JPS63255947A - 半導体沸騰冷却装置 - Google Patents
半導体沸騰冷却装置Info
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- JPS63255947A JPS63255947A JP8986887A JP8986887A JPS63255947A JP S63255947 A JPS63255947 A JP S63255947A JP 8986887 A JP8986887 A JP 8986887A JP 8986887 A JP8986887 A JP 8986887A JP S63255947 A JPS63255947 A JP S63255947A
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 34
- 238000001816 cooling Methods 0.000 title claims description 19
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 title 1
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 title 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 claims abstract description 22
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 claims abstract description 11
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 17
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 8
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
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- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の目的]
(産業上の利用分野)
この発明は、半導体沸騰冷却装置に関する。
(従来の技術)
一般に、半導体素子を使った各種電力変換装置において
、半導体素子より発生する熱損失が大きい場合、低沸点
冷媒の>M騰による気液相変化の際の熱輸送を利用して
、半導体素子を冷却する沸騰冷却方式が広く採用されて
いる。
、半導体素子より発生する熱損失が大きい場合、低沸点
冷媒の>M騰による気液相変化の際の熱輸送を利用して
、半導体素子を冷却する沸騰冷却方式が広く採用されて
いる。
半導体素子を直接低沸点冷媒に浸漬し半導体素子の冷却
を行なう沸騰冷却vi置は第5図に示すような構成であ
る。半導体素子1を低沸点冷媒2と共に収納する容器3
と、この容器3内で沸騰した低沸点冷媒2を凝縮させる
熱交換器4とによって構成されている。そして、半導体
索子1と共に容器3内に収納されず、容器3の外に配置
される電気部品5を容器3内の半導体素子1と電気的に
接続するために、容器3の壁に気密端子6を設け、半導
体素子1と気密端子6、また気密端子6と電気部品5と
の間をそれぞれリード線7.8によって接続する。
を行なう沸騰冷却vi置は第5図に示すような構成であ
る。半導体素子1を低沸点冷媒2と共に収納する容器3
と、この容器3内で沸騰した低沸点冷媒2を凝縮させる
熱交換器4とによって構成されている。そして、半導体
索子1と共に容器3内に収納されず、容器3の外に配置
される電気部品5を容器3内の半導体素子1と電気的に
接続するために、容器3の壁に気密端子6を設け、半導
体素子1と気密端子6、また気密端子6と電気部品5と
の間をそれぞれリード線7.8によって接続する。
このような半導体沸騰冷却装置を用いる電力変換HMの
一つとしてインバータ装置があり、そのインバータ装置
の1ア一ム分の回路図が第6図に示されている。このイ
ンバータ装置は、GTOサイリスタ9.7リーホイーリ
ングダイオード10゜スナバ−ダイオード11.スナバ
−コンデンサ12、スナバ−抵抗13によって構成され
ている。
一つとしてインバータ装置があり、そのインバータ装置
の1ア一ム分の回路図が第6図に示されている。このイ
ンバータ装置は、GTOサイリスタ9.7リーホイーリ
ングダイオード10゜スナバ−ダイオード11.スナバ
