JPS6327643B2 - - Google Patents
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- JPS6327643B2 JPS6327643B2 JP55116550A JP11655080A JPS6327643B2 JP S6327643 B2 JPS6327643 B2 JP S6327643B2 JP 55116550 A JP55116550 A JP 55116550A JP 11655080 A JP11655080 A JP 11655080A JP S6327643 B2 JPS6327643 B2 JP S6327643B2
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- JP
- Japan
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- thickness
- curve
- radiation
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は厚み測定の迅速化と精度向上とを図つ
た放射線厚み測定装置に関する。
た放射線厚み測定装置に関する。
一般的に放射線厚み測定装置は、予め基準板を
用いて全測定範囲にわたつて放射線の吸収特性を
得て記憶しておき、測定時に被測定物を透過した
放射線により得た検出電圧と上記吸収特性とを比
較し、この吸収特性から上記被測定物の厚みを算
出している。しかし、上記装置の温度ドリフトな
どによつて上記吸収特性が変動するので、何らか
の手段を講じなければ高い測定精度は期待できな
い。
用いて全測定範囲にわたつて放射線の吸収特性を
得て記憶しておき、測定時に被測定物を透過した
放射線により得た検出電圧と上記吸収特性とを比
較し、この吸収特性から上記被測定物の厚みを算
出している。しかし、上記装置の温度ドリフトな
どによつて上記吸収特性が変動するので、何らか
の手段を講じなければ高い測定精度は期待できな
い。
そこで、上記ドリフトを除去することが必要で
ある。ドリフトの原因として種々の因子がある
が、特に大きな因子としては高度の技術を用いて
も常時特性を安定に維持することが非常に困難な
上記装置の放射線発生系統におけるドリフトが考
えられる。上記ドリフトは特にシングルビーム方
式の放射線厚み測定装置において検出電圧と伴に
増幅されてしまうので、測定結果に直接影響し精
度を悪化させていた。そこで、上記装置の精度を
向上させるためには、前記放射線発生系統などの
不安定要素によつて発生するドリフトを除去する
手段を講じればよいが、前記したように放射線発
生系統を常時安定に維持することは技術的に困難
である。
ある。ドリフトの原因として種々の因子がある
が、特に大きな因子としては高度の技術を用いて
も常時特性を安定に維持することが非常に困難な
上記装置の放射線発生系統におけるドリフトが考
えられる。上記ドリフトは特にシングルビーム方
式の放射線厚み測定装置において検出電圧と伴に
増幅されてしまうので、測定結果に直接影響し精
度を悪化させていた。そこで、上記装置の精度を
向上させるためには、前記放射線発生系統などの
不安定要素によつて発生するドリフトを除去する
手段を講じればよいが、前記したように放射線発
生系統を常時安定に維持することは技術的に困難
である。
したがつて従来は測定開始前に上記全測定範囲
の吸収データを得て、このデータに基づき前記吸
収特性を校正して厚みを測定していた。しかし、
全測定範囲の吸収データを得るためには多数の測
定点について測定する必要があるので、校正に要
する測定時間が長くなるという欠点があつた。
の吸収データを得て、このデータに基づき前記吸
収特性を校正して厚みを測定していた。しかし、
全測定範囲の吸収データを得るためには多数の測
定点について測定する必要があるので、校正に要
する測定時間が長くなるという欠点があつた。
この欠点を解消した従来装置として次のような
ものがある。すなわち、予め厚みが分かつている
複数の基準板を測定放射線ビーム内に順次挿入
し、全測定範囲にわたつて前記各基準板の板厚と
前記板厚に対する放射線検出出力との間の関係を
吸収特性曲線として得て記憶し、被測定物の測定
前に２つの校正点を与える前記測定範囲内の２つ
