JPS63313858A - 固体撮像装置 - Google Patents
固体撮像装置Info
- Publication number
- JPS63313858A JPS63313858A JP62149022A JP14902287A JPS63313858A JP S63313858 A JPS63313858 A JP S63313858A JP 62149022 A JP62149022 A JP 62149022A JP 14902287 A JP14902287 A JP 14902287A JP S63313858 A JPS63313858 A JP S63313858A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- solid
- state imaging
- imaging device
- sealing cap
- transparent sealing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 87
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 58
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 22
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 120
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 22
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 22
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 22
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 11
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 11
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 8
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 8
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 claims description 4
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 claims description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 4
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 4
- 230000008021 deposition Effects 0.000 abstract 1
- 230000001172 regenerating effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 8
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 8
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 5
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 4
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000002788 crimping Methods 0.000 description 2
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 229910052754 neon Inorganic materials 0.000 description 1
- GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N neon atom Chemical compound [Ne] GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 231100000614 poison Toxicity 0.000 description 1
- 230000007096 poisonous effect Effects 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000005549 size reduction Methods 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、固体撮像装置に関し、特に、搭載基板の搭載
面に搭載される固体撮像素子チップを封止キャップで封
止する固体撮像装置に適用して有効な技術に関するもの
である。
面に搭載される固体撮像素子チップを封止キャップで封
止する固体撮像装置に適用して有効な技術に関するもの
である。
一次元CODホトセンサからなる固体撮像素子チップで
構成される固体撮像装置は、リードレスチップキャリア
方式のパッケージ部材で封止されている。
構成される固体撮像装置は、リードレスチップキャリア
方式のパッケージ部材で封止されている。
前記固体撮像素子チップは、主に、シリコン基板表面に
一次元的に配置されたホトセンサと、このホトセンサに
沿って配置されたCODとで構成されている。
一次元的に配置されたホトセンサと、このホトセンサに
沿って配置されたCODとで構成されている。
パッケージ部材は、搭載基板、枠体及び透明ガラスキャ
ップで構成されている。搭載基板は、例えば板状のセラ
ミック基板で構成されている。枠体は、固体撮像素子チ
ップを収納するキャビティを構成し1例えばセラミック
材で構成されている。
ップで構成されている。搭載基板は、例えば板状のセラ
ミック基板で構成されている。枠体は、固体撮像素子チ
ップを収納するキャビティを構成し1例えばセラミック
材で構成されている。
搭載基板のキャビティ内部には内部端子(インナーリー
ド)が設けられている。この内部端子は固体撮像素子チ
ップの端子(ポンディングパッド)にボンディングワイ
ヤを介して接続されている。内部端子は、配線を通して
、搭載基板の側面に突出する外部端子(アウターリード
)に接続されている。
ド)が設けられている。この内部端子は固体撮像素子チ
ップの端子(ポンディングパッド)にボンディングワイ
ヤを介して接続されている。内部端子は、配線を通して
、搭載基板の側面に突出する外部端子(アウターリード
)に接続されている。
透明ガラスキャップは、透明なガラス板で構成されてい
る。
る。
つまり、固体撮像装置は、枠体で形成されたキャビティ
内の搭載基板の搭載面に搭載された固体撮像素子チップ
を透明ガラスキャップで封止することで構成されている
。
内の搭載基板の搭載面に搭載された固体撮像素子チップ
を透明ガラスキャップで封止することで構成されている
。
このように構成される固体撮像装置は、外付けされた光
学レンズ及び透明封止キャップを通してホトセンサに光