−コンデンサ12、スナバ−抵抗13によって構成され
ている。
このインバータ回路では、スナバ−ダイオード11、ス
ナバ−コンデンサ12及びスナバ−抵抗13により構成
される部分がスナバ−回路14とよばれ、GT○サイリ
スタ9の電流遮断時にGTOサイリスタ9を保護する動
きをする。そこで、特tGToサイリスタ9とスナバ−
ダイオード11とスナバ−コンデンサ12とのループに
よるスナバ−回路14の部分には、低インダクタンスが
要求されている。
ナバ−コンデンサ12及びスナバ−抵抗13により構成
される部分がスナバ−回路14とよばれ、GT○サイリ
スタ9の電流遮断時にGTOサイリスタ9を保護する動
きをする。そこで、特tGToサイリスタ9とスナバ−
ダイオード11とスナバ−コンデンサ12とのループに
よるスナバ−回路14の部分には、低インダクタンスが
要求されている。
このようなインバータ回路に対する半導体沸騰冷却装置
の従来の具体的な構成は第7図に示すようなものであっ
た。つまり、GTOサイリスタ9の両端に銅フィン15
を圧接し、GTOサイリスタ9のアノード側の銅フィン
15の近傍に、スナバ−ダイオード11が配置され、容
器3の外部にス犬バーコンデンサ12が配置されている
。そして、容器3内のGTOサイリスタ9のアノード側
の銅フィン15とスナバ−ダイオード11との間、この
スナバ−ダイオード11と容器3の壁に取付けられた気
密端子6との間がリード線7により接続され、容器3の
外部において気密端子6とスナバ−コンデンサ12との
間がリード線8によって接続されている。またカソード
側の気密端子6についても、スナバ−コンデンサ12と
の間がリード線8により接続され、容器3内のGTOサ
イリスタ9のカンード側銅フィン15がリード線7によ
って接続されている。
の従来の具体的な構成は第7図に示すようなものであっ
た。つまり、GTOサイリスタ9の両端に銅フィン15
を圧接し、GTOサイリスタ9のアノード側の銅フィン
15の近傍に、スナバ−ダイオード11が配置され、容
器3の外部にス犬バーコンデンサ12が配置されている
。そして、容器3内のGTOサイリスタ9のアノード側
の銅フィン15とスナバ−ダイオード11との間、この
スナバ−ダイオード11と容器3の壁に取付けられた気
密端子6との間がリード線7により接続され、容器3の
外部において気密端子6とスナバ−コンデンサ12との
間がリード線8によって接続されている。またカソード
側の気密端子6についても、スナバ−コンデンサ12と
の間がリード線8により接続され、容器3内のGTOサ
イリスタ9のカンード側銅フィン15がリード線7によ
って接続されている。
なお、スナバ−コンデンサ12を容器3の外部に配置し
、容器3内部のGT○サイリスタ9やスナバ−ダイオー
ド11と接続するのは、スナバ−コンデンサ12の発熱
量が、他の電気部品に比べて著しく小さくて沸騰冷却の
必要性がないことと、また寿命の点からしても半導体素
子に比べて著しく信頼性が低く、頻繁に交換しなければ
ならないことと、スナバ−コンデンサ12を容器3内に
収納すると容器3自体が大型化してしまうこと等がその
理由である。
、容器3内部のGT○サイリスタ9やスナバ−ダイオー
ド11と接続するのは、スナバ−コンデンサ12の発熱
量が、他の電気部品に比べて著しく小さくて沸騰冷却の
必要性がないことと、また寿命の点からしても半導体素
子に比べて著しく信頼性が低く、頻繁に交換しなければ
ならないことと、スナバ−コンデンサ12を容器3内に
収納すると容器3自体が大型化してしまうこと等がその
理由である。
(発明が解決しようとする問題点)
このような従来の半導体沸騰冷却装置の場合、容器3の
内外の電気的接続、つまり配線は気密端子6により行わ
れるのでスナバ−回路14の低インダクタンスのを)構
成づるためには、リード線7゜8の長さを短くするだけ
でなく、気密端子6の部分でのインダクタンスをも低く
する必要がある。
内外の電気的接続、つまり配線は気密端子6により行わ
れるのでスナバ−回路14の低インダクタンスのを)構
成づるためには、リード線7゜8の長さを短くするだけ
でなく、気密端子6の部分でのインダクタンスをも低く
する必要がある。
しかしながら、従来の半導体沸騰冷却装置では、気密端
子6がその中央部をn通する長い電極16の両端にリー
ド線7,8を接続する構造としており、この電極16の
長さが他のリード線7.8に比べて長く、スナバ−回路
14のインダクタンスのうち気密端子6の部分でのイン
ダクタンスがリード線7.8の部分でのインダクタンス
