JPS63227991A - タ−ボ分子ポンプ - Google Patents
タ−ボ分子ポンプInfo
- Publication number
- JPS63227991A JPS63227991A JP62059513A JP5951387A JPS63227991A JP S63227991 A JPS63227991 A JP S63227991A JP 62059513 A JP62059513 A JP 62059513A JP 5951387 A JP5951387 A JP 5951387A JP S63227991 A JPS63227991 A JP S63227991A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- casing
- airtight container
- spacer
- container
- spacers
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims abstract description 22
- 238000009434 installation Methods 0.000 abstract 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 abstract 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/60—Mounting; Assembling; Disassembling
- F04D29/601—Mounting; Assembling; Disassembling specially adapted for elastic fluid pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、超高真空雰囲気を形成する場合に使用するタ
ーボ分子ポンプに関する。
ーボ分子ポンプに関する。
従来、この種のターボ分子ポンプは、気密容器に接続さ
れ取付用フランジを有するケーシングと、このケーシン
グの内部に収納され多数の動翼を有する回転体とを備え
、この回転体を回転させることによりケーシングおよび
気密容器内の気体分子を排気して超高真空雰囲気を形成
するように構成されている。
れ取付用フランジを有するケーシングと、このケーシン
グの内部に収納され多数の動翼を有する回転体とを備え
、この回転体を回転させることによりケーシングおよび
気密容器内の気体分子を排気して超高真空雰囲気を形成
するように構成されている。
ところで、この種のターボ分子ポンプにおいては、回転
体の回転損失が少なくなるようにケーシングを設置する
ことが重要であり、このため特開昭６１−９２３９３号
公報に開示された傾斜調整機構のようなものが必要とさ
れている。
体の回転損失が少なくなるようにケーシングを設置する
ことが重要であり、このため特開昭６１−９２３９３号
公報に開示された傾斜調整機構のようなものが必要とさ
れている。
ところが、ターボ分子ポンプのケーシングはその内部を
超高真空雰囲気にする気密容器に接続されなければなら
ないため、ターボ分子ポンプには前記した傾斜調整機構
を採用することができず、従来より傾斜調整機能を備え
たターボ分子ポンプの出現が要望されていた。
超高真空雰囲気にする気密容器に接続されなければなら
ないため、ターボ分子ポンプには前記した傾斜調整機構
を採用することができず、従来より傾斜調整機能を備え
たターボ分子ポンプの出現が要望されていた。
本発明はこのような要望に応えるべくなされたもので、
気密容器に対しケーシングを取り付けるに際してその取
付傾斜角度を調整することができるターボ分子ポンプを
提供するものである。
気密容器に対しケーシングを取り付けるに際してその取
付傾斜角度を調整することができるターボ分子ポンプを
提供するものである。
本発明に係るターボ分子ポンプは、気密容器に接続され
その内部に回転体を有するケーシングを備え、このケー
シングと気密容器との間に２つの環状部材を設け、これ
ら両環状部材の片側端面を気密容器のケーシング側接続
面に対し傾斜する面によって形成したものである。
その内部に回転体を有するケーシングを備え、このケー
シングと気密容器との間に２つの環状部材を設け、これ
ら両環状部材の片側端面を気密容器のケーシング側接続
面に対し傾斜する面によって形成したものである。
本発明においては、両環状部材のうち一方の環状部材を
他方の環状部材に対し回転させることにより、気密容器
のケーシング側接続面に対する環状部材の容器側接続面
の傾斜角度を変更することができる。
他方の環状部材に対し回転させることにより、気密容器
のケーシング側接続面に対する環状部材の容器側接続面
の傾斜角度を変更することができる。
第１図は本発明に係るターボ分子ポンプの要部を示す局
部断面図、第２図（ａ）および山）は同じくターボ分子
ポンプに使用するスペーサを示す平面図と断面図である
。同図において、符号１で示すものはポンプ用のケーシ
ングで、複数のポルト２によって気密容器３に接続され
ている。このケーシング１の上端部には、前記ボルト２
が挿通する挿通孔４を有する取付用フランジ５が一体に
設けられている。６および７は環状のスペーサで、前記
ケーシング１の取付用フランジ５と前記気密容器３のフ
ランジ３ａとの間に介装されている。これら両スペーサ