信号を入力し、この光信号に基づいて画像を形成するよ
うに構成されている。
学レンズ及び透明封止キャップを通してホトセンサに光
信号を入力し、この光信号に基づいて画像を形成するよ
うに構成されている。
なお、CCDホトセンサについては、例えば、テレビジ
ョン学会編、「固体撮像デバイス」2株式会社昭晃堂、
昭和61年7月30日発行、P2Oに記載されている。
ョン学会編、「固体撮像デバイス」2株式会社昭晃堂、
昭和61年7月30日発行、P2Oに記載されている。
本発明者は、小型化及び部品点数の低減による組立工程
数の低減化を図るために、次のような固体撮像装置を開
発した。この固体撮像装置は、実質的に平担な板状の搭
載基板と、キャビティを有する透明封止キャップとでパ
ッケージ部材を構成している。搭載基板は、搭載面に内
部電極を構成し、搭載面と対向する装置実装面に前記内
部電極と接続する外部電極を構成している。すなわち、
固体撮像装置は、リードレスチップキャリア方式、の場
合の外部端子に相当する分、パッケージ部材の外径寸法
を縮小することができるので、前記小型化を図ることが
できる。また、前記固体撮像装置は、透明樹脂材料を凹
形状に成型して透明封止キャップを形成し、この透明封
止キャップ自体にキャビティを構成している。すなわち
、固体撮像装置は、リードレスチップキャリア方式の枠
体に相当する部材をなくすことができるので、前記部材
点数を低減し、組立工程数の低減化を図ることができる
。
数の低減化を図るために、次のような固体撮像装置を開
発した。この固体撮像装置は、実質的に平担な板状の搭
載基板と、キャビティを有する透明封止キャップとでパ
ッケージ部材を構成している。搭載基板は、搭載面に内
部電極を構成し、搭載面と対向する装置実装面に前記内
部電極と接続する外部電極を構成している。すなわち、
固体撮像装置は、リードレスチップキャリア方式、の場
合の外部端子に相当する分、パッケージ部材の外径寸法
を縮小することができるので、前記小型化を図ることが
できる。また、前記固体撮像装置は、透明樹脂材料を凹
形状に成型して透明封止キャップを形成し、この透明封
止キャップ自体にキャビティを構成している。すなわち
、固体撮像装置は、リードレスチップキャリア方式の枠
体に相当する部材をなくすことができるので、前記部材
点数を低減し、組立工程数の低減化を図ることができる
。
ところが、本発明者は、このように開発された固体撮像
装置に、次のような新たなる問題点が生じることを見出
した。
装置に、次のような新たなる問題点が生じることを見出
した。
1、製造工程時や組立工程時、或は製品の出荷時におい
て、前記固体撮像装置の透明封止キャップの光学有効面
(固体撮像素子チップのホトセンサに光信号を入力する
領域)の外側表面に、ゴミ等が堆積し易い。また、透明
封止キャップの光学有効面の外側表面に、傷等の損傷を
生じ易い。このため、固体撮像素子チップのホトセンサ
に正確に光信号を入力することができないので、固体撮
像装置の再生画像の画質が劣化する。
て、前記固体撮像装置の透明封止キャップの光学有効面
(固体撮像素子チップのホトセンサに光信号を入力する
領域)の外側表面に、ゴミ等が堆積し易い。また、透明
封止キャップの光学有効面の外側表面に、傷等の損傷を
生じ易い。このため、固体撮像素子チップのホトセンサ
に正確に光信号を入力することができないので、固体撮
像装置の再生画像の画質が劣化する。
2、前記固体撮像装置を配線基板や外部機器に実装する
際には通常半田を接着金属層として用いるが、透明封止
キャップが透明樹脂材料で形成されているので、半田リ
フロ一工程中に透明封止キャップが変形したり、溶けた
りして封止性が劣化する。また、前記半田リフロ一工程
中に、透明封止キャップを押圧すると、透明封止キャッ
プやそれと搭載基板との接着部が樹脂材料で形成されて
いるので損傷し易い。このため、半田を用いて固体撮像
装置を実装することが難かしい。
際には通常半田を接着金属層として用いるが、透明封止
キャップが透明樹脂材料で形成されているので、半田リ
フロ一工程中に透明封止キャップが変形したり、溶けた
りして封止性が劣化する。また、前記半田リフロ一工程
中に、透明封止キャップを押圧すると、透明封止キャッ
プやそれと搭載基板との接着部が樹脂材料で形成されて
いるので損傷し易い。このため、半田を用いて固体撮像
装置を実装することが難かしい。
3、前記固体撮像装置は、外付けされた光学レンズを通
して光信号を入力しているので、光学レンズに相当する
分、部品点数が増加する。このため、組立工程数が増加
し、固体撮像装置を用いるカメラ等の装置の生産性が低
下する。
して光信号を入力しているので、光学レンズに相当する
分、部品点数が増加する。このため、組立工程数が増加
し、固体撮像装置を用いるカメラ等の装置の生産性が低
下する。
4、前記固体撮像装置は、硬化時間が短いため、搭載基
板と透明封止キャップとを紫外線硬化型接着剤で固着し
ている。ところが、透明封止キャップのキャビティ内部
に酸素が存在していると、酸素に触れている部分の紫外
線硬化型接着剤は硬化しすらい。このため、キャビティ
内の温度が上昇した場合、紫外線硬化型接着剤の硬化し
ない部分が揮発し、キャビティ内面が揮発した接着剤の
溶剤及び硬化成分によって曇るので、固体撮像装置の再
生画像の画質が劣化する。
板と透明封止キャップとを紫外線硬化型接着剤で固着し
ている。ところが、透明封止キャップのキャビティ内部
に酸素が存在していると、酸素に触れている部分の紫外
線硬化型接着剤は硬化しすらい。このため、キャビティ
内の温度が上昇した場合、紫外線硬化型接着剤の硬化し
ない部分が揮発し、キャビティ内面が揮発した接着剤の
溶剤及び硬化成分によって曇るので、固体撮像装置の再
生画像の画質が劣化する。
本発明の目的は、固体撮像装置において、透明封止キャ
ップの光学有効面にゴミが堆積したり、傷等の損傷が生
じたりすることを防止し、再生画像の画質を向上するこ
とが可能な技術を提供することにある。
ップの光学有効面にゴミが堆積したり、傷等の損傷が生
じたりすることを防止し、再生画像の画質を向上するこ
とが可能な技術を提供することにある。
本発明の他の目的は、固体撮像装置の配線基板や外部装
置への実装を簡単に行うことが可能な技術を提供するこ
とにある。
置への実装を簡単に行うことが可能な技術を提供するこ
とにある。
本発明の他の目的は、固体撮像装置の外付けの光学レン
ズを廃止し、カメラ等の装置としての部品点数を低減し
、装置の生産性を向上することが可能な技術を提供する
ことにある。
ズを廃止し、カメラ等の装置としての部品点数を低減し
、装置の生産性を向上することが可能な技術を提供する
ことにある。
本発明の他の目的は、固体撮像装置において、紫外線硬
化型接着剤に起因する透明封止キャップの光学有効面の
曇りを防止し、再生画像の画質を向上することが可能な
技術を提供することにある。
化型接着剤に起因する透明封止キャップの光学有効面の
曇りを防止し、再生画像の画質を向上することが可能な
技術を提供することにある。
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述及び添付図面によって明らかになるであろ
う。
明細書の記述及び添付図面によって明らかになるであろ
う。
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概
