JPS6332976A - 電歪効果素子の製造方法 - Google Patents
電歪効果素子の製造方法Info
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- JPS6332976A JPS6332976A JP61176005A JP17600586A JPS6332976A JP S6332976 A JPS6332976 A JP S6332976A JP 61176005 A JP61176005 A JP 61176005A JP 17600586 A JP17600586 A JP 17600586A JP S6332976 A JPS6332976 A JP S6332976A
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- glass powder
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は電歪効果素子の製造方法に関し、特に積層スラ
イス板の端面に露出した内部電極を選択的に絶縁する方
法に関するものである。
イス板の端面に露出した内部電極を選択的に絶縁する方
法に関するものである。
従来電歪効果素子の製造方法において、積層スライス板
の両側面に露出した内部電極の端面を一層おきに、しか
もそれぞれの側面で互いちがいに絶縁する方法としては
第７図に示すように積層スライス板５の内部電極２が露
出した面の片面を粘着テープ９で被い、電泳浴１１の液
によってぬれるのを防いだ後、電泳浴１１に積層スライ
ス板５を沈め、仮電極６ａと対向電極１０との間に電圧
をかけ電気泳動法により内部電極２上にガラス粉末を電
着させ、その後ベルト炉等の炉を用いてガラス粉末を焼
成して第６図に示すようにガラス被膜３ａを積層スライ
ス板５上に固着させる。次に反対側の面にもガラス被膜
３ｂヲ形成するために既にガラス被膜３ａを形成した面
を前工程と同じように粘着テープ９で被った後、電泳浴
１１に沈めてガラス粉末を電着させ、その後ガラス粉末
を焼成して、ガラス被膜３ｂを形成していた。
の両側面に露出した内部電極の端面を一層おきに、しか
もそれぞれの側面で互いちがいに絶縁する方法としては
第７図に示すように積層スライス板５の内部電極２が露
出した面の片面を粘着テープ９で被い、電泳浴１１の液
によってぬれるのを防いだ後、電泳浴１１に積層スライ
ス板５を沈め、仮電極６ａと対向電極１０との間に電圧
をかけ電気泳動法により内部電極２上にガラス粉末を電
着させ、その後ベルト炉等の炉を用いてガラス粉末を焼
成して第６図に示すようにガラス被膜３ａを積層スライ
ス板５上に固着させる。次に反対側の面にもガラス被膜
３ｂヲ形成するために既にガラス被膜３ａを形成した面
を前工程と同じように粘着テープ９で被った後、電泳浴
１１に沈めてガラス粉末を電着させ、その後ガラス粉末
を焼成して、ガラス被膜３ｂを形成していた。
上述した従来の電歪効果素子の製造方法け（７）電着す
る毎に片面交互に粘着テープを粘るため工数の低減、及
び自動化が困難である。
る毎に片面交互に粘着テープを粘るため工数の低減、及
び自動化が困難である。
（イ）片面ずつガラス焼成を行なうため工数の低減が困
雄であるのみならず一方の面に電着したガラス粉末は二
度焼成されることになシガラス被膜の劣化をまねくとい
う欠点があった。
雄であるのみならず一方の面に電着したガラス粉末は二
度焼成されることになシガラス被膜の劣化をまねくとい
う欠点があった。
上述した従来の電歪効果素子の製造方法に対し、本発明
は積層スライス板の、ガラス粉末を電着させたくない面
に貼るマスキングテープを不要とし、また両面に電着し
たガラス粉末を１度で焼成するために、ガラス粉末を電
着させたくない面のみ電泳浴に浸すことを可能だした独
創的内容を有する。
は積層スライス板の、ガラス粉末を電着させたくない面
に貼るマスキングテープを不要とし、また両面に電着し
たガラス粉末を１度で焼成するために、ガラス粉末を電
