JPS63265202A - ミクロ2相組織から成る素材の応用 - Google Patents
ミクロ2相組織から成る素材の応用Info
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- JPS63265202A JPS63265202A JP63071743A JP7174388A JPS63265202A JP S63265202 A JPS63265202 A JP S63265202A JP 63071743 A JP63071743 A JP 63071743A JP 7174388 A JP7174388 A JP 7174388A JP S63265202 A JPS63265202 A JP S63265202A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
- H01S3/08059—Constructional details of the reflector, e.g. shape
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
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- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/08—Mirrors
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- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
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- Conductive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の背景〕
レーザ光を方向変換させるためには、レーザそのものの
中にまたはその外部に、高品質の金属鏡が必要であり、
この金属鏡を下記において単にレーザ鏡と呼ぶ。この種
のレーザ鏡は、非常にすぐれた鏡面と、高度の反射能と
、すぐれた幾何学的平面性および高い表面硬さとを有す
る。
中にまたはその外部に、高品質の金属鏡が必要であり、
この金属鏡を下記において単にレーザ鏡と呼ぶ。この種
のレーザ鏡は、非常にすぐれた鏡面と、高度の反射能と
、すぐれた幾何学的平面性および高い表面硬さとを有す
る。
現在一般に使用されている金属鏡は多結晶黄銅または銅
で製造され、例えばダイアモンド研磨などの表面処理に
よって所要の光学特性を得る。このような金属鏡の加工
に際しては、常に素材によって条件づけられる表面品質
の限界に達する。表面の凹凸深さに関して、3n−(ナ
ノメータ)の限界を下回る事はできないようであり、ま
た機械加工による表面の段形成により現在では表面波形
において40nmを下回る事はできない。この両特性、
すなわち凹凸深さと段形成とによって、鏡面の光学特性
と従ってレーザ光の散乱が決定的に影響を受ける。前記
の段形成は、・多結晶素材の表面の機械加工に際して、
その表面の粒子が・加工工具に対してそれぞれ相異なる
回避運動をなし、加工の後に再びその休止位置に戻るこ
とによって生じる。
で製造され、例えばダイアモンド研磨などの表面処理に
よって所要の光学特性を得る。このような金属鏡の加工
に際しては、常に素材によって条件づけられる表面品質
の限界に達する。表面の凹凸深さに関して、3n−(ナ
ノメータ)の限界を下回る事はできないようであり、ま
た機械加工による表面の段形成により現在では表面波形
において40nmを下回る事はできない。この両特性、
すなわち凹凸深さと段形成とによって、鏡面の光学特性
と従ってレーザ光の散乱が決定的に影響を受ける。前記
の段形成は、・多結晶素材の表面の機械加工に際して、
その表面の粒子が・加工工具に対してそれぞれ相異なる
回避運動をなし、加工の後に再びその休止位置に戻るこ
とによって生じる。
素材組成と結晶組織とによって、粒界に対応して相互に
段階的にずれた複数の(顕微鏡のみで見られる)場所が
生じる。
段階的にずれた複数の(顕微鏡のみで見られる)場所が
生じる。
前記限界を超えることは、現在の工作機械の技術水準で
はレーザ鏡用の新規な素材を使用することによってのみ
可能であると思われる。
はレーザ鏡用の新規な素材を使用することによってのみ
可能であると思われる。
ところで、それ自体公知のミクロ2相組織(Mikro
duplexgel’uge)を有する黄銅がレーザ鏡
の特性の明白な改良をもたらすことが発見された。
duplexgel’uge)を有する黄銅がレーザ鏡
の特性の明白な改良をもたらすことが発見された。
この種の素材は、その特性として微結晶構造を有し、無
張力状態、高い剛性、およびすぐれた素材硬さを有する
。従来の黄銅と同様の加工技術を使用し、従来の黄銅の
場合よりも5〜10倍すぐれた表面品質が得られる。こ
の場合、凹凸深さは少なくとも2〜3倍改良され、表面
波形は10倍まで改良される。ミクロ2相組織から成る
レーザ鏡の平面性は、通常の黄銅の場合と同一であり、
またミクロ2相組織の反射鏡は従来の黄銅よりむしろ優
れている。しかし黄銅のリフレクタンスファクターはそ
の性質上、銅のリフレクタンスファクターより明らかに
低い。ミクロ2相組織黄銅は本質的に銅より固く、また
同様の組織特性を有する単結晶素材より明白に安価であ
る。ミクロ2相組織の微結晶構造の故に、その鏡面の段
形成は従来の黄銅素材の場合よりも遥かに低く、従って
レーザ光の散乱も低い。このことは、方向変換されるレ
ーザ光の波長が短いほど、それだけ重要となる。
張力状態、高い剛性、およびすぐれた素材硬さを有する
。従来の黄銅と同様の加工技術を使用し、従来の黄銅の