要を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
要を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
固体撮像装置の搭載基板の搭載面を透明封止キャップの
搭載面に固着される部分よりも大きい寸法で構成する。
搭載面に固着される部分よりも大きい寸法で構成する。
この透明封止キャップの搭載面に固着される部分よりも
大きな寸法で構成された、搭載基板の搭載面の一部は、
固体撮像装置を搬送する際の装置支持部、又は導電性コ
ネクタを介在させて固体撮像装置を配線基板や外部機器
に実装する際に固体撮像装置と配線基板や外部機器とを
かしめ器具でかしめるためのかしめ領域を構成する。
大きな寸法で構成された、搭載基板の搭載面の一部は、
固体撮像装置を搬送する際の装置支持部、又は導電性コ
ネクタを介在させて固体撮像装置を配線基板や外部機器
に実装する際に固体撮像装置と配線基板や外部機器とを
かしめ器具でかしめるためのかしめ領域を構成する。
また、固体撮像装置の透明封止キャップを光学レンズと
して構成する。
して構成する。
また、固体撮像装置の搭載基板と透明封止キャップとを
紫外線硬化型接着剤で固着し、搭載基板又は透明封止キ
ャップで形成されるキャビティ内部に不活性ガスを封入
する。
紫外線硬化型接着剤で固着し、搭載基板又は透明封止キ
ャップで形成されるキャビティ内部に不活性ガスを封入
する。
上述した手段によれば、固体撮像装置の搬送容器を用い
、透明封止キャップを下に搭載基板を上にして固体撮像
装置を搬送することができるので。
、透明封止キャップを下に搭載基板を上にして固体撮像
装置を搬送することができるので。
透明封止キャップの光学有効面にゴミが堆積したり、傷
等の損傷が生じたりすることを防止し、再生画像の画質
を向上することができる。
等の損傷が生じたりすることを防止し、再生画像の画質
を向上することができる。
また、かしめ器具を用い、固体撮像装置を導電性コネク
タを介在させて配線基板や外部機器に簡単に実装するこ
とができる。
タを介在させて配線基板や外部機器に簡単に実装するこ
とができる。
また、固体撮像装置の透明封止キャップで光学レンズを
構成し、外付けの光学レンズを廃止することができるの
で、カメラ等の装置としての部品点数を低減し、装置の
生産性を向上することができる。
構成し、外付けの光学レンズを廃止することができるの
で、カメラ等の装置としての部品点数を低減し、装置の
生産性を向上することができる。
また、固体撮像装置のキャビティ内部の紫外線硬化型接
着剤を硬化させることができるので、透明封止キャップ
の光学有効面の曇りを防止し、再生画像の画質を向上す
ることができる。
着剤を硬化させることができるので、透明封止キャップ
の光学有効面の曇りを防止し、再生画像の画質を向上す
ることができる。
以下、本発明の構成について、−次元CCDホトセンサ
からなる固体撮像素子チップで構成される固体撮像装置
に本発明を適用した一実施例とともに説明する。
からなる固体撮像素子チップで構成される固体撮像装置
に本発明を適用した一実施例とともに説明する。
なお、実施例を説明するための全回において、同一機能
を有するものは同一符号を付け、その繰り返しの説明は
省略する。
を有するものは同一符号を付け、その繰り返しの説明は
省略する。
(実施例I)
本発明の実施例■である固体撮像装置を第1図(部分断
面構成図)及び第2図(第1図のm−m切断線で切った
断面図)で示す。
面構成図)及び第2図(第1図のm−m切断線で切った
断面図)で示す。
第1図及び第2図に示すように、固体撮像装置は、搭載
基板1の搭載面に搭載された固体撮像素子チップ2を透
明封止キャップ3で封止することにより構成されている
。搭載基板1及び透明封止キャップ3は、固体撮像装置
のパッケージ部材を構成する。
基板1の搭載面に搭載された固体撮像素子チップ2を透
明封止キャップ3で封止することにより構成されている
。搭載基板1及び透明封止キャップ3は、固体撮像装置
のパッケージ部材を構成する。
搭載基板1は、第3図(搭載面側から見た搭載基板の平
面図)、第4図(搭載基板の部分断面側面図)及び第5
図(搭載面と対向する装置実装面側から見た底面図)に
詳細に示すように構成されている。すなわち、搭載基板
1は、主に、基板IA、内部電極IB及びIC1引出配
線ID、接続孔IE、接続孔配線IF、コーテイング材
IG、外部電極IHで構成されている。
面図)、第4図(搭載基板の部分断面側面図)及び第5
図(搭載面と対向する装置実装面側から見た底面図)に
詳細に示すように構成されている。すなわち、搭載基板
1は、主に、基板IA、内部電極IB及びIC1引出配
線ID、接続孔IE、接続孔配線IF、コーテイング材
IG、外部電極IHで構成されている。
基板IAは、実質的に平担な板状で構成されており、方
形状の各辺を面取りした六角形状で構成されている。基
板IAの複数の外部電極IHが配置される側である長辺
側の寸法L1は1例えば5〜6 [:mm1程度で構成
されている。基板IAの短辺側の寸法L2は、例えば4
〜5 [mml程度で構成されている。基板IAの厚さ
は、0.6〜0.8[mml程度で構成されている。基
板IAは、一枚のセラミック基板或は2枚以上のセラミ
ック基板を積層して構成されている。
形状の各辺を面取りした六角形状で構成されている。基
板IAの複数の外部電極IHが配置される側である長辺
側の寸法L1は1例えば5〜6 [:mm1程度で構成
されている。基板IAの短辺側の寸法L2は、例えば4
〜5 [mml程度で構成されている。基板IAの厚さ
は、0.6〜0.8[mml程度で構成されている。基
板IAは、一枚のセラミック基板或は2枚以上のセラミ
ック基板を積層して構成されている。
搭載基板1の基板IAの搭載面は、透明封止キャップ8
の搭載面に固着される部分に比べて大きな寸法で構成さ
れている。この透明封止キャップ3の搭載面に固着され
る部分に比べて大きな寸法で構成された。基板IAの搭
載面の一部は、第2図に、又第3図に一点鎖線で囲んで
示すように。
の搭載面に固着される部分に比べて大きな寸法で構成さ
れている。この透明封止キャップ3の搭載面に固着され
る部分に比べて大きな寸法で構成された。基板IAの搭
載面の一部は、第2図に、又第3図に一点鎖線で囲んで
示すように。
装置支持部又はかしめ領域ILを構成する。装置支持部
又はかしめ領域ILは、外部端子IHが配置される方向
において設けられている。
又はかしめ領域ILは、外部端子IHが配置される方向
において設けられている。
内部電極IBは、搭載基板1の搭載面側に構成されてい
る。内部電極IBは、基板IAの対向する夫々の長辺に
沿って複数配置されている。内部電極IBは、第1図に
示すように、固体撮像素子チップ2の外部端子(ポンデ
ィングパッド)とボンディングワイヤ4を介して電気的
に接続されている。
る。内部電極IBは、基板IAの対向する夫々の長辺に
沿って複数配置されている。内部電極IBは、第1図に
示すように、固体撮像素子チップ2の外部端子(ポンデ
ィングパッド)とボンディングワイヤ4を介して電気的
に接続されている。
内部電極ICは、搭載面の略中央部に構成されている。
内部電極IC上には、固体撮像素子チップ2が接着され
るように構成されている。
るように構成されている。
内部電極IB、ICの夫々は、引出配線IDによって周
辺部に引出され、接続孔IE内に形成された接続孔配線
