JPS63310969A - ジルコニア被覆材料の製造方法 - Google Patents

ジルコニア被覆材料の製造方法

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JPS63310969A
JPS63310969A JP16017986A JP16017986A JPS63310969A JP S63310969 A JPS63310969 A JP S63310969A JP 16017986 A JP16017986 A JP 16017986A JP 16017986 A JP16017986 A JP 16017986A JP S63310969 A JPS63310969 A JP S63310969A
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zirconium
glycol
ether
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JP16017986A
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English (en)
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Michiyoshi Matsuki
松木 理悌
Katsuhiro Niwa
丹羽 勝弘
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Toray Industries Inc
Original Assignee
Toray Industries Inc
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Publication date
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C23C18/02Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by thermal decomposition
    • C23C18/12Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by thermal decomposition characterised by the deposition of inorganic material other than metallic material
    • C23C18/1204Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by thermal decomposition characterised by the deposition of inorganic material other than metallic material inorganic material, e.g. non-oxide and non-metallic such as sulfides, nitrides based compounds
    • C23C18/1208Oxides, e.g. ceramics
    • C23C18/1216Metal oxides

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  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 星泉上匹剋里匁! この発明は、金属などの表面を薄いジルコニアの膜で覆
ってなる、ジルコニア被覆材料を製造する方法に関する
i米凹ズ■ 従来、金属などの表面を薄いジルコニアの膜で覆い、そ
の金属などにはみられない、いろいろな性質を発現させ
ようとすることが試みられている。
その場合、緻密で、ひび割れなどのない被覆膜とするこ
とが重要になる。しかしながら、これはなかなか容易な
ことではない。
たとえば、特開昭59−26966号公報には、いわゆ
るゾル・ゲル法と呼ばれる、薄いジルコニアの膜を製造
する方法が記載されている。この方法は、 (イ) 無機質粉末、たとえばアルミナ粉末を分散相と
し、水を分散媒とするコロイドを調製する工程と、 (ロ) 水の存在下に上記コロイドに熱可塑性バインダ
を添加、混合する工程と、 (ハ) バインダを添加、混合したコロイドから大部分
