JPS63286732A

JPS63286732A - ファイバ−オプティクス圧力変換器

Info

Publication number: JPS63286732A
Application number: JP18648487A
Authority: JP
Inventors: エルハルト、ギーゼ
Original assignee: FUIBURONIKUSU FUAAZERUOPUTEISH; Fuiburonikusu Fuaazeruoputeishie Zenzooren & Shisuteme GmbH
Current assignee: FUIBURONIKUSU FUAAZERUOPUTEISH; Fuiburonikusu Fuaazeruoputeishie Zenzooren & Shisuteme GmbH
Priority date: 1987-05-12
Filing date: 1987-07-25
Publication date: 1988-11-24
Also published as: EP0290646A1; DE8714731U1

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、光が第一光源から第一光伝導体を経て測定ヘ
ッドに達し、光が第一光出射点において第一光伝導体か
ら出て膜のほぼ中心に位置する第一反射面により反射さ
れ、反射されたその光の一部は戻されてほぼ同一の第二
光伝導体へ入り、第二光伝導体の出射点における光の強
度が第一光検出、芥により決定せられ、その結果得られ
た電気強度信号から、第一光出射点及び／又は第二光伝
導体の光入射点に対する反射面の変位が測定されるべき
圧力値として評価装置によって決定される、ファイバー
オプティクス圧力変換器に関する。

〔従来の技術〕

このような圧力変換器又は圧力センサーにおいては、圧
力が測定されるべき媒体の作用下に膜がさらされている
。膜は好ましくは円形がよく、保持リング又は止めリン
グに縁あるいは縁部で固定されている。膜と保持リング
とは室を形成し、これはいわばカバー又は蓋の如き閉塞
体によって閉塞されている。この閉塞体は取付具に任意
の方法で、例えばフランジ状リング６によって固着され
得る。保持リングは閉塞体に、例えばねじ等によって固
定されている。

光エネルギーは、光源例えば発光ダイオードから光伝導
体へ供給され、光伝導体は実際には任意の長さを有し得
る。

光源によって照射された光は、例えば１００−３００マ
イクロメーターのファイバー径を有する光伝導体によっ
て伝達され、他端部から出射する。

そして光は、例えば１００μｍの短い距離を越えて反射
面に当り、そこで反射する。反射した光は一部が第二光
伝導体によって拾い上げられ、その他端部におい十更に
光検出器又は受光器例えば光ダイオードによって拾い上
げられる。供給された光の強さがここで電気制御量に変
換され、これが増幅器の入力側へ供給される。次いで、
この電気制御量は増幅器の出力側に接続されている出力
端子から例えば電圧又は電流として取り出され、その大
きさが光伝導体の光出射面と反射面との間の距離Ｘの函
数として作用する。

〔発明が解決しようとする問題点〕

このような場合、ファイバーオブティクス圧力変換器は
、例えば熱い媒体の圧力を測定するのに使用されるが、
これは測定ヘッド即ち圧力変換器ヘッドの構成部品２．
３．６が非常に高い温度に耐えるようになっているから
である。このような圧力変換器は強力な干渉電界に対し
感受性がないので、爆発性のある危険な領域での測定を
可能にする。目的物に対して電気的影響を与えることが
ないので、医療分野では安全に使用することができる。

又、強力な電磁放射エネルギー或いは核放射エネルギー
による影響もないが、これは光の移送が放射エネルギー
によって乱されることがないからである。しかし、この
圧力変換器は温度によって乱される傾向を有している。

温度が上昇する場合には、保持リングに膨張が生じて膜
が閉塞体の下面から離れ、この熱の影響のみのために一
方における二つのライトガイドの端面と他方における反
射面との間の距離Ｘに変化をもたらす。この距離は如何
なる場合でも０．１ミリ程度であるので、これによりか
なりの誤差を生ずることになる。膜を加熱すると、材料
の弾性係数に変化をもたらすことにもなる。膜の圧力に
依存する湾曲、或いはたるみは、その結果温度にも感受
性を有している。

本発明の課題は、前記種類の圧力変換器の測定制度を大
いに向上せしめ、特に温度の依存性をなくするか、又は
少なくとも著しく低下せしめることにある。

〔問題点を解決するための手段及び作用〕本発明によれ
ば、この問題は、膜上か又は少なくとも膜の近傍におい
て補正信号を評価装置へ供給する少なくとも一つの補正
信号手段が設けられているように構成されているファイ
バーオブティクス圧力変換器によって解決される。

