JPS63241189A - エツチング液の能力維持管理法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

本発明は、塩化第二鉄液になるエツチング液を用いて行
う連続式エツチング法実施においてのエツチング液の能
力維持ｆｆ埋の新規な提案に関する。 そして詳しくは、連続式エツチング法の実施においで、 エツチング液中の腐食金属の溶解量（濃度）を比重測定
により継続管理すること、 ならびに、そのときの補充液の補充用として新規な成分
５ｉｌＩ！ｉ：になる補充液を用いること、によってエ
ツチング処理中のエツチング液の能力を所望の範囲に維
持管理し、 以て、エツチング処理中のエツチングスピードの均一化
を達成するとともに、同法実施において従来生じていた
作業停滞要因を排除したこと、の実務効果を奏するとこ
ろの新規なエツチング液の能力維持管理法の提案に関す
る。 さて、プリント配線板の作成方法の一つに、配線部につ
いては、耐エツチングレジストで被覆することにより銅
や銅合金を保護し、塩化第二鉄液になるエツチング液に
より不必要な部分をエツチング除去することにより、必
要な回路パターンを得る方法がある。 一方また、エツチング処理の実施方法としては連続式エ
ツチング法、すなわち、被処理板を連続的にエツチング
機に投入せしめてエツチング処理を施し、このとき、エ
ツチング処理により疲労したエツチング液に、新たなエ
ツチング液を必要量補充してエツチング能力を回復させ
、その補充した液域に見合う量を、処理中のエツチング
液から排出するという方法、が大勢を占めている。 しかして、この方法の実施においては、エツチング液の
疲労の度合を真に正確に測定することが必須の要件であ
り、本発明では、大路上に記した如くの手段方法を用い
ることによって、この要件を満たし、以て、所期の目的
を達成するものである。 そこでまず、エツチング液の疲労の度合の測定法ならび
にエツチング液が疲労することの原理について説明する
。 塩化第二鉄液になるエツチング液には、次の反応式で示
す如くして銅および銅合金が溶解する。 ＦｅＣｌ＊＋Ｃｕ−４ＦｅＣ１ｚ＋ＣｕＣｌ・　＠　　
ｅ　　＠　　６　（１）ＦｅＣｌ５＋Ｃｕ→２−＊Ｆｅ
Ｃｌ２＋ＣｕＣＩｚ・　ｅ　＋　（２）よって全体とし
ては、 ２　ＦｅＣｌ５＋Ｃｕ→２　ＦｅＣｌ２＋ＣｕＣ１ｚ”
　　’　　（３）である。 また、塩化第二鉄は水に溶解することによって、加水癖
離が起きる。 ＦｅＣｌ＋３Ｈ２０５Ｆｅ（ＯＨ）ｚ＋３　ＭＣＩ・・
（４）尚、銅の溶解は、理論値では、塩化第二鉄液２ｍ
ｌで１−１の銅を溶解することになる。 しかし、実際は、銅の溶解の進行とともに溶解速度が低
下していくために、作業性等を考慮に入れで、理論上の
溶解量よりも少なり１溶解量のところで液管理している
のが通常である。 ところで、現在は、この液管理手段として、酸化還元電
位計（以下、「０−　Ｒ−Ｐ計」とｂ）う）が用いられ
ている。 この０−Ｒ−Ｐ計の原理は、ネルンストンの式、 Ｅ＝Ｅ０＋ＲＴ／　２　Ｆ−Ｉｎ［Ｏｘｌ／［Ｒｅｄｌ
・　・（５）で表されるように、酸化還元電位を測定す
ることにある。 ところが、上記式（１）（２）に示したように、塩化鉄
液中には、Ｆｅ”、Ｆ　ｅ　２＋、Ｃｕ”、Ｃ−の４種
類のイオンが混合されているため、０・Ｒ−Ｐ計による
測定値は、Ｆｅｚ４７Ｆｅ２÷、Ｆｅコ÷／　Ｃｕ＋、
　Ｃｕ２÷７　Ｆ　ｃ２＋、　Ｃｕ”／　Ｃｕ＋の　４
　種類を同時に測定した値ということになる。 従って、銅の溶解量が非常に少ない時点では、Ｆ　ｅｚ
／　Ｆ　ｅ２の関係でＥは測定されるが、銅の溶解量が
増すと、Ｃｕ２＋による酸化力も測定されることになり
、Ｅの値は真のＦｅ’＋の値を示さなくなる。 すなわち、０・Ｒ−Ｐ計による値と真の銅濃度との間に