の分散媒を除去してゲルを生成する工程と、 (ニ) 上記ゲルを膜状にして加熱、焼結する工程と、 を含むものである。しかしながら、この方法を上述した
被覆材料の製造に適用すると、この方法は、コロイドを
、いわゆる出発原料とする方法であるため、その沈降に
より被覆膜にひび割れなどができやすいという問題があ
る。
が ゛しようとする口 71、 この発明の目的は、従来の方法の上記欠点を解決し、緻
密で、ひび割れなどのないジルコニア被覆膜を有する材
料を製造する方法を提供するにある。
Ω 点を 決するための 上記目的を達成するためのこの発明は、次のとおりであ
る。すなわち、 (イ) 下記A群から選ばれた1種のジルコニウムアル
コキシドと、下記8群から選ばれた1種の溶媒とを混合
する工程と、 A群:ジルコニウムメトキシド ジルコニウムエトキシド ジルコニウムプロポキシド ジルコニウムメトキシド 8群:エチレングリコールモノエチル エーテル エチレングリコールモノプロピ ルエーテル エチレングリコールモノブチル エーテル プロビレングリコールモノエチ ルエーテル プロピレングリコールモノプロ ビルエーテル プロピレングリ゛コールモノブチ ルエーテル ブチレングリコールモノエチル エーテル ブチレングリコールモノプロピ ルエーテル ブチレングリコールモノブチル エーテル ジエチレングリコール ジプロピレングリコール ジエチレングリコール (ロ) 前記工程(イ)で得た混合物に水を加えてジル
コニウムアルコキシドを加水分解し、その加水分解生成
物と、前記溶媒と、水とからなる錯体を得る工程と、 (ハ) 前記錯体を基体上に膜状に広げ、乾燥して固化
せしめる工程と、 (ニ) 前記基体を加熱し、その上に形成されている錯
体の固化膜を焼結するとともに前記基体と一体化せしめ
る工程と、 を含むジルコニア被覆材料の製造方法である。
次に、この発明を工程別にざらに詳細に説明する。
工程(イ) この工程においては、下記A群に示すジルコニウムアル
コキシドの1種と、下記B群に示す溶媒の1種とをよく
混合し、A群のアルコキシドをB群の溶媒によく溶解さ
せる。もつとも、この発明においては、必要に応じて、
下記C群のイットリウムアルコキシド、D群のマグネシ
ウムアルコキシドおよびE群のカルシウムアルコキシド
から選ばれた1種のアルコキシドをざらに混合してもよ
い。
A群:ジルコニウムメトキシド ジルコニウムエトキシド ジルコニウムプロボキシド ジルコニウムブトキシド B群:エチレングリコールモノエチルエーテルエチレン
グリコールモノプロビルエーテル エチレングリコールモノブチルエーテルプロピレングリ
コールモノエチルエーテプロピレングリコールモノプロ
ビルエーテル プロピレングリコールモノブチルエーテル ブチレングリコールモノエチルエーテルブチレングリコ
ールモノプロビルエーテル フチレングリコールモノブチルエーテルジエチレングリ
コール ジプロピレングリコール ジプチレングリコール C群:イットリウムメトキシド イットリウムエトキシド イットリウムブロポキシド イットリウムブトキシド D群:マグネシウムメトキシド マグネシウムエトキシド マグネシウムプロボキシド マグネシウムブトキシド E群:カルシウムメトキシド カルシウムエトキシド カルシウムブロボキシド カルシウムブトキシド A群から選ばれたジルコニウムアルコキシドとB群から
選ばれた溶媒との混合は、水分を絶った、たとえば乾燥
窒素を流しているドライボックス中で行う。混合割合は
、A群に属するジルコニウムアルコキシドの濃度が0.
1〜3モル/リットルになるようにするのが好ましい。
0.1モル/リットル未満では、溶媒が多すぎて実用的
でない。
また、3モル/リットルを越えると、アルコキシドの一
部が溶解しないで残存することがある。C群、D群およ
びE群から選ばれたアルコキシドとB群から選ばれた溶
媒との混合も全く同様である。
C群.D群およびE群から選ばれたアルコキシドを併用
する場合には、それらを別途B群から選ばれた溶媒に溶
かしておき、それをA群のジルコニウムアルコキシドと
B群の溶媒との混合物に加える。そのとき、加える量は
、アルコキシドの量が八群のジルコニウムアルコキシド
の量よりも少なくなるようにする。具体的には、イット
リウムアルコキシドを併用する場合には、その量(モル
)がジルコニウムアルコキシドの量(モル)の0.3倍
以下になるようにする。マグネシウムアルコキシドやカ
ルシウムアルコキシドを併用する場合には、0.2倍以
下になるようにする。混合は、室温かつ大気中で行う。
かくして、A群から選ばれたジルコニウムアルコキシド
