JPS6327034U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6327034U JPS6327034U JP12134186U JP12134186U JPS6327034U JP S6327034 U JPS6327034 U JP S6327034U JP 12134186 U JP12134186 U JP 12134186U JP 12134186 U JP12134186 U JP 12134186U JP S6327034 U JPS6327034 U JP S6327034U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- variable
- variable capacitor
- coil
- detection circuit
- circuit
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
Landscapes
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Transmitters (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例における高周波整合回
路装置および周辺装置を示す配置図である。第２
図、第３図は、従来の高周波整合回路装置および
周辺装置を示す配置図である。 ４，１４……可変コンデンサ、５……可変コイ
ル、６，７，８……駆動モータ、９……駆動回路
、１０……検出回路、１３……切り替えスイツチ
。
路装置および周辺装置を示す配置図である。第２
図、第３図は、従来の高周波整合回路装置および
周辺装置を示す配置図である。 ４，１４……可変コンデンサ、５……可変コイ
ル、６，７，８……駆動モータ、９……駆動回路
、１０……検出回路、１３……切り替えスイツチ
。
Claims (1)
- 可変コンデンサおよび可変コイルを有する整合
回路と、電力損失量を検出する検出回路と、検出
回路の信号を増幅し上記可変コンデンサあるいは
可変コイルを駆動する駆動回路とからなり、上記
駆動回路内の電気的接点を切り替えることにより
駆動させる可変コンデンサおよび可変コイルを任
意に１つ選択することができるように構成したこ
とを特徴とした高周波整合装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12134186U JPS6327034U (ja) | 1986-08-07 | 1986-08-07 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12134186U JPS6327034U (ja) | 1986-08-07 | 1986-08-07 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6327034U true JPS6327034U (ja) | 1988-02-22 |
Family
ID=31010520
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12134186U Pending JPS6327034U (ja) | 1986-08-07 | 1986-08-07 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6327034U (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57113599A (en) * | 1981-01-06 | 1982-07-15 | Kokusai Electric Co Ltd | Automatic matching device for plasma generator |
| JPS58135600A (ja) * | 1982-02-08 | 1983-08-12 | 株式会社日立国際電気 | プラズマ励起用高周波電力供給装置 |
| JPS61139685A (ja) * | 1984-12-10 | 1986-06-26 | Tokuda Seisakusho Ltd | 高周波プラズマエツチング装置 |
-
1986
- 1986-08-07 JP JP12134186U patent/JPS6327034U/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57113599A (en) * | 1981-01-06 | 1982-07-15 | Kokusai Electric Co Ltd | Automatic matching device for plasma generator |
| JPS58135600A (ja) * | 1982-02-08 | 1983-08-12 | 株式会社日立国際電気 | プラズマ励起用高周波電力供給装置 |
| JPS61139685A (ja) * | 1984-12-10 | 1986-06-26 | Tokuda Seisakusho Ltd | 高周波プラズマエツチング装置 |