の異つた特定の板厚を実測して得た放射線検出出
力と前記吸収特性曲線における前記特定の板厚の
放射線出力とを比較し、そのずれ量から前記吸収
特性曲線を補正して新しい校正吸収特性曲線を得
て、この校正吸収特性曲線により前記被測定物の
厚みを測定している。したがつて、２つの校正点
を用いて測定範囲内の吸収特性曲線をドリフト後
の吸収特性曲線に近似させるので、前記したよう
に校正時において多数の基準板を用いて全測定範
囲の吸収データを得ることが不必要となり、校正
に要する測定時間が短縮される。しかし、校正点
２点により測定範囲の吸収特性曲線を校正するの
で、より高度の精度が要求される厚み測定には上
記した従来装置を使用できないという問題があつ
た。
ものがある。すなわち、予め厚みが分かつている
複数の基準板を測定放射線ビーム内に順次挿入
し、全測定範囲にわたつて前記各基準板の板厚と
前記板厚に対する放射線検出出力との間の関係を
吸収特性曲線として得て記憶し、被測定物の測定
前に２つの校正点を与える前記測定範囲内の２つ
の異つた特定の板厚を実測して得た放射線検出出
力と前記吸収特性曲線における前記特定の板厚の
放射線出力とを比較し、そのずれ量から前記吸収
特性曲線を補正して新しい校正吸収特性曲線を得
て、この校正吸収特性曲線により前記被測定物の
厚みを測定している。したがつて、２つの校正点
を用いて測定範囲内の吸収特性曲線をドリフト後
の吸収特性曲線に近似させるので、前記したよう
に校正時において多数の基準板を用いて全測定範
囲の吸収データを得ることが不必要となり、校正
に要する測定時間が短縮される。しかし、校正点
２点により測定範囲の吸収特性曲線を校正するの
で、より高度の精度が要求される厚み測定には上
記した従来装置を使用できないという問題があつ
た。
本発明は、以上の問題を解決するためになされ
たものであり、吸収特性曲線の校正を校正点３点
を用い高い近似精度で行うことにより、厚み測定
の迅速化と精度向上を図つた放射線厚み測定装置
を提供することを目的とする。
たものであり、吸収特性曲線の校正を校正点３点
を用い高い近似精度で行うことにより、厚み測定
の迅速化と精度向上を図つた放射線厚み測定装置
を提供することを目的とする。
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明
する。第１図は同実施例の構成を簡単に示したブ
ロツク図である。放射線源としてのＸ線発生器１
は校正時には図示しない基準板にＸ線ビーム１ａ
を照射し、測定時には被測定物２に上記Ｘ線ビー
ム１ａを照射するものである。基準板駆動装置３
は、前記Ｘ線発生器１から出力されるＸ線ビーム
１ａの中に被測定物２等が存在しない時に上記Ｘ
線ビーム１ａの中に測定範囲内の任意の板厚の前
記基準板を挿入するものである。放射線検出器と
してのＸ線検出器４は、上記被測定物２または基
準板を透過したＸ線ビーム１ａを検出し透過した
量に応じた信号を送出するものである。前置増幅
器５は上記Ｘ線検出器４から送出された信号を演
算処理回路６の要求に応じたレベルまで増幅する
ものである。演算処理回路６は上記増幅器５から
送出される信号、記憶回路７に格納されているデ
ータ、および板厚設定器８から送出される信号に
基づき必要な演算をして吸収特性曲線を得て、こ
の吸収特性曲線に対応したデータを上記記憶回路
７に格納すると共に、厚み偏差を厚み指示計９へ
出力し、また吸収特性曲線作成時および校正時に
前記基準板駆動装置３を制御する信号を送出する
ものである。記憶回路７は吸収特性曲線に対応し
たデータを記憶すると共に、上記演算処理回路６
の演算に必要なデータを記憶するものである。板
厚設定器８はＸ線ビーム１ａ内に挿入すべき基準
板の板厚を設定するものであり、板厚に応じた信
号を送出すると共に測定レンジを指定するもので
ある。厚み指示計９は前記演算処理回路６から送
出される厚み偏差信号に基づき上記板厚設定器８
で設定された基準板厚からの偏差により被測定物
２の板厚を計示するものである。
する。第１図は同実施例の構成を簡単に示したブ
ロツク図である。放射線源としてのＸ線発生器１
は校正時には図示しない基準板にＸ線ビーム１ａ
を照射し、測定時には被測定物２に上記Ｘ線ビー
ム１ａを照射するものである。基準板駆動装置３
は、前記Ｘ線発生器１から出力されるＸ線ビーム