IFを通して外部電極IHに電気的に接続されている。
辺部に引出され、接続孔IE内に形成された接続孔配線
IFを通して外部電極IHに電気的に接続されている。
内部電極IB及びIC1引出配線ID、外部電極IHの
夫々は、例えばメッキで形成したMo、W等の金属層で
構成する。この金属層は、5〜7[μm]程度の膜厚で
形成する。
夫々は、例えばメッキで形成したMo、W等の金属層で
構成する。この金属層は、5〜7[μm]程度の膜厚で
形成する。
前記接続孔配線IFは、例えばスクリーン印刷で形成し
たMo、W等の金属層で形成する。
たMo、W等の金属層で形成する。
前記外部電極IHは、基板IAの搭載面と対向する装置
実装面(固体撮像装置をプリント配線基板等に実装する
面)に構成されている。外部電極IHは、前記内部電極
IBと同様に、基板IAの長辺に沿って複数配置されて
いる。
実装面(固体撮像装置をプリント配線基板等に実装する
面)に構成されている。外部電極IHは、前記内部電極
IBと同様に、基板IAの長辺に沿って複数配置されて
いる。
前記搭載基板1の基板IAの搭載面には、固体撮像素子
チップ2を搭載する際の目印となるインデックスマーク
1工が構成されている。インデックスマーク1工は、内
部電極IB等と同一製造工程で形成されている。また、
搭載基板1の基板IAの装置実装面には、固体撮像装置
を実装する際の目印となるインデックスマークIJ、1
にの夫々が構成されている。インデックスマークIJ、
IKの夫々は、外部電極IHと同一製造工程で形成され
ている。インデックスマーク1工は、円形状で構成され
ている。インデッークスマークIKは、所定の外部電極
IHと一体に構成され、L字形状で構成されている。
チップ2を搭載する際の目印となるインデックスマーク
1工が構成されている。インデックスマーク1工は、内
部電極IB等と同一製造工程で形成されている。また、
搭載基板1の基板IAの装置実装面には、固体撮像装置
を実装する際の目印となるインデックスマークIJ、1
にの夫々が構成されている。インデックスマークIJ、
IKの夫々は、外部電極IHと同一製造工程で形成され
ている。インデックスマーク1工は、円形状で構成され
ている。インデッークスマークIKは、所定の外部電極
IHと一体に構成され、L字形状で構成されている。
搭載基板1の基板IAの搭載面に構成された引出配線I
Dの上部には、コーテイング材IGが設けられている。
Dの上部には、コーテイング材IGが設けられている。
コーテイング材IGは、例えば、100[μm]程度の
膜厚のセラミック材料で形成する。コーテイング材IG
は引出配線IDによる段差形状を緩和するように構成さ
れており、コーテイング材IGの表面が平担化されるよ
うになっている。このコーテイング材IGは、搭載基板
1と前記透明封止キャップ3との接着性を向上するよう
になっている。
膜厚のセラミック材料で形成する。コーテイング材IG
は引出配線IDによる段差形状を緩和するように構成さ
れており、コーテイング材IGの表面が平担化されるよ
うになっている。このコーテイング材IGは、搭載基板
1と前記透明封止キャップ3との接着性を向上するよう
になっている。
このように、パッケージ部材の搭載基板1の装置実装面
に外部電極IHを構成することにより。
に外部電極IHを構成することにより。
外部電極を搭載基板の側面に設けた場合のその外部電極
に相当する分、搭載基板1の外径寸法(本実施例の場合
、短辺の寸法L2)を縮小することができるので、固体
撮像装置の小型化を図ることができる。
に相当する分、搭載基板1の外径寸法(本実施例の場合
、短辺の寸法L2)を縮小することができるので、固体
撮像装置の小型化を図ることができる。
また、前記搭載基板1を六角形状で構成することにより
、搭載基板1の面取りされた各辺の面積をなくすことが
できるので、搭載基板1の外径寸法をさらに縮小し、固
体撮像装置の小型化を図ることができる。
、搭載基板1の面取りされた各辺の面積をなくすことが
できるので、搭載基板1の外径寸法をさらに縮小し、固
体撮像装置の小型化を図ることができる。
また、搭載基板1を実質的に平担な板状で構成し、後述
するが透明封止キャップ8にキャビティ3Aを構成する
ことにより、固体撮像素子チップ2を搭載基板1に搭載
する際に使用するコレットと接触する部材が存在しなく
なる。このため、搭載基板1にコレットとの接触を防止
するための余裕寸法を設けなくてよいので、さらに、搭
載基板1の外径寸法を縮小し、固体撮像装置を小型化す
ることができる。
するが透明封止キャップ8にキャビティ3Aを構成する
ことにより、固体撮像素子チップ2を搭載基板1に搭載
する際に使用するコレットと接触する部材が存在しなく
なる。このため、搭載基板1にコレットとの接触を防止
するための余裕寸法を設けなくてよいので、さらに、搭
載基板1の外径寸法を縮小し、固体撮像装置を小型化す
ることができる。
前記固体撮像素子チップ2は、その詳細を図示しないが
、−次元CODホトセンサで構成されている。この固体
撮像素子チップ2は、主に、単結晶のシリコン基板の表
面に一次元的に配置された複数のホトセンサと、このホ
トセンサに沿って配置されたCCDとで構成されている
。
、−次元CODホトセンサで構成されている。この固体
撮像素子チップ2は、主に、単結晶のシリコン基板の表
面に一次元的に配置された複数のホトセンサと、このホ
トセンサに沿って配置されたCCDとで構成されている
。
前記透明封止キャップ3は、第6図(搭載面側から見た
透明封止キャップの平面図)及び第7図(第6図の■−
■切断線で切った断面図)に詳細に示すように構成され
ている。すなわち、透明封止キャップ3は、固体撮像素
子チップ2を収納するために凹形状に形成してキャビテ
ィ3Aを構成している。
透明封止キャップの平面図)及び第7図(第6図の■−
■切断線で切った断面図)に詳細に示すように構成され
ている。すなわち、透明封止キャップ3は、固体撮像素
子チップ2を収納するために凹形状に形成してキャビテ
ィ3Aを構成している。
透明封止キャップ3は、固体撮像素子チップ2のホトセ
ンサに光信号を入力するので、透明材料で構成されてい
る。透明材料としては、ホトセンサに光信号を入力する
光学有効面A(第1図及び第2図において符号Aで示す
領域内)において、例えば波長350〜700[nm]
の光の透過率が80[%]以上のもので構成する。また
、透明材料としては、加工性が高く1機械的強度が高く
、しかも安価なもので構成する。具体的には、透明材料
は、アクリル系樹脂で構成する。なお、透明封止キャッ
プ3は、透明ガラス等で構成してもよい。
ンサに光信号を入力するので、透明材料で構成されてい
る。透明材料としては、ホトセンサに光信号を入力する
光学有効面A(第1図及び第2図において符号Aで示す
領域内)において、例えば波長350〜700[nm]
の光の透過率が80[%]以上のもので構成する。また
、透明材料としては、加工性が高く1機械的強度が高く
、しかも安価なもので構成する。具体的には、透明材料
は、アクリル系樹脂で構成する。なお、透明封止キャッ
プ3は、透明ガラス等で構成してもよい。
透明封止キャップ3の光学有効面Aの外側表面は、透明
封止キャップ3の光学有効面A以外の他の外側表面Bに
比べて低く構成されている。例えば、光学有効面Aは、
他の外側表面Bと少なくとも0 、1 [mml程度の
寸法差を有するように構成されている。換言すれば、他