、ざらに必要に応じてC群、D群およびE群から選ばれ
たアルコキシドと、B群から選ばれた溶媒との混合物が
得られる。この混合物は、液状で、かつ透明である。
工程(口) この工程においては、上記工程(イ)で得た混合物に水
を加え、よく混合してジルコニウムアルコキシドを加水
分解する。すると、加水分解生成物と、溶媒と、水とか
らなる透明な錯体が得られる。加水分解生成物がどのよ
うなものであるのか、必ずしも明確でないが、ジルコニ
ウムの水酸化物や酸化物でないことだけは確かである。
上記0群、D群およびE群から選ばれたアルコキシドを
併用した場合には、錯体はその加水分解生成物をさらに
含んだものとなる。この工程は、室温かつ大気中で行う
水は、被覆膜の均質性に影響を与えるごみなどを含まず
、また沈澱を防止するためにハロゲンイオン濃度が3p
pm以下であるものを用いる。蒸溜水であるのが好まし
い。しかして、水の量は、その量をmモル、混合物中の
ジルコニウムアルコキシドの量をn1モルとしたとき、
式、2n1≦m≦20n1 の範囲内とするのが好ましい。右辺の量を越えると錯体
が薄くなりすぎて実用的でない。また、左辺の量よりも
少ないと、加水分解が十分に起こらない場合がでてくる
。同様の理由から、0群、D群、E群から選ばれたアル
コキシドを併用するとき、水の量は、それらアルコキシ
ドの量をn2モルとしたとき、イツトリウムアルコキシ
ドの場合には、 2n1+1.5n2≦m ≦10 (2n 1+1 、5 n 2 >の範囲にす
るのが好ましく、またマグネシウムアルコキシドやカル
シウムアルコキシドの場合には、2 n 1 + n 
2≦m≦10(2n1+n2>の範囲にするのが好まし
い。
工程(ハ) この工程は、上記工程(ロ)で得た錯体を基体上に膜状
に広げ、乾燥、固化させて、その基体上に固化膜を形成
する工程である。
すなわち、上記錯体を、基体上に、たとえばダイスを使
用して押し出したり、スプレーを使用して吹き付けたり
、刷毛で塗布したりするなどして膜状に広げる。錯体中
に基体を浸漬して引き上げてもよい。ここで使用する基
体は、たとえば、鉄、銅、アルミニウム、ステンレスな
どの金属や、ジルコニア、アルミナ、シリカ、窒化ケイ
素、炭化ケイ素などのセラミックスのようなものである
もちろん、基体には、後の焼結温度で変質しないものが
選ばれる。基体上に広げた錯体の乾燥、固化は、温風炉
などを使用して行う。乾燥温度は、40〜85℃程度で
おる。
工程(ニ) この工程は、基体を加熱し、その表面に形成されている
錯体の固化膜を焼結するとともに基体と一体化せしめる
工程である。これは、次のようにして行う。
すなわち、基体を、固化膜が割れたりしないよう、50
0℃までは10℃/分以下の速度で、それ以上は2℃/
分以下の速度で焼結温度まで昇温し、その温度に数時間
保持して、固化膜の焼結と基体との一体化を行う。焼結
温度は、600〜1500℃程度である。もちろん、基
体が変質する温度よりも低い温度とする。600℃未満
では、被覆膜が固くならないことがある。また、150
0℃を越えると、過焼結になって被覆膜が脆くなること
かめる。好ましい温度は1100〜1300℃である。
また、保持時間は、それをy時間、保持温度をx’Cと
したとき、式、 ’y=−0,01x+15 で求まるyの値の±50%以内とするのが好ましい。焼
結侵、冷却すると、基体表面がジルコニアの薄い膜で覆
われた被覆材料が得られるが、冷却は、被覆膜にひび割
れなどができないよう、500℃までは10℃/分以下
の速度で行うのが好ましい。被覆膜の厚みは、用途など
によって異なるが、0.5〜5μm程度である。
以上において、乾燥炉内を走行するように設けた無端ベ
ルト上に、必要であれば担体を介して、錯体の固化膜を
形成した基体を載せ、乾燥炉を通過中に錯体を乾燥、固
化させ、ざらに焼結炉に送り込むようにすれば、被覆材
料を連続的に製造することができるようになる。
次に、実施例に基いてこの発明をさらに詳細に説明する
衷厖■ユ 乾燥窒素を流しているドライボックス中で、エチレング
リコールモノエチルエーテルにジルコニウムメトキシド
を1モル/リットルになるように加え、よく混合した。
次に、上記混合物に1モルの蒸溜水を加え、大気中で室
温にて30分間混合してジルコニウムメトキシドを加水
分解し、ジルコニウムメトキシドの加水分解生成物と、
エチレングリコールモノエチルエーテルと、水とからな
る錯体を得た。
次に、上記錯体を、アルミナセラミックス板上に置いた
、厚み1.5mm、幅10mm1長さ3Qmmのステン
