JPS63305602A - 加速器用高周波加速空胴 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は１例えば超ＬＳＩ微細加工等に用いられる加速
器に使用される高周波加速空胴に関する。

（従来の技術） 加速器は電子・陽子・イオンなどの荷電粒子ビームをｌ
Ｏ億電子ボルト（ＩＧｅｖ）　　程度の高エネルギー状
態に加速するためのものであり、ニー加速器の一例とし
て従来がら素粒子の研究分野で大形物１例えば直径１−
以」二のものが建設されている。

また最近は、例えば電子からの放射光（ＳＯＲ光といわ
れる）を利用した超ＬＳＩ微細加工（リソグラフィ）な
ど新しい分野への応用として比較的小形なもの例えば直
径がｌＯｍ程度の加速器も建設されるようになってきて
いる。

加速器には電子の加速やＳＯＲ光で失なわれるエネルギ
ーの補給を行うために高周波エネルギーを電子に供給す
る高周波加速空胴が設けられている。第３図は従来の加
速器用高周波加速空胴の一例で胴２と蓋３がガスケット
６を介してボルト５で真空気密に締結されている。

８は空胴内に高周波電力髪供給するためのアンテナで図
示しない筋周波電源に接続されている。

また９は空胴の共振周波数を調整するチューナーである
。なお空胴内は空胴に接続されるビームダクト１０と同
様ｌＯ−″Ｔｏｒｒ以上の高真空に保持される。

一般に空胴の材質はジュール損失を小さくするために無
酸素銅が用いられる。そのためにガスケット６は無ｆ！
Ｊ＃銅よりも軟いゴム刺のガスケットが使用されていた
。

（発明が解決しようとする問題点） 最近の加速器では、ビームの長寿命化、安定化を達成す
るために従来より敬桁高い超高真空が要求されるように
なっており、放出ガスやガス透過率が大きく、かつ耐熱
温度の低いゴム製ガスケットではもはや対応出来なくな
ってきている。

解決策としてメタルオーリング等のメタルガスケットの
使用が考えられるが、真空気密に必要な最小締付血圧が
話く、母材が銅である空＋１）１のガスケット接触部が
変形するために使用出来なかった。

この様なＪ＋Ｃから本発明は、超高真空を得るために高
温ベーキングが可能でかつ放出ガスやガス透過率の小さ
い加ｉ３１！器用高周波加速空胴を提供する１１【を目
的とする。

〔発明の構成〕

（問題点を解決するための手段） 本発明は上記目的を達成するために、胴と蓋の間のガス
ケットとしてメタルオーリング等のメタルガスケットを
使用し、かつ胴と蓋のガスケット接触部に銅よりも高強
度材の当板を真空気密に固着した事を特徴とする。

（作用） ガスケットとしてメタルガスケットを使用し、かつメタ
ルガスケットの接触部に高強度材の当板を固着させた事
により、ガスケットの真空気密に必要な締付面圧で締結
しても胴や蓋の接触部がへこみ等の変形をおこす事がな
い。

またメタルガスケットの使用により、空胴のベーキング
温度も数百度まで上昇させる事が出来ると共に、メタル
ガスケットはガス透過がなく、放出ガスもゴム製ガスケ
ットに比して格段に小さく容易に１Ｏ−１０Ｔｏｒｒ以
下の超高真空を得る事が出来る。

（実施例） 以下本発明の一実施例について第１図を用いて説明する
。

７１Ｍ２と；１１３がメタルガスケット４を介してボル
ト５で真空気密に締結されている。′Ｍ２と蓋３のメタ
ルガスケット４との接触部には高強度材（例えば５ＵＳ
）の当板７がロー付けや電子ビーム溶接等で真空気密に
固着されている。なお胴２側の当板７にはメタルガスケ
ット４を装着する溝７ａが設けられている。

８は空胴内に高周波電力を供給するためのアンテナ、９
は空胴の共振周波数を調整するチューナーである。

次に上記の様に構成された加速器用高周波加速空胴の作
用を説明する。

高周波加速空欄を超高真空に保持するためには、使用に
先立って数百度の温度でベーキングを行い、放出ガスを
少なくする必要がある。

）洞２と蓋３はメタルガスケット４を介して締結され、
かつメタルガスケット４の接触部には高強度材の当板７
が真空気密に固着されているのでメタルガスケット４の
真空気密に必要な締付面圧になるように締結しても当板
７や胴２および蓋３の母材にへこみ等の変形を起す事も
なく再分解組立時もメタルガスケット４の交換のみで接
触部の加工等は不要である。

またメタルガスケット４の使用で加速空胴のベーキング
温度も数百度まで可能となり、空胴からの放出ガスを充
分小さく出来る６さらにメタルガスケット４はゴム製ガ
スケットに比してそれ自体のガス透過率や放出ガス量が
格段に小さいので容易に超高真空を得る事が出来る。

他の実施例としては第２図に示すようにメタルガスケッ
ト４との接触部に当板７を固着する代りに、ＪＩ）１２
やＭ３の一部すなわちメタルガスケット４の装着部にな
る胴フランジ２ａと蓋フランジ３ａを高強度材にしても
同様の効果を得る事が出来る。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明によれば、空胴の高温ベーキ
ングが可能となり、放出ガスやガス透過率が格段に小さ
くなるので１０−”Ｔｏｒｒ以下の超高真空を容易に得
る事が８来る。また分解時にはメタルガスケットの交換
のみで容易に再組立が出来るなど高性能でかつ取扱い易
い加速器用高周波加速空胴を得る事が出来る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の加速器用高周波加速空胴を
示す縦断面図、第２図は他の実施例を示す縦断面図、第
３図は従来の加速器用高周波加速空胴を示す縦断面図で
ある。 ２・・・胴　　　　　　　２ａ・・・胴フランジ３・・
・Ｍ　　　　　　　　３ａ・・・蓋フランジ４・・・メ
タルガスケット　　５・・・ボルト６・・・ガスケット
　　　７・・・当板７ａ・・・溝　　　　　　　８・・
・アンテナ９・・・チューナー　　　１０・・・ビーム
ダクト代理人　弁理士　則　近　憲　佑 同　　第子丸　健 第１図 第２図 第３図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 胴と蓋をガスケットを介して真空気密に締結した銅製の
   加速器用高周波加速空胴において、ガスケットをメタル
   ガスケットにし、かつ胴および蓋のメタルガスケットと
   の接触部に銅よりも高強度の当板を気密に固着した事を
   特徴とする加速器用高周波加速空胴。