JPS63226707A - 微細位置決め装置の変位制御装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、半導体製造装置、電子顕微鏡等の微細な変位
調節を必要とする装置に使用される微細位置決め装置に
おいて、当該変位調節をサブミクロンオーダで行なう微
細位置決め装置の変位制御装置に関する。

〔従来の技術〕

近年、各種技術分野においては、サブμｍのオーダーの
微細な変位調節が可能である装置が要望されている。そ
の典型的な例がＬＳＩ（大規模集積回路）、超ＬＳＩの
製造工程において使用されるマスクアライナ、電子線描
画装置等の半導体製造装置である。これらの装置におい
ては、サブμｍオーダーの微細な位置決めが必要であり
、位置決めの精度が向上するにしたがってその集積度も
増大し、高性能の製品を製造することができる。

このような微細な位置決めは上記半導体装置に限らず、
電子顕微鏡をはじめとする各種の高倍率光学装置等にお
いても必要であり、その精度向上により、バイオテクノ
ロジ、宇宙開発等の先端技術においてもそれらの発展に
大きく寄与するものである。

従来、このような微細位置決め装置は、例えば「機械設
計」誌、第２７巻第１号（１９８３年１月号）の第３２
頁乃至第３６頁に示されるような種々の型のものや、特
公昭５７−５０４３３号公報に記載の型のものが提案さ
れている。前者の微細位置決め装置は、支持台に２つの
平行な板状ばねにより微動テーブルを連結し、アクチュ
エータで微動テーブルを押圧駆動することによりこれを
並進変位せしめるように構成されている。又、後者の微
細位置決め装置は、円柱状の中央固定部とこれを囲むリ
ング状のステージとの間に、放射状に複数のバイモルフ
形圧電素子が設けられ、このバイモルフ形圧電素子を駆
動することによりステージを回転変位せしめるように構
成されている。

さらに、特公昭６１−２０９８４６号公報には微細位置
決め装置として、並進変位を発生させる平行たわみ梁変
位機構および回転変位を発生させる放射たわみ梁変位機
構が提案されている。平行たわみ梁変位機構は、中央の
剛体部とその両側の剛体部とをそれぞれ互いに平行なた
わみ梁で連結し、中央の剛体部と両側の剛体部との間に
アクチュエータを設け、このアクチュエータを駆動する
ことにより中央の剛体部を並進変位させるように構成さ
れている。又、放射たわみ梁変位機構は、中央の剛体部
とその両側の剛体部とをそれぞれ放射状に延びたたわみ
梁で連結し、中央の剛体部と両側の剛体部との間にアク
チュエータを設け、このアクチュエータを駆動すること
により中央の剛体部を回転変位させるように構成されて
いる。

上述の各構成は、その複数を積重ね又は組合わせること
により複数方向の並進変位、複数軸まわわの回転変位を
行なうことができる。

〔発明が解決しようとする問題点〕

ところで、一般に、ある軸方向の並進変位、ある軸まわ
りの回転変位を複数発生させる多軸微細位置決め装置に
おいては、ある軸に関して所定の変位を発生させようと
する場合、これに伴って干渉変位（その他の軸に関する
変位）が発生するのを避けることはできない。もつとも
、微細位置決め装置自体の加工精度や組立精度を極限ま
で高めれば、あるいは干渉変位の発生を阻止し得る場合
もあり得るが、通常、このような加工、組立は不可能に
近く、又、仮にこれが可能であっても微細位置決め装置
の価格が極端に高価となり実用に適さない。そして、上
記干渉変位の発生が、微細位置決め装置の精度を著しく
低下させるのは明らがである。