レス板の表面に、刷毛により、長さ15mmまでの部分
に1回塗した。ざらに、それを80℃の温風炉に入れて
2時間乾燥し、錯体を固化させた。
次に、上記ステンレス板をアルミナセラミックス板に載
せたまま電気炉に入れ、500℃までは5°C/分の速
度で、それ以上は1℃/分の速度で1100℃まで昇温
し、その温度に4時間保持して固化膜を焼結した後、5
00℃までは5℃/分の速度で冷却し、その後炉冷した
。かくして、ステンレス板の表面にジルコニアの被覆膜
が形成されている材料を得た。被覆膜の厚みは、4μm
であった。
上記材料の表面を肉眼で観察したところ、被覆膜のない
部分はステンレスが酸化して黒色を呈していたが、被覆
膜のある部分はそれを通してステンレスの銀灰色の表面
を透視することができた。
また、被覆膜を走査型電子顕微鏡(倍率:3000倍)
で観察したが、ひび割れや傷は認められなかった。
実施例2 乾燥窒素を流しているドライボックス中で、プロピレン
グリコールモノエチルエーテルにジルコニウムメトキシ
ドを1モル/リットルになるように加え、よく混合した
。以下、実施例1と同様にしてジルコニア被覆材料を得
た。この材料の観察結果は、実施例1と同様であった。
実施例3 乾燥窒素を流しているドライボックス中で、ブチレング
リコールモノエチルエーテルにジルコニウムメトキシド
を1モル/リットルになるように加え、よく混合した。
以下、実施例1と同様にしてジルコニア被覆材料を得た
。この材料の観察結果は、実施例1と同様であった。
実施例4 乾燥窒素を流しているドライボックス中で、ジエチレン
グリコールにジルコニウムメトキシドを1モル/リット
ルになるように加え、よく混合した。以下、実施例1と
同様にしてジルコニア被覆材料を得た。この材料の観察
結果は、実施例1と同様であった。
実施例5 乾燥窒素を流しているドライボックス中で、エチレング
リコールモノプロビルエーテルにジルコニウムエトキシ
ドを1モル/リットルになるように加え、よく混合した
。以下、実施例1と同様にしてジルコニア被覆材料を得
た。この材料の観察結果は、実施例1と同様であった。
実施例6 乾燥窒素を流しているドライボックス中で、プロピレン
グリコールモノエチルエーテルにジルコニウムエトキシ
ドを1モル/リットルになるように加え、よく混合した
。以下、実施例1と同様にしてジルコニア被覆材料を得
た。この材料の観察結果は、実施例1と同様であった。
X簾fM7 乾燥窒素を流しているドライボックス中で、ブチレング
リコールモノエチルエーテルにジルコニウムエトキシド
を1モル/リットルになるように加え、よく混合した。
以下、実施例1と同様にしてジルコニア被覆材料を得た
。この材料の観察結果は、実施例1と同様であった。
X塵皿旦 乾燥窒素を流しているドライボックス中で、ジプロピレ
ングリコールにジルコニウムエトキシドを1モル/リッ
トルになるように加え、よく混合した。以下、実施例1
と同様にしてジルコニア被覆材料を得た。この材料の観
察結果は、実施例1と同様であった。
X寵叢ユ 乾燥窒素を流しているドライボックス中で、■チレング
リコールモノブチルエーテルにジルコニウムプロポキシ
ドを1モル/リットルになるように加え、よく混合した
次に、上記錯体に、厚み1.5mm、幅10mm1長さ
30mmのジルコニアセラミックス板を長さ’15mm
の部分まで浸漬し、引き上げ、さらに、それを80℃の
温風炉に入れて2時間乾燥し、錯体を固化させた。
次に、上記セラミックス板をアルミナセラミックス板上
に置いて電気炉に入れ、500℃までは5℃/分の速度
で、それ以上は1℃/分の速度で1000℃まで昇温し
、その温度に4時間保持して固化膜を焼結した後、50
0℃までは5℃/分の速度で冷却し、その後炉冷した。
かくして、ジルコニアセラミックスの一部の表面にジル
コニア被覆膜が形成されている材料を得た。被覆膜の厚
みは、0.8μmであった。
上記材料の表面を肉眼で観察したところ、被覆膜のない
部分は無光沢であったが、被覆膜のある部分は釉をかけ
たような光沢を呈していた。また、被覆膜を走査型電子
顕微鏡(倍率:3000倍)で観察したが、ひび割れや
傷は認められなかった。
さらに、触針式粗さ計で表面粗さを測定したところ、最
大粗さは、被覆膜のない部分が0.5μmでめったのに
対し、被覆膜を有する部分は0.05μmであった。
実施例10 乾燥窒素を流しているドライボックス中で、プロピレン
グリコールモノブチルエーテルにジルコニウムプロポキ
シドを1モル/リットルになるように加え、よく混合し
