JPS63234127A - 光学式温度測定装置 - Google Patents
光学式温度測定装置Info
- Publication number
- JPS63234127A JPS63234127A JP62068497A JP6849787A JPS63234127A JP S63234127 A JPS63234127 A JP S63234127A JP 62068497 A JP62068497 A JP 62068497A JP 6849787 A JP6849787 A JP 6849787A JP S63234127 A JPS63234127 A JP S63234127A
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Landscapes
- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は、光ファイバを利用した光学式温度測定装置
に関するものである。
に関するものである。
［従来の技術］
従来、温度により透過率等が変化する半導体等を感温部
とし、これにファイバにより光を投光、受光し、検出器
の受光量から温度を測定するものがある。
とし、これにファイバにより光を投光、受光し、検出器
の受光量から温度を測定するものがある。
［この発明が解決しようとする問題点］しかしながら、
！！！！温部と湿部半導体等を用いると、材料の性質か
ら透過率等の特性は決ってしまい、必要に応じた測１１
範囲、感度を自由に選択しにくい等の問題点があった。
！！！！温部と湿部半導体等を用いると、材料の性質か
ら透過率等の特性は決ってしまい、必要に応じた測１１
範囲、感度を自由に選択しにくい等の問題点があった。
この発明の目的は、以上の点に鑑み、感温部として干渉
膜フィルタを用い、高感度の温度測定を可能とした光学
式温度測定装置を提供することである。
膜フィルタを用い、高感度の温度測定を可能とした光学
式温度測定装置を提供することである。
Ｅ問題点を解決するための手段］
この発明は、温度により透過率または反射率が変化する
ｗＡ温湿部しての２個の干渉膜フィルタに光ファイバを
介して光源からの光を投受光し、光ファイバからの光を
検出し、測定手段で温度差を測定するようにした光学式
測定装置である。
ｗＡ温湿部しての２個の干渉膜フィルタに光ファイバを
介して光源からの光を投受光し、光ファイバからの光を
検出し、測定手段で温度差を測定するようにした光学式
測定装置である。
［実施例］
第１図は、この発明の一実施例を示す構成説明図である
。
。
図において、白熱電球、ハロゲンランプ、ＬＥＤ等の光
源１の光は、光ファイバ２′１を介して感温部としての
第１の（多層の）干渉膜フィルタ３１に投光され、この
バンドパスフィルタのような第１の干渉膜フィルタ３１
を透過した光は、九ファ・イバ光ファイバ２２を介して
！ｆＪＩｍ部としての第２の干渉膜フィルタ３２に投光
され、このバンドパスフィルタのような第２の干渉膜フ
ィルタ３２を透過した光は光フン２イバ２３を介して取
り出され、検出器４で受光され、この検出器４の出力か
ら、第１、第２の干渉膜フ、Ｃルタ３１．３２の温度差
を測定手段５で演算される。
源１の光は、光ファイバ２′１を介して感温部としての
第１の（多層の）干渉膜フィルタ３１に投光され、この
バンドパスフィルタのような第１の干渉膜フィルタ３１
を透過した光は、九ファ・イバ光ファイバ２２を介して
！ｆＪＩｍ部としての第２の干渉膜フィルタ３２に投光
され、このバンドパスフィルタのような第２の干渉膜フ
ィルタ３２を透過した光は光フン２イバ２３を介して取
り出され、検出器４で受光され、この検出器４の出力か
ら、第１、第２の干渉膜フ、Ｃルタ３１．３２の温度差
を測定手段５で演算される。
つまり、第１の干渉膜フィルタ３１の温度Ｔ＋を一定と
すれば、この透過波長特性は第２図Ｂで示すように変わ
らず、また、第２の干渉膜フィルタ３２は、そのｉ！！
度Ｔ２が上昇すると第２図Ａから八″というように長波
長側に透過波長特性がシフトし、従゛つて、ＡまたはＡ
′と８との川なり具合は両干渉躾フィルタ３１．３２の
一１ｆｉｉ ａ ９１ Ｔ ２−Ｔ１により変化し、検
出器４に入射するＭＤＩエネルギーが変化する。この検
出Ｂ４の出力から、測定手段５により、あらかじめ実験
、計算等で求めた演算式、デープル等から温度差Ｔ２−
ＴＩを測定プる。
すれば、この透過波長特性は第２図Ｂで示すように変わ