補正信号手段は、例えば膜の縁部領域か又は直接隣接し
ている取付支持体に位置決めされている従来型の温度セ
ンサーによって構成され得る。電気式温度センサーの場
合には、結果として得られる信号は信号出力側において
回路部へ直接送られ得る。

本発明の好適な実施例によれば、光が同一光源から任意
に取り出されて、少なくとも一つの補助ライトガイドを
経て膜の縁部の近傍に位置する第二反射面へ供給され、
反射された光は同じく′補助ライトガイドへ任意に送ら
れてその強度が前記ラントガイドの出射点で決定される
。受けた強度出力から、測定圧力に殆ど無関係な補正信
号が得られて評価装置へ供給される。

光が補助ライトガイドを出て膜の縁部に設けられている
反射面で反射する場合、圧力変化のために膜の中央区域
が動く場合には反射に変化がない。

保持手段又は取付は手段の熱膨張によってもたらされる
膜平面の変位のみが、補助ライトガイドから戻ってくる
光の強度に影響を与える。こうして、ファイバーオプテ
ィクス走査の同じ利点のある特性で、温度に依存する補
正信号が得られ、測定される圧力信号の゛補正に使用さ
れて、例えば付加的に加えられ得る。特殊な実施例によ
れば、例えばテーブルメモリーを有する補償装置が測定
信号用評価装置と関連せしめられており、そのために、
圧力変換器の特性によって生じる所要の、例えば線形形
態からの発散に影響を与えることが可能であり、補正信
号は補償装置に供給される。補償装置は評価装置の一部
を形成するか、又は別にそれと交互接続され得る。これ
により、圧力値と得られた測定信号との間の発散を比例
的に補償することが可能であり、これは一方においてラ
イドガイド出射部と反射面間を通して、又他方において
は膜の非線形弾性変形によって生じる。

ライトガイドが異なって形成されるか、又は形づくられ
ていて、操作中様々に湾曲される場合、通過する光の減
衰はいろいろな大きさに変化する。

本発明の他の利点によれば、ライトガイドは大部分の長
さに亘り相互に密接するようにして、例えばホース状に
導かれている。この場合、湾曲による減衰変化はほぼ同
じであって、測定結果の誤差をなくすか、又は少なくと
も殆どないようにしている。

第ニライトガイド、即ち補助ライトガイドの場合には、
ライトガイドは数種の乱れ量に対する補正ファイバーに
なり得る０次のような基本的原理がある。ガラスファイ
バーケーブルは、曲げの状態に依存するか又は位置の変
化に依存する減衰を存しており、これが光学的検出性能
を変化させることになるのでセンサーのケーブル感度を
乱す。

補償は次のように行なわれる。第二ファイバー又は補助
ライトガイドが、光伝送ケーブルによって実際の測定フ
ァイバーと共に適当な外被中に轟かれる。従って、両フ
ァイバー共殆ど同じ減衰を受ける。適当な制御電子装置
を使用して、補助ファイバーからの受信信号又は検出信
号が一定に保持されるように光源からの光の出力が再調
整される。

測定ファイバーのＬＥＤの光の出力がおなしように再調
整されるか、又は両方のライトガイドが前記の如く調整
又は調節されている同一光源から供給されている場合、
ケーブル感度が補正される。

補助ファイバーは三つの乱れ量、即ちケーブル減衰、曲
げ感度及び温度と、センサーヘッドに対する修正と、膜
又は反射面の反射特性に対する変更とを補償することが
できる。

光源から光を供給して受光器又は光検出器へ反射光を戻
すために、同一のライトガイドがその全長の大部分に亘
って使用される。この場合、光源の後方か、又は光検出
器の前に図示されていないもう一つのライトガイドを取
付ければよく、これが出射した光から戻る光を分離する
のである。

温度の依存性とこれに必要な補正とは膜の形状によって
少なくすることもできる。これはライトガイドの光出射
点に対して凸状に湾曲している。

しかし、好ましくは膜が縁部及び中心部で薄く、中間領
域で厚くなるようにして異なる厚みの環状部を有するよ
うに設計されることもできる。

ライトガイドによって供給される光の反射に関して、膜
の表面はそれ自身が反射体になっている。

しかし、膜の特定の部分に反射手段を取付けることも可
能である。これによって、膜材料が受ける影響を心配す
ることなく、光の波長に適合させるか、又は安定化を長
期間に亘って向上せしめることができる。特に、反射面
は化学的に不動である。

