JPS63261157A - 表面検査方法 - Google Patents
表面検査方法Info
- Publication number
- JPS63261157A JPS63261157A JP62094468A JP9446887A JPS63261157A JP S63261157 A JPS63261157 A JP S63261157A JP 62094468 A JP62094468 A JP 62094468A JP 9446887 A JP9446887 A JP 9446887A JP S63261157 A JPS63261157 A JP S63261157A
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- Japan
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- ultrasonic wave
- echo
- ultrasonic
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- Pending
Links
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Landscapes
- Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔を業」−の利用分野〕
本発明は工業製品、構造物等の表面状態の検査に適用さ
れる表面検査方法に関する。
れる表面検査方法に関する。
従来、工業製品、構造物等の表面状態及び表面に存在す
る欠陥２付着物等を検査する方法には、磁気法、電気抵
抗法、うす上流法。
る欠陥２付着物等を検査する方法には、磁気法、電気抵
抗法、うす上流法。
触針法、超音波法、目視法等の方法が知られている。
１〜かしながら、このような従来方法１位次の欠点を有
１−７ている。
１−７ている。
（１） 磁力線、電流、電気抵抗活の物理的性質の変
化を利用する方法は被検体が磁性体２良導体の、場合の
み適用することができ、これ以外の例えば有機材料等（
て対しては適用することができない。また表面の伺着物
等の検出には用いることができないのみならず、表面付
着物等をあらかじめ除去するなどの前処理が必要で自動
化が難しい。
化を利用する方法は被検体が磁性体２良導体の、場合の
み適用することができ、これ以外の例えば有機材料等（
て対しては適用することができない。また表面の伺着物
等の検出には用いることができないのみならず、表面付
着物等をあらかじめ除去するなどの前処理が必要で自動
化が難しい。
（２）触針法では針の振れ（でより表面形状を調査する
性質から軟質の物体、流体＠（′Ｃは適用できず、微小
振動に弱く、捷た検査速度が遅い。
性質から軟質の物体、流体＠（′Ｃは適用できず、微小
振動に弱く、捷た検査速度が遅い。
（３）固体又は液体内を伝播する超音波を使用する超音
波法は、基本的には被検表面の反対側よシ超音波を入射
するため被検表面の検出感度が悪く、多孔質物質、超音
波伝播性の悪い物質１重ね合わせたもの等では検出でき
ない場合もあシ、また形状等によつては適用不ｉＪ能な
場合もある。。
波法は、基本的には被検表面の反対側よシ超音波を入射
するため被検表面の検出感度が悪く、多孔質物質、超音
波伝播性の悪い物質１重ね合わせたもの等では検出でき
ない場合もあシ、また形状等によつては適用不ｉＪ能な
場合もある。。
ｆ４） 目視による方法は表面状態を−目瞭然に判別
することはできても、表面に存在する欠陥、伺着物等を
定量的（Ｃ検知することは難しい。
することはできても、表面に存在する欠陥、伺着物等を
定量的（Ｃ検知することは難しい。
本発明は、このような事情に鑑みて提案されたもので、
被検表面上に存在する利着物。
被検表面上に存在する利着物。
欠陥、穴管微小な凹凸を非接触で効率よくかつ高精度で
検知することができる表面検査方法を提供することを目
的とする。
検知することができる表面検査方法を提供することを目
的とする。
ｃ問題点を解決するだめの手段〕
そのために本発明（ハ、微小凹凸部を有する物体表面に
適宜距離を隔てた位置から直角に超音波を空気中を伝播
させて投射し、上記凹凸部からの超音波反射時間及び反
射波高値によりその凹凸状態を検知することを特徴とす
る。
適宜距離を隔てた位置から直角に超音波を空気中を伝播
させて投射し、上記凹凸部からの超音波反射時間及び反
射波高値によりその凹凸状態を検知することを特徴とす
る。
上述の構成により、被検表面上に存在する伺着物５欠陥
、穴等微小力凹凸を非接触１′効率よくかつ高精度で検
知することができる表面検査方法を得ることができる。
、穴等微小力凹凸を非接触１′効率よくかつ高精度で検
知することができる表面検査方法を得ることができる。
本発明表面検査方法の実施例を図面について説明すると
、第１図は本発明方法の原理の説明図で、同図（Ａ）は
被検表面のモデル図、同図（Ｂ）はブラウン管の波形図