の外側表面Bは、光学有効面Aより高くなるように突出
させている。光学有効面Aは、透明封止キャップ8の光
学有効面Aを下に搭載基板1を上にして固体撮像装置を
搬送したり、載置する場合に、他の外側表面Bに比べて
何らかの物と接触する確率を低減するように構成されて
いる。つまり、透明封止キャップ3の光学有効面Aは、
何らかの物との接触を他の外側表面Bで積極的に行わせ
て、傷等の損傷が生じないように構成されている。
封止キャップ3の光学有効面A以外の他の外側表面Bに
比べて低く構成されている。例えば、光学有効面Aは、
他の外側表面Bと少なくとも0 、1 [mml程度の
寸法差を有するように構成されている。換言すれば、他
の外側表面Bは、光学有効面Aより高くなるように突出
させている。光学有効面Aは、透明封止キャップ8の光
学有効面Aを下に搭載基板1を上にして固体撮像装置を
搬送したり、載置する場合に、他の外側表面Bに比べて
何らかの物と接触する確率を低減するように構成されて
いる。つまり、透明封止キャップ3の光学有効面Aは、
何らかの物との接触を他の外側表面Bで積極的に行わせ
て、傷等の損傷が生じないように構成されている。
前記透明封止キャップ3は、搭載基板1のコーティング
材IG上に、接着層を介在させて固着されるようになっ
ている。接着層としては、紫外線の照射で凝固する紫外
線硬化型接着剤、例えば、アクリル樹脂系接着剤を使用
する。
材IG上に、接着層を介在させて固着されるようになっ
ている。接着層としては、紫外線の照射で凝固する紫外
線硬化型接着剤、例えば、アクリル樹脂系接着剤を使用
する。
このように、搭載基板1とキャビティ3Aを有する透明
封止キャップ3とでパッケージ部材を構成することによ
り、キャビティを形成するための枠体をなくシ、パッケ
ー・ジ部材の部品点数を低減することができるので1組
立工程数を低減し、固体撮像装置の生産性を向上するこ
とができる。
封止キャップ3とでパッケージ部材を構成することによ
り、キャビティを形成するための枠体をなくシ、パッケ
ー・ジ部材の部品点数を低減することができるので1組
立工程数を低減し、固体撮像装置の生産性を向上するこ
とができる。
また、透明封止キャップ3の枠体に相当する部分を透明
樹脂材料で構成することにより、枠体をセラミックで形
成した場合に比べて安価に固体撮像装置を形成すること
ができる。
樹脂材料で構成することにより、枠体をセラミックで形
成した場合に比べて安価に固体撮像装置を形成すること
ができる。
また、透明封止キャップ3の光学有効面Aを他の外側表
面Bより低く構成することにより、光学有効面Aが何ら
かの物と接触する確率を低減することができるので、光
学有効面Aの損傷を低減し、固体撮像装置で形成される
画質を向上することができる。
面Bより低く構成することにより、光学有効面Aが何ら
かの物と接触する確率を低減することができるので、光
学有効面Aの損傷を低減し、固体撮像装置で形成される
画質を向上することができる。
さらに、搭載基板1の装置実装面に外部電極IHを構成
し、この搭載基板1とキャビティ3Aを有する透明封止
キャップ3とでパッケージ部材を構成することにより、
搭載基板1の外径寸法を縮小して固体撮像装置の小型化
を図ることができると共に、パッケージ部材の部品点数
を低減して固体撮像装置の生産性を向上することができ
る。
し、この搭載基板1とキャビティ3Aを有する透明封止
キャップ3とでパッケージ部材を構成することにより、
搭載基板1の外径寸法を縮小して固体撮像装置の小型化
を図ることができると共に、パッケージ部材の部品点数
を低減して固体撮像装置の生産性を向上することができ
る。
このように構成される固体撮像装置は、第8図(搬送工
程時又は出荷時における固体撮像装置の構成図)に示す
ように、搬送容器5を用いて搬送や製品の出荷が行われ
る。搬送容器5は、固体撮像装置を個々に区分けし、複
数の固体撮像装置を搬送できるように構成されている。
程時又は出荷時における固体撮像装置の構成図)に示す
ように、搬送容器5を用いて搬送や製品の出荷が行われ
る。搬送容器5は、固体撮像装置を個々に区分けし、複
数の固体撮像装置を搬送できるように構成されている。
搬送容器5は、透明封止キャップ8を下に搭載基板1を
上に配置できるように、固体撮像装置を支持する突出形
状の支持部5Aが設けられている。固体撮像装置は、搭
載基板1の基板IAの装置支持部ILが支持部5Aに接
触するように、搬送容器5に収納される。
上に配置できるように、固体撮像装置を支持する突出形
状の支持部5Aが設けられている。固体撮像装置は、搭
載基板1の基板IAの装置支持部ILが支持部5Aに接
触するように、搬送容器5に収納される。
このように、固体撮像装置の搭載基板1の搭載面を透明
封止キャップ3の搭載面に固着される部分よりも大きい
寸法で構成して装置支持部ILを構成することにより、
固体撮像装置の搬送容器5を用い、透明封止キャップ3
を下に搭載基板1を上にして固体撮像装置を搬送するこ
とができるので、透明封止キャップ3の光学有効面Aに
ゴミが堆積したり、傷等の損傷が生じたりすることを防
止し、再生画像の画質を向上することができる。
封止キャップ3の搭載面に固着される部分よりも大きい
寸法で構成して装置支持部ILを構成することにより、
固体撮像装置の搬送容器5を用い、透明封止キャップ3
を下に搭載基板1を上にして固体撮像装置を搬送するこ
とができるので、透明封止キャップ3の光学有効面Aに
ゴミが堆積したり、傷等の損傷が生じたりすることを防
止し、再生画像の画質を向上することができる。
また、固体撮像装置は、第9図(実装した固体撮像装置
の構成図)に示すように、導電性コネクタ6を介在させ
て配線基板(又は外部機器)7に搭載されている。固体
撮像装置は、配線基板7とかしめ器具8でかしめられて
いる。
の構成図)に示すように、導電性コネクタ6を介在させ
て配線基板(又は外部機器)7に搭載されている。固体
撮像装置は、配線基板7とかしめ器具8でかしめられて
いる。
導電性コネクタ6は、導電性金属粒子をランダムに含有
したテープ状(又は板状)の樹脂材料で構成されている
。導電性コネクタ6は、前記かしめ器具8による搭載基
板1と配線基板7との挟持力によって、樹脂材料を変形
させ、搭載基板1の外部端子IHと配線基板7の端子と
を導電性金属粒子によって接続するように構成されてい
る。
したテープ状(又は板状)の樹脂材料で構成されている
。導電性コネクタ6は、前記かしめ器具8による搭載基
板1と配線基板7との挟持力によって、樹脂材料を変形
させ、搭載基板1の外部端子IHと配線基板7の端子と
を導電性金属粒子によって接続するように構成されてい
る。
かしめ器具8は、弾力性を有する金属材料や樹脂材料で
構成されており、搭載基板1と配線基板7とで導電性コ
ネクタ6を挟持するように構成されている。
構成されており、搭載基板1と配線基板7とで導電性コ
ネクタ6を挟持するように構成されている。
このように、固体撮像装置の搭載基板1の搭載面を透明
封止キャップ3の搭載面に固着される部分よりも大きい
寸法で構成し、かしめ領域ILを構成することにより、
かしめ器具8を用い、固体撮像装置を導電性コネクタ6
を介在させて配線基板7(又は外部機器)に簡単に実装
することができる。
封止キャップ3の搭載面に固着される部分よりも大きい
寸法で構成し、かしめ領域ILを構成することにより、
かしめ器具8を用い、固体撮像装置を導電性コネクタ6