よりも大きくなってしまい、スナバ−回路14全体の低
インダクタンスの実現に困難性があった。
子6がその中央部をn通する長い電極16の両端にリー
ド線7,8を接続する構造としており、この電極16の
長さが他のリード線7.8に比べて長く、スナバ−回路
14のインダクタンスのうち気密端子6の部分でのイン
ダクタンスがリード線7.8の部分でのインダクタンス
よりも大きくなってしまい、スナバ−回路14全体の低
インダクタンスの実現に困難性があった。
この発明は、このような従来の問題点を解決するために
なされたもので、容器の内部の半導体素子と外部の電気
部品とを接続覆る気密端子の部分のインダクタンスを低
くすることのできる半導体沸騰冷却装置を提供すること
を目的どする。
なされたもので、容器の内部の半導体素子と外部の電気
部品とを接続覆る気密端子の部分のインダクタンスを低
くすることのできる半導体沸騰冷却装置を提供すること
を目的どする。
[発明の構成]
(問題点を解決するための手段)
この発明の半導体沸騰冷却装置は、低沸点冷媒と半導体
素子とを収納する容器の壁に端子取付孔を設け、容器外
に配置される電気部品を直接取付けることのできる取付
部を備えた気密端子をこの取付孔に取付け、容器内の半
導体素子を気密端子に接続すると共に、容器外部の電気
部品を気密端子の取付部に直接取付けたものである。
素子とを収納する容器の壁に端子取付孔を設け、容器外
に配置される電気部品を直接取付けることのできる取付
部を備えた気密端子をこの取付孔に取付け、容器内の半
導体素子を気密端子に接続すると共に、容器外部の電気
部品を気密端子の取付部に直接取付けたものである。
(作用)
この発明の半導体沸騰冷却装置ぐは、容器の壁に取付け
た気密端子に対し、容器内に設けられた半導体素子をリ
ード線によって接続すると共に、容器外に配置された電
気部品を気密端子の取付部に直接取付けることにより電
気的接続を行い、外部の電気部品と気密端子との間のイ
ンダクタンスを低くする。
た気密端子に対し、容器内に設けられた半導体素子をリ
ード線によって接続すると共に、容器外に配置された電
気部品を気密端子の取付部に直接取付けることにより電
気的接続を行い、外部の電気部品と気密端子との間のイ
ンダクタンスを低くする。
(実施例)
以下、この発明の失陥例を図に基づいて詳説する。
第1図は、第6図に示すインバータ回路の1ア一部分に
使用する半導体沸騰冷却装置の実施例を示しており、容
器3内に低沸点冷媒2と共にGT○サイリスタ9が収納
されている。
使用する半導体沸騰冷却装置の実施例を示しており、容
器3内に低沸点冷媒2と共にGT○サイリスタ9が収納
されている。
容器3の壁に設けられた取付孔17には気密端子18が
設けられている。
設けられている。
この気密端子18は1.第2図に詳しく示されているよ
うに、外側に雌ねじによる取付部19を有する電極20
を絶縁リング21に口金22を介して溶接し、この絶縁
リング21の外周と取付孔17の内周部との間を口金2
3を介して溶接することにより気密的に取付けた構成と
なっている。
うに、外側に雌ねじによる取付部19を有する電極20
を絶縁リング21に口金22を介して溶接し、この絶縁
リング21の外周と取付孔17の内周部との間を口金2
3を介して溶接することにより気密的に取付けた構成と
なっている。
そしてこの気密端子18の電極20に対し、容器3内の
GTOサイリスタ9のアノード側の銅フィン15がリー
ド1i17により接続されている。また気密端子18の
電極20の取付部19にはスナバ−ダイオード11を外
側からねじ込んで取付け、このスナバ−ダイオード11
に対して容器3の外部のスナバ−コンデンサ42がリー
ド線8により接続されている。
GTOサイリスタ9のアノード側の銅フィン15がリー
ド1i17により接続されている。また気密端子18の
電極20の取付部19にはスナバ−ダイオード11を外
側からねじ込んで取付け、このスナバ−ダイオード11
に対して容器3の外部のスナバ−コンデンサ42がリー
ド線8により接続されている。
なお、スナバ−コンデンサ12のカソード側と容器3内
のG丁Oサイリスタ9のカソード側の銅フィン15とは
、容器3に設けた従来例の気密端子6により、リード線
7.8を介して接続されている。
のG丁Oサイリスタ9のカソード側の銅フィン15とは
、容器3に設けた従来例の気密端子6により、リード線
7.8を介して接続されている。
上記のように容器3の壁に気密端子18を取付け、この
気密端子18の電極2o1.:設けられた取付部1つに
対し、電気部品の一つであるスナバ−ダイオード11を