、第２図は管内表面検査の実施態様を示す模式図である
。
、第１図は本発明方法の原理の説明図で、同図（Ａ）は
被検表面のモデル図、同図（Ｂ）はブラウン管の波形図
、第２図は管内表面検査の実施態様を示す模式図である
。
第１図において、微小な凹凸の存在する被検表面１に直
角知、適宜距離を隔てた超音波センサー４から超音波を
空気中を伝播させてあてた場合、平坦表面にあてた場合
、■のように表面からの超音波エコーがブラウン管５上
のｄ。の距Ｍに表示される。また凹部２筺あてるとき、
超音波エコーは■のように、超音波がより深部に入るた
め深さｄｌだけ長時間側に移動１５２、超音波の減衰に
よりエコー高さａは減少する。更眞凸部ろが存在する場
合、超音波エコーは■のよう（てｄ２ だけ短時間側へ
移動し、エコー高さａは増加する。このように超音波エ
コーの時間軸上の移動、エコー高さの変化を利用して、
被検表面１に存在する伺着物、欠陥、穴等を精度よく探
傷することができる。
角知、適宜距離を隔てた超音波センサー４から超音波を
空気中を伝播させてあてた場合、平坦表面にあてた場合
、■のように表面からの超音波エコーがブラウン管５上
のｄ。の距Ｍに表示される。また凹部２筺あてるとき、
超音波エコーは■のように、超音波がより深部に入るた
め深さｄｌだけ長時間側に移動１５２、超音波の減衰に
よりエコー高さａは減少する。更眞凸部ろが存在する場
合、超音波エコーは■のよう（てｄ２ だけ短時間側へ
移動し、エコー高さａは増加する。このように超音波エ
コーの時間軸上の移動、エコー高さの変化を利用して、
被検表面１に存在する伺着物、欠陥、穴等を精度よく探
傷することができる。
なお使用する超音波センサーは被検物に合わせて選定す
ることが可能であるが、 Ｉ ＭＨｚ。
ることが可能であるが、 Ｉ ＭＨｚ。
以」二の高周波数のものを用いた方が感度よく検査でき
る。また収束タイプの超音波を用いることにより一層感
度、精度全向上することができる。
る。また収束タイプの超音波を用いることにより一層感
度、精度全向上することができる。
次に第２図について管内表面検査の実施態様を説明する
。
。
検査対象管１１の管内面に接する駆動輪１２及び支持輪
１３を備えた台車１４には、台車、駆動用モーター１５
及びセンサー回転用モーター１６が搭載されるとともに
、上記センサー回転用モーター１６には管軸線周りに回
転可能に超音波センサー１７及び超音波反射板１８が連
結され、台車１４からはリード線１９が管外へ導出され
台車コントロールボックス２０及び超音波図形表示装置
２１に接続されている。
１３を備えた台車１４には、台車、駆動用モーター１５
及びセンサー回転用モーター１６が搭載されるとともに
、上記センサー回転用モーター１６には管軸線周りに回
転可能に超音波センサー１７及び超音波反射板１８が連
結され、台車１４からはリード線１９が管外へ導出され
台車コントロールボックス２０及び超音波図形表示装置
２１に接続されている。
このような装置において、超音波センサー１７から発す
る超音波を超音波反射板１８によシ管内面に直角にあて
るとともに、センツー回転用モーター１６により超音波
センサー１７を回転させ、かつ台車駆動用モーター１５
によシ台車１１を管軸線に沿い移動させることにより、
管１１内面全体の付着物、欠陥。
る超音波を超音波反射板１８によシ管内面に直角にあて
るとともに、センツー回転用モーター１６により超音波
センサー１７を回転させ、かつ台車駆動用モーター１５
によシ台車１１を管軸線に沿い移動させることにより、
管１１内面全体の付着物、欠陥。
穴管微小な凹凸の存在を検査することができる。
このような方法によれば、空気中を伝播する超音波を用
いることにより被検表面上に存在する付着物、欠陥、穴
管微小な凹凸を非接触で効率よく、かつ高精度で検知す
ることが可能となり、従来方法で不可能な部分に対して
も検査が可能となる。甘だ従来方法で検出不可能な表１
可付着物、欠陥等をそのままの状態で検知することがで
きる。更に超音波センサーを自動的（Ｃ移動すれば検査
スピードが向上し、検査コスト低減に寄与することがで
きる。
いることにより被検表面上に存在する付着物、欠陥、穴
管微小な凹凸を非接触で効率よく、かつ高精度で検知す
ることが可能となり、従来方法で不可能な部分に対して
も検査が可能となる。甘だ従来方法で検出不可能な表１
可付着物、欠陥等をそのままの状態で検知することがで
きる。更に超音波センサーを自動的（Ｃ移動すれば検査
スピードが向上し、検査コスト低減に寄与することがで
きる。
要するに本発明（でよれば、微小凹凸部を有する物体表
面に適宜距離を隔てた位置から直角に超音波を空気中を
伝播させて投射し、上記凹凸部からの超音波反射時間及
び反射波高値によシその凹凸状態を検知することによシ
、被検表面上に存在する付着物、欠陥、穴管微小な凹凸
を非接触で効率よくかつ高精度で検知することができる
表面検査方法を得るから、本発明は産業上極めて有益な
ものである。
