JPS63316450A - ウエハ基準位置決め装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体製造装置に設けられ、各工程におけるウ
ェハの基準位置決めを行うウェハ基準位置決め装置に関
する。

〔従来の技術〕

半導体製造装置において、例えばウェハ上に回路パター
ンを形成する複数の工程中、ウェハを常に一定の基準位
置に置いて種々のプロセスを行う必要がある。このため
円板状のウェハの外周の一部にオリエンテーションクラ
ット（以下オリフラと称する）と呼ばれる直線部を形成
し、このオリフラを九準として各工程におけるウェハの
位置決めを行っている。この位置決めのためには、テー
ブル上にオリフラに当接する１対の基準ローラが設けら
れた基準位置決め装置が設けられている。

そして従来はこれらの１対の基準ローラの軸間距離は一
定であった。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記の従来のウェハ位置決め装置によると、サイズの異
なるウェハの基準位置決めを行う場合、基準ローラユニ
ットを一式交換するか、またはこのユニットを複数個テ
ーブルに装着しておいて切替えて使用していた。または
位置決め装置を特定のサイズのウェハについて専用とし
ていた。このためウェハ位置決め装置または基準ローラ
ユニットをウェハのサイズごとに用意しなければならず
。

設備費が増大するとともに切替作業に時間がかかるとい
う問題があった。

本発明の目的はサイズの異なるウェハの基準位置決めを
容易にかつ正確に行うことのできるウェハ基準位置決め
装置を提供することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は上記目的を達成するために、外周の一部に基準
位置決めのための直線部が形成された円板状のウェハを
テーブル上に載置し、複数個のローラを該ウェハの外周
に当接させ回転することによって該ウェハの基準位置決
めを行うウェハ基準位置決め装置において、前記ウェハ
の円形外周部に当接し駆動源によって回転駆動される摩
擦ローラと、前記ウェハの直線部に当接し基準位置決め
を行う１対の基準ローラと、前記ウェハの外周に当接し
回転を案内する位置決めローラと、これらのローラに前
記ウェハの外周を当接させる方向に押圧する押圧ローラ
とを具備するとともに、前記１対の基準ローラの軸間距
離を可変としたものである。

〔作用〕

上記の構成によると、ウェハのオリフラの直線面に接す
る１対の基準ローラの軸間距離が可変のため、ウェハの
サイズに合わせて基準ローラを移動し、その間隔をオリ
フラ面の最大炎に合わせることができる。この結果高精
度に基準位置の設定ができ、誤差の小さい位置合わせが
可能となる。

〔実施例〕

以下、本発明に係るウェハ基準位置決め装置の一実施例
を図面を参照して説明する。

第１図及び第２図に本発明の一実施例を示す。

図において、ウェハ１を載置するテーブル２上には、こ
のウェハ１の円形部分の外周に当接する前擦ローラ３が
回転自在に設けられており、この摩擦ローラ３は前記テ
ーブル２の下部に取付けられたモータ４により回転駆動
されるようになっている。テーブル２上の所定の位置に
は複数個、例えば３個の取付孔５が形成されており、こ
れらの取付孔５のうちの１つに位置決めローラ６が回転
自在に、かつ移設可能に装着されている。また前記摩擦
ローラ３及びこの位置決めローラ６とウェハ１を挟持す
るように押圧ローラ７がテーブル２に設けられており、
この押圧ローラ７はスプリング８の付勢力によりウェハ
１を摩擦ローラ３及び位、置決めローラ６に当接するよ
うに押圧している。

一方摩擦ローラ３の両側には１対の基準ローラ９゜１０
が配設されており、前記テーブル２の一辺近傍において
この一辺に平行に形成された１対の長孔２ａを介して移
動可能となっている。これらの基準ローラ９，１０はブ
ロック１１．１２にそれぞれ回転自在に支持されており
、これらのブロック１１．１２はそれぞれ前記テーブル
２にその一辺に沿って摺動可能に取付けられている。ま
たこれらのブロック１１．１２には調節ネジ１３が螺着
されていて、この調節ネジ１３を回転することによりブ
ロック１１．１２が相互に反対方向に移動するようにな
っている。ブロック１１，１２にはそれぞれ１対のホト
センサ１４．１５が設けられており、ウェハ１の円形状
の外周が摩擦ローラ３に当接している状態では光が通過
し、ウェハ１のオリフラ１ａが１対の基準ローラ９，１
０の双方に当接している状態では光がウェハ１によって
遮断されるようになっている。そしてこれらのホトセン
サ１４．１５からの信号によって前記モータ４が駆動、
停止される。１６はテーブル２上に設けられウェハ１を
所定の高さに支持する支持台である。

