JPS63308714A - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents
磁気ヘッドの製造方法Info
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- JPS63308714A JPS63308714A JP14410787A JP14410787A JPS63308714A JP S63308714 A JPS63308714 A JP S63308714A JP 14410787 A JP14410787 A JP 14410787A JP 14410787 A JP14410787 A JP 14410787A JP S63308714 A JPS63308714 A JP S63308714A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は磁気記録媒体に磁気コアを１接して情報の記録
又は再生を行なう磁気ヘッドの製造方法に関し、特に磁
気コアの本体の大部分が磁性酸化物、いわゆるフェライ
トから成り、その磁気ギャップに面するギャップ形成面
に磁性合金薄膜が成膜されたいわゆる複合型の磁気ヘッ
ドの製造方法に関するものである。
又は再生を行なう磁気ヘッドの製造方法に関し、特に磁
気コアの本体の大部分が磁性酸化物、いわゆるフェライ
トから成り、その磁気ギャップに面するギャップ形成面
に磁性合金薄膜が成膜されたいわゆる複合型の磁気ヘッ
ドの製造方法に関するものである。
［従来の技術］
近年磁気記録技術の分野においては高保磁力のメタルテ
ープにより顕著な出力の向上とＣＮ比の向上が達成され
、ＶＴＲ等の高密度記録が必要とされる分野において大
幅な記録密度の向上が達成されつつある。
ープにより顕著な出力の向上とＣＮ比の向上が達成され
、ＶＴＲ等の高密度記録が必要とされる分野において大
幅な記録密度の向上が達成されつつある。
しかしメタルテープに対して従来ＶＴＲ等で用いられて
いた磁気コアの本体全体がフェライトから成る磁気ヘッ
ドでは、フェライトの飽和磁束密度が約５０００ガウス
以下であるため、記録磁界の強さが充分でない。そこで
高保磁力のメタルテープを使用するためには、磁気コア
の材料として飽和磁束密度の高い金属磁性材料を用いる
ことが必要となってきた。従来用いられてきた飽和磁束
密度の高い金属磁性材料としては、例えばＦｅ−Ａｊ！
−３ｔ系合金、あるいはＦｅ−Ｎｉ系合金等の結晶Ｘ磁
性合金があり、また最近開発されたＣｏ系非晶質合金等
がある。
いた磁気コアの本体全体がフェライトから成る磁気ヘッ
ドでは、フェライトの飽和磁束密度が約５０００ガウス
以下であるため、記録磁界の強さが充分でない。そこで
高保磁力のメタルテープを使用するためには、磁気コア
の材料として飽和磁束密度の高い金属磁性材料を用いる
ことが必要となってきた。従来用いられてきた飽和磁束
密度の高い金属磁性材料としては、例えばＦｅ−Ａｊ！
−３ｔ系合金、あるいはＦｅ−Ｎｉ系合金等の結晶Ｘ磁
性合金があり、また最近開発されたＣｏ系非晶質合金等
がある。
しかしながらこれらの磁性合金で磁気コアの本体全体を
形成すると渦電流損失により特に高周波領域での損失が
大きくなってしまう。このため上記のように磁気コアの
本体がフェライトから成り、その磁気ギャップに面する
ギャップ形成面に磁性合金薄膜が成膜されたいわゆる複
合型の磁気ヘッドの構造が採用されている。
形成すると渦電流損失により特に高周波領域での損失が
大きくなってしまう。このため上記のように磁気コアの
本体がフェライトから成り、その磁気ギャップに面する
ギャップ形成面に磁性合金薄膜が成膜されたいわゆる複
合型の磁気ヘッドの構造が採用されている。
このような複合型の磁気ヘッドの従来の製造方法の概略
を説明すると、まず磁気コアを形成する母材としてのフ
ェライトピ−スを一対用意し、それぞれの表面に上述し
た磁性合金薄膜を成膜する。次に一方のフェライトピー
スに磁気コアにコイル巻線を巻回するための巻線溝を形
成する。また両方のピースについて磁気コアのトラック
幅を規定するためのトラック溝を形成する。巻線溝もト
ラック溝もフェライトピースの磁性合金薄膜を成膜した
成膜面に形成される。
を説明すると、まず磁気コアを形成する母材としてのフ