は相ｌ！！関係が得られない。 このことは、°０・Ｒ−Ｐ計による測定装置を用いて塩
化第二鉄液になるエツチング液を正確に管理することは
不可能であることを意味するものであり、それは結局、
エツチングスピードを一定に維持管理するという目的を
達成することを不可能にし、均一な品質精度を得られな
くし不良製品を作り出すことになってしまう原因となる
。 また、式（４）で示したように、塩化第二鉄は、水中で
加水解離を起こすことによって、エツチング液槽内に沈
澱し、これがスプレーポンプの作動を妨害するので、エ
ツチング磯の運転を−たん停止し、同機の掃除をしてや
ることが必要となり、このために費やす時間的損失は多
大である。 本発明は、これらの問題を根本的に解決すべく、鋭′！
を実験研究を重ねた結果、 あらかじめ０．３５−５％（−／ｖ）、望ましくは１％
〜３．５％ｈ／ｖ）の塩酸を添加した塩化第二鉄液を補
充液として用いることによって、上に記した塩化第二鉄
の加水解離による沈澱が生じなくなること、 ならびに、エツチング液中に溶解した銅および銅合金の
濃度は、エツチング液の比重値と相関関係が有ることか
ら、比重値を測定することにより、エツチング液中の銅
およＶ銅合金の１１度を知ることが出来ること、 さらに、エツチング速度とエツチング液中の銅および銅
合金の濃度にも相関関係が有ることから、比重値を測定
することにより、エツチング速度も一定にコントロール
出来ること、を見出し、本発明を完成したものである。 以下、本発明実施のための一装置例を示した添付図面（
第１図）を参照しながら、本発明の実施の要領を説明す
る。 本発明の実施には、図に示すような現在使用されている
連続式スプレーエツチングｆｉ（１）に、比重検知装置
（２）を付属装備させたものを用いる。 すなわちこれにより、エツチング処理中のエツチング液
（３）は、ポンプ（ＰＩ）の作動により、パイプ（４ａ
）を介して吸い上げられ、スプレー・ノズル（５）から
被処理板（６）に向けて噴射されるが、このとき、エツ
チング液の一部が比重検知装ｒｆ１（２）に送られ、さ
らに、同装置において検知を終えたエツチング液は、パ
イプ（４ｂ）を介してエツチング液槽（７）に戻される
。 この比重検知装置（２）において、エツチング液の比重
が連続的に検知され、比重値が基準値以上になれば、比
重検知装ｆ１２　）がらの電気信号により、ポンプ（Ｐ
２）が作動し、補充液槽（８）からパイプ（４ｃ）を介
して、エツチング液槽（７）に補充液が補充される。 このとき、この補充液には、あらがじめ塩酸を所ＩＩ　
ｊｆｔ　（上記）添加せしめた塩化第二鉄液を補充液と
して用いる。 しかして、この補充液の補充により、エツチング液の比
重値が、基準値に下がったことを比重検知装置（２）に
て検知すると、ポンプ（Ｐ２）の作動は停止させられ、
補充液の補充はストップする。 エツチング液（３）の液量を一定に維持させるために、
エツチング液１ｆ！（７）にはオーバー７０−口（９）
を設けてあり、上記補充液の補充により一定量を越えた
エツチング液（３）は、自動的にエツチング液槽（７）
から排出され、排液タンク（１０）に貯えられる。 尚、エツチング液槽（７）には、エツチング液温の温度
管理機構（１１）、すなわち温度センサー（ｌｌａ）、
ヒーター（ｌｌｂ）、冷却管（ｌｉｅ）が配設すること
により、所望の液温に維持管理出来るようにする。

【実験例】

エツチングの試料として、３５ミクロンの厚味を有する
銅張積層板を用い、この試料を連続的にエツチング液に
投入した。 エツチング液槽の容量は３００１である。 ［例−１に ７チンダ液および補充液を下記の如く調整し、処理中の
エツチング液の液温を４０℃に設定し本実験を行った。 ＩＩｔ浴液 ４０度ボーメ　塩化第二鉄液　　３００１塩酸濃度　　