直接取付けることにより、従来では必要としていた気密
端子6とスナバ−ダイオード11との間のリードIj1
7を省略することができ、また電極20自体も従来の電
極16のように長くする必要がなく、スナバ−ダイオー
ド11の前後のインダクタンスを低くすることができる
。
気密端子18の電極2o1.:設けられた取付部1つに
対し、電気部品の一つであるスナバ−ダイオード11を
直接取付けることにより、従来では必要としていた気密
端子6とスナバ−ダイオード11との間のリードIj1
7を省略することができ、また電極20自体も従来の電
極16のように長くする必要がなく、スナバ−ダイオー
ド11の前後のインダクタンスを低くすることができる
。
なお、スナバ−ダイオード11より発生する熱損失は電
極20を介して容器3内の低沸点冷媒2により冷却され
、過熱するおそれはないものである。
極20を介して容器3内の低沸点冷媒2により冷却され
、過熱するおそれはないものである。
この実施例の場合、スナバ−ダイオード11が容器3の
外部に取付けられるため、その取扱いや部品交換が容易
に行える。また、容器3の内部に収納する部品点数が削
減できるため、装置全体の信頼性が向上する。
外部に取付けられるため、その取扱いや部品交換が容易
に行える。また、容器3の内部に収納する部品点数が削
減できるため、装置全体の信頼性が向上する。
第3図および第4図に示す実施例は、第6図に示すイン
バータ回路に使用した半導体沸騰冷却装置の他の実施例
を示している。この実施例の場合には、容器3に取付孔
17を上下2箇所設け、それぞれの取付孔17.17に
気密端子18.18を気密的に取付けている。なお、第
1実施例と同様の構成部材については、同一の符号を用
いることによりその説明が省略されている。
バータ回路に使用した半導体沸騰冷却装置の他の実施例
を示している。この実施例の場合には、容器3に取付孔
17を上下2箇所設け、それぞれの取付孔17.17に
気密端子18.18を気密的に取付けている。なお、第
1実施例と同様の構成部材については、同一の符号を用
いることによりその説明が省略されている。
この実施例においては、スナバ−コンデンサ12の半分
の容量のスナバ−コンデンサ24.24をリード線8に
より直列に接続したものを用い、上下の各気密端子18
.18の取付部19.19に各スナバ−コンデンサ24
.24のスタッド型の端子25を直接にねじ込んで取付
けている。そして、容器3内のGTOサイリスタ9のア
ノード側の銅フィン15に対しリード線7によりスナバ
−ダイオード11を接続し、このスナバ−ダイオード1
1と気密端子18の電極20との間をり−ド線7により
接続している。また、GTOサイリスタ9のカソード側
の銅フィン15と下側の気密端子18の電極20との間
をリード線7により接続している。
の容量のスナバ−コンデンサ24.24をリード線8に
より直列に接続したものを用い、上下の各気密端子18
.18の取付部19.19に各スナバ−コンデンサ24
.24のスタッド型の端子25を直接にねじ込んで取付
けている。そして、容器3内のGTOサイリスタ9のア
ノード側の銅フィン15に対しリード線7によりスナバ
−ダイオード11を接続し、このスナバ−ダイオード1
1と気密端子18の電極20との間をり−ド線7により
接続している。また、GTOサイリスタ9のカソード側
の銅フィン15と下側の気密端子18の電極20との間
をリード線7により接続している。
この実施例の場合には、スナバ−コンデンサ24が気密
端子18に対しリード線を介さずに直接取付けられてい
るため、この気密端子18とスナバ−コンデンサ24と
の間のリード線を不要とし、スナバ−回路14の部分の
インダクタンスの低減化が図れるのである。
端子18に対しリード線を介さずに直接取付けられてい
るため、この気密端子18とスナバ−コンデンサ24と
の間のリード線を不要とし、スナバ−回路14の部分の
インダクタンスの低減化が図れるのである。
なお、この発明は上記の各実施例に限定されるものでは
なく、半導体素子を容器内の低沸点冷媒に浸漬して、冷
却する構造の半導体沸騰冷却装置において、容器内の半
導体素子と容器外部に配置される他の電気部品とをリー
ド線によって接続する必要がある場合に、広く利用でき
る。
なく、半導体素子を容器内の低沸点冷媒に浸漬して、冷
却する構造の半導体沸騰冷却装置において、容器内の半
導体素子と容器外部に配置される他の電気部品とをリー
ド線によって接続する必要がある場合に、広く利用でき
る。
[発明の効果]