１ａの中に被測定物２等が存在しない時に上記Ｘ
線ビーム１ａの中に測定範囲内の任意の板厚の前
記基準板を挿入するものである。放射線検出器と
してのＸ線検出器４は、上記被測定物２または基
準板を透過したＸ線ビーム１ａを検出し透過した
量に応じた信号を送出するものである。前置増幅
器５は上記Ｘ線検出器４から送出された信号を演
算処理回路６の要求に応じたレベルまで増幅する
ものである。演算処理回路６は上記増幅器５から
送出される信号、記憶回路７に格納されているデ
ータ、および板厚設定器８から送出される信号に
基づき必要な演算をして吸収特性曲線を得て、こ
の吸収特性曲線に対応したデータを上記記憶回路
７に格納すると共に、厚み偏差を厚み指示計９へ
出力し、また吸収特性曲線作成時および校正時に
前記基準板駆動装置３を制御する信号を送出する
ものである。記憶回路７は吸収特性曲線に対応し
たデータを記憶すると共に、上記演算処理回路６
の演算に必要なデータを記憶するものである。板
厚設定器８はＸ線ビーム１ａ内に挿入すべき基準
板の板厚を設定するものであり、板厚に応じた信
号を送出すると共に測定レンジを指定するもので
ある。厚み指示計９は前記演算処理回路６から送
出される厚み偏差信号に基づき上記板厚設定器８
で設定された基準板厚からの偏差により被測定物
２の板厚を計示するものである。
以上のように構成された本実施例の厚み測定に
ついて説明する。
ついて説明する。
本実施例の全測定範囲に関する吸収特性曲線は
次のように作成される。板厚設定器８に基準板の
板厚T0、T1、T2、〜、Tnを設定すると、この設
定器８から板厚に応じた信号が演算処理回路６へ
送出され、この処理回路６から制御信号が基準板
駆動装置３へ送出される。そうすると、この基準
板駆動装置３により上記板厚設定器８で設定した
板厚T0、T1、T2、〜、Tnを有する基準板がＸ線
ビーム１ａに順次挿入される。その結果透過した
Ｘ線ビーム１ａはＸ線検出器４で検出されたのち
前置増幅器５で増幅されて検出出力が送出され
る。すなわち、板厚T0に対して検出出力V0、板
厚T1に対して検出出力V1というようにそれぞれ
の板厚T0〜Tnに対応して検出出力V0〜Vnを得
る。これらの検出出力V0〜Vnは演算処理回路６
へ送出され、次のように処理される。
次のように作成される。板厚設定器８に基準板の
板厚T0、T1、T2、〜、Tnを設定すると、この設
定器８から板厚に応じた信号が演算処理回路６へ
送出され、この処理回路６から制御信号が基準板
駆動装置３へ送出される。そうすると、この基準
板駆動装置３により上記板厚設定器８で設定した
板厚T0、T1、T2、〜、Tnを有する基準板がＸ線
ビーム１ａに順次挿入される。その結果透過した
Ｘ線ビーム１ａはＸ線検出器４で検出されたのち
前置増幅器５で増幅されて検出出力が送出され
る。すなわち、板厚T0に対して検出出力V0、板
厚T1に対して検出出力V1というようにそれぞれ
の板厚T0〜Tnに対応して検出出力V0〜Vnを得
る。これらの検出出力V0〜Vnは演算処理回路６
へ送出され、次のように処理される。
すなわち、第２図に示したように全測定範囲に
わたり板厚T0、T1、〜、Tnに対して検出電圧
V0、V1、〜、Vnが対応づけられる。そうして前
記基準板T0〜Tnにより実測されない各基準点間
P0〜P1、P1〜P2〜、Pn-1〜Pnに関しては吸収特
性曲線近似式 Ｔ＝a1＋a2・lnV＋a3・（lnV）2 ……(1) （ただしＴは板厚、ＶはV0、〜、Vnに相当する
検出電圧、a1、a2、a3は定数）に基づいて検出出
力電圧Ｖに対する板厚を計算し、その結果により
上記各基準点間P0〜P1、P1〜P2〜、Pn-1〜Pnを
結び、一本の吸収曲線の近似曲線を得ている。以
下、この吸収曲線の近似曲線を検量線Ｑと呼称す
る。なお、上記近似式(1)は、(イ)簡単な形の式で、
かつ演算内容に特殊なものを含まないこと、(ロ)広
い板厚範囲を精度よく近似できること、(ハ)一般的
な代数的手段で解が得られること、等の吸収曲線
近似式に要求される条件を満足するものとして、
種々の近似式を検討した結果得たものである。ま
た、上記検量線Ｑは、全測定範囲を１つの測定条
件で満たすことができないので、必要な条件によ
つて分割された複数の測定レンジを有し検量線
Q0〜Qoよりなる。
わたり板厚T0、T1、〜、Tnに対して検出電圧