場合よりも5〜10倍すぐれた表面品質が得られる。こ
の場合、凹凸深さは少なくとも2〜3倍改良され、表面
波形は10倍まで改良される。ミクロ2相組織から成る
レーザ鏡の平面性は、通常の黄銅の場合と同一であり、
またミクロ2相組織の反射鏡は従来の黄銅よりむしろ優
れている。しかし黄銅のリフレクタンスファクターはそ
の性質上、銅のリフレクタンスファクターより明らかに
低い。ミクロ2相組織黄銅は本質的に銅より固く、また
同様の組織特性を有する単結晶素材より明白に安価であ
る。ミクロ2相組織の微結晶構造の故に、その鏡面の段
形成は従来の黄銅素材の場合よりも遥かに低く、従って
レーザ光の散乱も低い。このことは、方向変換されるレ
ーザ光の波長が短いほど、それだけ重要となる。
ミクロ2相組織から成る鏡面は、その素材の故に反射能
が比較的低いことを考慮して、この鏡面は主として低性
能のレーザについて使用される。しかし、この素材の非
常に優れた形状剛性の故に、より大なる直径の鏡面を製
造することができ、これは適当な手段を使用すれば高度
の平面性を有し、レーザ放射に際してもこれを保持する
。ミクロ2相組織素材は製造に際して比較的薄い厚さで
作製されるので、レーザ鏡の製造のためには高伝熱性の
形状安定担体上にこの素材を載置することが好ましい。
が比較的低いことを考慮して、この鏡面は主として低性
能のレーザについて使用される。しかし、この素材の非
常に優れた形状剛性の故に、より大なる直径の鏡面を製
造することができ、これは適当な手段を使用すれば高度
の平面性を有し、レーザ放射に際してもこれを保持する
。ミクロ2相組織素材は製造に際して比較的薄い厚さで
作製されるので、レーザ鏡の製造のためには高伝熱性の
形状安定担体上にこの素材を載置することが好ましい。
ミクロ2相組織黄銅はすでに公知である。出願人のドイ
ツ特許第27.42,008号および第27.58,8
22号を挙げることができる。これらの特許において、
この場合に応用することのできるミクロ2相組織黄銅の
2種の製造法が記載されている。本発明による黄銅素材
は、61〜65%の銅理論含有量と、残分の亜鉛とを含
有する。銅理論含有量に関するギレーの理論によれば(
ドイツ特許第27.58.822号参照)、銅または亜
鉛を部分的に5%までの単数または複数のニッケル、ア
ルミニウム、マンガン、ケイ素、コバルトまたはスズを
もって代替することができる。しかし、好ましくは黄銅
素材は62%の銅と38%の亜鉛とから成る。この2元
合金の硬さとしては、HV150が実測され、剛性度は
少なくとも50ON/−と確認された。条素材系につい
ては、これらの値はさらに上昇する。
ツ特許第27.42,008号および第27.58,8
22号を挙げることができる。これらの特許において、
この場合に応用することのできるミクロ2相組織黄銅の
2種の製造法が記載されている。本発明による黄銅素材
は、61〜65%の銅理論含有量と、残分の亜鉛とを含
有する。銅理論含有量に関するギレーの理論によれば(
ドイツ特許第27.58.822号参照)、銅または亜
鉛を部分的に5%までの単数または複数のニッケル、ア
ルミニウム、マンガン、ケイ素、コバルトまたはスズを
もって代替することができる。しかし、好ましくは黄銅
素材は62%の銅と38%の亜鉛とから成る。この2元
合金の硬さとしては、HV150が実測され、剛性度は
少なくとも50ON/−と確認された。条素材系につい
ては、これらの値はさらに上昇する。
この本発明素材の実際テストにより、従来の黄銅と同様
の表面処理工程によって、従来の黄銅より本質的に優れ
たレーザ鏡を製造できることが示された。
の表面処理工程によって、従来の黄銅より本質的に優れ
たレーザ鏡を製造できることが示された。
Claims (1)
- レーザ反射鏡としてのミクロ2相組織から成る素材、特
に黄銅素材の応用。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19873710334 DE3710334A1 (de) | 1987-03-28 | 1987-03-28 | Verwendung eines werkstoffs aus mikroduplexgefuege |
DE3710334.2 | 1987-03-28 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63265202A true JPS63265202A (ja) | 1988-11-01 |
Family
ID=6324256
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63071743A Pending JPS63265202A (ja) | 1987-03-28 | 1988-03-25 | ミクロ2相組織から成る素材の応用 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US5175653A (ja) |
EP (1) | EP0284975B1 (ja) |
JP (1) | JPS63265202A (ja) |
DE (2) | DE3710334A1 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0275490A (ja) * | 1988-09-07 | 1990-03-15 | Fanuc Ltd | レーザビーム中継ユニット |
DE9409869U1 (de) * | 1994-06-17 | 1995-10-12 | Diehl Gmbh & Co | Deformierbarer Spiegel, insbesondere für eine Laserstrahl-Materialbearbeitungseinrichtung |
