JPS63307755A - 半導体製造装置 - Google Patents
半導体製造装置Info
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- JPS63307755A JPS63307755A JP62144753A JP14475387A JPS63307755A JP S63307755 A JPS63307755 A JP S63307755A JP 62144753 A JP62144753 A JP 62144753A JP 14475387 A JP14475387 A JP 14475387A JP S63307755 A JPS63307755 A JP S63307755A
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- Japan
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- diagnosis
- knowledge
- necessary
- repair
- semiconductor manufacturing
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Links
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Landscapes
- Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、製品の不良要因や装置の異常要因を診断する
機能を備えた半導体製造装置に関するものである。
機能を備えた半導体製造装置に関するものである。
従来の技術
近年、半導体製品の集積度は増加の一途をたどシ、LS
IからVLS Iへと進展してきた。この集積化に伴な
い、従来は問題とならない僅かなプロセス異常が製品不
良を発生させる傾向が強くなっている。
IからVLS Iへと進展してきた。この集積化に伴な
い、従来は問題とならない僅かなプロセス異常が製品不
良を発生させる傾向が強くなっている。
半導体製造装置はコントローラで制御されており、故障
が発生した時や装置の部品交換時期がきた場合には、エ
ラーメツセージがリアルタイムで表示部に表示されるよ
うに構成されている。尚、そのエラーメツセージは情報
を知らせるのみであり、前記情報は決まったものしか処
理できない。
が発生した時や装置の部品交換時期がきた場合には、エ
ラーメツセージがリアルタイムで表示部に表示されるよ
うに構成されている。尚、そのエラーメツセージは情報
を知らせるのみであり、前記情報は決まったものしか処
理できない。
そのため、新たな故障て対しては、多大の時間をかけて
コントローラを改造し、情報の追加・修正を行なってい
た。さらには、対応時間が多大のために、コントローラ
の改造など対応できない事もあった。そのため、修理を
行なうには、クリンルーム内へのマニュアルの持ち込み
や熟練技術者への問い合わせ、もしくは、依頼が必要で
あった。
コントローラを改造し、情報の追加・修正を行なってい
た。さらには、対応時間が多大のために、コントローラ
の改造など対応できない事もあった。そのため、修理を
行なうには、クリンルーム内へのマニュアルの持ち込み
や熟練技術者への問い合わせ、もしくは、依頼が必要で
あった。
また、半導体の製造にはノウ・・つ技術が多数存在する
が、そのため異常診断には理論的知識だけでなく、熟練
技術者の経験的専門知識が不可欠であり、オペレータは
情報を熟練技術者へ提供し処置を依頼していた。
が、そのため異常診断には理論的知識だけでなく、熟練
技術者の経験的専門知識が不可欠であり、オペレータは
情報を熟練技術者へ提供し処置を依頼していた。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら、上記の従来法では熟練技術者の経験的専
門知識は熟練技術者個人のものであり、しかもプロセス
の複雑化によって経験的専門知識は多数の人に分散化し
てしまっているので、設備の開発時点の知識で装置の修
理や製品の不良処置の全てのトラブルに対応できるわけ
でなく、その設備に関する熟練技術者が対応しても複雑
なために時間がかかるという問題を有していた。
門知識は熟練技術者個人のものであり、しかもプロセス
の複雑化によって経験的専門知識は多数の人に分散化し
てしまっているので、設備の開発時点の知識で装置の修
理や製品の不良処置の全てのトラブルに対応できるわけ
でなく、その設備に関する熟練技術者が対応しても複雑
なために時間がかかるという問題を有していた。
本発明は、上記問題点に鑑み、診断に必要とする知識に
複数の熟練技術者の知識を追加・修正することにより共
有化し、オペレータが対話方式によシ適正な異常診断が
出来る半導体製造装置を提供することを目的とする。
複数の熟練技術者の知識を追加・修正することにより共
有化し、オペレータが対話方式によシ適正な異常診断が
出来る半導体製造装置を提供することを目的とする。
問題点を解決するための手段
上記問題点を解決するため、本発明の半導体製造装置は
、半導体製造装置本体のコントローラから診断に必要な
データを収集する手段と、診断に必要な情報の入力手段
と、診断に゛必要とする知識を追加・修正する手段と、
入力情報に応答して前記データ及び知識をもとにして診