反射面は、例えば非酸化材料か又は高温で変色しない材
料を溶着して被覆させることもできる。

本発明の他の特徴によれば、ライトガイドと膜との間隙
を減圧下で任意に不活性ガスで満たし、外部に対して確
実に密封することも可能である。

この間隙は任意に排気されることもでき、これは更に高
い圧力を測定することを考慮して如何なる場合にも膜が
全く安定している場合、特に利点となり得る。

〔実施例〕

第１図は圧力変換器を示しており、膜１は圧力が測定さ
れることになる媒体に露出されている。

膜１は好ましくは円形がよく、保持リング３の縁２には
められている。膜ｌと保持リング３とは室４を形成し、
これは閉塞体又は蓋５によって閉塞されている。閉塞体
５は取付具に任意の方法で、例えばフランジ状リング６
により取付けられ得る。

保持リング３は閉塞体５に、例えばねじ等によって固定
されている。

光源１０例えば発光ダイオード即ちＬＥＤから光エネル
ギーが、実際には任意の長さを有する第一ライトガイド
１１に供給される。

光ａ１０から出射した光は、例えば１００〜３００マイ
クロメーターのファイバー径を存する第一ライトガイド
即ち第一光伝導体１１　（ファイバー）内を進み、他端
部１３から出る。そしてこの光は、例えば１００μｍの
短い距離を越えて第一反射面１４に当たり、そこで反射
する。反射した光は一部が第二ライトガイド即ち第二光
伝導体１５（ファイバー）によって拾い上げられ、その
他端部において更に受光器又は例えばフォトダイオード
１７を備えた第一光検出器１６によって袷い上げられる
。この時点で、供給された光の強さが電気制御′ｌＩＩ
量に変換され、これが増幅器１８の入力側へ供給される
。増幅器１８の出力側へ接続されている出力端子１９に
は電気的制御量例えば電圧又は電流が発生し、その大き
さは、第ニライトガイド１５の入射面と第一反射面１４
との間の距離Ｘの函数として作用する。

好適な実施例によれば、第１図において、光源２３から
の光は補助ライトガイド２４　（ファイバー）を経てｉ
ｔＯ縁２の近傍に位置している第二反射面２５へ供給さ
れる。第二反射面２５で反射された光は他の補助ライト
ガイド２６へ送られ、これを経て第二光検出器２７へ供
給される。第二光検出器２７においてはフォトダイオー
ド２８により電気信号が形成されるが、これは補助ライ
トガイド２４の出射点における信号の強さに相当する。

膜１の縁２における第二反射面２５は動かないので、第
二光検出器２７からのこの強さの信号は、測定される圧
力とは事実上無関係である。しかし、例えば保持リング
３が熱の影響で膨張した場合には、膜１は閉塞体５の下
面から離される。

この温度による変化がライトガイド２６内を戻ってくる
光の強さに十分に作用する。このように、増幅器２９か
らの出力信号は、膜１．縁２．保持リング３及び閉塞体
５より成る測定ヘッドの温度に事実上全く依存し、補正
のための評価装置に供給され得る。

第１図の上部に示されている回路によれば、評価装置は
差動増幅器３１を含んでおり、その差動増幅器３１他方
の入力側には、膜の中心における反射面１４による反射
によって得られた信号が端子１９を介して供給される。

この種のファイバーオプテイクス圧力変換器の場合、第
一光検出器１６．フォトダイオード１７に供給される光
の強さＩ、は次式で表わされる。

Ｉｔ　−（Ｔ。−Ｄ−ｍ−ｘ＞Ｓ−Ｄここで、Ｉｏは光源１０によって第一ライトガイド１１
に供給される光の強さ、Ｄは第一ライトガイド１１にお
ける減衰定数、Ｓは第一反射面１４の反射率、Ｘは第−
及び第ニライトガイド１１゜１５の端面と反射面１４と
の間の第１図に示されている距離、ｍは戻ってきた光の
強さの変位作用の急峻度（ｓ　ｔｅｅｐｎｅｓｓ）であ
る。