を介在させて配線基板7(又は外部機器)に簡単に実装
することができる。
また、かしめ器具8は、固体撮像装置の搭載基板1のか
しめ領域ILを押圧するので、実装の際に、透明封止キ
ャップ3やそれと搭載基板1との間の接着層を損傷する
ことがなくなる。
しめ領域ILを押圧するので、実装の際に、透明封止キ
ャップ3やそれと搭載基板1との間の接着層を損傷する
ことがなくなる。
また、かしめ器具8を用い、固体撮像装置を導電性コネ
クタ6を介在させて配線基板7に実装することにより、
半田リフローのように固体撮像装置を加熱することがな
くなるので、透明封止キャップ3が変形したり、それと
搭載基板1との間の接着層が変形したりすることがなく
なり、固体撮像装置の封止性を向上することができる。
クタ6を介在させて配線基板7に実装することにより、
半田リフローのように固体撮像装置を加熱することがな
くなるので、透明封止キャップ3が変形したり、それと
搭載基板1との間の接着層が変形したりすることがなく
なり、固体撮像装置の封止性を向上することができる。
(実施例■)
本実施例■は、固体撮像装置に外付けされる光学レンズ
を廃止した、本発明の第2実施例である。
を廃止した、本発明の第2実施例である。
本発明の実施例■である固体撮像装置を第10図(部分
断面構成図)及び第11図(部分断面構成図)で示す。
断面構成図)及び第11図(部分断面構成図)で示す。
第10図、第11図の夫々に示すように、固体撮像装置
は、透明封止キャップ3の光学有効面Aを光学レンズ(
凸レンズ)で構成している。透明封止キャップ3は、透
明樹脂材料で形成する場合、例えば射出成型によって形
成する。また、透明封止キャップ3は、透明ガラス材料
で形成する場合、例えば、光学レンズとして使用される
光学有効面A部分とその他の部分とを別々に形成し、そ
の後に接着剤等により接合することで形成する。
は、透明封止キャップ3の光学有効面Aを光学レンズ(
凸レンズ)で構成している。透明封止キャップ3は、透
明樹脂材料で形成する場合、例えば射出成型によって形
成する。また、透明封止キャップ3は、透明ガラス材料
で形成する場合、例えば、光学レンズとして使用される
光学有効面A部分とその他の部分とを別々に形成し、そ
の後に接着剤等により接合することで形成する。
第10図に示す固体撮像装置の透明封止キャップ3は、
光学有効面Aの外側表面を他の外側表面Bよりも低く構
成している。
光学有効面Aの外側表面を他の外側表面Bよりも低く構
成している。
また、第11図に示す固体撮像装置の透明封止キャップ
3は、光学有効面Aの外側表面が突出するように構成さ
れている。
3は、光学有効面Aの外側表面が突出するように構成さ
れている。
このように、固体撮像装置の透明封止キャップ3の光学
有効面Aを光学レンズとして構成することにより、外付
けの光学レンズを廃止することができるので、カメラ等
の装置としての部品点数を低減し、装置の生産性を向上
することができる。
有効面Aを光学レンズとして構成することにより、外付
けの光学レンズを廃止することができるので、カメラ等
の装置としての部品点数を低減し、装置の生産性を向上
することができる。
(実施例■)
23一
本実施例■は、固体撮像装置のキャビティ内部に不活性
ガスを封止した、本発明の第3実施例である。
ガスを封止した、本発明の第3実施例である。
本発明の実施例■である固体撮像装置を第12図(部分
断面構成図)で示す。
断面構成図)で示す。
第12図に示すように、固体撮像装置は、搭載基板1の
搭載面に固体撮像素子チップ2を搭載し、前記搭載面に
紫外線硬化型接着剤IM(第12図は強調して示しであ
る)を介在させて透明封止キャップ3を固着することに
より前記固体撮像素子チップ2を封止している。
搭載面に固体撮像素子チップ2を搭載し、前記搭載面に
紫外線硬化型接着剤IM(第12図は強調して示しであ
る)を介在させて透明封止キャップ3を固着することに
より前記固体撮像素子チップ2を封止している。
紫外線硬化型接着剤IMは、紫外線の照射で凝固する例
えばアクリル樹脂系接着剤を使用する。
えばアクリル樹脂系接着剤を使用する。
前記透明封止キャップ3で形成されるキャビテイ3A内
部には、不活性ガスGが封入されている。
部には、不活性ガスGが封入されている。
不活性ガスGとしては、85〜100[%]の割合の窒
素ガスを用いる。また、不活性ガスGとしては、ヘリウ
ムガス、アルゴンガス、ネオンガスのいずれかを使用し
てもよい。
素ガスを用いる。また、不活性ガスGとしては、ヘリウ
ムガス、アルゴンガス、ネオンガスのいずれかを使用し
てもよい。
このように、固体撮像装置の搭載基板1と透明封止キャ
ップ3とを紫外線硬化型接着剤IMで固着し、透明封止
キャップ3(又は搭載基板1)で形成されるキャビテイ
3A内部に不活性ガスGを封入することにより、固体撮
像装置のキャビテイ3A内部の紫外線硬化型接着剤IM
を硬化させることができるので、透明封止キャップ3の
光学有効面Aの曇りを防止し、再生画像の画質を向上す
ることができる。
ップ3とを紫外線硬化型接着剤IMで固着し、透明封止
キャップ3(又は搭載基板1)で形成されるキャビテイ
3A内部に不活性ガスGを封入することにより、固体撮
像装置のキャビテイ3A内部の紫外線硬化型接着剤IM
を硬化させることができるので、透明封止キャップ3の
光学有効面Aの曇りを防止し、再生画像の画質を向上す
ることができる。
以上、本発明者によってなされた発明を、前記実施例に
基づき具体的に説明したが、本発明は、前記実施例に限
定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲にお
いて種々変更可能であることは勿論である。
基づき具体的に説明したが、本発明は、前記実施例に限
定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲にお
いて種々変更可能であることは勿論である。
例えば1本発明は、前記固体撮像装置のパッケージ部材
の搭載基板を樹脂基板で構成してもよい。
の搭載基板を樹脂基板で構成してもよい。
また、本発明は、ホトセンサを2次元的に配置した受光
部と、この受光部の周辺にホトセンサの情報を転送する
CCDとを有する固体撮像素子チップで構成される固体
撮像装置に適用することができる。
部と、この受光部の周辺にホトセンサの情報を転送する
CCDとを有する固体撮像素子チップで構成される固体
撮像装置に適用することができる。
本願において開示される発明のうち代表的なものによっ
て得られる効果を簡単に説明すれば、下記のとおりであ
る。
て得られる効果を簡単に説明すれば、下記のとおりであ
る。
固体撮像装置の再生画像の画質を向上することができる
。
。
固体撮像装置の配線基板や外部装置への実装を簡単に行
うことができる。
うことができる。
固体撮像装置に外付けされる光学レンズを廃止し、カメ
ラ等の装置として生産性を向上することができる。
ラ等の装置として生産性を向上することができる。
固体撮像装置の紫外線硬化型接着剤に起因する透明封止
キャップの光学有効面の曇りを防止し、再生画像の画質
を向上することができる。
キャップの光学有効面の曇りを防止し、再生画像の画質
を向上することができる。
第1図は、本発明の実施例1である固体撮像装置の部分
断面構成図、 第2図は、前記第1図に示す固体撮像装置を■−■切断
線で切った断面図、 第3図は、前記固体撮像装置の搭載面側から見た搭載基
