JPS6323097A - 高純度ガス充填用ボンベの製造方法 - Google Patents
高純度ガス充填用ボンベの製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
この発明は、半導体製造用ガスや校正用ガスのような高
純度ガスのうち腐食性を持つものを充填するのに用いら
れる高純度ガス充填用ボンベの製造方法に関する。
純度ガスのうち腐食性を持つものを充填するのに用いら
れる高純度ガス充填用ボンベの製造方法に関する。
この明ａｍにおいて「アルミニウム」という語は純アル
ミニウムのほかにすべてのアルミニウム合金を含む意味
で用いられる。また、「不活性ガス」という語は、周期
表のアルゴンガス、ヘリウムガス、クリプトンガス、キ
セノンガスの他にアルミニウムに対して不活性なチッ素
ガス等も含む意味で用いられる。
ミニウムのほかにすべてのアルミニウム合金を含む意味
で用いられる。また、「不活性ガス」という語は、周期
表のアルゴンガス、ヘリウムガス、クリプトンガス、キ
セノンガスの他にアルミニウムに対して不活性なチッ素
ガス等も含む意味で用いられる。
゛ 従来技術とその問題点
たとえば、半導体の製造に使用される高純度ガスや、ガ
スの定石分析に使用される高純度校正用ガスのうち腐食
性を持つものにはＳ ！ Ｈ２Ｃ／２ 、Ｓ ｆ ＨＣ
／３ 、Ｓ ！ Ｃ／４ 、ＢＣｌ３、Ｃ／２ 、ＣＣ
／４、ＨＣ／、ＷＦｅ 、ＰＦｓ、Ｎ２０等がある。現
在では、上記のような高純度ガスの製造技術は既に確立
されているが、上記ガスを運搬したり、保存したりする
さいに上記高純度ガスの純度が低下したり、汚染したり
するおそれがある。すなわち、高純度ガスを運搬したり
、保−存したりするには、これをボンベに充填する必要
があるが高純度ガスが腐食性を持っている場合、このガ
スが筒状体と反応し、その結果化じる生成物により高純
度ガスの純度が低下させられたり、汚染したりする。
スの定石分析に使用される高純度校正用ガスのうち腐食
性を持つものにはＳ ！ Ｈ２Ｃ／２ 、Ｓ ｆ ＨＣ
／３ 、Ｓ ！ Ｃ／４ 、ＢＣｌ３、Ｃ／２ 、ＣＣ
／４、ＨＣ／、ＷＦｅ 、ＰＦｓ、Ｎ２０等がある。現
在では、上記のような高純度ガスの製造技術は既に確立
されているが、上記ガスを運搬したり、保存したりする
さいに上記高純度ガスの純度が低下したり、汚染したり
するおそれがある。すなわち、高純度ガスを運搬したり
、保−存したりするには、これをボンベに充填する必要
があるが高純度ガスが腐食性を持っている場合、このガ
スが筒状体と反応し、その結果化じる生成物により高純
度ガスの純度が低下させられたり、汚染したりする。
従来、上記のような高純度ガスの純度の低下や汚染を防
出するために、ボンベは、一端が開口するとともに他端
が閉鎖されたステンレス鋼製筒体をつくった後、この筒
体の内面に機械的研摩や電解研摩を施して内面の凹凸を
小さくし、ついで上記筒体のぢ１０端部にプレス加工を
施して口部を形成し、その後口部にパルプを取付けるこ
とによって製造されていた。ところが、この方法で製造
されたボンベでは、加工が施されて変形した部分の内面
に新たに凹凸が生じているので、この部分に純度低下物
質が吸着したり、汚染の源になる物質が付着したりする
という問題があった。さらに、この方法で＠還されたボ
ンベはｆｎｆｆｌが大きくなるという問題があった。
出するために、ボンベは、一端が開口するとともに他端
が閉鎖されたステンレス鋼製筒体をつくった後、この筒
体の内面に機械的研摩や電解研摩を施して内面の凹凸を
小さくし、ついで上記筒体のぢ１０端部にプレス加工を
施して口部を形成し、その後口部にパルプを取付けるこ
とによって製造されていた。ところが、この方法で製造
されたボンベでは、加工が施されて変形した部分の内面
に新たに凹凸が生じているので、この部分に純度低下物
質が吸着したり、汚染の源になる物質が付着したりする
という問題があった。さらに、この方法で＠還されたボ
ンベはｆｎｆｆｌが大きくなるという問題があった。
この発明の目的は、上記問題を解決した高純度ガス充填
用ボンベの製造方法を提供することにある。
用ボンベの製造方法を提供することにある。
問題点を解決するための手段
この発明による高純度ガス充填用ボンベの製造方法は、
一端が閉鎖されるとともに他端が間口し、かつ開口端部
が縮径されて口部が設けられたアルミニウム製筒状体と
、筒状体の口部に取付けられるパルプとよりなるボンベ
を製造する方法であって、アルミニウム製筒状体をつく
った後、その内面に、陽極酸化処理を施して陽極酸化皮
膜を形成することを特徴とするものである。
一端が閉鎖されるとともに他端が間口し、かつ開口端部
が縮径されて口部が設けられたアルミニウム製筒状体と