ａ　＝ｍ／　（Ｔｏ−Ｄ）とすると次式が得られる。

［（＝　ｒａ　　・Ｓ　・Ｄ”　　（１ａ−ｘ）変位Ｘ
を再分して、温度Ｔに依存する部分と圧力Ｐに依存する
部分とにすると、検出器１６又は１７における光の強さ
Ｉ−又は！１．は次式で得られる。

Ｉｚｓ＝　Ｉｏ・　Ｓ　　−Ｄ”　　（１ａ　ＸｙＩ４
　３　　ＸＰＭ）Ｉｙ＠＝　　Ｉｏ　・　Ｓ　　−Ｄ”
　　（１３Ｘｒｍ　　　ａ　　ＸＰＩ）温度によって生
ずる変形に依存する変位ｘｙｘとＸ□とは同一である。

この二つの光の強さ又はこれに対応する二つの電気信号
の間に差が生じると、次式が得られる。

Δｌ−１ｔｓ　　Ｉｔ＋＋＝　Ｉｏ・Ｓ−Ｄ”−ａ　（ＸＦＩＩ　　Ｘｐｓ”）　
。

Ｘ？Ｎ＝ＸＴｌｌ従って、結果としては温度に関係なく測定圧力値が得ら
れることになる。

か（して第１図では、評価装置として作用する差動増幅
器３１における増幅器１８．２９の出力信号間に差が生
じると、この差は出力端子３２から取り出される。

膜１の縁部又は保持リング３に任意に別の温度センサー
３３を゛配置して、ライン３４に例えば電気信号を供給
することもできる。端子１９からの出力信号は、補償装
置３５を横切って信号端子３２に供給され、その補償装
置３５においてライン３４から供給された温度信号によ
り必要な温度補正が行われる。

増幅器２９によって供給される測定信号は差動増幅器３
６にも供給され、その差動増幅器３６の他方の入力端子
には比較又は基準信号３７が供給される。差動増幅器３
６はその時、増幅器２９の出力信号の振幅が基準信号３
７によって与えられる一定値に確実に調整されるように
働く。作動中、発光部にかなりの変化があって、減衰定
数りに変化が生じるような場合には、増幅器２９におけ
る増幅がほぼ一定のままになるようにして光ａ１０及び
２３の強さを再調整することができる。圧力を゛これに
比例した電気的値、特に出力電圧に変換することは、第
一ライトガイド１１．第一反射面１４及び第ニライトガ
イドから成る光学測定装置で得られるが、これは一般に
精密な一次函数ではない。他の実施例によれば、この目
的のために線形化が行われている。差動増幅器３１から
の出力鵞値は補償装置３５において先ずディジタル値に変換され
る（ＡＤ変換器）。このディジタル値は同時にテーブル
メモリー用アドレスとして作用し、そこで各測定値に補
正値即ち補正圧力値が加えられ、ＤＡ変換器を通って出
力端子３２へ供給され、次いで線形化された圧力値がア
ナログの形で得られる。

第３図は、膜１が球面キャップ状に湾曲している実施例
を示しており、特性を・改良している。

第４図は、異なる厚みの膜３７が使用されている実施例
を示している。これも特性及び／又は温度作用の改良に
なっている。膜３７は円筒状仕上げ部として保持器３と
ほぼ一体に製作されているので、機械的応力又は振動が
加わる区域に溶接部又は接合部がない。

膜材質は、耐高温金属合金であって、低老化現象と非常
に高い弾性限界とを有することを特徴としているので、
測定範囲が広く、寿命全体に亘って膜の復元制度が高い
。

このような圧力変換器により、特に周辺領域において第
二光検出器２７により得られる光の強さが差動増幅器３
６によって基準信号３７の所望値Ｕｓと比較され光ｉｔ
ｏ及び２３の再調整により一定に保持されて、この再調
整が光ファイバーの減衰に対する変化、温度誤差及び反
射変化の補償となるという点で、高いゼロ安定性を得る
ことができるようにしている。このために、両方のファ
イバーを同じように取扱わなければならず、即ち共通な
一木のガイドホース内に位置させなければならない。こ
れにより、温度制御変動と、ライトガイドにおける減衰
定数及び反射面２５における反射率の変動とが共に安定
化せしめられる。反射面２５及び１４が同一種類のもの
である場合には、この場合も反射面１４の反射率に対す
る変化が測定結果とかけ離れていることを意味している
。

