JPS63260406A - Conveyor for green-sheet cleaning device - Google Patents
Conveyor for green-sheet cleaning deviceInfo
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- JPS63260406A JPS63260406A JP9300887A JP9300887A JPS63260406A JP S63260406 A JPS63260406 A JP S63260406A JP 9300887 A JP9300887 A JP 9300887A JP 9300887 A JP9300887 A JP 9300887A JP S63260406 A JPS63260406 A JP S63260406A
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- Devices For Post-Treatments, Processing, Supply, Discharge, And Other Processes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ハイブリッドモジュール基板用グリーンシー
トのスルーホール穴明後の清掃する装置に係り、グリー
ンシートに損傷を与えず自動的に搬送清掃を行うのに好
適なグリーンシート清掃装置に関する。[Detailed Description of the Invention] [Field of Industrial Application] The present invention relates to an apparatus for cleaning a green sheet for a hybrid module board after drilling through-holes, and is capable of automatically conveying and cleaning the green sheet without damaging the green sheet. The present invention relates to a green sheet cleaning device suitable for cleaning green sheets.
従来の装置は、例えば特開昭６１−７５３’ｆ４号公報
に記載のよう和、ベルトコンベアー、ネットコンベアー
等の自動型があるが、これらの方式では、グリーンシー
トの固定がなく、エアーブロー、＃塵プラン等によりグ
リーンシートは一移動して搬送は不可能であった。Conventional devices include automatic types such as belt conveyors, net conveyors, etc., as described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 61-753'f4, but these systems do not require fixing of green sheets and require air blowing, # Due to the dust plan, etc., the green sheet moved once and was impossible to transport.
上記従来技術のごときコンベアー等の自動化が可能な装
置においては、グリーンシートの様な薄物でかつ脆い材
質のものは、完全な固定をしなければ、除塵のためのエ
アープロー、及びブラシ作業等には耐えられないが、こ
れらを配慮された装置となっていなかった。In devices that can be automated, such as conveyors in the above-mentioned prior art, thin and brittle materials such as green sheets must be completely fixed, otherwise air blowing for dust removal, brushing, etc. However, these were not considered in the equipment.
本発明の目的は、手作業を自動化し、かつグリーンシー
トの固定を確実にしてグリーンシート忙損傷を与えない
で、グリーンシートの清掃をすることにある。An object of the present invention is to automate manual work, secure the fixation of the green sheet, and clean the green sheet without damaging the green sheet.
上記目的は、グリーンシートの搬送キャリアーとして、
枠を設けて、枠には真空吸引機構を有しグリーンシート
か吸着固定出来る構造とし、枠内部は、エアブロ−、プ
ラン清掃によりグリーンシートが撓んだり、破損しない
ようメツシュを設けて、この搬送キャリアー忙グリーン
シートを吸着固定して、この搬送キャリアーを清掃装置
内に移動することにより達成される。The above purpose is as a conveyance carrier for green sheets.
A frame is provided, and the frame has a vacuum suction mechanism and is structured to be able to suction and fix the green sheet, and a mesh is provided inside the frame to prevent the green sheet from being bent or damaged by air blowing or plan cleaning. This is accomplished by suctioning and fixing the green sheet to the carrier and moving this transport carrier into the cleaning device.
搬送キャリサは、グリーンシートを投入すること釦より
、真空吸引を開始し、グリーンシートを完全に吸着し、
この吸着は、到達真空度で検知し所定の真空圧により、
グリーンシートが搬送キャリアーに完全固定されたこと
を確認し、清掃部に搬送キャリアーを移送する。これに
よりグリーンシートも同時に移送されここでエアープロ
ー及びブラシ等によりグリーンシートを清掃する、ここ
でグリーンシー）Ｋ過剰な力が加わわり、吸着固定部か
らグリーンシートが離されるようなことが生じても、真
空圧のチェックを行っており、これが異常となり、装置
は停止する構造としているため、グリーンシートは損傷
することなく清掃作業を自動的に行える・
〔実施例〕
以下、本発明の一実施例を第１図〜第３図忙より説明す
る。The conveyance caliper starts vacuum suction from the green sheet input button, completely absorbs the green sheet, and
This adsorption is detected at the ultimate vacuum level, and at a predetermined vacuum pressure,
After confirming that the green sheet is completely fixed to the transport carrier, transport the transport carrier to the cleaning section. As a result, the green sheet is also transferred at the same time, and the green sheet is cleaned using an air blower, a brush, etc. The system also checks the vacuum pressure, and if this becomes abnormal, the device stops, so the cleaning work can be done automatically without damaging the green sheet. [Example] The following is an implementation of the present invention. An example will be explained from FIGS. 1 to 3.