断する診断手段と、診断手段にて特定された修正手順や
対応処理を表示する表示手段とを備えたことを特徴とす
るものである。
、半導体製造装置本体のコントローラから診断に必要な
データを収集する手段と、診断に必要な情報の入力手段
と、診断に゛必要とする知識を追加・修正する手段と、
入力情報に応答して前記データ及び知識をもとにして診
断する診断手段と、診断手段にて特定された修正手順や
対応処理を表示する表示手段とを備えたことを特徴とす
るものである。
作 用
本発明は、上記のように診断に必要とする知識を追加・
修正する手段を備えているので、熟練技術者等によって
追加・修正された知識に基づいて診断手段にて異常診断
し、表示手段にて表示するので、オペレータが熟練技術
者の知識を利用して装置の異常要因や製品の不良要因を
診断することができ、装置の修理や製品の不良処置に対
する適切な対応が迅速に行なえるようになる。
修正する手段を備えているので、熟練技術者等によって
追加・修正された知識に基づいて診断手段にて異常診断
し、表示手段にて表示するので、オペレータが熟練技術
者の知識を利用して装置の異常要因や製品の不良要因を
診断することができ、装置の修理や製品の不良処置に対
する適切な対応が迅速に行なえるようになる。
実施例
以下、本発明の一実施例の半導体製造装置について図面
を参照しながら説明する。
を参照しながら説明する。
第1図において、診断手段3は異常診断に必要な理論的
知識・熟練技術者の経験的専門知識が格納されており、
異常診断の際に入力情報をもとに因果関係の知識から原
因を究明し、修理手順や対応処置を表示手段4を通じて
指示する。この診断手段3は半導体装置本体1のコント
ローラ2と接続されており、データ収集手段6を通じて
異常診断に必要なデータを収集できるようになっている
。
知識・熟練技術者の経験的専門知識が格納されており、
異常診断の際に入力情報をもとに因果関係の知識から原
因を究明し、修理手順や対応処置を表示手段4を通じて
指示する。この診断手段3は半導体装置本体1のコント
ローラ2と接続されており、データ収集手段6を通じて
異常診断に必要なデータを収集できるようになっている
。
4は表示手段、6は異常診断の際に情報を入力したシ、
専門知識の追加・修正をするためのキーボードで、情報
入力手段7、知識追加・修正手段8を介して診断手段3
に接続されている。
専門知識の追加・修正をするためのキーボードで、情報
入力手段7、知識追加・修正手段8を介して診断手段3
に接続されている。
次に以上の半導体製造装置で異常診断処理を行なう場合
について説明する。
について説明する。
装置修理は、診断手段3が半導体製造装置本体1のコン
トローラ2よシデータ収集手段6を通じて異常診断に必
要なデータを収集し、原因と修理手順を表示手段4に表
示する。オペレータは表示部に指示された修理手順で作
業を行なう。
トローラ2よシデータ収集手段6を通じて異常診断に必
要なデータを収集し、原因と修理手順を表示手段4に表
示する。オペレータは表示部に指示された修理手順で作
業を行なう。
また、オペレータがキーボード6から情報を入力し、情
報入力手段7を通じて異常診断を行なう場合は、診断手
段3とオペレータとの対話形式の処理にて進められる。
報入力手段7を通じて異常診断を行なう場合は、診断手
段3とオペレータとの対話形式の処理にて進められる。
従って、異常診断の処理は第2図に示すようなツリー(
木)構造を持ったものと考えることができる。
木)構造を持ったものと考えることができる。
すなわち、異常診断の開始は21に始まり、何らかのメ
ツセージが表示手段4に表示されるのでオペレータが表
示されたメツセージに対する回答をキーボード6を通じ
て入力することによってその回答に従って処理22また
は23に分岐する。
ツセージが表示手段4に表示されるのでオペレータが表
示されたメツセージに対する回答をキーボード6を通じ
て入力することによってその回答に従って処理22また
は23に分岐する。
以下、同様にして二者択一の分岐処理を続けて行き、最
終的に24に示した処理結果のいずれかに到達する。処
理過程において、内容が不明確なものについてはキーボ
ード5から”hefip”キーが入力されたとき、その
内容を確認することができる。
終的に24に示した処理結果のいずれかに到達する。処
理過程において、内容が不明確なものについてはキーボ
ード5から”hefip”キーが入力されたとき、その
内容を確認することができる。
次に異常診断処理の具体的な例について説明する。
a、まず、異常診断対象の処理番号を指定することによ
って異常診断処理が決定される。
って異常診断処理が決定される。
b、異常診断処理を実行するに伴なって、表示手段4に
メツセージが表示される。
メツセージが表示される。
C6上記メツセージに従って、オペレータが修理処理や
対応処置を行なう。
対応処置を行なう。
d0判定処理はオペレータがキーボード5よシ二者択一
式で行なう。
式で行なう。
θ0判定結果は表示手段4に表示される。
10以上の処理を検索し、検索が完了すれば処理は終了
する。
する。
以上述べたように、入力された情報から処理すべきメソ
セージが与えられ、オペレータはその表示されたメツセ
ージによって処理していけばよいことになる。
セージが与えられ、オペレータはその表示されたメツセ
ージによって処理していけばよいことになる。