特性に対する補正は反射面を凸状又は凹状にしても可能
である。従って、平面ミラーと比較すると異なる密度で
背面反射が与えられ、光検出器における強度特性は膜の
変位に比例して修正され得、る。光は光源１０又は２３
からライトガイド１１又は２４を経て放射され、例えば
７０°のあるきまった開口角度で反射面１４又は２５に
至る０次いで前記光は湾曲した反射面により更に集光さ
れるか、又は拡散されるので、特性上相当の影響を受け
る０発光ダイオードが光ｉｍｔｏ又は２３として使用さ
れるが、レーザーダイオードを使用することも可能であ
り、レーザーダイオードを用いれば長いライトガイドの
進路に亘って伝達するための光の強度を更に高めること
及び／又は更に良好な制御が可能である。短いコヒーレ
ントな長さのマルチモードレーザーは特にレーザーダイ
オードとして適している。

圧力変換器用ガラスファイバーは非常に大きな開口数（
Ｎ　Ａ）を有しているので、湾曲したケーブルによって
生じる減衰度は最小値となる。大きな開口数を得るため
には、ガラスファイバーのコアと外殻材との間に大きな
屈折率の差が必要である。この差は、鈍角で光を入射さ
せて損失なく反射させる伝播モードに適しているので、
比較的小さな湾曲半径でも減衰を制限することが可能で
ある。

公知の伝送用ライトガイドは比較的小さな開口数を有し
ており、本発明による圧力変換器に使用するにはどちら
かと云えば不適当である。

本発明による変換器用ライトガイドには耐高温用被覆（
主ファイバー保護被覆）を施す必要がある。これは、ア
ルミニウム又は炭化チタンのような金属等の溶着被覆の
形で行われる。市販されているガラスファイバーは、最
大１２５℃の温度までしか通常使用できないが、それは
、この温度以上Ｃ４なるとファイバー保護被覆がこわれ
てしまうからである。

光源から光を出して反射した光を光検出器へ戻すために
、全長の大部分に亘って同一のライトガイド２１°（第
２図）を使用することが可能である。

即ち、ライトガイド２１の端部２２が二つに分けられて
いて、その一方が光源ｌＯの背後に他方が光検出器１６
の前に夫々設けられて出射光と戻り光とが分離されるよ
うになっている。

〔発明の効果〕

上述の如く、本発明による圧力変換器は温度変化とは無
関係に測定が行えるので、温度上昇によって測定誤差を
生ずることなく測定制度を高めることができる。又、開
口数の大きいライトガイドを使用しているので湾曲して
も光の減衰を最小に抑えることができる利点を有してい
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るファイバーオプティクス圧力変換
器の一実施例を示す図、第２図は光が射出されて戻るの
に同一ライトガイドが使用されている他の実施例を示す
図、第３図はライトガイドに向って凸状に湾曲している
膜の断面図、第４図は特性を改良するために異なる厚み
の区域を有する膜の断面図である。１・・・・膜、２・・・・縁、３・・・・保持リング、
４・・・・室、５・・・・閉塞体、１０．２３・・・・
光源、１１゜１５．２４．２６・・・・ライトガイド、
１４．２５・・・・反射面、１６．２７・・・・光検出
器、１７，２８・・・・フォトダイオード、１８．２９
・・−・増幅器、３１．３６・・・・差動増幅器、　　
−ヘ ■ ｑコ