ハイブリッドモジュール用基板のグリーンシート１は、
多層化（ラミネート方式）をやる場合、導通なとる為に
第３図に示すごとくスルーホール１α（穴）を明ける、
この穴明は方式としては、下側にダイ９を設置し、上側
からポンチ８を下降させて穴を明けるが、この時ポンチ
８、又はダイ９に付着したグリーンシート屑１ｂやその
地異物等１Ｃがグリーンシート１の表面、裏面、スルー
ホール１α内部に付着する場合があり、これらの異物は
、後工程（穴埋、パターン印刷等）に支障をきたす為に
除去する必要がある。The green sheet 1 of the hybrid module substrate is
When multi-layering (laminate method), a through hole 1α (hole) is made as shown in Figure 3 to ensure continuity.
The method for making this hole is to install the die 9 on the lower side and lower the punch 8 from the upper side to make the hole, but at this time, green sheet debris 1b attached to the punch 8 or the die 9 and foreign objects on the ground are removed. 1C may adhere to the front surface, back surface, and inside of the through hole 1α of the green sheet 1, and these foreign substances need to be removed because they interfere with subsequent processes (hole filling, pattern printing, etc.).
第１図は、上記グリーンシート１の清掃を行う装置の平
面図を示し、第２図は正面図を示す。FIG. 1 shows a plan view of an apparatus for cleaning the green sheet 1, and FIG. 2 shows a front view.
グリーンシート１を吸着固定枠２上に載せる・この載せ
る方法としては、手作業又は自動で載せる。載せた後吸
着固定枠２に設けである真空吸引穴２αによりグリーン
シート１を吸着固定する。The green sheet 1 is placed on the suction fixing frame 2.The green sheet 1 is placed on the suction fixing frame 2.The green sheet 1 is placed manually or automatically. After being placed, the green sheet 1 is suction-fixed through the vacuum suction hole 2α provided in the suction-fixing frame 2.
この吸着固定が完全かは、真空到達圧力で検知し、次の
工程に進む、尚枠内にはメツシュ３（５〜１０ａｍ口）
を貼り、上から力が加わってもグリーンシート１が撓ま
ない補強としている。Whether this adsorption and fixation is complete is detected by the ultimate vacuum pressure, and the next process is proceeded to.
is pasted to reinforce the green sheet 1 so that it will not bend even if force is applied from above.
吸着固定が完全ならば、搬送機構５により、執着固定枠
２全体を搬送して清掃ゾーン６に移動する。搬送機構５
はロッドレスシリンダー等を利用して搬送速度は自由度
（１０ｗ ／ ｓｅａ 〜２００ ｓｕｗ／８ｅＯ）を
もたせておき最適の条件とする。If the suction fixation is complete, the entire attachment fixation frame 2 is transferred to the cleaning zone 6 by the conveyance mechanism 5. Transport mechanism 5
A rodless cylinder or the like is used to provide a degree of freedom in the conveyance speed (10w/sea to 200suw/8eO) to provide optimal conditions.
清掃ゾーン６は、イオン風吹き付け６αをもたせて、イ
オン風圧力は２〜６〜／ａｌとしてグリーンシート１の
表面及び裏面から吹き付け、静電気を除去しかつ、グリ
ーンシート屑１ｂ１０等を吹き飛ばす・吹き飛ばしたグ
リーンシート屑１ｂ等は、再付着しないようにフード６
０により吸引する、又イオン風のみでは除去されないも
のは、ブラシ清掃部６ｂで除去する。ブラシ清掃部６ｂ
は吸着固定枠２が通過したのを検知してから下降して、
グリーンシート１の有効エリア−内を清掃する。これは
、グリーンシートの端面にブラシを当るとグリーンシー
ト１に横から力か加わり真空吸着が剥されるおそれがあ
り、安全をみた機構とする会商有効エリア−を清掃して
いる時はブラシ内部から吸引を行い、グリーンシート／
ｌ！１１ｂ等がブラシに付着したりグリーンシートに再
付着しないような吸引機構を設ける清掃後は上昇して待
機する。In the cleaning zone 6, an ion wind blowing force 6α was applied, and the ion wind pressure was 2 to 6 /al, and the air was blown from the front and back sides of the green sheet 1 to remove static electricity and blow away green sheet debris 1b10, etc. Remove green sheet waste 1b, etc. from the hood 6 to prevent it from adhering again.
0, or those that cannot be removed by ion wind alone are removed by the brush cleaning section 6b. Brush cleaning section 6b
detects that the suction fixed frame 2 has passed, and then descends.
Clean the inside of the effective area of the green sheet 1. This is because if the brush hits the edge of the green sheet, force will be applied to the green sheet 1 from the side and the vacuum suction may be peeled off. Suction is performed from inside and the green sheet/
l! A suction mechanism is provided to prevent 11b and the like from adhering to the brush or re-adhering to the green sheet.After cleaning, the apparatus rises and waits.
