JPS63281486A - 高繰り返しパルスレ−ザ−発振器 - Google Patents
高繰り返しパルスレ−ザ−発振器Info
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- JPS63281486A JPS63281486A JP11577087A JP11577087A JPS63281486A JP S63281486 A JPS63281486 A JP S63281486A JP 11577087 A JP11577087 A JP 11577087A JP 11577087 A JP11577087 A JP 11577087A JP S63281486 A JPS63281486 A JP S63281486A
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- JP
- Japan
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- pulse laser
- charging
- laser oscillator
- thyratron
- capacitor
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- Pending
Links
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- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims abstract description 27
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 3
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
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- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 1
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- 230000001443 photoexcitation Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0971—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser transversely excited
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
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- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は、パルスレーザ−発振器、特に高繰り返し化
を図ったパルスレーザ−発振器に関するものである。
を図ったパルスレーザ−発振器に関するものである。
［従来の技術］
第４図は１例えば１９８６年３月２５日９株式会社シー
エムシー発行「エキシマレーザ最先端応用技術」第４８
頁に示された従来のパルスレーザ−発振器の主放電回路
の概略図である。図において、（１）はチャージング・
キャパシタＣＩ＋ （２＞はチャージング・インダクタ
ンスであって、その一端がチャージング・キャパシタ（
１）と接続されると共にその他端が接地されている。（
３）はサイラトロンであって、その陽極がチャージング
・キャパシタ（１）と接続されると共にその陰極が接地
されている。（４）は予備電離放電電極であって。
エムシー発行「エキシマレーザ最先端応用技術」第４８
頁に示された従来のパルスレーザ−発振器の主放電回路
の概略図である。図において、（１）はチャージング・
キャパシタＣＩ＋ （２＞はチャージング・インダクタ
ンスであって、その一端がチャージング・キャパシタ（
１）と接続されると共にその他端が接地されている。（
３）はサイラトロンであって、その陽極がチャージング
・キャパシタ（１）と接続されると共にその陰極が接地
されている。（４）は予備電離放電電極であって。
その一端がチャージング・インダクタンス（２）と接続
されていると共にその他端がピーキング・キャパシタＣ
２（５）と主放電電極（６）との接続体と接続されてい
る。また、この接続体の一端は接地されている。
されていると共にその他端がピーキング・キャパシタＣ
２（５）と主放電電極（６）との接続体と接続されてい
る。また、この接続体の一端は接地されている。
従来のパルスレーザ−発振器は上記のように構成され、
チャージング・インダクタンス（２）を介してチャージ
ング・キャパシタ（１）に充電された電荷は、サイラト
ロン（３）のスイッチングにより予備電離放電電極（４
）のアーク放電を介してピーキング・キャパシタ（５）
に充電される。この時、前記予備電離放電電極（４）の
アーク放電から発生する紫外線光により主放電電極（６
）の放電空間は予備励起され、前記ピーキング・キャパ
シタ（４）に充電された（充電途中の場合を含む）電荷
はグロー放電の形で主放電電極（６）の放電空間を満た
し、共振器（図示せず）を介してパルスレーザ−発振す
る。
チャージング・インダクタンス（２）を介してチャージ
ング・キャパシタ（１）に充電された電荷は、サイラト
ロン（３）のスイッチングにより予備電離放電電極（４
）のアーク放電を介してピーキング・キャパシタ（５）
に充電される。この時、前記予備電離放電電極（４）の
アーク放電から発生する紫外線光により主放電電極（６
）の放電空間は予備励起され、前記ピーキング・キャパ
シタ（４）に充電された（充電途中の場合を含む）電荷
はグロー放電の形で主放電電極（６）の放電空間を満た
し、共振器（図示せず）を介してパルスレーザ−発振す
る。
［発明が解決しようとする問題点］
上記のような従来のパルスレーザ−発振器では。
パルスレーザ−発振後にしか、チャージング・キャパシ
タには次の充電ができないと共にサイシトロンの繰り返
し性能により高繰り返しが困難であり、この種のパルス
レーザ−発振器は本来パルスレーザ−であるので、高繰
り返し化はサイシトロン等のスイッヂング素子によって
限界があった。
タには次の充電ができないと共にサイシトロンの繰り返
し性能により高繰り返しが困難であり、この種のパルス
レーザ−発振器は本来パルスレーザ−であるので、高繰
り返し化はサイシトロン等のスイッヂング素子によって
限界があった。
しかし、光励起プロセス等の応用分野では１反応を連続
的に行うために連続発振的なものが好ましく、現状では
実験室レベルでサイラトロンの寿命を無視して高繰り返
しで使用せざるを得ないという問題点があった。
的に行うために連続発振的なものが好ましく、現状では
実験室レベルでサイラトロンの寿命を無視して高繰り返
しで使用せざるを得ないという問題点があった。
この発明は、かかる問題点を解決するためになされたも
ので、高繰り返し化ができるパルスレーザ−発振器を得
ることを目的とする。
ので、高繰り返し化ができるパルスレーザ−発振器を得
ることを目的とする。
［問題点を解決するための手段］
この発明に係る高繰り返しパルスレーザ−発振器は、複