Claims

【特許請求の範囲】

（１）光が第一光源から第一光伝導体を経て測定ヘッド
に達し、光が第一光出射点において上記第一光伝導体か
ら出て膜のほぼ中心に位置する第一反射面により反射さ
れ、反射された上記光の一部は戻されてほぼ同一の第二
光伝導体へ入り、該第二光伝導体の出射点における光の
強度が第一光検出器により決定せられ、その結果得られ
た電気強度信号から、第一光出射点及び／又は上記第二
光伝導体の光入射点に対する反射面の変位が測定される
べき圧力値として評価装置によって決定される、ファイ
バーオプティクス圧力変換器において、少なくとも一つ
の補正信号手段が膜の近傍に配置されており、該手段か
ら補正信号が評価装置に供給されるようになっている、
圧力変換器。
（２）補正信号手段が温度センサーである、特許請求の
範囲（１）に従う圧力変換器。
（３）電気温度センサーが設けられている、特許請求の
範囲（２）に従う圧力変換器。
（４）光が上記第一光源と同様の光源から任意に取り出
されて、少なくとも一つの補助ライトガイドを経て膜の
縁部の近傍に位置する第二反射面へ供給され、反射され
た該光は同じ補助ライトガイドへ任意に送られてその強
度がライトガイドの出射点で決定せられ、得られた強度
信号から測定圧力には殆ど無関係な補正信号が得られて
評価装置へ供給されるようになっている、特許請求の範
囲（１）乃至（３）の何れかに従う圧力変換器。
（５）膜に面している上記補助ライトガイドの端部がア
ルミ処理されている、特許請求の範囲（４）に従う圧力
変換器。
（６）光が上記補助ライトガイドから出て膜の縁部にあ
る反射面によって反射される、特許請求の範囲（４）に
従う圧力変換器。
（７）補助信号が付加的に強度信号に加えられるように
なっている、特許請求の範囲（１）乃至（６）の何れか
に従う圧力変換器。
（８）補償装置が、例えばテーブルメモリーを有してい
て評価装置と関連しており、該補償装置のために圧力変
換器の特性によって生じる所要の、例えば線形形態から
の発散が影響を受け、且つ補正信号が上記補償装置に供
給されるようになっている、特許請求の範囲（１）乃至
（７）の何れかに従う圧力変換器。
（９）少なくとも大部分の長さに亘りライトガイドが相
互に密接して、例えばホース状に導びかれている、特許
請求の範囲（１）乃至（８）の何れかに従う圧力変換器
。
（１０）同一のライトガイドが光源からの光と反射光の
ために使用される、特許請求の範囲（１）乃至（９）の
何れかに従う圧力変換器。
（１１）強度信号の温度依存性が膜の形状によって低下
される、特許請求の範囲（１）乃至（１０）の何れかに
従う圧力変換器。
（１２）膜が光の出射点に対して凸状に湾曲している、
特許請求の範囲（１１）に従う圧力変換器。
（１３）膜が異なる厚みの環状部を含んでいる、特許請
求の範囲（１１）に従う圧力変換器。
（１４）膜の縁及び中心が薄く、その中間領域が厚くな
っている、特許請求の範囲（１３）に従う圧力変換器。
（１５）膜の表面が光を反射するようになっている、特
許請求の範囲（１）乃至（１４）の何れかに従う圧力変
換器。
（１６）反射要素が膜の表面に適用されている、特許請
求の範囲（１）乃至（１４）の何れかに従う圧力変換器
。
（１７）反射面が特に凹状又は凸状曲率を有している、
特許請求の範囲（１６）に従う圧力変換器。
（１８）反射面が化学的に不動である、特許請求の範囲
（１）乃至（１７）の何れかに従う圧力変換器。
（１９）反射面が耐熱性であって変色しない材料で、例
えば溶着により被覆されている、特許請求の範囲（１）
乃至（１８）の何れかに従う圧力変換器。
（２０）ライトガイドと膜との間隙が不活性ガスで満た
されている、特許請求の範囲（１）乃至（１９）の何れ
かに従う圧力変換器。
（２１）ライトガイドと膜との間隙が排気されている、
特許請求の範囲（１）乃至（１９）の何れかに従う圧力
変換器。
（２２）第二光伝導体が総量を幾つかに分配する補正フ
ァイバーとして作られており、第二ファイバー（補助フ
ァイバー）は供給ケーブル内の実際の測定ファイバーの
共通外被内に導びかれており、この二本のファイバーが
同じ減衰を受けて制御電子装置により補助ファイバーか
ら受けた信号が一定に保持されるようにし、測定ファイ
バーのＬＥＤの光の出力が同じように再調整されるか、
又は両方のライトガイドが同じように調整された同一光
源によって供給されるようになっている、特許請求の範
囲（１）乃至（２１）の何れかに従う圧力変換器。
（２３）再調整により、ケーブルの減衰に対する変化、
温度誤差及び反射状態の変化が確実に補償され、二本の
ファイバーは共通ガイド外被内に位置している、特許請
求の範囲（１）乃至（２２）の何れかに従う圧力変換器
。