清掃ゾーン６通過後は、グリーンシート取出部７で停止
し、真空吸着を切り自動取出機または手作業によりグリ
ーンシート１を取り出す、取り出し後、搬送機構５によ
り吸着固定枠２はグリーンシート投入部４に自動的に戻
す、尚グリーンシート１をグリーンシート取出部７で取
出さないで、吸着固定枠２に載せたままグリーンシート
投入部４迄戻してここで取り出すことも可能である。After passing through the cleaning zone 6, the green sheet is stopped at the green sheet take-out section 7, the vacuum suction is turned off, and the green sheet 1 is taken out by an automatic take-out machine or manually. It is also possible to return the green sheet 1 to the green sheet input section 4 while it is placed on the suction fixing frame 2 without taking it out at the green sheet take-out section 7, and take it out there.
吸着固定枠２は、４辺で吸着固定しているが、これは、
上下２辺でも可であり、又グリーンシートサイズに合わ
せて枠サイズを設計することが可能である。又第４図に
示す如く、上下２辺に、枠を設け、ガイドバブ−１０忙
そりて吸着固定枠２及びブラシ、５を移動してすきｌ’
、！ｌ Ａサイズを変更できるよう構成すればグリーン
シートサイズが２０藺程度の変更なら対処が可能である
。The suction fixing frame 2 is suction fixed on four sides, but this is
It is also possible to design the frame size according to the green sheet size. Further, as shown in Fig. 4, frames are provided on the upper and lower sides, and the guide bubble 10 is moved, and the suction fixing frame 2 and the brush 5 are moved to create a gap l'.
,! l If the configuration is such that the A size can be changed, it is possible to handle changes in the green sheet size of about 20 mm.
本実施例によれば、枚葉のグリーンシートの清掃を自動
的に実施することが可能である。According to this embodiment, it is possible to automatically clean individual green sheets.
本発明によれば、枚葉のグリーンシートの自動搬送が可
能となり、自動での清掃が可能となり、自動化を行い工
数低減の効果がある。According to the present invention, it is possible to automatically transport single green sheets, and automatic cleaning is possible, thereby achieving automation and reducing the number of man-hours.
第１図、清掃装置の平面図を示す。第２図、清掃装置の
正面図を示す・第３図、グリーンシートの断面を示す、
ν４図、グリーンシートの吸着固定枠の構造を示す。
１・・・グリーンシート、１α・・・スルーホール、１
ｂ１０・・・グリーンシート屑又は異物、２・・・吸着
固定枠、２α・・・真空吸着穴、３・・・メツシュ、４
・・・グリーンシート投入部、５・・・搬送機構、６・
・・清掃ゾーン、６α・・・イオン風吹き付け、６ｂ・
・・ブラシ清掃部、６０・・・フード、７・・・グリー
ンシート取出し部８・・・ポンチ、９・・・グイ、１０
・・・ガイトノ゛ぐアー。
第１図
第 ２ 図
り
吸引
第 ３ 回
第４図FIG. 1 shows a plan view of the cleaning device. Figure 2 shows a front view of the cleaning device. Figure 3 shows a cross section of the green sheet.
Figure ν4 shows the structure of the green sheet suction and fixing frame. 1...Green sheet, 1α...Through hole, 1
b10... Green sheet waste or foreign matter, 2... Suction fixing frame, 2α... Vacuum suction hole, 3... Mesh, 4
... Green sheet input section, 5... Conveyance mechanism, 6.
・・Cleaning zone, 6α・・Ionic wind blowing, 6b・
... Brush cleaning section, 60... Hood, 7... Green sheet take-out section 8... Punch, 9... Gui, 10
...Gaito no guar. Figure 1 Figure 2 Drawing suction 3rd Figure 4
Claims (1)
枠部内部に設けられたメッシュと、該枠部を清掃装置に
移動する搬送機構とからなることを特徴としたグリーン
シート清掃装置の搬送装置。A conveyance device for a green sheet cleaning device, comprising a frame portion having a mechanism for vacuum suctioning a green sheet, a mesh provided inside the frame portion, and a conveyance mechanism for moving the frame portion to a cleaning device.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9300887A JPS63260406A (en) | 1987-04-17 | 1987-04-17 | Conveyor for green-sheet cleaning device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9300887A JPS63260406A (en) | 1987-04-17 | 1987-04-17 | Conveyor for green-sheet cleaning device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63260406A true JPS63260406A (en) | 1988-10-27 |
Family
ID=14070370
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9300887A Pending JPS63260406A (en) | 1987-04-17 | 1987-04-17 | Conveyor for green-sheet cleaning device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63260406A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0276003U (en) * | 1988-11-30 | 1990-06-11 | ||
| JP2012204526A (en) * | 2011-03-24 | 2012-10-22 | Ngk Insulators Ltd | Green sheet cleaning device |
-
1987
- 1987-04-17 JP JP9300887A patent/JPS63260406A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0276003U (en) * | 1988-11-30 | 1990-06-11 | ||
| JP2012204526A (en) * | 2011-03-24 | 2012-10-22 | Ngk Insulators Ltd | Green sheet cleaning device |
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