ェライトピ−スを一対用意し、それぞれの表面に上述し
た磁性合金薄膜を成膜する。次に一方のフェライトピー
スに磁気コアにコイル巻線を巻回するための巻線溝を形
成する。また両方のピースについて磁気コアのトラック
幅を規定するためのトラック溝を形成する。巻線溝もト
ラック溝もフェライトピースの磁性合金薄膜を成膜した
成膜面に形成される。
次に両フェライトピースを磁気ギャップを介して接合し
、磁気テープ摺動面の加工を行なった後に両ピースの接
合体を所定の厚さに切断して磁気コアが得られる。そし
てその磁気コアにコイル巻線を巻装して磁気ヘッドが完
成する。
、磁気テープ摺動面の加工を行なった後に両ピースの接
合体を所定の厚さに切断して磁気コアが得られる。そし
てその磁気コアにコイル巻線を巻装して磁気ヘッドが完
成する。
［発明が解決しようとする問題点］
ところが上記のような従来の製造工程によると、上述し
たトラック溝および巻線溝を形成する工程の際に磁性合
金の成膜されたフェライトピースにおいて異種の磁性材
料である磁性合金薄膜の部分とフェライトの部分に加工
のため加えられる機械的な力による加工歪みが生じてし
まう。そしてこの加工歪みにより磁性合金薄膜とフェラ
イトの溝に面する部分の磁気特性が劣化し、その結果製
造された磁気ヘッドの特性が劣化するという問題があっ
た。特に磁性合金薄膜を非晶質合金から形成した場合に
は、非晶質合金は靭性が高く加工しにくいためその特性
の劣化は著しい。
たトラック溝および巻線溝を形成する工程の際に磁性合
金の成膜されたフェライトピースにおいて異種の磁性材
料である磁性合金薄膜の部分とフェライトの部分に加工
のため加えられる機械的な力による加工歪みが生じてし
まう。そしてこの加工歪みにより磁性合金薄膜とフェラ
イトの溝に面する部分の磁気特性が劣化し、その結果製
造された磁気ヘッドの特性が劣化するという問題があっ
た。特に磁性合金薄膜を非晶質合金から形成した場合に
は、非晶質合金は靭性が高く加工しにくいためその特性
の劣化は著しい。
［問題点を解決するための手段］
このような問題点を解決するため本発明によれば、磁気
コアを形成する母材としての磁性酸化物ピースの表面に
磁性合金薄膜を成膜した後に前記ピースの薄膜成膜面に
少なくとも前記磁性酸化物に達する溝を形成する工程を
有する磁気ヘッドの製造方法において、前記工程後に、
前記溝の形成により前記ピースの磁性合金薄膜と磁性酸
化物部分に生じる加工歪みをエツチングにより除去する
工程を有する構成を採用した。
コアを形成する母材としての磁性酸化物ピースの表面に
磁性合金薄膜を成膜した後に前記ピースの薄膜成膜面に
少なくとも前記磁性酸化物に達する溝を形成する工程を
有する磁気ヘッドの製造方法において、前記工程後に、
前記溝の形成により前記ピースの磁性合金薄膜と磁性酸
化物部分に生じる加工歪みをエツチングにより除去する
工程を有する構成を採用した。
［作 用］
このような構成によれば上記のエツチングにより加工歪
みが除去されるので、上記ピースの磁性合金薄膜と磁性
酸化物部分の前記溝に面する部分の磁気特性を向上させ
ることができ、優れた特性の磁気ヘッドを製造できる。
みが除去されるので、上記ピースの磁性合金薄膜と磁性
酸化物部分の前記溝に面する部分の磁気特性を向上させ
ることができ、優れた特性の磁気ヘッドを製造できる。
［実施例］
以下、添付した図面を参照して本発明の実施例の詳細を
説明する。
説明する。
第１図（Ａ）〜（Ｆ）は本発明の実施例としてＶＴＲの
画像記録再生用の磁気ヘッドの製造工程を説明するもの
である。
画像記録再生用の磁気ヘッドの製造工程を説明するもの
である。
本実施例の製造工程では、まず磁気コアを形成する母材
として、例えばＭｎ−Ｚｎフェライトから第１図（Ａ）
に示すように直方体形状に形成したフェライトピース１
を一対用意する。
として、例えばＭｎ−Ｚｎフェライトから第１図（Ａ）
に示すように直方体形状に形成したフェライトピース１
を一対用意する。
次にこのフェライトピース１において磁気ギャップに面
するギャップ形成面となる図中上面に第１図（Ｂ）に示
すよう先述した高飽和磁束密度の磁性合金薄１Ｉｉ２を
スパッタリング法等により所定の厚さに成膜する。磁性
合金薄膜２は例えばＣｏ−Ｎｂ−Ｚｒ系の非晶質磁性合
金から形成するものとする。