６．７は片側端面６ａ、７ａが前記気密容器３のケーシ
ング側接続面に対し傾斜する面によって形成されている
。そして、これらスペーサ６．７の両側端面には、例え
ばＯリング等のシールリング８を装着する環状溝９が形
成されている。なお、前記ケーシング１の内部には、多
数の動翼（図示せず）を有する回転体（図示せず）が収
納されている。
部断面図、第２図（ａ）および山）は同じくターボ分子
ポンプに使用するスペーサを示す平面図と断面図である
。同図において、符号１で示すものはポンプ用のケーシ
ングで、複数のポルト２によって気密容器３に接続され
ている。このケーシング１の上端部には、前記ボルト２
が挿通する挿通孔４を有する取付用フランジ５が一体に
設けられている。６および７は環状のスペーサで、前記
ケーシング１の取付用フランジ５と前記気密容器３のフ
ランジ３ａとの間に介装されている。これら両スペーサ
６．７は片側端面６ａ、７ａが前記気密容器３のケーシ
ング側接続面に対し傾斜する面によって形成されている
。そして、これらスペーサ６．７の両側端面には、例え
ばＯリング等のシールリング８を装着する環状溝９が形
成されている。なお、前記ケーシング１の内部には、多
数の動翼（図示せず）を有する回転体（図示せず）が収
納されている。
このように構成されたターボ分子ポンプにおいては、両
スペーサ６．７のうち一方のスペーサ６を他方のスペー
サ７に対し回転させることにより、気密容器３のケーシ
ング側接続面に対するスペーサ６の容器側接続面の傾斜
角度を変更することができる。
スペーサ６．７のうち一方のスペーサ６を他方のスペー
サ７に対し回転させることにより、気密容器３のケーシ
ング側接続面に対するスペーサ６の容器側接続面の傾斜
角度を変更することができる。
したがって、気密容器３のケーシング側接続面が水平に
位置付けられている場合には、第３図（ａｌに示すよう
にスペーサ６．７のスペーサ側端面が気密容器３のケー
シング側接続面に対し傾斜する状態にする。
位置付けられている場合には、第３図（ａｌに示すよう
にスペーサ６．７のスペーサ側端面が気密容器３のケー
シング側接続面に対し傾斜する状態にする。
一方、気密容器３のケーシング側接続面が傾斜して位置
付けられている場合には、同図（ｂ）に示すようにスペ
ーサ７に対しスペーサ６を回転させることにより容器側
接続面の傾斜角度を調整する。
付けられている場合には、同図（ｂ）に示すようにスペ
ーサ７に対しスペーサ６を回転させることにより容器側
接続面の傾斜角度を調整する。
すなわち、気密容器３のケーシング側接続面に対してス
ペーサ６の容器側接続面が任意の傾斜角度をもつように
ケーシング１を取り付けることができるのである。
ペーサ６の容器側接続面が任意の傾斜角度をもつように
ケーシング１を取り付けることができるのである。
なお、本実施例においては、２つのスペーサ６゜７を使
用する例を示したが、本発明はこれに限定されるもので
はなく、１個のスペーサとしても実施例と同様の効果を
奏する。この場合、取付用フランジ５の端面を傾斜面に
形成することが必要である。
用する例を示したが、本発明はこれに限定されるもので
はなく、１個のスペーサとしても実施例と同様の効果を
奏する。この場合、取付用フランジ５の端面を傾斜面に
形成することが必要である。
また、本実施例においては、スペーサ６．７とシールリ
ング８を用意する場合を示したが、本発明はこれに限定
されず、例えば傾斜面をもつ金属製のガスケット（図示
せず）を用意しても実施することができる。
ング８を用意する場合を示したが、本発明はこれに限定
されず、例えば傾斜面をもつ金属製のガスケット（図示
せず）を用意しても実施することができる。
以上説明したように本発明によれば、気密容器に接続さ
れその内部に回転体を有するケーシングを備え、このケ
ーシングと気密容器との間に２つの環状部材を設け、こ
れら両環状部材の片側端面を気密容器のケーシング側接
続面に対し傾斜する面によって形成したので、両環状部
材のうち一方の環状部材を他方の環状部材に対し回転さ
せることにより、気密容器のケーシング側接続面に対す
る環状部材の容器側接続面の傾斜角度を変更することが
でき、気密容器に対しケーシングを取り付けるに際して
その取付傾斜角度を調整することができる。
れその内部に回転体を有するケーシングを備え、このケ
ーシングと気密容器との間に２つの環状部材を設け、こ
れら両環状部材の片側端面を気密容器のケーシング側接
続面に対し傾斜する面によって形成したので、両環状部
材のうち一方の環状部材を他方の環状部材に対し回転さ
せることにより、気密容器のケーシング側接続面に対す
る環状部材の容器側接続面の傾斜角度を変更することが
でき、気密容器に対しケーシングを取り付けるに際して
その取付傾斜角度を調整することができる。
第１図は本発明に係るターボ分子ポンプの要部を示す局
部断面図、第２図（ａｌおよび（ｂ）は同じくターボ分
子ポンプに使用するスペーサを示す平面図と断面図、第
３図（ａ）および（ｂ）はスペーサの使用状態を説明す
るための断面図である。 １・・・・ケーシング、３・・・・気密容器、５・・・
・取付用フランジ、６，７・・・・スペーサ。 代 理 人 大 岩 増 雄 第１図 ３；禿たふ番 ５：爪村同７シレ。 ６．７；スヘ一ブ
部断面図、第２図（ａｌおよび（ｂ）は同じくターボ分
子ポンプに使用するスペーサを示す平面図と断面図、第
３図（ａ）および（ｂ）はスペーサの使用状態を説明す