次に熟練技術者の知識の追加・修正する方法について説
明する。
明する。
たとえば、第2図の21と22の知識の追加・修正につ
いて第3図に示す。
いて第3図に示す。
31は条件を示し、32は結果を示す。
修正・追加時は、たとえば条件31と結果32をキーボ
ード6を通じて入力すればよい。
ード6を通じて入力すればよい。
第2図の他のフォーマットの知識についても同様の手順
で行なうことができる。
で行なうことができる。
なお、条件部および結果部が論理式の場合や、装置のセ
ンサー情報であっても可能であることはいうまでもない
。
ンサー情報であっても可能であることはいうまでもない
。
装置履歴、トラブル履歴の管理は異常診断処理を実施し
た時、その内容が自動的に診断装置内の装置履歴、トラ
ブル履歴管理手段9に格納され、必要に応じてそのデー
タを検索することができる。
た時、その内容が自動的に診断装置内の装置履歴、トラ
ブル履歴管理手段9に格納され、必要に応じてそのデー
タを検索することができる。
発明の効果
以上のように本発明の半導体製造装置によれば、理論的
知識だけでなく、複数の熟練技術者の経験的専門知識に
よって診断に必要とする知識を追加修正できるため、複
数技術者の知識を共有化することができ、最適の知識に
もとづいて製品の不良要因や装置の異常要因を診断でき
、そのため、オペレータにより適切な診断を速やかに行
なうことができ、装置の修理や製品の不良処置に対する
適切な対応を迅速に行なうことができる。
知識だけでなく、複数の熟練技術者の経験的専門知識に
よって診断に必要とする知識を追加修正できるため、複
数技術者の知識を共有化することができ、最適の知識に
もとづいて製品の不良要因や装置の異常要因を診断でき
、そのため、オペレータにより適切な診断を速やかに行
なうことができ、装置の修理や製品の不良処置に対する
適切な対応を迅速に行なうことができる。
第1図は本発明の一実施例の半導体製造装置の構成を示
すブロック図、第2図は診断処理の手順を示す説明図、
第3図は知識の追加・修正の手順を示す説明図である。 1・・・・・・半導体製造装置本体、2・・・・・・コ
ントローラ、3・・・・・・診断手段、4・・・・・・
表示手段、6・・・・・・データ収集手段、7・・・・
・・情報入力手段、8・・・・・・知識追加・修正手段
。
すブロック図、第2図は診断処理の手順を示す説明図、
第3図は知識の追加・修正の手順を示す説明図である。 1・・・・・・半導体製造装置本体、2・・・・・・コ
ントローラ、3・・・・・・診断手段、4・・・・・・
表示手段、6・・・・・・データ収集手段、7・・・・
・・情報入力手段、8・・・・・・知識追加・修正手段
。
Claims (1)
- 半導体製造装置本体のコントローラから診断に必要な
データを収集する手段と、診断に必要な情報の入力手段
と、診断に必要とする知識を追加・修正する手段と、入
力情報に応答して前記データ及び知識をもとにして診断
する診断手段と、診断手段にて特定された修正手順や対
応処理を表示する表示手段とを備えたことを特徴とする
半導体製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62144753A JPS63307755A (ja) | 1987-06-09 | 1987-06-09 | 半導体製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62144753A JPS63307755A (ja) | 1987-06-09 | 1987-06-09 | 半導体製造装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63307755A true JPS63307755A (ja) | 1988-12-15 |
Family
ID=15369579
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62144753A Pending JPS63307755A (ja) | 1987-06-09 | 1987-06-09 | 半導体製造装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63307755A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004505366A (ja) * | 2000-07-31 | 2004-02-19 | アドバンスト・マイクロ・ディバイシズ・インコーポレイテッド | アドバンストプロセスコントロール(apc)フレームワークを用いた処理ツールの故障検出およびその制御のための方法および装置 |
-
1987
- 1987-06-09 JP JP62144753A patent/JPS63307755A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004505366A (ja) * | 2000-07-31 | 2004-02-19 | アドバンスト・マイクロ・ディバイシズ・インコーポレイテッド | アドバンストプロセスコントロール(apc)フレームワークを用いた処理ツールの故障検出およびその制御のための方法および装置 |
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