　　　　１．７５％（ｗ／ｖ）銅濃度が５０ｇ／ｌにな
るまで銅を溶解して建浴液の調整を行った。 補充液 ４０度ボーメ　塩化第二鉄液　１０００１塩酸溶液　　
　　　　　１．７５％（Ｗ／ｖ）比重が１．３８±０．
００１になるように水で調整を行った（但し、加えた水
の量は０．７１） 比重測定値 高い方の値　　１，４４５　　ａｔ４０℃低い方の値　
　１．４４０ａし１０℃ エツチング液中の銅濃度およびエツチング速度について
、［表−１１に示す。 但し、この表中で、第１回目、第２回目・・・・・と示
してあるのは、比重値が１．４４５になったときに補充
液が補充され、比重値が１．４４０になって補充液の補
充がストップした時点で１回と数えた。 尚、補充回数毎に０−Ｒ−Ｐ値を測定したので参考まで
に記述した（尚、これらのことは［表−２１ら同じであ
る）。 以　　下　　余　　白 （注）・補充回数０とは、建浴製調整直後の液である。 ・エツチング速度とは、３５ミク ロン銅張積層板のｔｊ４箔の溶解時 間を示す。 以　　下　　余　　白 【例−２１ ｍ浴液 ４０度ボー・メ　塩化第二鉄液　　３００１塩酸濃度　
　　　　　１．７５％（四／ｖ）銅濃度が５７ｇ／ｌ±
１ｇ／ｌになるまで鍔を溶解して、建浴液の調整を行っ
た。 補充液 ４０度ボーメ　塩化第二鉄液　１０００１塩酸ｉ８液　
　　　　　　１．７５％（ｗ／ｖ）比重が１．３８±ｏ
、ｏｏｉになるように水で３４整を行った（但し、加え
た水の量は０．７１） 比重測定値 高い方の値　　１．４４５　　ａｔ４０℃低い方の値　
　１，４５０ａロθ℃ エツチング液中の銅濃度およびエツチング速度について
［表−２１に示す。 以　　下　　余　　白 （注）・補充回数０とは、ｍ浴液調整直後の液である。 ・エツチング速度とは、３５ミク ロン銅張積層板の銅箔の溶解時 間を示す。 以　　下　　余　　白 上記それぞれの実験例から明らかな如く、本発明によれ
ば、エツチング処理中のエツチングスピードを常に一定
に保つことが可能である。 このように、エツチングスピードを一定に維持可能と成
したことは、一定品質の製品を安定的に作り出すことを
可能にするもので、不良製品を出すこと無く、予定数量
の製造を確実に可能にし、さらに高密度配線のプリント
配線板の製造も容易に可能にするものである。 また、塩化第二鉄液に所要量の塩酸を添加することで、
加水解離による沈澱を防止したことにより、作業性を抜
本的に向上させることは言うまでもなく、今後益々製品
品質の高精度が要求される時代の１’　８４に応え得る
画期的な発明である。 ４、第１図は、本発明実施に好適な装置の一例を概略的
に示したものである。 符号 １・・・エツチング磯 ２・・・比重検知装置 ３・・・エツチング液 ５ｅ・・スプレーノズル ６・・・被処理板 ７・・・エツチング液槽 ８・・・補充液液槽 １１・Ｑ・排液タンク 特許出願人　株式会社ヤマトヤ商会 手続補正″８：（方式） 昭和６２年７月２日 ２、発明の名称　　　エツチング液の能力維持管理法　
　　　　　　　２゜３、補正をする者 ２１１件との関係　出願人　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　３゜郵便番号　　　１０５ 住　　所　　　東京都港区虎ノ門５−９−７５、補正の
内容 明細書第１４真の第１６行目を、［４、図面の簡単な説
明］、６゜手続ネ市正書（自発） 昭和６２年１０月？　口 許庁長官殿 事イ′↑の表示 昭和６２年特ｉ！Ｆ願第７３７８０号 発明の名称 エツチング液の能力維持管理法 補正命令の日付　　　　自　発　補　正　　　　　　〜
“、す補正の対象　　　　　「明細書全文」 補正の内容　　明＃ｌ＠の全文を別紙の通り補正致しま
す（但し、図面は出願当初のものを採用覆る）訂正明細