本発明の目的は、上記従来技術の問題点を解決し、干渉
変位を補傷して高精度の位置決めを行なうことができる
微細位置決め装置の変位制御装置を提供するにある。

〔問題点を解決するための手段〕

上記の目的を達成するため、本発明は、所定方向の力を
発生する複数の入力部と、これら入力部の入力に対応し
て変位する１つの変位部とで構成された微細位置決め装
置において、この変位部の目標変位を設定する目標変位
設定部と、前記入力部の入力と前記変位部の変位の関係
を表わす特性行列の逆行列および前記目標変位設定部に
設定された目標変位く基づいて前記入力部の入力を演算
する演算部とを設けたことを特徴とする。

〔作　用〕

目標変位設定部に変位部に対する所望の変位を設定する
と、目標変位設定部からはこれに比例した信号が出力さ
れる。演算部は、この信号と記憶されている逆行列とに
基づいて各入力部に対する必要人力値を演算する。演算
された入力値を各入力部に与えると、これら入力部には
その入力値に比例した力が発生し、これらの力により変
位部に所望の変位が生じる。

〔実施例〕 以下、本発明を図示の実施例に基づいて説明する。

第１図は本発明の実施例に係る微細位置決め装置の変位
制御装置のブロック図である。図で、１は複数の自由度
を有する微細位置決め装置を示す。

２は微細位置決め装置１の変位の目標値を設定する目標
変位設定部、３は目標変位設定部２から出力される目標
値に基づいて所定の演算を行なう演算部である。この演
算部３の演算については、微細位置決め装置の具体例に
沿って後述する。演算部３からは、微細位置決め装置１
の変位部に変位を与える駆動力を発生する入力部に対し
て、当該変位が設定された目標値になるような信号が出
力される。４は微細位置決め装置ｌの変位量を検出する
変位検出部である。変位検出部４は、例えば、上記変位
部の変位を外部から測定するレーザ測長器、定められた
位置と当該変位部との間の距離を検出する静電容量形検
出器、当該変位部を変位させるたわみ部材のたわみ量を
検出するひずみゲージ等が用いられる。変位検出部４で
検出された変位は演算部３に入力されて所定の処理が行
なわれる。この処理についても後述する。

次に、本実施例の動作を微細位置決め装置１の具体例に
基づいて説明する。このため、まず、当該具体例の構成
、動作を説明する。

第２図は第１図に示す微細位置決め装置の第１の具体例
の平面図、第３図は第２図に示す微細位置決め装置に用
いられる角柱ヒンジの斜視図である。第３図において、
角柱ヒンジａは、高い剛性を有する角柱部材のほぼ中央
部分の両側に、Ｕ字状の切欠き部ａ、を形成することに
より構成される。ａｌ＋　　ａ！は切欠き部ａ、の両側
の剛体部、ａ４は切欠き部ａ３により形成される薄肉部
である。Ａは薄肉部ａ４の中心を通り切欠き部ａ、の壁
面に平行な軸を示す。

このような角柱ヒンジａにおいて、剛体部ａ。

を固定し、剛体部ａ２に軸Ａを直交する矢印Ｂ方向の力
が作用すると、薄肉部ａ４は容易にたわみ、剛体部ａ２
は軸Ａのまわりに回動する。しかし、他の方向の力やモ
ーメントに対しては高い剛性を示す。第２図に示す微細
位置決め装置１０はこのような角柱ヒンジａを用いて構
成される。

第２図で、１）は高い剛性を有する平板状の固定部材、
１２は高い剛性を有する平板状部材より成り位置決めさ
れる物体が載置される微動テーブルである。微動テーブ
ル１２は固定部材１）に囲まれた位置にあり、かつ、両
者は同一平面上にある。　１３は駆動リンク部材であり
、３つの駆動リンク部材１３１゜１３２）１３３より成
る。駆動リンク部材１３１は、第３図に示すものと同様
の角柱ヒンジ１３１ａ＝、＋、　１３１ａ−ｇ。

