JPS6326512A - 面傾き角測定方式 - Google Patents
面傾き角測定方式Info
- Publication number
- JPS6326512A JPS6326512A JP16973186A JP16973186A JPS6326512A JP S6326512 A JPS6326512 A JP S6326512A JP 16973186 A JP16973186 A JP 16973186A JP 16973186 A JP16973186 A JP 16973186A JP S6326512 A JPS6326512 A JP S6326512A
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- JP
- Japan
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- light beams
- reflected
- detected
- filter
- tilt angle
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 8
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Landscapes
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、光ディスク等の面の傾き角の２次元分布を同
時に測定するに好適な測定方式に関する。
時に測定するに好適な測定方式に関する。
従来、光ディスクのような面の傾き分布を測定するのに
、−本のレーザビームを面上にあて、その反射ビームの
方向を検出することにより、面の傾きを測定する方法が
とられていた。平面の傾き角測定に関しては、例えばホ
ルン・ウオルフ「光学の原理Ｊ（１９６５年） Ｐ２Ｓ
５〜３６９ （Ｂａｒｎ ＆Ｗａｌｆ ｐｒｉｎｃｉｐ
ｌｅｓ ｏｆ Ｑｐｔｉｃｓ ）に記載されているよ
うに干渉計による干渉縞の曲がシから測定する方法があ
る。
、−本のレーザビームを面上にあて、その反射ビームの
方向を検出することにより、面の傾きを測定する方法が
とられていた。平面の傾き角測定に関しては、例えばホ
ルン・ウオルフ「光学の原理Ｊ（１９６５年） Ｐ２Ｓ
５〜３６９ （Ｂａｒｎ ＆Ｗａｌｆ ｐｒｉｎｃｉｐ
ｌｅｓ ｏｆ Ｑｐｔｉｃｓ ）に記載されているよ
うに干渉計による干渉縞の曲がシから測定する方法があ
る。
しかし、上記従来技術は一点での測定しかできず、面全
体の２次元分布を知る上で、不光分である。実際、例え
ば光デイスク基盤を例にとった時、材料はプラスチック
であり、製造プロセスによっては、インジェクションの
方向などてより、面全体からみて、局所的なくせなどが
生じる場合がある。このような傾向は、傾き角の一点測
定では、発見されず、２次元分布を同時に視察すること
によってはじめて顕著に示されるものである。
体の２次元分布を知る上で、不光分である。実際、例え
ば光デイスク基盤を例にとった時、材料はプラスチック
であり、製造プロセスによっては、インジェクションの
方向などてより、面全体からみて、局所的なくせなどが
生じる場合がある。このような傾向は、傾き角の一点測
定では、発見されず、２次元分布を同時に視察すること
によってはじめて顕著に示されるものである。
本発明の目的は、かかる従来技術の欠点を解消し、２次
元同時測定を可能とすることにある。
元同時測定を可能とすることにある。
上記目的は、レンズの持つ特性を利用することによシ達
成される。すなわち、第２図に示すように、白色光源１
からのビームをレンズ２により発散光とし、レンズ３に
入射せしめ、射出光が光軸と平行となるような配置をと
る。かくすれば、被検物４からの反射光が、レンズ３に
戻るが、被検物４に面傾きがあると、レンズ３に戻る光
はもはや光軸と平行ではなくなる。このため、戻シ光は
レンズ３を通過後、ビームスプリッタ５を通過して、レ
ンズ３の焦点２面上の点を通過することばな込。今レン
ズ３の焦点距離をｆ、被検物の任意の場所の傾き角をΔ
θとした時、その部分で反射された光線は２面上の点で
光軸よシΔＸだけ、Δｘ＝２Δθｆ 離れた点を通過することＫなる。
成される。すなわち、第２図に示すように、白色光源１
からのビームをレンズ２により発散光とし、レンズ３に
入射せしめ、射出光が光軸と平行となるような配置をと
る。かくすれば、被検物４からの反射光が、レンズ３に
戻るが、被検物４に面傾きがあると、レンズ３に戻る光
はもはや光軸と平行ではなくなる。このため、戻シ光は
レンズ３を通過後、ビームスプリッタ５を通過して、レ
ンズ３の焦点２面上の点を通過することばな込。今レン
ズ３の焦点距離をｆ、被検物の任意の場所の傾き角をΔ
θとした時、その部分で反射された光線は２面上の点で
光軸よシΔＸだけ、Δｘ＝２Δθｆ 離れた点を通過することＫなる。
すなわち、被検物の面傾き分布は、レンズ３の焦点２面
上での光軸からのはずれ量ΔＸの分布に変換されること
になる。このΔＸの分布を検出すれば、被検物の傾き内
分布は２次元的にとらえられるのでちる。
上での光軸からのはずれ量ΔＸの分布に変換されること
になる。このΔＸの分布を検出すれば、被検物の傾き内
分布は２次元的にとらえられるのでちる。
そこで、レンズ３の焦点２面上に第３図に示し九同心円
状のリングからなるフィルターを配置する。この同心円
の各々のリングは、別々に色分けされているものとする
。さすれば、ΔＸすなわちΔθの大きさて応じてフィル
タを通過する場所が異なるので、それぞれの光、線は着
色することＫなる。
状のリングからなるフィルターを配置する。この同心円
の各々のリングは、別々に色分けされているものとする
。さすれば、ΔＸすなわちΔθの大きさて応じてフィル
タを通過する場所が異なるので、それぞれの光、線は着
色することＫなる。
本発明によれば、フィルタを通過した光線は、被検物の
傾き角の大きさに応じて、着色し、この色分布をカラー
カメラてよυとり込めば、２次元のカラー表示ができる
ことになるのである。
傾き角の大きさに応じて、着色し、この色分布をカラー
カメラてよυとり込めば、２次元のカラー表示ができる