書 １、発明の名称 エツチング液の能力維持管理法 ２、特許請求の範囲 ング液の能力維持管継ト ３、発明の詳細な説明 ｒ発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は、塩化第二鉄液を用いた連続式エツチング法の
エツチング液の能力維持管理法に関する。 更に詳しくは、塩化第二鉄液を用いたエツチング液中の
腐食金属の溶解量（濃度）を比重測定により継続的に検
知し、この検知された値に基づいて予め塩化水素含石吊
が調整された塩化第二鉄液を補充して、エツチング処理
中のエツチング液の能力を所望の範囲に維持管理する新
規なエツチング液の能力管理法に関するものである。 （従来の技術とその問題点） プリント配線板の作成方法の一つに、配線部に）では耐
エツチングレジストで被覆することにつ銅や銅合金を保
護するとともに、配線部以外不必要な部分を塩化第二鉄
液になるエツチングと用いてエツチング除去することに
より、必要］路パターンをｊ９る方法がある。 そして、前記したエツチング処理の実施方法としては連
続式エツチング法、すなわち、被処理板を連続的にエツ
チング機に投入せしめてエツチング処理を施し、このと
き、エツチング処理により疲労したエツチング液に、新
たなエツチング液を必要伍補充してエツチング能力を回
復させ、その補充した液量に見合う量を、処理中のエツ
チング液から排出するという方法、が大勢を占めている
。 しかして、この方法の実施においては、エツチング液の
疲労の度合を真に正確に測定することが必須の要件であ
る。 このエツチング液の疲労原因は、次のように説明するこ
とができる。塩化第二鉄液になるエツチング液を用いて
銅張りプリント配線板を製作するとき、下記反応式で示
す如くして銅および銅合金が溶解する。 ＦｅＣｆ１　ｓ　＋Ｃｕ　→ＦｅＣＡｚ　＋ＣｕＣｎ　
　　　−−４）ＦｅＣｆｌ　３＋ＣＵ（４←ＦｅＣｊｈ
　＋ＣＵＣＪｈ　　−・−Ｏ上記反応弐〇、■が主反応
であり、その他エツチング系においては極く一部の反応
として、下式〇のものが生起している。（なお、式■に
おいて、（０）はエツチング液中に溶存する酸素を示づ
）。 ２ＣｕＣｊ２＋２ＨＣｆｔ＋（０）　　　　２Ｃｕ（４
２＋Ｈ２０−・−６即ち、エツチング系の主反応は、前
記反応式（１）、■より下記反応式０）で示されるもの
である。 ２Ｆｅ（ｊ２ａ＋ｃｕ　　　　２ＦｅＣ４２＋ＣＵＣｎ
２　　　・−−ｉ反応式（へ）から、面の溶解は理論上
、塩化第二鉄液２ｍｏ＋で１ｍＯ＋の銅が溶解されるこ
とになる。 しかしながら、エツチング処理の実際においては、銅お
よび銅合金の溶解の退行とともにエツチング速度が低下
してくるため、作業性等を考慮して理論上の溶解量より
も少ない溶解量のところでエツチング液を管理している
のが通常である。 エツチング液の管理を塩化第二鉄液濃度の観点から注目
する場合、塩化第二鉄のエツチング系での反応は、上記
反応式０）、■、０）で示されるもの以外に、次式に示
されるように水と反応して加水解離反応を起こしている
ので、この点も留意しておかなければならない。 Ｆｅ（４ｓ　＋３Ｈ２０＃Ｆｅ　（ＯＨ）　３＋３ＨＣ
４−−’Ｓ）以上が、塩化第二鉄液になるエツチング液
の疲労原因を化学反応論的にみたものである。 現在、前記した塩化第二鉄液になるエツチング液の疲労
を管理（疲労度合の管理）するために用いられる手段と
して、酸化還元電位計（以下ＩＱ−Ｒ−Ｐ計」という。 ）がある。 周知の如く、０−Ｒ−Ｐ計の原理は、ネルンストの式、 Ｅ　＝　Ｅｏ　＋　ＲＪイＦ−Ｉｎ［０リイＲ＆ｌ］　
−−（６）で表わされる酸化還元電位を測定することに
ある。 この０−Ｒ−Ｐ計が理想的に適用できるエツチング系は
例えば塩化第二銅（Ｃｕ（Ｊ２ｚ　＞をエツチング液に