、筒状体の口部に取付けられるパルプとよりなるボンベ
を製造する方法であって、アルミニウム製筒状体をつく
った後、その内面に、陽極酸化処理を施して陽極酸化皮
膜を形成することを特徴とするものである。
上記において、アルミニウム製筒状体は、たとえば押出
加工によりアルミニウム管をつくった後、その一端開口
を閉鎖し、ざらに他端開口にへら絞り等のプレス成形を
施して口部を形成することによりつくられる。また、衝
撃押出加工により一端が閉鎖されるとともに他端が開口
したアルミニウム製有底筒状体をつくり、さらに上記と
同様に口部を形成することによりつくってもよい。
加工によりアルミニウム管をつくった後、その一端開口
を閉鎖し、ざらに他端開口にへら絞り等のプレス成形を
施して口部を形成することによりつくられる。また、衝
撃押出加工により一端が閉鎖されるとともに他端が開口
したアルミニウム製有底筒状体をつくり、さらに上記と
同様に口部を形成することによりつくってもよい。
上記において、形成する陽極酸化皮膜は、硫酸皮膜、シ
ュウ酸皮膜、クロム酸皮膜、リン酸皮膜、ホウ酸皮膜等
のいずれでもよい。このような皮膜の膜厚は０．５〜２
０膚の範囲内にあることが好ましい。その理由は、膜厚
が０．５ｐ未満であると、筒状体の腐食を防止する効果
が十分ではなく、２０ｆｆを越えると、ボンベ内に高純
度ガスを充填した場合、皮膜から高純度ガスへの放出ガ
スａが多くなるからである。陽極酸化皮膜を形成した後
、加熱乾燥することが好ましい。
ュウ酸皮膜、クロム酸皮膜、リン酸皮膜、ホウ酸皮膜等
のいずれでもよい。このような皮膜の膜厚は０．５〜２
０膚の範囲内にあることが好ましい。その理由は、膜厚
が０．５ｐ未満であると、筒状体の腐食を防止する効果
が十分ではなく、２０ｆｆを越えると、ボンベ内に高純
度ガスを充填した場合、皮膜から高純度ガスへの放出ガ
スａが多くなるからである。陽極酸化皮膜を形成した後
、加熱乾燥することが好ましい。
実 施 例
以下、この発明の実施例を示す。
実施例１
まず、Ａ６０６１合金から一端が閉鎖されるとともに他
端が開口し、かつ開口端部が縮径されて口部が設けられ
た筒状体をつくった。ついで、この筒状体の内面に、２
％（ＣＯＯＨ）２溶液からなるａ温３５℃の電解液中で
、電圧５０ｖＳ電流密度２．５Ａ／ ｄＴｄの交流電解
により７０分間陽極酸化処理を施して厚さ９Ｊ！ＩＮの
シュウ酸陽極酸化皮膜を形成した。その後、筒状体を真
空中において１５０℃で２４時間加熱し、シュウ酸皮膜
に吸着している水分を除去した。
端が開口し、かつ開口端部が縮径されて口部が設けられ
た筒状体をつくった。ついで、この筒状体の内面に、２
％（ＣＯＯＨ）２溶液からなるａ温３５℃の電解液中で
、電圧５０ｖＳ電流密度２．５Ａ／ ｄＴｄの交流電解
により７０分間陽極酸化処理を施して厚さ９Ｊ！ＩＮの
シュウ酸陽極酸化皮膜を形成した。その後、筒状体を真
空中において１５０℃で２４時間加熱し、シュウ酸皮膜
に吸着している水分を除去した。
そして、上記筒状体にパルプを取付けてボンベを製造し
、ボンベ内にＳ ！ Ｃ／ ４ガスを充填して１０００
時間放置し筒状体の耐食性を調べた。
、ボンベ内にＳ ！ Ｃ／ ４ガスを充填して１０００
時間放置し筒状体の耐食性を調べた。
その結果、筒状体の内面には腐食は発生していなかった
。
。
実施例２
まず、Ａ６０６１合金から筒状体をつくった。
ついで、この筒状体の内面に、１５％Ｈ２ＳＯ４溶液か
らなる液温２０℃電解液中で、電圧１５Ｖ、ｆｌ流密度
１．３Ａ／ｄｄの直流電解により２５分間陽極酸化処理
を施して厚さ９−の硫酸陽極酸化皮膜を形成した。その
後、この筒状体を真空中において１５０℃で２０時間加
熱し、硫酸皮膜に吸着している水分を除去した。そして
、上記実施例１と同様にその内面の耐食性を調べた。そ
の結果、筒状体の内面には腐食は認められなかった。
らなる液温２０℃電解液中で、電圧１５Ｖ、ｆｌ流密度
１．３Ａ／ｄｄの直流電解により２５分間陽極酸化処理
を施して厚さ９−の硫酸陽極酸化皮膜を形成した。その
後、この筒状体を真空中において１５０℃で２０時間加
熱し、硫酸皮膜に吸着している水分を除去した。そして
、上記実施例１と同様にその内面の耐食性を調べた。そ
の結果、筒状体の内面には腐食は認められなかった。
実施例３
まず、Ａ６０６３合金から筒状体をつくった。
ついで、化成前処理として純水中において１０分間ボイ
リング処理を施した後、６０ｇ／／ホウ酸および１．２
ＳＦ／／ホウ酸アンモニウムを含む液温８５℃の電解液
中で、電流茫度６ ｍＡ／Ｃ１１Ｐ、 Ａ（７）直流電
圧！印加し、４００Ｖ１．：１０分間保持して、筒状体
の内面に厚さ０．５贋のホウ酸陽極酸化皮膜を形成した
。そして、上記実施例１と同様にその内面の耐食性を調