以上のようにこの発明によれば、容器の壁に設ケtc取
付孔に気密端子を取付け、この気’rW b子の取付部
に容器外部に配置されている電気部品を直接取付けてい
るため、従来のように容器の壁の気密端子と外部の電気
部品との間を接続するリード線が不要となり、容器内部
の半導体素子と容器外部の電気部品との間の接続線のイ
ンダクタンスの低下が図れる。
付孔に気密端子を取付け、この気’rW b子の取付部
に容器外部に配置されている電気部品を直接取付けてい
るため、従来のように容器の壁の気密端子と外部の電気
部品との間を接続するリード線が不要となり、容器内部
の半導体素子と容器外部の電気部品との間の接続線のイ
ンダクタンスの低下が図れる。
第1図はこの発明の一実施例の断面図、第2図は上記実
施例における気密端子取付は部分の拡大断面図、第3図
はこの発明の他の実施例の断面図、第4図は第2実施例
の気密端子取付は部分の拡大断面図、第5図は従来の半
導体沸騰冷却S!ii置の一例を示す断面図、第6図は
一般の電力変換装置のインバータ回路の1ア一ム分の回
路構成を示す回路図、第7図は上記インバータ回路に用
いられる従来の半導体沸騰冷却装置を示す断面図である
。 2・・・低沸点冷媒 3・・・容器7.8・・・
リード線 9・・・GTOサイリスタ11・・・ス
ナバ−ダイオード 12・・・スナバ−コンデンサ
施例における気密端子取付は部分の拡大断面図、第3図
はこの発明の他の実施例の断面図、第4図は第2実施例
の気密端子取付は部分の拡大断面図、第5図は従来の半
導体沸騰冷却S!ii置の一例を示す断面図、第6図は
一般の電力変換装置のインバータ回路の1ア一ム分の回
路構成を示す回路図、第7図は上記インバータ回路に用
いられる従来の半導体沸騰冷却装置を示す断面図である
。 2・・・低沸点冷媒 3・・・容器7.8・・・
リード線 9・・・GTOサイリスタ11・・・ス
ナバ−ダイオード 12・・・スナバ−コンデンサ
Claims (1)
- 半導体素子を低沸点冷媒に浸漬して冷却を行う半導体沸
騰冷却装置において、低沸点冷媒を入れた容器の壁に取
付孔を設け、容器外の電気部品を直接に取付ける取付部
を備えた端子部材を前記取付孔に気密的に取付け、前記
容器内に収容した半導体素子をこの端子部材に接続する
と共に、前記容器外に配置される電気部品を前記端子部
材の取付部に直接取付けて成る半導体沸騰冷却装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8986887A JPS63255947A (ja) | 1987-04-14 | 1987-04-14 | 半導体沸騰冷却装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8986887A JPS63255947A (ja) | 1987-04-14 | 1987-04-14 | 半導体沸騰冷却装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63255947A true JPS63255947A (ja) | 1988-10-24 |
Family
ID=13982749
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8986887A Pending JPS63255947A (ja) | 1987-04-14 | 1987-04-14 | 半導体沸騰冷却装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63255947A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013128995A1 (ja) * | 2012-02-28 | 2013-09-06 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 電力変換装置 |
-
1987
- 1987-04-14 JP JP8986887A patent/JPS63255947A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013128995A1 (ja) * | 2012-02-28 | 2013-09-06 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 電力変換装置 |
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