着させたくない面のみ電泳浴に浸すことを可能だした独
創的内容を有する。
本発明は端面に露出した内部電極に電気泳動法により選
択的にガラス粉末を電着させる工程を有する電歪効果素
子の製造方法において、ガラス粉末を電着させたい内部
電極が露出した面を液面下に１保持し、かつガラス粉末
を電着させたくない内部電極が露出した面を液面上に保
持して電気泳動を行なうことを特徴とする。
択的にガラス粉末を電着させる工程を有する電歪効果素
子の製造方法において、ガラス粉末を電着させたい内部
電極が露出した面を液面下に１保持し、かつガラス粉末
を電着させたくない内部電極が露出した面を液面上に保
持して電気泳動を行なうことを特徴とする。
次に本発明の実施例を第１図〜第６図を診照して説明す
る。
る。
先ず、チタン酸鉛などを用いたセラミックの仮焼成粉末
を準備し、少量のポリビニルブチラールなどの有機バイ
ンダーおよびフタル酸ジオクチルなどの町 剤とともに
エチルセルソルブなどの有機溶媒中に分散させて泥漿を
つくる。この泥漿をドクターグレードを用いたスリップ
キャステアング法により定速で移動するポリエステルフ
ィルム面上に流下させて厚さ７０μｍのグリーンシート
連続体（図示省略）を形成する。
を準備し、少量のポリビニルブチラールなどの有機バイ
ンダーおよびフタル酸ジオクチルなどの町 剤とともに
エチルセルソルブなどの有機溶媒中に分散させて泥漿を
つくる。この泥漿をドクターグレードを用いたスリップ
キャステアング法により定速で移動するポリエステルフ
ィルム面上に流下させて厚さ７０μｍのグリーンシート
連続体（図示省略）を形成する。
次に、このグリーンシート連続体をポリエステルフィル
ム面から剥離した後第２図に示すように縦７０柵×横１
００ｎｎ寸法の短形形状に打ち抜いたグリーンシート７
の一方の面の大部分に、短形形状のペーストが透過でき
ないパターンを形成したマスクを有する印刷スクリーン
（図示省略）を用いて銀粉末の混合粉をビヒクルととも
にペースト化させた混合ペーストをスクリーン印刷によ
り内部電極２を被着形成する。
ム面から剥離した後第２図に示すように縦７０柵×横１
００ｎｎ寸法の短形形状に打ち抜いたグリーンシート７
の一方の面の大部分に、短形形状のペーストが透過でき
ないパターンを形成したマスクを有する印刷スクリーン
（図示省略）を用いて銀粉末の混合粉をビヒクルととも
にペースト化させた混合ペーストをスクリーン印刷によ
り内部電極２を被着形成する。
次に、この混合ペーストを印刷したグリーンシート７を
１枚おきに１８０°回転して所望の枚数だけ積み夏ね熱
プレスで上下から圧着して第３図の如き積層体８を形成
する。この積層体８には前述の有機バインダー及び町
剤が含まれているので炉中で温度５００℃まで加熱して
可 剤を蒸発させ、かつ有機バインダーを分解させて除
去する。
１枚おきに１８０°回転して所望の枚数だけ積み夏ね熱
プレスで上下から圧着して第３図の如き積層体８を形成
する。この積層体８には前述の有機バインダー及び町
剤が含まれているので炉中で温度５００℃まで加熱して
可 剤を蒸発させ、かつ有機バインダーを分解させて除
去する。
次に１この積層体８を次の焼成プロファイル（上昇速度
５℃／分で、温度１１２０℃まで上昇させ、温度１１２
０℃での２時間保持し、その後自然冷却する）で焼成す
る。
５℃／分で、温度１１２０℃まで上昇させ、温度１１２
０℃での２時間保持し、その後自然冷却する）で焼成す
る。
次に、焼成の完了した積層体８をワイヤーノーなどの切
断加工機によシ切断線１５ａにそってブロック状に切消
加工して第４図（ａｌの如き積層スライス板５を形成す
る。このとき積層スライス板５の左右の面には一層おき
に内部電極２の端面２ａが露出する。
断加工機によシ切断線１５ａにそってブロック状に切消
加工して第４図（ａｌの如き積層スライス板５を形成す
る。このとき積層スライス板５の左右の面には一層おき
に内部電極２の端面２ａが露出する。
次に、第４１図（ｂ）に示すように、この端面２ａを含