板の平面図、 第4図は、前記固体撮像装置の搭載基板の部分断面側面
図、 第5図は、前記固体撮像装置の搭載面と対向する装置実
装面側から見た底面図、 第6図は、前記固体撮像装置の搭載面側から見た透明封
止キャップの平面図、 第7図は、前記第6図に示す固体撮像装置の■−■切断
線で切った断面図、 第8図は、前記固体撮像装置の搬送工程時又は出荷時に
おける構成図、 第9図は、前記固体撮像装置を実装したときの構成図、 第10図及び第11図は、本発明の実施例■である固体
撮像装置の部分断面構成図、 第12図は、本発明の実施例■である固体撮像装置の部
分断面構成図である。 図中、1・・・搭載基板、IA・・・基板、IB、IC
・・・内部電極、ID・・・引出配線、IE・・・接続
孔、IF・・・接続孔配線、IG・・・コーテイング材
、IH・・・外部電極、lL・・・装置支持部又はかし
め部、IM・・・紫外線硬化型接着剤、2・・・固体撮
像素子チップ、3・・・透明封止キャップ、3A・・・
キャビティ、5・・・搬送容器、6・・・導電性コネク
タ、7・・・配線基板、8・・・かしめ器具、A・・・
光学有効面、B・・・他の外側表面、G・・・不活性ガ
スである。 ふ 第8区 第4図 一19ξ− 第♂因 ノ/−/ /”/第7ρ
図 第1/図 第22図 t− 旧・・・貨外牒硬他嘔蛙湊剤
断面構成図、 第2図は、前記第1図に示す固体撮像装置を■−■切断
線で切った断面図、 第3図は、前記固体撮像装置の搭載面側から見た搭載基
板の平面図、 第4図は、前記固体撮像装置の搭載基板の部分断面側面
図、 第5図は、前記固体撮像装置の搭載面と対向する装置実
装面側から見た底面図、 第6図は、前記固体撮像装置の搭載面側から見た透明封
止キャップの平面図、 第7図は、前記第6図に示す固体撮像装置の■−■切断
線で切った断面図、 第8図は、前記固体撮像装置の搬送工程時又は出荷時に
おける構成図、 第9図は、前記固体撮像装置を実装したときの構成図、 第10図及び第11図は、本発明の実施例■である固体
撮像装置の部分断面構成図、 第12図は、本発明の実施例■である固体撮像装置の部
分断面構成図である。 図中、1・・・搭載基板、IA・・・基板、IB、IC
・・・内部電極、ID・・・引出配線、IE・・・接続
孔、IF・・・接続孔配線、IG・・・コーテイング材
、IH・・・外部電極、lL・・・装置支持部又はかし
め部、IM・・・紫外線硬化型接着剤、2・・・固体撮
像素子チップ、3・・・透明封止キャップ、3A・・・
キャビティ、5・・・搬送容器、6・・・導電性コネク
タ、7・・・配線基板、8・・・かしめ器具、A・・・
光学有効面、B・・・他の外側表面、G・・・不活性ガ
スである。 ふ 第8区 第4図 一19ξ− 第♂因 ノ/−/ /”/第7ρ
図 第1/図 第22図 t− 旧・・・貨外牒硬他嘔蛙湊剤
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、搭載基板の搭載面に搭載される固体撮像素子チップ
を透明封止キャップで封止する固体撮像装置であって、
前記搭載基板を実質的に平担な板状に構成し、該搭載基
板の搭載面を、透明封止キャップの搭載面に固着される
部分よりも大きい寸法で構成し、該搭載基板の搭載面に
、固体撮像素子チップの端子に接続される複数の内部電
極を構成し、該搭載基板の搭載面と対向する装置実装面
に、前記内部電極と電気的に接続された外部電極を構成
し、前記透明封止キャップに前記固体撮像素子チップを
収納するキャビティを構成したことを特徴とする固体撮
像装置。 2、前記搭載基板の搭載面は、前記複数の内部電極又は
複数の外部電極が配置される方向において、前記透明封
止キャップの前記搭載面に固着される部分よりも大きい
寸法で構成されていることを特徴とする特許請求の範囲
第1項に記載の固体撮像装置。 3、前記透明封止キャップの搭載面に固着される部分よ
りも大きな寸法で構成された、前記搭載基板の搭載面の
一部は、製造工程時や出荷時において、固体撮像装置を
搬送する際の装置支持部を構成することを特徴とする特
許請求の範囲第1項又は第2項に記載の固体撮像装置。 4、前記透明封止キャップの搭載面に固着される部分よ
りも大きな寸法で構成された、前記搭載基板の搭載面の
一部は、導電性コネクタを介在させて固体撮像装置を配
線基板や外部機器に実装する際に、固体撮像装置と配線
基板や外部機器とをかしめ器具でかしめるためのかしめ
領域を構成することを特徴とする特許請求の範囲第1項
又は第2項に記載の固体撮像装置。 5、搭載基板の搭載面に搭載される固体撮像素子チップ
を透明封止キャップで封止する固体撮像装置であって、
前記透明封止キャップを光学レンズとして構成したこと
を特徴とする固体撮像装置。 6、前記透明封止キャップは、透明樹脂材料又は透明ガ
ラス材料で構成されていることを特徴とする特許請求の
範囲第5項に記載の固体撮像装置。 7、搭載基板の搭載面に固体撮像素子チップを搭載し、
前記搭載面に紫外線硬化型接着剤を介在させて透明封止
キャップを固着することにより前記固体撮像素子チップ
を封止する固体撮像装置であって、前記搭載基板又は透
明封止キャップに、固体撮像素子チップを収納するキャ
ビティを構成し、該キャビティ内部に、不活性ガスを封
入したことを特徴とする固体撮像装置。 8、前記紫外線硬化型接着剤は、アクリル樹脂系接着剤
であることを特徴とする特許請求の範囲第7項に記載の
固体撮像装置。 9、前記キャビティ内部に封入される不活性ガスは、8
5〜100[%]の割合の窒素ガスであることを特徴と
する特許請求の範囲第7項又は第8項に記載の固体撮像
装置。 10、前記透明封止キャップは、透明樹脂材料又は透明
ガラス材料で構成されていることを特徴とする特許請求
の範囲第7項乃至第9項に記載の夫々の固体撮像装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62149022A JPS63313858A (ja) | 1987-06-17 | 1987-06-17 | 固体撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62149022A JPS63313858A (ja) | 1987-06-17 | 1987-06-17 | 固体撮像装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63313858A true JPS63313858A (ja) | 1988-12-21 |
Family
ID=15465957
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62149022A Pending JPS63313858A (ja) | 1987-06-17 | 1987-06-17 | 固体撮像装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63313858A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1996038980A1 (fr) * | 1995-05-31 | 1996-12-05 | Sony Corporation | Dispositif de saisie d'image et son procede de fabrication, adaptateur de saisie d'image, processeur de signaux, procede de traitement de signaux, processeur d'informations et procede de traitement d'informations |