V0、V1、〜、Vnが対応づけられる。そうして前
記基準板T0〜Tnにより実測されない各基準点間
P0〜P1、P1〜P2〜、Pn-1〜Pnに関しては吸収特
性曲線近似式 Ｔ＝a1＋a2・lnV＋a3・（lnV）2 ……(1) （ただしＴは板厚、ＶはV0、〜、Vnに相当する
検出電圧、a1、a2、a3は定数）に基づいて検出出
力電圧Ｖに対する板厚を計算し、その結果により
上記各基準点間P0〜P1、P1〜P2〜、Pn-1〜Pnを
結び、一本の吸収曲線の近似曲線を得ている。以
下、この吸収曲線の近似曲線を検量線Ｑと呼称す
る。なお、上記近似式(1)は、(イ)簡単な形の式で、
かつ演算内容に特殊なものを含まないこと、(ロ)広
い板厚範囲を精度よく近似できること、(ハ)一般的
な代数的手段で解が得られること、等の吸収曲線
近似式に要求される条件を満足するものとして、
種々の近似式を検討した結果得たものである。ま
た、上記検量線Ｑは、全測定範囲を１つの測定条
件で満たすことができないので、必要な条件によ
つて分割された複数の測定レンジを有し検量線
Q0〜Qoよりなる。
以上のようにして得た全測定範囲の検量線Ｑに
対応したデータは記憶回路７へ格納される。この
ような検量線Ｑの作成は通常、製造時、もしくは
設置時に行なわれる。
対応したデータは記憶回路７へ格納される。この
ような検量線Ｑの作成は通常、製造時、もしくは
設置時に行なわれる。
次に厚み測定の前に行なわれる上記検量線Ｑの
校正について説明する。ドリフトなどにより次第
に実際の吸収特性が変化するので、記憶回路７に
記憶されている検量線Ｑのデータとドリフト後の
吸収特性曲線のデータとの間に誤差が生ずる。第
３図は任意の測定レンジの検量線Qaを実線で、
ドリフト後の吸収特性曲線Ｒを破線で示したもの
である。検量線Qaにおいては検出電圧V1a、V2a、
〜、V7aに対して基準板厚T1a、T2a、〜、T7aが
対応しているが、ドリフト後の吸収特性曲線Ｒに
おいてはより大きな検出電圧v1、v2、〜、v7に対
して板厚T1a、T2a、〜、T7aが対応し、ドリフト
の前後では同じ検出電圧に対する板厚が大きく違
つてくる。
校正について説明する。ドリフトなどにより次第
に実際の吸収特性が変化するので、記憶回路７に
記憶されている検量線Ｑのデータとドリフト後の
吸収特性曲線のデータとの間に誤差が生ずる。第
３図は任意の測定レンジの検量線Qaを実線で、
ドリフト後の吸収特性曲線Ｒを破線で示したもの
である。検量線Qaにおいては検出電圧V1a、V2a、
〜、V7aに対して基準板厚T1a、T2a、〜、T7aが
対応しているが、ドリフト後の吸収特性曲線Ｒに
おいてはより大きな検出電圧v1、v2、〜、v7に対
して板厚T1a、T2a、〜、T7aが対応し、ドリフト
の前後では同じ検出電圧に対する板厚が大きく違
つてくる。
そこで校正時において、被測定物２に対して板
厚設定器８により予め設定される目標厚み（厚み
設定値）によつて全測定範囲の中の一番適した測
定レンジを選び、このレンジ内の代表点データ、
たとえば第３図において、基準板厚T1a、T4a、
T7aを有する３枚の基準板を測定することによつ
て上記レンジ内の検量線Qaを校正する。なお、
以上のようなレンジ毎の検量線の校正をレンジ毎
校正と称されるが、厚み設定値に対応して校正し
ているとも考えられるので設定替とも称せられ
る。
厚設定器８により予め設定される目標厚み（厚み
設定値）によつて全測定範囲の中の一番適した測
定レンジを選び、このレンジ内の代表点データ、
たとえば第３図において、基準板厚T1a、T4a、
T7aを有する３枚の基準板を測定することによつ
て上記レンジ内の検量線Qaを校正する。なお、
以上のようなレンジ毎の検量線の校正をレンジ毎
校正と称されるが、厚み設定値に対応して校正し
ているとも考えられるので設定替とも称せられ
る。
上記設定替は次のように行なわれる。上記レン
ジが選択されると、板厚T1a、T4a、T7aが板厚設
定器８に設定され、これ等の板厚に応じた基準板
がＸ線ビーム１ａ中に挿入され、検出電圧v1、
v4、v7を得る。そうすると、これ等の検出電圧
v1、v4、v7が取り込まれ演算処理回路６において
第４図〜第７図に図示した操作が演算によつて行
なわれる。すなわち、第４図に示された現在の
吸収特性曲線Ｒ上の板厚T1a、T4a、T7aに対応し
た点Ｒ（v1）、Ｒ（v4）、Ｒ（v7）を通る第１の吸収
