
るときに前記電気接点の一つに接触する対応接触
子とを有する特許請求の範囲第１項に記載の分光
結晶支持装置。