JP2008042186A (ja) * | 2006-07-11 | 2008-02-21 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 受光装置および受光装置の製造方法 |
JP2020021937A (ja) * | 2018-07-23 | 2020-02-06 | 信越化学工業株式会社 | 合成石英ガラスキャビティ、合成石英ガラスキャビティリッド、光学素子パッケージ及びこれらの製造方法 |
-
1987
- 1987-06-17 JP JP62149022A patent/JPS63313858A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1996038980A1 (fr) * | 1995-05-31 | 1996-12-05 | Sony Corporation | Dispositif de saisie d'image et son procede de fabrication, adaptateur de saisie d'image, processeur de signaux, procede de traitement de signaux, processeur d'informations et procede de traitement d'informations |
US6122009A (en) * | 1995-05-31 | 2000-09-19 | Sony Corporation | Image pickup apparatus fabrication method thereof image pickup adaptor apparatus signal processing apparatus signal processing method thereof information processing apparatus and information processing method |
JP2008042186A (ja) * | 2006-07-11 | 2008-02-21 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 受光装置および受光装置の製造方法 |
JP2020021937A (ja) * | 2018-07-23 | 2020-02-06 | 信越化学工業株式会社 | 合成石英ガラスキャビティ、合成石英ガラスキャビティリッド、光学素子パッケージ及びこれらの製造方法 |
US11424389B2 (en) | 2018-07-23 | 2022-08-23 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Synthetic quartz glass cavity member, synthetic quartz glass cavity lid, optical device package, and making methods |
US11757067B2 (en) | 2018-07-23 | 2023-09-12 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Synthetic quartz glass cavity member, synthetic quartz glass cavity lid, optical device package, and making methods |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7494292B2 (en) | Image sensor module structure comprising wire bonding package and method of manufacturing the image sensor module structure | |
US6737292B2 (en) | Method of fabricating an image sensor module at the wafer level and mounting on circuit board | |
US7720374B2 (en) | Camera module | |
KR100604190B1 (ko) | 고체촬상장치, 반도체 웨이퍼, 광학장치용 모듈,고체촬상장치의 제조방법, 및 광학장치용 모듈의 제조방법 | |
US7408205B2 (en) | Digital camera module | |
US8120128B2 (en) | Optical device | |
US9019421B2 (en) | Method of manufacturing a miniaturization image capturing module | |
US7595839B2 (en) | Image sensor chip packaging method | |
US6696738B1 (en) | Miniaturized image sensor | |
KR19990036077A (ko) | 고체 촬상 장치 및 그 제조 방법 | |
CN107845653B (zh) | 影像传感芯片的封装结构及封装方法 | |
US20070152345A1 (en) | Stacked chip packaging structure | |
CN104576570A (zh) | 电子部件、电子装置以及用于制造电子部件的方法 | |
US6876544B2 (en) | Image sensor module and method for manufacturing the same | |
JP2002329850A (ja) | チップサイズパッケージおよびその製造方法 | |
US8952412B2 (en) | Method for fabricating a solid-state imaging package | |
US20070034772A1 (en) | Image sensor chip package | |
US7342215B2 (en) | Digital camera module package fabrication method | |
JP2007317719A (ja) | 撮像装置及びその製造方法 | |
US7592197B2 (en) | Image sensor chip package fabrication method | |
JPS63313858A (ja) | 固体撮像装置 | |
JPH02126685A (ja) | 固体イメージセンサー | |
JP2005217322A (ja) | 固体撮像装置用半導体素子とそれを用いた固体撮像装置 | |
JPH02246250A (ja) | 封止用キャップ | |
US7440263B2 (en) | Image sensor and method for manufacturing the same |