面に適宜距離を隔てた位置から直角に超音波を空気中を
伝播させて投射し、上記凹凸部からの超音波反射時間及
び反射波高値によシその凹凸状態を検知することによシ
、被検表面上に存在する付着物、欠陥、穴管微小な凹凸
を非接触で効率よくかつ高精度で検知することができる
表面検査方法を得るから、本発明は産業上極めて有益な
ものである。
第１図は本発明表面検査方法の原理の説明図で同図（Ａ
−）は被検表面のモデル図、同図（Ｂ）はブラウン管の
波形図、第２図は管内表面検査の実施態様を示す模式図
である。 １・・・被検表面、２・・・凹部、３・・・凸部、４・
・・超音波センサー、５・・・ブラウン管、１１・・・
検査対象管、１２・・・駆動輪、１６・・・支持輪、１
４・・・台車、１５・・・台車駆動用モーター、１６・
・・センサー回転用モーター、１７・・・超音波センサ
ー、１８・・・超音波反射板、１９・・・リード線、２
０・・台車コントロールボックス、２１・・・超音波図
形表示装置。 代理人 弁理士 塚 本 正 文 （８〕 ／／ 挨肯月灸留 ／２ 駆動ｌを ｆ３ 女才斗９會 ／４ 合 重 １５８単駆轄旧し、−’７− 乙６ ？ンサー回中入用トＥ−ター ／７ 超舌汲乞ンヴ− １８Ａ判３７旨ン皮反参ｉしＦｂ之 ／ｑ リーＦζ祭 ２０ ６＊ｊ ンＦＯｌｔ−；Ｉ”ン７２２／ 超晋
放図形辰爪駁置
−）は被検表面のモデル図、同図（Ｂ）はブラウン管の
波形図、第２図は管内表面検査の実施態様を示す模式図
である。 １・・・被検表面、２・・・凹部、３・・・凸部、４・
・・超音波センサー、５・・・ブラウン管、１１・・・
検査対象管、１２・・・駆動輪、１６・・・支持輪、１
４・・・台車、１５・・・台車駆動用モーター、１６・
・・センサー回転用モーター、１７・・・超音波センサ
ー、１８・・・超音波反射板、１９・・・リード線、２
０・・台車コントロールボックス、２１・・・超音波図
形表示装置。 代理人 弁理士 塚 本 正 文 （８〕 ／／ 挨肯月灸留 ／２ 駆動ｌを ｆ３ 女才斗９會 ／４ 合 重 １５８単駆轄旧し、−’７− 乙６ ？ンサー回中入用トＥ−ター ／７ 超舌汲乞ンヴ− １８Ａ判３７旨ン皮反参ｉしＦｂ之 ／ｑ リーＦζ祭 ２０ ６＊ｊ ンＦＯｌｔ−；Ｉ”ン７２２／ 超晋
放図形辰爪駁置
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 微小凹凸部を有する物体表面に適宜距離を 隔てた位置から直角に超音波を空気中を伝播させて投射
し、上記凹凸部からの超音波反射時間及び反射波高値に
よりその凹凸状態を検知することを特徴とする表面検査
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62094468A JPS63261157A (ja) | 1987-04-17 | 1987-04-17 | 表面検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62094468A JPS63261157A (ja) | 1987-04-17 | 1987-04-17 | 表面検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63261157A true JPS63261157A (ja) | 1988-10-27 |
Family
ID=14111111
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62094468A Pending JPS63261157A (ja) | 1987-04-17 | 1987-04-17 | 表面検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63261157A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009058238A (ja) * | 2007-08-30 | 2009-03-19 | Jfe Steel Kk | 欠陥検査方法および装置 |
| JP2015215217A (ja) * | 2014-05-09 | 2015-12-03 | 国立大学法人三重大学 | コンクリートの表面粗さ及び劣化評価装置 |
-
1987
- 1987-04-17 JP JP62094468A patent/JPS63261157A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009058238A (ja) * | 2007-08-30 | 2009-03-19 | Jfe Steel Kk | 欠陥検査方法および装置 |
| JP2015215217A (ja) * | 2014-05-09 | 2015-12-03 | 国立大学法人三重大学 | コンクリートの表面粗さ及び劣化評価装置 |
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