用いる場合がある。 この場合、 Ｃｕ＋ＣｕＣＪ２２＝２ＣｕＣＪ２ より、エツチング液中には、Ｃｕ２＋（Ｏｘ　＞とＣｕ
”（Ｒｅｄ＞のみが存在し、〔Ｃｕ２＋〕／（Ｃｕ＋）
により正確にＥ値が求められ、両者の濃度変化の状況を
正Ｂ（Ｃに管理することができる。 しかしながら、エツチング液に塩化第二鉄液を用いる場
合、前記反応式〇）、■により、塩化第二鉄液中には、
ＩＴ　ｅ３＋、　ＩＴ　６２＋、　Ｃｕ２＋、　Ｃｕ十
の４種類のイオンが混在するため、０−Ｒ−Ｐ計による
測定値は、Ｆ　ｅ３＋／　Ｆ　ｅ”、　Ｆ　ｅ３＋／　
Ｃｕ　＋　。 Ｃｕ２＋／Ｆｃ２＋、Ｃｕ”／Ｃｕ＋の４種類を同時に
測定した値ということになる。 従って、銅の溶解量が非常に少ない時点では、Ｆｅ３＋
／　Ｆ　ｅ２＋間の酸化還元反応によるＥ値が測定され
るが、銅の溶解量が増加してくると、Ｃｕ２＋による酸
化力も測定されることになり、Ｅ値は真のＦｅｓ＋の値
を示さなくなる。 即ら、０−Ｒ−Ｐ計による塩化第二鉄液中の酸化剤とし
ての１Ｔｅ３＋の値を読み取り、前記反応式＠）を用い
て銅および銅合金の溶解量をコントロールしている現在
のエツチングシステムにおいては、０・Ｒ−Ｐ計による
値は真の銅淵度を示すものではないのである。 このことは、エツチング液の管理手段であるＯ・Ｒ−Ｐ
Ｍｌを用いて塩化第二鉄液になるエツチング）１１を正
確に管理しようとすることは、不可能であることを意味
する。結局のところ、エツチング液の管理測定手段とし
て０−Ｒ−Ｐ計を採用することは、エツチングスピード
を一定に維持管理するという目的を達成することを不可
能にし、かつ均一な品質精度を得られなくし不良製品を
作り出す原因となるものである。 また、塩化第二鉄液を用いるエツチング法の管理の面で
特に留意しなければならない点は、エツチング系におけ
る前記反応式■、■に基づくものである。即ち、弐〇は
極く一部の反応として起こるものであるが、ここで式■
の加水解離反応によって生じたＨＣｕが消費されること
により、弐〇は右側に進み、塩化第二鉄は水酸化第二鉄
となってエツチング液槽内に沈澱し、これがスプレーポ
ンプの作動を妨害するので、エツチング機の運転を一旦
停止し、同機の（♀除を行なうことが必要となり、この
ために費やす時間的損失が多大であるということである
。 （発明が解決しようとする問題点） 本発明者らは、前記した従来技術の問題点を根本的に解
決すべく、鋭意実検研究を重ねた結果、・　塩化第二鉄
液によるエツチング液中に溶解した銅および銅合金の濃
度は、エツチング液の比重値と相関関係が有ることから
、比重値を測定することににリエッチング液中の銅およ
び調合の濃度を知ることができること、 ・　銅および銅合金の濃度とエツチング速度にも相関関
係が有ることから、比重値を測定することによりエツチ
ング速度も一定にコントロールすることができること、 Ｏさらに、エツチング補充液として特定母の塩化水素を
添加した塩化第二鉄液を用いることにより、塩化第二鉄
の加水解離反応が抑制されて沈澱が生じなくなること、 を見い出し、本発明を完成させるに至った。 〔発明の構成〕 （問題点を解決するための手段） 本発明を［説すれば、本発明は塩化第二鉄液を用いた連
続式エツチング法におけるエツチング液の能力を維持管
理する方法においてエツチング液中の腐食金属濃度を比
重測定により継続的に検知し、この値に塁づいて予め０
．３５〜５％（ｗｅｉｇｈｔ／ｖｏｌｕｍｅ）の範囲で
塩化水素を添加した塩化第二鉄液を補充することを特徴
とする塩化第二鉄液になるエツチング液の能力維持管理
法に関するものである。 以下、本発明の構成を詳しく説明する。 本発明の技術的構成は前記した通りであるが、その１５
徴とするところは ・　塩化第二鉄液になるエツチング液にエツチング溶解
された銅、銅合金などの腐食金属濃度はエツチング液の