べた。
リング処理を施した後、６０ｇ／／ホウ酸および１．２
ＳＦ／／ホウ酸アンモニウムを含む液温８５℃の電解液
中で、電流茫度６ ｍＡ／Ｃ１１Ｐ、 Ａ（７）直流電
圧！印加し、４００Ｖ１．：１０分間保持して、筒状体
の内面に厚さ０．５贋のホウ酸陽極酸化皮膜を形成した
。そして、上記実施例１と同様にその内面の耐食性を調
べた。
その結果、筒状体の内面には腐食は認められなかった。
発明の効果
この発明の方法によれば、筒状体をアルミニウム材から
つくるのであるから、ステンレ鋼材からつくる場合に比
較して加工が容易である。
つくるのであるから、ステンレ鋼材からつくる場合に比
較して加工が容易である。
また、ステンレス鋼材製のものに比較して軽Ｍのものを
製造することができる。さらに、アルミニウムはステン
レス鋼に比べてガス放出係数が小さいので、放出ガスに
よって、充填される高純度ガスの純度を低下させるおそ
れが少ない。
製造することができる。さらに、アルミニウムはステン
レス鋼に比べてガス放出係数が小さいので、放出ガスに
よって、充填される高純度ガスの純度を低下させるおそ
れが少ない。
また、この発明の方法によれば、筒状体の内面に陽極酸
化皮膜を形成するのであるから、高純度ガスと反応する
ことによって起こる筒状体の腐食の結果生じる生成物に
よる高純度ガスの純度の低下および汚染を防止できる。
化皮膜を形成するのであるから、高純度ガスと反応する
ことによって起こる筒状体の腐食の結果生じる生成物に
よる高純度ガスの純度の低下および汚染を防止できる。
以 上
Claims (1)
- 一端が閉鎖されるとともに他端が開口し、かつ開口端部
が縮径されて口部が設けられたアルミニウム製筒状体と
、筒状体の口部に取付けられるバルブとよりなるボンベ
を製造する方法であって、アルミニウム製筒状体をつく
った後、その内面に、陽極酸化処理を施して陽極酸化皮
膜を形成することを特徴とする高純度ガス充填用ボンベ
の製造方法
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16727386A JPS6323097A (ja) | 1986-07-15 | 1986-07-15 | 高純度ガス充填用ボンベの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16727386A JPS6323097A (ja) | 1986-07-15 | 1986-07-15 | 高純度ガス充填用ボンベの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6323097A true JPS6323097A (ja) | 1988-01-30 |
Family
ID=15846684
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16727386A Pending JPS6323097A (ja) | 1986-07-15 | 1986-07-15 | 高純度ガス充填用ボンベの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6323097A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02121257U (ja) * | 1989-03-10 | 1990-10-02 | ||
| US8087537B2 (en) | 2006-12-13 | 2012-01-03 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Pressure container |
-
1986
- 1986-07-15 JP JP16727386A patent/JPS6323097A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02121257U (ja) * | 1989-03-10 | 1990-10-02 | ||
| US8087537B2 (en) | 2006-12-13 | 2012-01-03 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Pressure container |
| DE112007002491B4 (de) * | 2006-12-13 | 2018-10-31 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Druckbehälter |
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