するギャップ形成面となる図中上面に第１図（Ｂ）に示
すよう先述した高飽和磁束密度の磁性合金薄１Ｉｉ２を
スパッタリング法等により所定の厚さに成膜する。磁性
合金薄膜２は例えばＣｏ−Ｎｂ−Ｚｒ系の非晶質磁性合
金から形成するものとする。
次に一方のフェライトピース１について第１図（Ｃ）に
示すように磁気コアにコイル巻線を巻装するための巻線
溝３を磁性合金薄膜２の成膜面に形成する。
示すように磁気コアにコイル巻線を巻装するための巻線
溝３を磁性合金薄膜２の成膜面に形成する。
又両方のピースについて第１図（Ｄ）に示すように磁気
コアのトラック幅を規定するためのトラック溝４をトラ
ック幅に対応する所定間隔で形成する。
コアのトラック幅を規定するためのトラック溝４をトラ
ック幅に対応する所定間隔で形成する。
次に本実施例では本発明にかかわる工程として両方のフ
ェライトピース１をエツチングし、上記のトラック溝４
と巻線溝３の形成によりフェライトピース１の磁性合金
薄膜２とフェライト部分に生じた加工歪み層を除去する
。エツチング方法としては例えばフェライトピース１を
リン酸溶液等のエツチング液中に浸漬する等の方法を用
いるものとする。
ェライトピース１をエツチングし、上記のトラック溝４
と巻線溝３の形成によりフェライトピース１の磁性合金
薄膜２とフェライト部分に生じた加工歪み層を除去する
。エツチング方法としては例えばフェライトピース１を
リン酸溶液等のエツチング液中に浸漬する等の方法を用
いるものとする。
次に一方又は両方のピースについて磁気ギャップのスペ
ーサとなる例えば５ｆ０２等の非磁性材から成る非磁性
膜をスパッタリング等により磁性合金薄膜２上に所定の
厚さに成膜する。
ーサとなる例えば５ｆ０２等の非磁性材から成る非磁性
膜をスパッタリング等により磁性合金薄膜２上に所定の
厚さに成膜する。
次に第１図（Ｅ）に示すように両方のフェライトピース
１．１を上記の非磁性膜のギャップスペーサから成る磁
気ギャップ５を介して突ぎ合せ、トラック溝４に溶着ガ
ラス６を充填し、その溶着により両ピース１．１どうし
を接合する。溶着ガラスとしては例えばｐｂ系の溶着ガ
ラスを用いる。溶着条件としては４８０℃程度で加熱時
間は３０分程度とする。
１．１を上記の非磁性膜のギャップスペーサから成る磁
気ギャップ５を介して突ぎ合せ、トラック溝４に溶着ガ
ラス６を充填し、その溶着により両ピース１．１どうし
を接合する。溶着ガラスとしては例えばｐｂ系の溶着ガ
ラスを用いる。溶着条件としては４８０℃程度で加熱時
間は３０分程度とする。
次にフェライトピース１．１を接合したブロックの第１
図（Ｅ）中の上面を磁気テープ摺動面として円筒形に研
削、研摩した後、図中一点鎖線で示す切断線に沿って前
記のブロックを所定の厚さで切断して第１？］ （Ｆ）
に示す磁気コア７が得られる。そしてこの磁気コア７に
巻線溝３を介して不図示のコイル巻線を巻回して磁気ヘ
ッドが完成する。
図（Ｅ）中の上面を磁気テープ摺動面として円筒形に研
削、研摩した後、図中一点鎖線で示す切断線に沿って前
記のブロックを所定の厚さで切断して第１？］ （Ｆ）
に示す磁気コア７が得られる。そしてこの磁気コア７に
巻線溝３を介して不図示のコイル巻線を巻回して磁気ヘ
ッドが完成する。
このような本実施例の製造工程によれば上記のエツチン
グにより加工歪みが除去されるので、フェライトピース
１の磁性合金薄膜２とフェライト部分の磁性特性が向上
し、その結果製造される磁気ヘッドの特性が例えば第２
図に示すように向上する。第２図は上述した本実施例の
製造工程で作成した磁気ヘッドと、上記の工程からエツ
チング工程を除いた従来の工程で作成した磁気ヘッドの
それぞれについて、高保磁力のメタルテープに対する記
録再生出力の周波数特性を測定した結果を示している。
グにより加工歪みが除去されるので、フェライトピース
１の磁性合金薄膜２とフェライト部分の磁性特性が向上
し、その結果製造される磁気ヘッドの特性が例えば第２
図に示すように向上する。第２図は上述した本実施例の
製造工程で作成した磁気ヘッドと、上記の工程からエツ
チング工程を除いた従来の工程で作成した磁気ヘッドの
それぞれについて、高保磁力のメタルテープに対する記
録再生出力の周波数特性を測定した結果を示している。
同図中で符号２１で示す本実施例によるヘッドの特性と