た。以下、実施例9と同様にしてジルコニア被覆材料を
得た。この材料の観察結果は、実施例9と同様であった
!置皿ユニ 乾燥窒素を流しているドライボックス中で、ブチレング
リコールモノブチルエーテルにジルコニウムプロポキシ
ドを1モル/リットルになるように加え、よく混合した
。以下、実施例9と同様にしてジルコニア被覆材料を得
た。この材料の観察結果は、実施例9と同様であった。
!思叢ユ2 乾燥窒素を流しているドライボックス中で、ジエチレン
グリコールにジルコニウムプロポキシドを1モル/リッ
トルになるように加え、よく混合した。以下、実施例9
と同様にしてジルコニア被覆材料を得た。この材料の観
察結果は、実施例9と同様であった。
実施例13 乾燥窒素を流しているドライボックス中で、エチレング
リコールモノエチルエーテルにジルコニウムブトキシド
を1モル/リットルになるように加え、よく混合した。
以下、実施例9と同様にしてジルコニア被覆材料を得た
。この材料の観察結果は、実施例9と同様であった。
実施例14 乾燥窒素を流しているドライボックス中で、プロピレン
グリコールモノプロピルエーテルにジルコニウムブトキ
シドを1モル/リットルになるように加え、よく混合し
た。以下、実施例9と同様にしてジルコニア被覆材料を
得た。この材料の観察結果は、実施例9と同様であった
夫血盟ユニ 乾燥窒素を流しているドライボックス中で、ブチレング
リコールモノエチルエーテルにジルコニウムブトキシド
を1モル/リットルになるように加え、よく混合した。
以下、実施例9と同様にしてジルコニア被覆材料を得た
。この材料の観察結果は、実施例9と同様であった。
叉五里ユ1 乾燥窒素を流しているドライボックス中で、ジエチレン
グリコールにジルコニウムブトキシドを1モル/リット
ルになるように加え、よく混合した。以下、実施例9と
同様にしてジルコニア被覆材料を得た。この材料の観察
結果は、実施例9と同様であった。
!i叢ユl 乾燥窒素を流しているドライボックス中で、ブチレング
リコールモノエチルエーテルにジルコニウムメトキシド
を1モル/リットルになるように加え、ざらにカルシウ
ムプロポキシドを0.1モル/リットルになるように加
え、よく混合した。
以下、実施例1と同様にしてジルコニア被覆材料を得た
。この材料の観察結果は、実施例1と同様であった。
X血叢ユ呈 乾燥窒素を流しているドライボックス中で、ジエチレン
グリコールにジルコニウムメトキシドを1モル/リット
ルになるように加え、ざらにイツトリウムブトキシドを
0.15モル/リットルになるように加え、よく混合し
た。以下、実施例1と同様にしてジルコニア被覆材料を
得た。この材料の観察結果は、実施例1と同様であった
実施例19 乾燥窒素を流しているドライボックス中で、ブチレング
リコールモノプロビルエーテルにジルコニウムエトキシ
ドを1モル/リットルになるように加え、ざらにイツト
リウムプロポキシドを0゜15モル/リットルになるよ
うに加え、よく混合した。以下、実施例1と同様にして
ジルコニア被覆材料を得た。この材料の観察結果は、実
施例1と同様であった。
X旗ei12塁 乾燥窒素を流しているドライボックス中で、ジプロピレ
ングリコールにジルコニウムエトキシドを1モル/リッ
トルになるように加え、ざらにマグネシウムブトキシド
を0.1モル/リットルになるように加え、よく混合し
た。以下、実施例1と同様にしてジルコニア被覆材料を
得た。この材料の観察結果は、実施例1と同様であった
衷血■2ユ 乾燥窒素を流しているドライボックス中で、プロピレン
グリコールモノブチルエーテルにジルコニウムプロポキ
シドを1モル/リットルになるように加え、ざらにイツ
トリウムエトキシドを0゜15モル/リットルになるよ
うに加え、よく混合した。以下、実施例9と同様にして
ジルコニア被覆材料を得た。この材料の観察結果は、実
施例9と同様であった。
衷践豊22 乾燥窒素を流しているドライボックス中で、ブチレング
リコールモノブチルエーテルにジルコニウムプロポキシ
ドを1モル/リットルになるように加え、さらにマグネ
シウムプロポキシドを0゜1モル/リットルになるよう
に加え、よく混合した。以下、実施例9と同様にしてジ
ルコニア被覆材料を得た。この材料の観察結果は、実施
例9と同様であった。
実施例23 乾燥窒素を流しているドライボックス中で、エチレング
リコールモノエチルエーテルにジルコニウムブトキシド
を1モル/リットルになるように加え、さらにイツトリ
ウムメトキシドを0.15モル/リットルになるように
加え、よく混合した。