るための断面図である。 １・・・・ケーシング、３・・・・気密容器、５・・・
・取付用フランジ、６，７・・・・スペーサ。 代 理 人 大 岩 増 雄 第１図 ３；禿たふ番 ５：爪村同７シレ。 ６．７；スヘ一ブ
Claims (3)
- （１）気密容器に接続されその内部に回転体を有するケ
ーシングを備え、このケーシングと前記気密容器との間
に２つの環状部材を設け、これら両環状部材の片側端面
を前記気密容器のケーシング側接続面に対し傾斜する面
によって形成したことを特徴とするターボ分子ポンプ。 - （２）両環状部材はスペーサである特許請求の範囲第１
項記載のターボ分子ポンプ。 - （３）両環状部材のうち一方の環状部材はケーシングの
取付用フランジである特許請求の範囲第１項記載のター
ボ分子ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62059513A JPS63227991A (ja) | 1987-03-13 | 1987-03-13 | タ−ボ分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62059513A JPS63227991A (ja) | 1987-03-13 | 1987-03-13 | タ−ボ分子ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63227991A true JPS63227991A (ja) | 1988-09-22 |
Family
ID=13115416
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62059513A Pending JPS63227991A (ja) | 1987-03-13 | 1987-03-13 | タ−ボ分子ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63227991A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001107889A (ja) * | 1999-09-16 | 2001-04-17 | Boc Group Plc:The | 真空ポンプの改良 |
| JP2001153087A (ja) * | 1999-10-28 | 2001-06-05 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | ターボ分子ポンプ |
| FR2930466A1 (fr) * | 2008-04-28 | 2009-10-30 | Air Liquide | Cale pour le maintien des passages d'echangeurs a plaques et ailettes brases |
-
1987
- 1987-03-13 JP JP62059513A patent/JPS63227991A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001107889A (ja) * | 1999-09-16 | 2001-04-17 | Boc Group Plc:The | 真空ポンプの改良 |
| JP2001153087A (ja) * | 1999-10-28 | 2001-06-05 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | ターボ分子ポンプ |
| FR2930466A1 (fr) * | 2008-04-28 | 2009-10-30 | Air Liquide | Cale pour le maintien des passages d'echangeurs a plaques et ailettes brases |
| WO2009138670A2 (fr) * | 2008-04-28 | 2009-11-19 | L'Air Liquide, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude | Cale pour le maintien des passages d'échangeurs à plaques et ailettes brasés |
| WO2009138670A3 (fr) * | 2008-04-28 | 2010-01-07 | L'Air Liquide, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude | Procede de fabrication d'un echangeur de chaleur utilisant une cale pour le maintien des passages d'échangeurs à plaques et ailettes brasés |
| CN102015182A (zh) * | 2008-04-28 | 2011-04-13 | 乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司 | 使用用于保持钎焊板翅式交换器的通道敞开的垫块制造热交换器的方法 |
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