比重値と相関とすると、・　さらにエツチング液中の銅
などの腐食金属濃度とエツチング速度もにり相関するこ
と、という知見をベースに、エツチング液の能力維持管
理法として従来の０−Ｒ−Ｐ計にＪ：る管理方式から比
重測定方式にした点である。 それと同時に、本発明においては、塩化第二鉄液を用い
るエツチング法において欠点とされた塩化第二鉄の加水
解離反応に基づく水酸化第二鉄の沈澱の問題を、エツチ
ング補充液として予め特定最の塩化水素を添加した塩化
第二鉄液を用いることにより解決した点に特徴を有する
。 前記補充液に予め添加される塩化水素のは的割合は、０
．３５〜５％（Ｗ／ｖ）、望ましくは１〜３、５　（ｗ
／ｖ）である。添加量が０．３５％（ｗ／ｖ）以下の場
合は、銅あるいは銅合金のエツチング中に、前記反応式
〇、■に基づいて水酸化第二鉄が沈澱するようになり、
また５％（Ｗ／ｖ）以上の場合は酸濃度が高くなり、エ
ツチングレジストが破壊され、必要な回路パターンの部
分までエツチングされるようになるので好ましくない。 次に、本発明の塩化第二鉄液になるエツチング液の能力
維持管理法の実施要領について、第一図に示したー装置
例に基づいて説明する。 本発明の実施には、図に示すような現在使用されている
連続式スプレーエツヂングｗ４０）に、比重検知装置■
を例属装備させたものを用いる。 エツチング処理中のエツチング液■は、ポンプ（Ｐｌ）
の作動により、パイプ（４ａ）を介して吸い上げられ、
スプレー・ノズル■から被処理板０に向けて噴射される
が、このとき、エツチング液の一部が比重検知装置■に
送られ、さらに、同装置において検知を終えたエツチン
グ液は、パイプ（４ｂ）を介してエツチング液槽■に戻
される。 この比重検知装置■において、エツチング液の比重が連
続的に検知され、比重値が基準値以上になれば、比重検
知装置■からの電気信号ににす、ポンプ（Ｐ２）が作動
し、補充液槽■からパイプ（４ｏ）を介して、エツチン
グ液槽■に補充液が補充される。 このとき、この補充液には、あらかじめ塩酸を所要ｍ添
加せしめた塩化第二鉄液を用いる。 しかして、この補充液の補充により、エツチング液の比
重値が、基準値に下がったことを比重検知装置■にて検
知すると、ポンプ（Ｐ２〉の作動は停止させられ、補充
液の補充はストップする。 エツチング液■の液量を一定に維持させるために、エツ
チング液槽■にはオーバーフロー口（９）を設けてあり
、上記補充液の補充により一定ωを越えたエツチング液
■は、自動的にエツチング液槽ωから排出され、排液タ
ンク０１ｌｌｌに貯えられる。 尚、■ツヂング液槽■には、エツチング液温の温度管理
機構ＯＤ、すなわら温度センサー（ｌｌａ　）、ヒータ
ー（１１ｂ）、冷却管（１１ｏ）が配設され、所望の液
温か維持管理出来るようにされる。 〔実施例〕 次に、本発明を実施例により更に詳しく説明する。 なお、エツチングの試料として、３５ミクロンの厚味を
有する銅張Ｗｉ層板を用い、この試料を連続的にエツチ
ング液に投入した。 また、エツチング液槽として容量が３００．１！のもの
を用いた。 ［例−１］ エツチング液（建浴液）および補充液を下記の如く調整
し、処理中のエツチング液の液温を／１０’（：に設定
し本実験を行った。 建浴液 ４０度ボーメ塩化第二鉄液・・・・・・・・・３００．
１！比重１．１９±０．００１の塩化水素溶液・・・・
・・１５Ｎ（建浴液の塩化水素濃度・・・・・・１．７
５％（Ｗ／ｖ））銅濃度が５０ｇ／ｌになるまで銅をエ
ツチングして建浴液の調整を行った。 補充液 ４０度ボーメ塩化第二鉄液・・・・・・・・・１０００
．１！比重１．１９十０．００１の塩化水素溶液・・・
・・・５０．１１（補充液の塩化水素濃度・・・・・・
１．７５％（Ｗ／ｖ））比重が１．３８±ｏ、　ｏｏｉ