む左右の面に銀ペーストを塗って一対の仮電極６ａ、
６ｂを設ける。
む左右の面に銀ペーストを塗って一対の仮電極６ａ、
６ｂを設ける。
次に、第５図に示すように積層スライス板５の一方の仮
電極６３と電気的に接続し、かつ積層スライス板５を保
持する電極１またとえばプローブ等を有する電気絶縁性
材料たとえばボリグロビレン等の樹脂で出来たホルダー
１３に積層スライス板５をガラス粉末を電着させたい内
部電極２が露出している面が下向きになるようにセット
する。次に電泳槽１４に入れた電泳浴１１の液面を調節
してガラス粉末を電着させたい面だけが電泳浴１１に浸
たるようにしたのち、前記ホルダー１３を電泳槽１４に
セットし、続いて仮電極６ａと電泳槽１４の底部に配置
した対向電極１０との間に約６０Ｖの電圧をかけ、仮′
ポ極６ａと接続し、た内部電極上（図示省略）のみにガ
ラス粉末を電着させる。
電極６３と電気的に接続し、かつ積層スライス板５を保
持する電極１またとえばプローブ等を有する電気絶縁性
材料たとえばボリグロビレン等の樹脂で出来たホルダー
１３に積層スライス板５をガラス粉末を電着させたい内
部電極２が露出している面が下向きになるようにセット
する。次に電泳槽１４に入れた電泳浴１１の液面を調節
してガラス粉末を電着させたい面だけが電泳浴１１に浸
たるようにしたのち、前記ホルダー１３を電泳槽１４に
セットし、続いて仮電極６ａと電泳槽１４の底部に配置
した対向電極１０との間に約６０Ｖの電圧をかけ、仮′
ポ極６ａと接続し、た内部電極上（図示省略）のみにガ
ラス粉末を電着させる。
次にガラス粉末が電着した面が上向きになるように反転
し、かつ他方の仮電極６ｂが電極１２と接触するように
積層スライス板５を水平方向に１８００回：耘してホル
ダー１３にセットし、前回と同じように電圧をかけガラ
ス粉末を電着させる。次に涜ノ〜スライス板５０両面に
電着したガラス粉末をベルト炉（図示省略）を用いて約
６００℃で焼成し第６図に示すガラス被膜３ （ａｊ、
（ｂｌを形成する。次にこの積層スライス板５をワイ
ヤーソーなどの切断加工１機により切断線１５ｂＫそっ
て小片に切断したのち、内部電極２の端面が一層おきに
ガラス被膜３ａ、 ３ｂで絶縁されている面に銀などの
導電性ペーストを塗布することによシ外部電極４ａ、
４ｂを形成して第１図（ａ）、 （ｂ）の如き電歪効果
素子を作製する。
し、かつ他方の仮電極６ｂが電極１２と接触するように
積層スライス板５を水平方向に１８００回：耘してホル
ダー１３にセットし、前回と同じように電圧をかけガラ
ス粉末を電着させる。次に涜ノ〜スライス板５０両面に
電着したガラス粉末をベルト炉（図示省略）を用いて約
６００℃で焼成し第６図に示すガラス被膜３ （ａｊ、
（ｂｌを形成する。次にこの積層スライス板５をワイ
ヤーソーなどの切断加工１機により切断線１５ｂＫそっ
て小片に切断したのち、内部電極２の端面が一層おきに
ガラス被膜３ａ、 ３ｂで絶縁されている面に銀などの
導電性ペーストを塗布することによシ外部電極４ａ、
４ｂを形成して第１図（ａ）、 （ｂ）の如き電歪効果
素子を作製する。
以上説明したように本発明の製造方法によれば（１）粘
着テープを粘る必要がないので工数の低減及び自動化が
容易である。
着テープを粘る必要がないので工数の低減及び自動化が
容易である。
（ＩＩ）両面同時にガラス粉末の焼滅を行なうので工数
の低減が容易である。またガラス被膜の信頼性も大きく
向上するという効果がある。
の低減が容易である。またガラス被膜の信頼性も大きく
向上するという効果がある。
第１図（ａ）、 （ｂｌけ本発明の電歪効果素子の斜視
図、第２図乃至第６図は本発明の一実施例の製造方法を
工程順に示した斜視図並びに正面図、第７図は従来の電
気泳動法を示す斜視図である。 １・・・・・・電歪材層、２・・・・・・内部電極、３
（ａ）、 （ｂ）・・・・・・ガラス被膜、４（ａｊ、
（ｂ）・−・・・・外部電極、５・・・・・・積層ス
ライス板、 ６（ａ）、 （ｂ）・・・・・・仮電極、