らず、また、第２の干渉膜フィルタ３２は、そのｉ！！
度Ｔ２が上昇すると第２図Ａから八″というように長波
長側に透過波長特性がシフトし、従゛つて、ＡまたはＡ
′と８との川なり具合は両干渉躾フィルタ３１．３２の
一１ｆｉｉ ａ ９１ Ｔ ２−Ｔ１により変化し、検
出器４に入射するＭＤＩエネルギーが変化する。この検
出Ｂ４の出力から、測定手段５により、あらかじめ実験
、計算等で求めた演算式、デープル等から温度差Ｔ２−
ＴＩを測定プる。
また、第１の干渉膜フィルタ３１の温度Ｔ１が変化し、
第２の干渉膜フィルタ３２の）島度Ｔ２が一定の場合、
または、第１、第２の干渉膜フｒル’）３１．３２の名
湯ｒ！１．Ｔ１、Ｔ２が両方とも変化した場合も、同様
にして温度差の測定を行うことができる。
第２の干渉膜フィルタ３２の）島度Ｔ２が一定の場合、
または、第１、第２の干渉膜フｒル’）３１．３２の名
湯ｒ！１．Ｔ１、Ｔ２が両方とも変化した場合も、同様
にして温度差の測定を行うことができる。
なお、干渉膜フィルタ３１．３２としては、高屈折率膜
に３ｉ またはＧｅ、低屈折率膜にＳｉＯ等を用い、蒸
’Ｗ等により多層膜を形成し、温度範囲、感度に応じた
所望の透過波長特性をもつフィルタとする。このように
多層の干渉膜フィルタの層数、膜構成を変えることによ
り必要とするバンドパス特性をもつフィルタが得られ、
また、５ｉ１ＧＯの屈折率の温度係数は約１．５Ｘ１０
−４．／℃と十分大きく、感温部として十分使用できる
。
に３ｉ またはＧｅ、低屈折率膜にＳｉＯ等を用い、蒸
’Ｗ等により多層膜を形成し、温度範囲、感度に応じた
所望の透過波長特性をもつフィルタとする。このように
多層の干渉膜フィルタの層数、膜構成を変えることによ
り必要とするバンドパス特性をもつフィルタが得られ、
また、５ｉ１ＧＯの屈折率の温度係数は約１．５Ｘ１０
−４．／℃と十分大きく、感温部として十分使用できる
。
第３図は、この発明の他の一実施例を示す構成説明図で
、第１図と同一符号は同等の構成要素を示す。
、第１図と同一符号は同等の構成要素を示す。
光源１からの光は、ハーフミラ−６を介し光ファイバ２
１により第１の干渉膜フィルタ３１に投光され、この第
１の干渉膜フィルタ３１を透過した光は光ファイバ２２
により第２の干渉膜フィルタ３２に投光され、第２の干
渉膜フィルタ３２を反射した光は、再び光ファイバ２２
、第１の干渉膜フィルタ３１、光ファイバ２１を介して
取り出され、ハーフミラ−６で反射し、検出器４に入射
して受光され、検出器４の出力から測定手段５で温度差
の演算が行われる。
１により第１の干渉膜フィルタ３１に投光され、この第
１の干渉膜フィルタ３１を透過した光は光ファイバ２２
により第２の干渉膜フィルタ３２に投光され、第２の干
渉膜フィルタ３２を反射した光は、再び光ファイバ２２
、第１の干渉膜フィルタ３１、光ファイバ２１を介して
取り出され、ハーフミラ−６で反射し、検出器４に入射
して受光され、検出器４の出力から測定手段５で温度差
の演算が行われる。
つまり、第１の刊ＩＱフィルタ３１の透過波長特性は、
温度Ｔ１が一定とすれば、第４図Ｂのように一定であり
、第２の干渉膜フィルタ３２は、その温度Ｔ２が上昇す
ると第４図ＡからＡ−というように長波長側に反射波長
特性がシフｌ−Ｌ、ＡまたはＡ′と８との重なり具合が
、両干渉躾フィルタ３１．３２の温度差Ｔ２−Ｔ＋によ
り変化するので、検出器４の出力から同様にして、測定
手段５で温度差の測定ができる。
温度Ｔ１が一定とすれば、第４図Ｂのように一定であり
、第２の干渉膜フィルタ３２は、その温度Ｔ２が上昇す
ると第４図ＡからＡ−というように長波長側に反射波長
特性がシフｌ−Ｌ、ＡまたはＡ′と８との重なり具合が
、両干渉躾フィルタ３１．３２の温度差Ｔ２−Ｔ＋によ
り変化するので、検出器４の出力から同様にして、測定
手段５で温度差の測定ができる。
なお、第５図で示すように、光ファイバ２０の端面に干
渉膜フィルタ３を蒸着等で形成することにより（たとえ
ば多数の光ファイバの端面に同時に干渉膜フィルタを形
成することにより）、均一な４ｆｔ！！温部が、安価、
太閤に生産でき、互換性も有し、また、光コネクタ２０
ａにより光ファイバ２１．２２に蒸着可能とすることに
より、取り扱い、保守等が容易なものとなる。
渉膜フィルタ３を蒸着等で形成することにより（たとえ
ば多数の光ファイバの端面に同時に干渉膜フィルタを形
成することにより）、均一な４ｆｔ！！温部が、安価、