になるように水で調整した。 比重管理の設定値 高い方の値　・・・・・・・・・・・・１．４４５（ａ
ｔ４０℃）低い法の値　・・・・・・・・・・・・１．
４４０（ａｔ４０’ｃ　）第１表に、エツチング液中の
銅ｆＪＪｊおＪ：びエツチング速度の測定結果を示す。 第１表において、第１回目、第２回目・・・と示してあ
るのは、比重値が１．４４５になったときに補充液が補
充され、比重値が１．４４０になって補充液の補充がス
トップした時魚で１回と数えたものである。 また、第１表に補充回数毎に０−Ｒ−Ｐ値を測定したの
で参考までに記述した（尚、これらのことは第２表につ
いても同じである。） （注）・補充回数Ｏとは、建浴液調整直後の液である。 ・エツチング速度とは、３５ミクロン銅銅積層板の銅箔
の溶解時間を示す。 （以下余白） ［例−２］ 建浴液 ４０度ボーメ塩化第二鉄液・・・・・・・・・３００１
比重１６１９±ｏ、　ｏｏｉの塩化水素溶液・・・・・
・１５．１！（建浴液の塩化水素濃度・・・・・・１６
７５％（Ｗ／ｖ））銅濃度が５７ｇ／、１！±１ｇ／Ｉ
になるまで銅を溶解して、建浴液の調整を行った。 補充液 ４０度ボーメ塩化第二鉄液・・・・・・・・・１０００
ｆ１比重１，１９±０．００１の塩化水素溶液・・・・
・・５０．０（補充液の塩化水素′ａ度・・・・・・１
．７５％（Ｗ／ｖ））比重が１．３８±０．００１にな
るように水で調整した。 比重管理の設定値 高い方の値　・・・・・・・・・・・・１．４５０（ａ
ｔ４０’ｃ　）低い方の値　・・・・・・・・・・・・
１．４４５（ａｔ４０℃）第２表に、エツチング液中の
銅ｍ度およびエツチング速度の測定結果を示す。 （注）・補充回数Ｏとは、建浴液調整直後の液である。 ・エツチング速度とは、３５ミクロン銅銅積層板の銅薄
の）ｄ経時間を示す。 以上、第１表〜第２表から明らかのように、本発明によ
ればエツチング液処理中のエツチングスピードを常に一
定に保つことが可能である。 （以下余白） 〔発明の効果〕 本発明の塩化第二鉄液になるエツチング液の比重を管理
すること、ならびに予め特定量の塩化水素を添加した塩
化第二鉄液を補充液として用いることを骨子としたエツ
チング液の能力維持管理法により、エツチングスピード
を常に一定に維持することが可能となる。このことは、
一定品質の製品を安定的に作り出すことを可能にするも
ので、不良製品を出すこと無く、予定数量の製造を確実
に可能にし、さらに高密度配線のプリント配線板の’Ｘ
！造も容易に可能にするものである。 また、所定量の塩化水素を添加した塩化第二鉄液を補充
液として用いることの利点は、塩化第二鉄の加水解離に
にろ水酸化第二鉄の沈澱を防止するためエツチングの作
業性を根本的に向上させることができることにある。 従って、本発明は、今俊益々製品品質の高精度が要求さ
れる８、１代の要請に応え１７る画期的なものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明になるエツチング液の能力維持管理法
の実施に好適な装置の一例を概略的に示したものである
。 符号 １・・・エツチング機 ２・・・比重検知装置 ３・・・エツチング液 ５・・・スプレーノズル ６・・・被処理板 ７・・・エツチング液槽 ８・・・補充液液槽 １１・・・排液タンク

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 連続式エッチング法の実施において、エッチング液の能
   力を、同液中の腐食金属濃度を比重測定することをもっ
   て継続管理するとともに、その能力管理のための手段を
   構成する補充液の補充を、あらかじめ０．３５〜５％（
   ｗ／ｖ）の範囲で塩酸を添加してある塩化第二鉄液を用
   いること、を特徴とするエッチング液の能力維持管理法
   。