７・・・・・・グリーンシート、８・・・・・・積層体
、９・・・・・・粘着テープ、１０・・・・・・対向電
極、１１・・・・・・電泳浴、１２・・・・・・電極、
１３・・・・・・ホルダー、１４・・・・・・電泳槽、
１５（ａｌ。 （ｂ）・・・・・・切断線。 代理人 弁理士 内 原 皿 ・・４日 第２図 ｆｉ４図（（１） 肴 彎 第６図 ８７図
図、第２図乃至第６図は本発明の一実施例の製造方法を
工程順に示した斜視図並びに正面図、第７図は従来の電
気泳動法を示す斜視図である。 １・・・・・・電歪材層、２・・・・・・内部電極、３
（ａ）、 （ｂ）・・・・・・ガラス被膜、４（ａｊ、
（ｂ）・−・・・・外部電極、５・・・・・・積層ス
ライス板、 ６（ａ）、 （ｂ）・・・・・・仮電極、
７・・・・・・グリーンシート、８・・・・・・積層体
、９・・・・・・粘着テープ、１０・・・・・・対向電
極、１１・・・・・・電泳浴、１２・・・・・・電極、
１３・・・・・・ホルダー、１４・・・・・・電泳槽、
１５（ａｌ。 （ｂ）・・・・・・切断線。 代理人 弁理士 内 原 皿 ・・４日 第２図 ｆｉ４図（（１） 肴 彎 第６図 ８７図
Claims (1)
- 積層スライス板の端面に露出した内部電極に電気泳動
法により選択的にガラス粉末を電着させる工程を有する
電歪効果素子の製造方法において、前記ガラス粉末を電
着させたい内部電極が露出した面を液面下に保持し、か
つ前記ガラス粉末を電着させたくない内部電極が露出し
た面を液面上に保持して電気泳動を行なうことを特徴と
する電歪効果素子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61176005A JPS6332976A (ja) | 1986-07-25 | 1986-07-25 | 電歪効果素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61176005A JPS6332976A (ja) | 1986-07-25 | 1986-07-25 | 電歪効果素子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6332976A true JPS6332976A (ja) | 1988-02-12 |
Family
ID=16006048
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61176005A Pending JPS6332976A (ja) | 1986-07-25 | 1986-07-25 | 電歪効果素子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6332976A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015521793A (ja) * | 2012-06-19 | 2015-07-30 | エプコス アクチエンゲゼルシャフトＥｐｃｏｓ Ａｇ | セラミックデバイスの製造方法およびセラミックデバイス |
-
1986
- 1986-07-25 JP JP61176005A patent/JPS6332976A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015521793A (ja) * | 2012-06-19 | 2015-07-30 | エプコス アクチエンゲゼルシャフトＥｐｃｏｓ Ａｇ | セラミックデバイスの製造方法およびセラミックデバイス |
| US9873952B2 (en) | 2012-06-19 | 2018-01-23 | Epos Ag | Method of producing a ceramic component having a main body with internal electrodes |
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