太閤に生産でき、互換性も有し、また、光コネクタ２０
ａにより光ファイバ２１．２２に蒸着可能とすることに
より、取り扱い、保守等が容易なものとなる。
［ｉｅ明の効！ｆ！］
以上述べたように、この発明は、感温部として２個の干
渉膜フィルタを用い、光ファイバを利用して容易に温度
差を測定することが可能となり、また、干渉膜フィルタ
はＩｌ！ｉ！構成等により透過波長特性を自由に変える
ことができ、測温範囲、感度等に応じた各種測温が容易
に可能となる。
渉膜フィルタを用い、光ファイバを利用して容易に温度
差を測定することが可能となり、また、干渉膜フィルタ
はＩｌ！ｉ！構成等により透過波長特性を自由に変える
ことができ、測温範囲、感度等に応じた各種測温が容易
に可能となる。
第１図、第３図、第５図は、この発明の一実施例を示す
構成説明図、第２図、第４図は、波長特性説明図である
。 １・・・光源、２０，２１．２２．２３・・・光ファイ
バ、３１．３２・・・干渉膜フィルタ、４・・・検出器
、５・・・測定手段、６・・・ハーフミラ−１２０ａ・
・・光コネクタ
構成説明図、第２図、第４図は、波長特性説明図である
。 １・・・光源、２０，２１．２２．２３・・・光ファイ
バ、３１．３２・・・干渉膜フィルタ、４・・・検出器
、５・・・測定手段、６・・・ハーフミラ−１２０ａ・
・・光コネクタ
Claims (1)
- １、温度により透過率または反射率が変化する感温部と
しての２個の干渉膜フィルタと、この２個の干渉膜フィ
ルタに光源からの光を順次投光して透過または反射した
光を検出器に受光させる光ファイバと、検出器の出力か
ら２つの干渉膜フィルタの温度差を測定する測定手段と
を備えたことを特徴とする光学式測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62068497A JPS63234127A (ja) | 1987-03-23 | 1987-03-23 | 光学式温度測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62068497A JPS63234127A (ja) | 1987-03-23 | 1987-03-23 | 光学式温度測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63234127A true JPS63234127A (ja) | 1988-09-29 |
| JPH0584854B2 JPH0584854B2 (ja) | 1993-12-03 |
Family
ID=13375391
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62068497A Granted JPS63234127A (ja) | 1987-03-23 | 1987-03-23 | 光学式温度測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63234127A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017534842A (ja) * | 2014-09-03 | 2017-11-24 | コリア ベーシック サイエンス インスティチュート | 温度分布測定装置及び方法 |
-
1987
- 1987-03-23 JP JP62068497A patent/JPS63234127A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017534842A (ja) * | 2014-09-03 | 2017-11-24 | コリア ベーシック サイエンス インスティチュート | 温度分布測定装置及び方法 |
| US10139284B2 (en) | 2014-09-03 | 2018-11-27 | Korea Basic Science Institute | Temperature distribution measuring apparatus and method |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0584854B2 (ja) | 1993-12-03 |
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