数個のチャージング・キャパシタとそれぞれのチャージ
ング・キャパシタに対し独立したサイラトロンを装着し
て構成したちのである。
数個のチャージング・キャパシタとそれぞれのチャージ
ング・キャパシタに対し独立したサイラトロンを装着し
て構成したちのである。
［作用］
この発明においては、複数個のチャージング・キャパシ
タを順次充電すると共に複数個のサイラトロンを順次放
電する。
タを順次充電すると共に複数個のサイラトロンを順次放
電する。
［実施例］
第１図はこの発明による高繰り返し′）マルスレーザー
発振器の一実施例を示す概略図である。図に 。
発振器の一実施例を示す概略図である。図に 。
おいて、（１）〜（６）は第４図と同一のものである。
この場合、第４図に新たにチャージング・キャパシタ（
１）とサイラトロン（３）との接続体を、チャージング
・インダクタンス（２）と予備電離放電電極（４）との
接続点−アース間に接続することより構成される。 第
２図および第３図はこの発明による他の実施例を示す概
略図である。第２図は第１図に新たに２紺の接続体を付
加接続して構成した場合、第３図は第２図に新たに２組
の接続体を付加接続して構成した場合である。
１）とサイラトロン（３）との接続体を、チャージング
・インダクタンス（２）と予備電離放電電極（４）との
接続点−アース間に接続することより構成される。 第
２図および第３図はこの発明による他の実施例を示す概
略図である。第２図は第１図に新たに２紺の接続体を付
加接続して構成した場合、第３図は第２図に新たに２組
の接続体を付加接続して構成した場合である。
上記のように構成された高繰り返しパルスレーザ−発振
器において、第１図における一方のチャージング・キャ
パシタ（１）とサイラトロン（３）、予備電離放電電極
（４）、ピーキング・キャパシタ（５）および主放電電
極（６）によって発振するパルスレーザ−と９時間差を
もって他方のチャージング・キャパシタ（１）とサイラ
トロン（３）、予備電離放電電極（４）、ピーキング・
キャパシタ（５）および主放電電極（６）によって発振
するパルスレーザ−により従来のパルスレーザ−発振器
の２倍の高繰り返し発振を可能にする。
器において、第１図における一方のチャージング・キャ
パシタ（１）とサイラトロン（３）、予備電離放電電極
（４）、ピーキング・キャパシタ（５）および主放電電
極（６）によって発振するパルスレーザ−と９時間差を
もって他方のチャージング・キャパシタ（１）とサイラ
トロン（３）、予備電離放電電極（４）、ピーキング・
キャパシタ（５）および主放電電極（６）によって発振
するパルスレーザ−により従来のパルスレーザ−発振器
の２倍の高繰り返し発振を可能にする。
また、第２図の場合は、従来のパルスレーザ−発振器よ
り４倍、第３図の場合は、従来のパルスレーザ−発振器
より６倍、の高繰り返し発振がそれぞれ可能となる。
り４倍、第３図の場合は、従来のパルスレーザ−発振器
より６倍、の高繰り返し発振がそれぞれ可能となる。
なお、上記実施例ではチャージング・キャパシタとサイ
ラトロンの組数をそれぞれ２個、４個、６個の場合を示
したが、チャージング・キャパシタとサイラトロンの組
数は任意でよく、更に高繰り返し化を可能にする。
ラトロンの組数をそれぞれ２個、４個、６個の場合を示
したが、チャージング・キャパシタとサイラトロンの組
数は任意でよく、更に高繰り返し化を可能にする。
［発明の効果］
この発明は以上説明したとおり、チャージング・キャパ
シタとサイラトロンを複数個設けているので、均一で連
続的な光励起プロセスを行える高繰り返し化が可能なパ
ルスレーザ−発振器を得ることができる効果がある。
シタとサイラトロンを複数個設けているので、均一で連
続的な光励起プロセスを行える高繰り返し化が可能なパ
ルスレーザ−発振器を得ることができる効果がある。
第１図はこの発明の一実施例による高繰り返しパルスレ
ーザ−発振器の主放電回路の概略図、第２図および第３
図はこの発明の他の実施例による高繰り返しパルスレー
ザ−発振器の主放電回路の概略図、第４図は従来のパル
スレーザ−発振器の主放電回路の概略図である。 図において、（１）・・・チャージング・キャパシタ、
（２）・・・チャージング・インダクタンス、（３）・
・・サイラトロン、（４）・・・予備電離放電電極。 （５）・・・ピーキング・キャパシタ、（６）・・・主
放電電極である。 なお、各図中同一符号は同−又は相当部分を示す。 ＝７− 第１ 図 第２０
ーザ−発振器の主放電回路の概略図、第２図および第３
図はこの発明の他の実施例による高繰り返しパルスレー
ザ−発振器の主放電回路の概略図、第４図は従来のパル
スレーザ−発振器の主放電回路の概略図である。 図において、（１）・・・チャージング・キャパシタ、
（２）・・・チャージング・インダクタンス、（３）・
・・サイラトロン、（４）・・・予備電離放電電極。 （５）・・・ピーキング・キャパシタ、（６）・・・主
放電電極である。 なお、各図中同一符号は同−又は相当部分を示す。 ＝７− 第１ 図 第２０
Claims (1)
- 容量移行型のパルスレーザー発振器において、複数個の
チャージング・キャパシタと複数個のサイラトロンとを
備えていることを特徴とする高繰り返しパルスレーザー
発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11577087A JPS63281486A (ja) | 1987-05-14 | 1987-05-14 | 高繰り返しパルスレ−ザ−発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11577087A JPS63281486A (ja) | 1987-05-14 | 1987-05-14 | 高繰り返しパルスレ−ザ−発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63281486A true JPS63281486A (ja) | 1988-11-17 |
Family
ID=14670621
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11577087A Pending JPS63281486A (ja) | 1987-05-14 | 1987-05-14 | 高繰り返しパルスレ−ザ−発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63281486A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5054029A (en) * | 1989-01-25 | 1991-10-01 | Hitachi, Ltd. | Pulse power supply circuit |
-
1987
- 1987-05-14 JP JP11577087A patent/JPS63281486A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5054029A (en) * | 1989-01-25 | 1991-10-01 | Hitachi, Ltd. | Pulse power supply circuit |
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