、符号２２で示す従来例によるヘッドの特性との比較か
ら明らなように、本実施例によれば特に低周波領域にお
いて磁気ヘッドの特性が顕著に向上することがわかる。
、符号２２で示す従来例によるヘッドの特性との比較か
ら明らなように、本実施例によれば特に低周波領域にお
いて磁気ヘッドの特性が顕著に向上することがわかる。
［発明の効果］
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、磁気
コアを形成する母材としての磁性酸化物ピースの表面に
磁性合金薄膜を成膜した後に前記ピースの薄膜成膜面に
少なくとも前記磁性酸化物に達する溝を形成する工程を
有する磁気ヘッドの製造方法において、前記工程後に、
前記溝の形成により前記ピースの磁性合金薄膜と磁性酸
化物部分に生じる加工歪みをエツチングにより除去する
工程を有する構成を採用したので、加工歪みの除去によ
り磁性酸化物ピースの磁性合金薄膜と磁性酸化物部分の
磁気特性を向上でき、優れた特性の磁気ヘッドを製造す
ることができる。
コアを形成する母材としての磁性酸化物ピースの表面に
磁性合金薄膜を成膜した後に前記ピースの薄膜成膜面に
少なくとも前記磁性酸化物に達する溝を形成する工程を
有する磁気ヘッドの製造方法において、前記工程後に、
前記溝の形成により前記ピースの磁性合金薄膜と磁性酸
化物部分に生じる加工歪みをエツチングにより除去する
工程を有する構成を採用したので、加工歪みの除去によ
り磁性酸化物ピースの磁性合金薄膜と磁性酸化物部分の
磁気特性を向上でき、優れた特性の磁気ヘッドを製造す
ることができる。
第１図（Ａ）から（Ｆ）はそれぞれ本発明の実施例によ
る磁気ヘッドの製造工程の説明図、２図は実施例の工程
で製造した磁気ヘッドと従来の工程で製造した磁気ヘッ
ドのそれぞれについての記録再生出力の周波数特性を示
す線図である。 １・・・フェライトピース ２・・・磁性合金薄膜３・
・・巻線溝 ４・・・トラック溝５・・・磁
気ギャップ ６・・・溶着ガラス７・・・磁気コア 纂１ 弊明記 図
る磁気ヘッドの製造工程の説明図、２図は実施例の工程
で製造した磁気ヘッドと従来の工程で製造した磁気ヘッ
ドのそれぞれについての記録再生出力の周波数特性を示
す線図である。 １・・・フェライトピース ２・・・磁性合金薄膜３・
・・巻線溝 ４・・・トラック溝５・・・磁
気ギャップ ６・・・溶着ガラス７・・・磁気コア 纂１ 弊明記 図
Claims (1)
- 磁気コアを形成する母材としての磁性酸化物ピースの表
面に磁性合金薄膜を成膜した後に前記ピースの薄膜成膜
面に少なくとも前記磁性酸化物に達する溝を形成する工
程を有する磁気ヘッドの製造方法において、前記工程後
に、前記溝の形成により前記ピースの磁性合金薄膜と磁
性酸化物部分に生じる加工歪みをエッチングにより除去
する工程を有することを特徴とする磁気ヘッドの製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14410787A JPS63308714A (ja) | 1987-06-11 | 1987-06-11 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14410787A JPS63308714A (ja) | 1987-06-11 | 1987-06-11 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63308714A true JPS63308714A (ja) | 1988-12-16 |
Family
ID=15354348
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14410787A Pending JPS63308714A (ja) | 1987-06-11 | 1987-06-11 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63308714A (ja) |
-
1987
- 1987-06-11 JP JP14410787A patent/JPS63308714A/ja active Pending
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