特性近似曲線Ｓを、(1)式を用いて得ると共に、検
量線Qa上のQa（V1a）、Qa（V4a）、Qa（V7a）を通
る第２の吸収特性近似曲線Ｘも上記(1)式を用いて
得る。次に第５図に示したように基準板厚T1a
〜T7aに対応した上記吸収特性近似曲線Ｓおよび
Ｘ上の点Ｓ（v1）〜Ｓ（v7）と点Ｘ（V1a）〜Ｘ
（V7a）との差ΔV1a〜ΔV7aを得る。そうして、
第６図に示したようにこれ等の差ΔV1a〜ΔV7aを
基準板厚T1a〜T7aに対応したＱの上の点Qa
（V1a）〜Qa（V7a）に加算し、点Ｙ（v1）、Ｙ
（v2″）、〜、Ｙ（v7）を得る。次に、これらの点
間、すなわちＹ（v1）〜Ｙ（v2″）、Ｙ（v2″）〜Ｙ
（v3″）、〜、Ｙ（v6″）〜Ｙ（v7）については、前記
(1)式によつて計算し、その結果により第７図に示
したように上記点間Ｙ（v1）〜Ｙ（v2″）、〜、Ｙ
（v6″）〜Ｙ（v7）を結び校正吸収特性曲線として
の一本の新しい検量線Ｙを得る。第７図に示した
ように新しい検量線Ｙは現在の吸収曲線Ｒに対し
て極めてよい近似精度を示している。以上の〜
の演算操作が前記演算処理回路６で行なわれ
る。そうして、このようにして得られた新検量線
Ｙに関するデータは記憶回路７へ格納される。
ジが選択されると、板厚T1a、T4a、T7aが板厚設
定器８に設定され、これ等の板厚に応じた基準板
がＸ線ビーム１ａ中に挿入され、検出電圧v1、
v4、v7を得る。そうすると、これ等の検出電圧
v1、v4、v7が取り込まれ演算処理回路６において
第４図〜第７図に図示した操作が演算によつて行
なわれる。すなわち、第４図に示された現在の
吸収特性曲線Ｒ上の板厚T1a、T4a、T7aに対応し
た点Ｒ（v1）、Ｒ（v4）、Ｒ（v7）を通る第１の吸収
特性近似曲線Ｓを、(1)式を用いて得ると共に、検
量線Qa上のQa（V1a）、Qa（V4a）、Qa（V7a）を通
る第２の吸収特性近似曲線Ｘも上記(1)式を用いて
得る。次に第５図に示したように基準板厚T1a
〜T7aに対応した上記吸収特性近似曲線Ｓおよび
Ｘ上の点Ｓ（v1）〜Ｓ（v7）と点Ｘ（V1a）〜Ｘ
（V7a）との差ΔV1a〜ΔV7aを得る。そうして、
第６図に示したようにこれ等の差ΔV1a〜ΔV7aを
基準板厚T1a〜T7aに対応したＱの上の点Qa
（V1a）〜Qa（V7a）に加算し、点Ｙ（v1）、Ｙ
（v2″）、〜、Ｙ（v7）を得る。次に、これらの点
間、すなわちＹ（v1）〜Ｙ（v2″）、Ｙ（v2″）〜Ｙ
（v3″）、〜、Ｙ（v6″）〜Ｙ（v7）については、前記
(1)式によつて計算し、その結果により第７図に示
したように上記点間Ｙ（v1）〜Ｙ（v2″）、〜、Ｙ
（v6″）〜Ｙ（v7）を結び校正吸収特性曲線として
の一本の新しい検量線Ｙを得る。第７図に示した
ように新しい検量線Ｙは現在の吸収曲線Ｒに対し
て極めてよい近似精度を示している。以上の〜
の演算操作が前記演算処理回路６で行なわれ
る。そうして、このようにして得られた新検量線
Ｙに関するデータは記憶回路７へ格納される。
このような操作が終つたのち、次に被測定物２
がＸ線ビーム１ａ内に挿入され、Ｘ線検出器４で
検出され前置増幅器５から検出電圧Ｖが演算処理
回路６へ送出される。そうして、この演算処理回
路６において記憶回路７に格納されている新しい
検量線Ｙのデータに基づき上記増幅器５から送出
された検出電圧Ｖに対応した板厚Ｔを得てこれを
前記被測定物２の絶対板厚とする。また、板厚設
定器８で設定された基準板厚と前記被測定物２の
絶対板厚との差を得て、その偏差を偏差信号とし
て厚み指示計９へ出力し上記設定基準板厚に対す
る偏差の形で上記被測定物２の板厚を表示する。
がＸ線ビーム１ａ内に挿入され、Ｘ線検出器４で
検出され前置増幅器５から検出電圧Ｖが演算処理
回路６へ送出される。そうして、この演算処理回
路６において記憶回路７に格納されている新しい
検量線Ｙのデータに基づき上記増幅器５から送出
された検出電圧Ｖに対応した板厚Ｔを得てこれを
前記被測定物２の絶対板厚とする。また、板厚設
定器８で設定された基準板厚と前記被測定物２の
絶対板厚との差を得て、その偏差を偏差信号とし
て厚み指示計９へ出力し上記設定基準板厚に対す
る偏差の形で上記被測定物２の板厚を表示する。
このように本実施例によれば、検量線Ｑの校正
を近似精度よくかつ容易にできるので、被測定物