以下、実施例9と同様にしてジルコニア被覆材料を得た
。この材料の観察結果は、実施例9と同様であった。
実施例24 乾燥窒素を流しているドライボックス中で、ブチレング
リコールモノエチルエーテルにジルコニウムブトキシド
を1モル/リットルになるように加え、さらにカルシウ
ムブトキシドを0.1モル/リットルになるように加え
、よく混合した。以下、実施例9と同様にしてジルコニ
ア被覆材料を得た。この材料の観察結果は、実施例9と
同様であった。
R1五盈ス この発明は、下記A群から選ばれた1種のジルコニウム
アルコキシドと、下記8群から選ばれた1種の溶媒とを
混合する工程と、 A群:ジルコニウムメトキシド ジルコニウムエトキシド ジルコニウムプロポキシド ジルコニウムブトキシド 8群:エチレングリコールモノエチルエーテルエチレン
グリコールモノプロビルエーテル エチレングリコールモノブチルエーテルプロピレングリ
コールモノエチルエーテル プロピレングリコールモノプロピルエーテル プロピレングリコールモノブチルエーテブチレングリコ
ールモノエチルエーテルブチレングリコールモノプロピ
ルエーテル ブチレングリコールモノブチルエーテルジエチレングリ
コール ジプロピレングリコール ジプチレングリコール 上記工程で得た混合物に水を加えてジルコニウムアルコ
キシドを加水分解し、その加水分解生成物と、上記溶媒
と、水とからなる錯体を得る工程とを含み、その錯体を
、いわゆる出発原料とするものであるから、実施例にも
示したように、ジルコニアの、緻密で、ひび割れのない
被覆膜を有する材料を得ることができる。しかも、その
被覆膜の表面は大変滑かである。
この発明によって得られるジルコニア被覆材料は、上述
したように、被覆膜が緻密でひび割れなどがなく、しか
もジルコニアの特長である電気絶縁性、断熱性、耐熱性
、耐蝕性を有し、かつ強度や靭性、耐摩耗性が高い。そ
のため、いろいろな用途に使用することができる。たと
えば、熱機関用部品(燃焼室のケーシング、タービンの
羽、ピストンなど)、熱分析機器用部品(試料室の壁、
試料の支持具など)、熱交換器用部品(断熱壁など)、
電気回路用基板、固体電解質酸素センサ用部品、燃料電
池用部品などの構成材料として使用することができる。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 (イ)下記A群から選ばれた1種のジルコニウムアルコ
    キシドと、下記B群から選ば れた1種の溶媒とを混合する工程と、 A群:ジルコニウムメトキシド ジルコニウムエトキシド ジルコニウムプロポキシド ジルコニウムブトキシド B群:エチレングリコールモノエチルエーテル エチレングリコールモノプロピルエーテル エチレングリコールモノブチルエーテル プロピレングリコールモノエチルエーテル プロピレングリコールモノプロピルエーテル プロピレングリコールモノブチルエーテル ブチレングリコールモノエチルエーテル ブチレングリコールモノプロピルエーテル ブチレングリコールモノブチルエーテル ジエチレングリコール ジプロピレングリコール ジプチレングリコール (ロ)前記工程(イ)で得た混合物に水を加えてジルコ
    ニウムアルコキシドを加水分 解し、その加水分解生成物と、前記溶媒 と、水とからなる錯体を得る工程と、 (ハ)前記錯体を基体上に膜状に広げ、乾燥して固化せ
    しめる工程と、 (ニ)前記基体を加熱し、その上に形成されている錯体
    の固化膜を焼結するとともに 前記基体と一体化せしめる工程と、 を含むジルコニア被覆材料の製造方法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPS6483584A (en) * 1987-09-24 1989-03-29 Toshiba Ceramics Co Production of oxidation-resistant nonoxide based ceramics
DE10324910A1 (de) * 2003-05-30 2004-12-23 Vacuumschmelze Gmbh & Co. Kg Metallischer Gegenstand mit elektrisch isolierender Beschichtung sowie Verfahren zur Herstellung einer elektrisch isolierenden Beschichtung

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