JP3219072B2 (ja) | 1999-02-17 | 2001-10-15 | 住友電気工業株式会社 | レーザビーム用形状可変鏡 |
US6467915B2 (en) * | 2000-01-19 | 2002-10-22 | Diehl Munitionssysteme Gmbh & Co. Kg | Deformable mirror, in particular for a laser beam material machining apparatus |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4238249A (en) * | 1977-12-30 | 1980-12-09 | Diehl Gmbh & Co. | Process for the preparation of a copper-zinc material |
JPS5618662A (en) * | 1979-07-24 | 1981-02-21 | Nippon Chem Ind Co Ltd:The | Antifouling paint composition |
JPS57208501A (en) * | 1981-06-19 | 1982-12-21 | Toshiba Corp | Optical mirror having high strength and heat resistance |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US915414A (en) * | 1907-09-16 | 1909-03-16 | Sherard Osborn Cowper-Coles | Manufacture of reflectors. |
US2091714A (en) * | 1934-05-10 | 1937-08-31 | Eastman Kodak Co | Protective backing for reflecting surfaces |
US2103538A (en) * | 1934-11-22 | 1937-12-28 | Bausch & Lomb | Reflector |
US2123049A (en) * | 1935-12-24 | 1938-07-05 | Gen Electric | Mirror |
DE2742008C2 (de) * | 1977-09-17 | 1983-12-29 | Diehl GmbH & Co, 8500 Nürnberg | Verfahren zur Herstellung eines Messing-Werkstoffes mit Mikroduplex-Gefüge |
IT1179776B (it) * | 1984-10-19 | 1987-09-16 | R T M Inst Per Le Ricerche Di | Testa di focalizzazione di un fascio laser |
-
1987
- 1987-03-28 DE DE19873710334 patent/DE3710334A1/de active Granted
-
1988
- 1988-02-17 US US07/157,330 patent/US5175653A/en not_active Expired - Fee Related
- 1988-03-23 DE DE8888104612T patent/DE3881927D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1988-03-23 EP EP88104612A patent/EP0284975B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1988-03-25 JP JP63071743A patent/JPS63265202A/ja active Pending
-
1989
- 1989-03-20 US US07/325,692 patent/US4892991A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4238249A (en) * | 1977-12-30 | 1980-12-09 | Diehl Gmbh & Co. | Process for the preparation of a copper-zinc material |
JPS5618662A (en) * | 1979-07-24 | 1981-02-21 | Nippon Chem Ind Co Ltd:The | Antifouling paint composition |
JPS57208501A (en) * | 1981-06-19 | 1982-12-21 | Toshiba Corp | Optical mirror having high strength and heat resistance |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US5175653A (en) | 1992-12-29 |
DE3710334C2 (ja) | 1990-08-23 |
EP0284975A3 (en) | 1990-02-07 |
DE3881927D1 (de) | 1993-07-29 |
DE3710334A1 (de) | 1988-10-06 |
US4892991A (en) | 1990-01-09 |
EP0284975B1 (de) | 1993-06-23 |
EP0284975A2 (de) | 1988-10-05 |
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