２の厚み測定を正確にできると共に、測定に要す
る時間を短縮化できる。
を近似精度よくかつ容易にできるので、被測定物
２の厚み測定を正確にできると共に、測定に要す
る時間を短縮化できる。
なお、本発明は前記した一実施例に限られるも
のではない。たとえば、前記実施例において、７
個の基準板T1a〜T7aを用いて検量線Qaを得たが、
精度を向上させるために７個以上の基準板を用い
てもよい。また、前記実施例において、被測定物
２の板厚を設定基準板厚からの偏差として厚み指
示計９に表示するようにしていたが、上記被測定
物２の板厚の絶対値を表示するようにしてもよ
い。その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で
種々変形実施できることは勿論である。
のではない。たとえば、前記実施例において、７
個の基準板T1a〜T7aを用いて検量線Qaを得たが、
精度を向上させるために７個以上の基準板を用い
てもよい。また、前記実施例において、被測定物
２の板厚を設定基準板厚からの偏差として厚み指
示計９に表示するようにしていたが、上記被測定
物２の板厚の絶対値を表示するようにしてもよ
い。その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で
種々変形実施できることは勿論である。
以上説明したように、本発明によれば、吸収特
性曲線の校正点として測定レンジ内の３つの基準
厚みを用い、校正時に上記厚みに対応した放射線
検出出力を得、演算処理回路で上記検出出力と吸
収特性近似式と前記吸収特性曲線とに基づき、演
算により上記３つの厚み以外の厚みの放射線検出
出力も補正することにより校正吸収特性曲線の精
度を高めたので、厚み測定の迅速化と精度向上を
共に図れる放射線厚み測定装置を提供できる。
性曲線の校正点として測定レンジ内の３つの基準
厚みを用い、校正時に上記厚みに対応した放射線
検出出力を得、演算処理回路で上記検出出力と吸
収特性近似式と前記吸収特性曲線とに基づき、演
算により上記３つの厚み以外の厚みの放射線検出
出力も補正することにより校正吸収特性曲線の精
度を高めたので、厚み測定の迅速化と精度向上を
共に図れる放射線厚み測定装置を提供できる。
第１図〜第７図は本発明の一実施例に係り、第
１図は同実施例の構成を簡単に示したブロツク
図、第２図は検量線の図、第３図は任意の測定レ
ンジの検量線の図、第４図〜第７図はそれぞれ検
量線を校正する過程を示した図である。 １……Ｘ線発生器、２……被測定物、３……基
準板駆動装置、４……Ｘ線検出器、５……前置増
幅器、６……演算処理回路、７……記憶回路、８
……板厚設定器、９……厚み指示計。
１図は同実施例の構成を簡単に示したブロツク
図、第２図は検量線の図、第３図は任意の測定レ
ンジの検量線の図、第４図〜第７図はそれぞれ検
量線を校正する過程を示した図である。 １……Ｘ線発生器、２……被測定物、３……基
準板駆動装置、４……Ｘ線検出器、５……前置増
幅器、６……演算処理回路、７……記憶回路、８
……板厚設定器、９……厚み指示計。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 被測定物を透過した放射線を検出して得た放
射線出力を吸収特性曲線と比較対照することによ
り前記被測定物の厚みを測定する放射線厚み測定
装置において、前記吸収特性曲線の校正時、測定
レンジ内における複数の基準厚みのうち選択され
た３つの基準厚みを設定する厚み設定器と、それ
ぞれ前記厚み設定器で設定される厚みを有し前記
放射線を透過させる複数の基準板と、これ等の基
準板を透過した放射線の検出出力が入力される演
算処理回路と、測定される各厚みに対する基準と
なる各検出出力の特性曲線を示す検量線と吸収特
性曲線近似式 Ｔ＝a1＋a2・lnV＋a3（lnV）2 （Ｔ：厚み、Ｖ：放射線検出出力、a1、a2、a3：
定数） とを記憶する記憶回路とを備え、前記演算処理回
路は、前記厚み設定器で設定された３つの基準厚
みに対する各基準板を透過した場合の各検出出力
から前記吸収特性曲線近似式を用いて第１の吸収
特性近似曲線を算出する第１の吸収特性近似曲線
算出手段と、前記検量線上における前記３つの各
検出出力値を通る第２の吸収特性近似曲線を前記
吸収特性曲線近似式を用いて算出する第２のの吸