ことになるのである。
以下本発明の一実施例を第１図により説明する。
白色光源１からの光はピンホール６を経て、コリメータ
レンズ２により集光され、ビームスプリッタ５で反射さ
れ、対物レンズ３にょシ平行光となって被検物４で反射
される。被検物４からの反射光は、被検物に傾きが全く
なければ、対物レンズ３を経てその焦点Ｆに一旦集光さ
れ、接眼レンズ７によってカメラ８にいたり、被検物の
像をモニター９によって観察することができる。この時
フ１７エ面１０上ておいた第３図に示したフィルターの
中心部分はただのピンホールとなっているため、フィル
タリングがかからず、モニター９上には白色光の像がみ
られる。
レンズ２により集光され、ビームスプリッタ５で反射さ
れ、対物レンズ３にょシ平行光となって被検物４で反射
される。被検物４からの反射光は、被検物に傾きが全く
なければ、対物レンズ３を経てその焦点Ｆに一旦集光さ
れ、接眼レンズ７によってカメラ８にいたり、被検物の
像をモニター９によって観察することができる。この時
フ１７エ面１０上ておいた第３図に示したフィルターの
中心部分はただのピンホールとなっているため、フィル
タリングがかからず、モニター９上には白色光の像がみ
られる。
しかし、今、被検物４の各場所に傾きがあると、反射光
がフーリエ面上を通過する位置がずれ、フィルター１０
のある色例えば赤色のフィルターを通過することになる
。かくして、カラー画面９上には、その点が赤色で表示
されることになる。
がフーリエ面上を通過する位置がずれ、フィルター１０
のある色例えば赤色のフィルターを通過することになる
。かくして、カラー画面９上には、その点が赤色で表示
されることになる。
以上のように、本発明によれば、これまで、−点毎にし
か測定できなかった面の傾き角が、２次元子面全体にわ
たり、同時に計測でき、しかも、色フィルタを用いてい
るため、カラーカメラ、カラーモニタを通じて、観察者
の目に精彩に、表示することが可能となるのである。ま
た、同時測定のため、データの画像処理が不要であり、
瞬時に全体にわたっての計測が実施できることも１本発
明の大きな効果である。
か測定できなかった面の傾き角が、２次元子面全体にわ
たり、同時に計測でき、しかも、色フィルタを用いてい
るため、カラーカメラ、カラーモニタを通じて、観察者
の目に精彩に、表示することが可能となるのである。ま
た、同時測定のため、データの画像処理が不要であり、
瞬時に全体にわたっての計測が実施できることも１本発
明の大きな効果である。
第１図は本発明の一実施例を示す図、第２図は本発明の
動作原理を説明するための図、第３図は本発明で用いる
同心円状のリングからなるフィルターを示す図である。 第 ｌ 凹 猶２凹 ■ｌ 案３凹
動作原理を説明するための図、第３図は本発明で用いる
同心円状のリングからなるフィルターを示す図である。 第 ｌ 凹 猶２凹 ■ｌ 案３凹
Claims (1)
- １、白色光源からのビームをピンホールを通し、ビーム
スプリッタを経て、対物レンズにより平行ビームとし、
被検平面にあて、反射光を再び該対物レンズに戻し、ビ
ームスプリッタを経て焦点面近傍を通過せしめた光学配
置において、該焦点面上に同心円状の複数のリングを有
し、該リングの各帯毎に色の異なる色フィルターを配置
したことを特徴とする面傾き角測定方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16973186A JPS6326512A (ja) | 1986-07-21 | 1986-07-21 | 面傾き角測定方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16973186A JPS6326512A (ja) | 1986-07-21 | 1986-07-21 | 面傾き角測定方式 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6326512A true JPS6326512A (ja) | 1988-02-04 |
Family
ID=15891805
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16973186A Pending JPS6326512A (ja) | 1986-07-21 | 1986-07-21 | 面傾き角測定方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6326512A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2584797A (en) * | 2019-06-12 | 2020-12-16 | Secr Defence | Measuring device and method |
| JP2022049881A (ja) * | 2020-09-17 | 2022-03-30 | 株式会社東芝 | 光学装置 |
-
1986
- 1986-07-21 JP JP16973186A patent/JPS6326512A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2584797A (en) * | 2019-06-12 | 2020-12-16 | Secr Defence | Measuring device and method |
| GB2584797B (en) * | 2019-06-12 | 2021-08-04 | Secr Defence | Measuring device and method |
| JP2022049881A (ja) * | 2020-09-17 | 2022-03-30 | 株式会社東芝 | 光学装置 |
| US11758278B2 (en) | 2020-09-17 | 2023-09-12 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Optical apparatus |
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