次に本実施例の作用を説明する。ウェハ１をテーブル２
に設けられた支持台１６上に載置し、ウェハ１の円形状
の外周を摩擦ローラ３１位置決めローラ６及び押圧ロー
ラ７の三点で支持する。このとき押圧ローラ７はスプリ
ング８によりウエハ１を押圧するので、ウェハ１は摩擦
ローラ３に押しつけられる。またこの状態では基準ロー
ラ９゜１０はウェハ１の外周から離脱しており、フォト
センサ１４．．１５の光路はウェハ１によって遮蔽され
ていない。この状態でモータ４を回転させれば、ウェハ
１は摩擦ローラ３を介して矢印への方向に回転する。そ
してウェハ１のオリフラ１ａの直線状の面が基準ローラ
９，１０に両方とも乗り上げた一点鎖線で示した状態に
なると、オリフラ１ａの面は摩擦ローラ３から離脱しウ
ェハ１の回転は停止する。このときホトセンサ１４．１
５の光路はウェハ１によって遮断され、オリフラ１ａの
基準位置が来たことが検知され、同時にモータ４の回転
が停止する。

ウェハ１のサイズが変った場合、例えば２インチサイズ
のウェハ１のオリフラ１ａの長さは１Ｇ膿、６インチサ
イズのウェハ１のオリフラ１ａの長さは４７瀾となるの
で、この長さに合わせて調節ネジ１３を回転して基準ロ
ーラ９，１０間の間隔を調節する。また位置決めローラ
６のテーブル２への取付位置も他の取付孔５を使って移
設してもよい。

本実施例によれば、ウェハサイズの変更に伴なって基準
ローラ９，１０間の間隔を容易に変更できるので、オリ
フラ１ａの両端近傍に基僧ローラ９．１０をセットする
ことができ、位置決め精度を向上させることができる。

また位置決めローラ６の位置もウェハサイズに応じて移
設できるので位置決め精度はさらに向上する。しかもこ
れらの切替作業は基準ローラユニットの組替えなどを必
要とせず、調節ネジ１３を回すだけでよいので作業性を
著しく向上させることができ、かつ部品点数を削減する
ことができる。特に新素材ウェハＧａＡｓ系のもので表
裏判定用サブオリフラ付のウェハの基準位置決めにおい
ては、基準ローラ９゜１０の間隔を微妙に調節する必要
があるため、本実施例による基準位置決め装置は特に有
効である。

〔発明の効果〕

上述したように本発明によれば、ウェハ基準位置決め装
置に設けられた基準ローラの軸間距離を可変としたので
、サイズの異なるウェハの基準位置合わせが容易にでき
るようになり、しかも位置決め精度を向上させることが
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るウェハ基串位置決め装置の一実施
例を示す平面図、第２図は第１図の正面図である。 ｌ・・・ウェハ、１ａ・・・オリフラ（直線部）、２・
・・テーブル、３・・・摩擦ローラ、４・・・モータ（
駆動源）、６・・・位置決めローラ、７・・・押圧ロー
ラ、９，１０・・・基準ローラ。 ｔ＋１、

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、外周の一部に基準位置決めのための直線部が形成さ
   れた円板状のウェハをテーブル上に載置し、複数個のロ
   ーラを該ウェハの外周に当接させ回転することによつて
   該ウェハの基準位置決めを行うウェハ基準位置決め装置
   において、前記ウェハの円形外周部に当接し駆動源によ
   つて回転駆動される摩擦ローラと、前記ウェハの直線部
   に当接し基準位置決めを行う１対の基準ローラと、前記
   ウェハの外周に当接し回転を案内する位置決めローラと
   、これらのローラに前記ウェハの外周を当接させる方向
   に押圧する押圧ローラとを具備するとともに、前記１対
   の基準ローラの軸間距離を可変としたことを特徴とする
   ウェハ基準位置決め装置。 ２、位置決めローラはテーブル上の複数箇所の位置に移
   動可能であることを特徴とする特許請求の範囲第１項記
   載のウェハ基準位置決め装置。