収特性近似曲線算出手段と、前記各基準板厚みに
おける前記第１の吸収特性近似曲線と第２の吸収
特性近似曲線との間の各検出出力差を算出する検
出出力差算出手段と、算出された各検出出力差を
前記検量線の該当基準板厚みの検出出力値に加算
して得られた各検出出力値と前記各基準板厚みと
から前記吸収特性曲線近似式を用いて連続した一
つの最終検量線としての校正吸収特性曲線を算出
する校正吸収特性曲線算出手段とを備えたことを
特徴とする放射線厚み測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55116550A JPS5740604A (en) | 1980-08-25 | 1980-08-25 | Thickness measuring apparatus with radiation |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55116550A JPS5740604A (en) | 1980-08-25 | 1980-08-25 | Thickness measuring apparatus with radiation |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5740604A JPS5740604A (en) | 1982-03-06 |
| JPS6327643B2 true JPS6327643B2 (ja) | 1988-06-03 |
Family
ID=14689885
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP55116550A Granted JPS5740604A (en) | 1980-08-25 | 1980-08-25 | Thickness measuring apparatus with radiation |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5740604A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006184183A (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-13 | Yokogawa Electric Corp | 物理量測定装置及びこの装置を用いた物理量測定方法 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100804396B1 (ko) | 2006-11-09 | 2008-02-15 | 주식회사 포스코 | 강판의 초정밀 두께측정장치 및 방법 |
| JP5847674B2 (ja) * | 2012-09-10 | 2016-01-27 | 株式会社東芝 | Ｘ線厚さ計 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4119846A (en) * | 1977-02-03 | 1978-10-10 | Sangamo Weston, Inc. | Non-contacting gage apparatus and method |
| JPS54116263A (en) * | 1978-03-01 | 1979-09-10 | Toshiba Corp | Radiation thickness measuring method |
-
1980
- 1980-08-25 JP JP55116550A patent/JPS5740604A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006184183A (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-13 | Yokogawa Electric Corp | 物理量測定装置及びこの装置を用いた物理量測定方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5740604A (en) | 1982-03-06 |
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