JPS63307755A - 半導体製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、製品の不良要因や装置の異常要因を診断する
機能を備えた半導体製造装置に関するものである。

従来の技術 近年、半導体製品の集積度は増加の一途をたどシ、ＬＳ
ＩからＶＬＳ　Ｉへと進展してきた。この集積化に伴な
い、従来は問題とならない僅かなプロセス異常が製品不
良を発生させる傾向が強くなっている。

半導体製造装置はコントローラで制御されており、故障
が発生した時や装置の部品交換時期がきた場合には、エ
ラーメツセージがリアルタイムで表示部に表示されるよ
うに構成されている。尚、そのエラーメツセージは情報
を知らせるのみであり、前記情報は決まったものしか処
理できない。

そのため、新たな故障て対しては、多大の時間をかけて
コントローラを改造し、情報の追加・修正を行なってい
た。さらには、対応時間が多大のために、コントローラ
の改造など対応できない事もあった。そのため、修理を
行なうには、クリンルーム内へのマニュアルの持ち込み
や熟練技術者への問い合わせ、もしくは、依頼が必要で
あった。

また、半導体の製造にはノウ・・つ技術が多数存在する
が、そのため異常診断には理論的知識だけでなく、熟練
技術者の経験的専門知識が不可欠であり、オペレータは
情報を熟練技術者へ提供し処置を依頼していた。

発明が解決しようとする問題点 しかしながら、上記の従来法では熟練技術者の経験的専
門知識は熟練技術者個人のものであり、しかもプロセス
の複雑化によって経験的専門知識は多数の人に分散化し
てしまっているので、設備の開発時点の知識で装置の修
理や製品の不良処置の全てのトラブルに対応できるわけ
でなく、その設備に関する熟練技術者が対応しても複雑
なために時間がかかるという問題を有していた。

本発明は、上記問題点に鑑み、診断に必要とする知識に
複数の熟練技術者の知識を追加・修正することにより共
有化し、オペレータが対話方式によシ適正な異常診断が
出来る半導体製造装置を提供することを目的とする。

問題点を解決するための手段 上記問題点を解決するため、本発明の半導体製造装置は
、半導体製造装置本体のコントローラから診断に必要な
データを収集する手段と、診断に必要な情報の入力手段
と、診断に゛必要とする知識を追加・修正する手段と、
入力情報に応答して前記データ及び知識をもとにして診
断する診断手段と、診断手段にて特定された修正手順や
対応処理を表示する表示手段とを備えたことを特徴とす
るものである。

作　　用 本発明は、上記のように診断に必要とする知識を追加・
修正する手段を備えているので、熟練技術者等によって
追加・修正された知識に基づいて診断手段にて異常診断
し、表示手段にて表示するので、オペレータが熟練技術
者の知識を利用して装置の異常要因や製品の不良要因を
診断することができ、装置の修理や製品の不良処置に対
する適切な対応が迅速に行なえるようになる。

実施例 以下、本発明の一実施例の半導体製造装置について図面
を参照しながら説明する。

第１図において、診断手段３は異常診断に必要な理論的
知識・熟練技術者の経験的専門知識が格納されており、
異常診断の際に入力情報をもとに因果関係の知識から原
因を究明し、修理手順や対応処置を表示手段４を通じて
指示する。この診断手段３は半導体装置本体１のコント
ローラ２と接続されており、データ収集手段６を通じて
異常診断に必要なデータを収集できるようになっている
。

４は表示手段、６は異常診断の際に情報を入力したシ、
専門知識の追加・修正をするためのキーボードで、情報
入力手段７、知識追加・修正手段８を介して診断手段３
に接続されている。

次に以上の半導体製造装置で異常診断処理を行なう場合
について説明する。

装置修理は、診断手段３が半導体製造装置本体１のコン
トローラ２よシデータ収集手段６を通じて異常診断に必
要なデータを収集し、原因と修理手順を表示手段４に表
示する。オペレータは表示部に指示された修理手順で作
業を行なう。

また、オペレータがキーボード６から情報を入力し、情
報入力手段７を通じて異常診断を行なう場合は、診断手
段３とオペレータとの対話形式の処理にて進められる。

従って、異常診断の処理は第２図に示すようなツリー（
木）構造を持ったものと考えることができる。

すなわち、異常診断の開始は２１に始まり、何らかのメ
ツセージが表示手段４に表示されるのでオペレータが表
示されたメツセージに対する回答をキーボード６を通じ
て入力することによってその回答に従って処理２２また
は２３に分岐する。

以下、同様にして二者択一の分岐処理を続けて行き、最
終的に２４に示した処理結果のいずれかに到達する。処
理過程において、内容が不明確なものについてはキーボ
ード５から”ｈｅｆｉｐ”キーが入力されたとき、その
内容を確認することができる。

次に異常診断処理の具体的な例について説明する。

ａ、まず、異常診断対象の処理番号を指定することによ
って異常診断処理が決定される。

ｂ、異常診断処理を実行するに伴なって、表示手段４に
メツセージが表示される。

Ｃ６上記メツセージに従って、オペレータが修理処理や
対応処置を行なう。

ｄ０判定処理はオペレータがキーボード５よシ二者択一
式で行なう。

θ０判定結果は表示手段４に表示される。

１０以上の処理を検索し、検索が完了すれば処理は終了
する。

以上述べたように、入力された情報から処理すべきメソ
セージが与えられ、オペレータはその表示されたメツセ
ージによって処理していけばよいことになる。

次に熟練技術者の知識の追加・修正する方法について説
明する。

たとえば、第２図の２１と２２の知識の追加・修正につ
いて第３図に示す。

３１は条件を示し、３２は結果を示す。

修正・追加時は、たとえば条件３１と結果３２をキーボ
ード６を通じて入力すればよい。

第２図の他のフォーマットの知識についても同様の手順
で行なうことができる。

なお、条件部および結果部が論理式の場合や、装置のセ
ンサー情報であっても可能であることはいうまでもない
。

装置履歴、トラブル履歴の管理は異常診断処理を実施し
た時、その内容が自動的に診断装置内の装置履歴、トラ
ブル履歴管理手段９に格納され、必要に応じてそのデー
タを検索することができる。

発明の効果 以上のように本発明の半導体製造装置によれば、理論的
知識だけでなく、複数の熟練技術者の経験的専門知識に
よって診断に必要とする知識を追加修正できるため、複
数技術者の知識を共有化することができ、最適の知識に
もとづいて製品の不良要因や装置の異常要因を診断でき
、そのため、オペレータにより適切な診断を速やかに行
なうことができ、装置の修理や製品の不良処置に対する
適切な対応を迅速に行なうことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の半導体製造装置の構成を示
すブロック図、第２図は診断処理の手順を示す説明図、
第３図は知識の追加・修正の手順を示す説明図である。 １・・・・・・半導体製造装置本体、２・・・・・・コ
ントローラ、３・・・・・・診断手段、４・・・・・・
表示手段、６・・・・・・データ収集手段、７・・・・
・・情報入力手段、８・・・・・・知識追加・修正手段
。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　半導体製造装置本体のコントローラから診断に必要な
   データを収集する手段と、診断に必要な情報の入力手段
   と、診断に必要とする知識を追加・修正する手段と、入
   力情報に応答して前記データ及び知識をもとにして診断
   する診断手段と、診断手段にて特定された修正手順や対
   応処理を表示する表示手段とを備えたことを特徴とする
   半導体製造装置。