１３１ａｎ：＋、で構成されている。１３１ａ、、　１
３１ａｚはいずれも剛体部であり、角柱ヒンジ１３１ａ
、ｔｚからみたとき、それぞれ第３図に示す剛体部１３
１ａｌ、１３１ａｚに相当する。１４は積層形の圧電ア
クチュエータであり、その駆動により固定部材１）に連
結されている角柱ヒンジ１３１ａ４．がたわむ。他の駆
動リン−り部材１３２．１３３の構成はこの駆動リンク
部材１３１の構成と同じであるので、その説明は省略す
る。

次に、この微細位置決め装置ＩＯの動作を第４図に示す
リンク機構を参照しながら説明する。第４図は、第２図
に示す微細位置決め装置１０のリンク機構の模式図であ
り、丸印は各角柱ヒンジの薄肉部、直線は剛体部を示し
、又、小さな三角は固定部材１）を示す。

今、駆動リンク部材１３１を駆動する圧電アクチュエー
タ１４のみが伸びる方向に駆動されたとする。

この場合、駆動リンク部材１３２．１３３の角柱ヒンジ
１３２ａ４ｚ、　１３３ａ＝−は固定された状態にある
と考えられる。圧電アクチュエータ１４が上記のように
駆動されたときの瞬間的な動きをみると、駆動リンク部
材１３１の剛体部１３１ａ　＋　は角柱ヒンジ１３１ａ
４＋の薄肉部を中心に矢印方向に回動し、剛体部１３１
ａｚは第４図で左方に押される。このため、角柱ヒンジ
１３１ａ４３．１３２ａ、、　１３３ａ４３の薄肉部は
それぞれ矢印方向にたわみ、結局、微動テーブル１２は
回動する。

この回動の中心は、各角柱ヒンジ１３１ａｎ−ｓ、　１
３２ａｉｓ。

１３３ａ４ｓのたわみの接線に垂直な線上の点Ｏ′とな
る。

なお、この動作は瞬間的なものであり、中心０′も移動
してゆくことになるが、微細位置決め装置１０がμｍ、
又はサブμｍの変位を行うものであるので、微動テーブ
ル１２の変位は、その瞬間的運動を考えれば充分である
。

上記の例では、１つの圧電アクチュエータ１４のみを駆
動したときの微動テーブル１２の動きを例示した。しか
し、各圧電アクチュエータ１４を選択的に適宜量駆動す
れば、微動テーブル１２に対して、紙面上の直交軸方向
（Ｘ軸、ｙ軸方向）成分の並進変位および紙面に垂直な
軸まわり（２軸まわり）の回転変位、即ち３自由度の変
位を与えることができるのは明らかである。

ここで、第２図に示すようにＸ軸、ｙ軸、Ｚ軸（紙面に
垂直な軸）を定めると、この微細位置決め装置１０は、
Ｘ軸方向の並進変位、ｙ軸方向の並進変位、および２軸
まわりの回転変位を行なう３自由度（３軸）の微細位置
決め装置である。今、微動テーブル１２のＸ軸方向の変
位をｘ、ｙ軸方向の変位をｙ、ｚ軸まわりの変位をθと
し、各圧電アクチュエータ１４の変位をそれぞれα１．
α２゜α、とすると、変位ｘ、　　ｙ、　　θは次式で
表わされる。

（１）式で、値ｆ、、ｆ、、ｆθは変位α１．α２゜α
、が与えられると定まる値である。変位Ｘ、）’。

θ、α２．α２．α３の変位量は小さいので、これらを
ΔＸ、Δｙ、Δθ、Δα４．Δα２．Δα。

とすると、（１）式は次の微分方程式で表わされる。

上記（２）式のうち、ΔＸの式は、各圧電アクチュエー
タ１４に変位６７軍、Δα２．Δα３を発生せしめると
、微動テーブル１２にある変位が与えられるが、その変
位のうちＸ方向の変位はΔＸになるということを意味す
る。Δｙ、Δθの各式についでも同様である。

（２）式は次の行列式で表現することができる。

ζ３） ここで、ａｆＸ／９α冨、・・・・・　ａｆθ／θα３
で表わされる行列をＪとすると、（３）式は次のように
なる。なお、上記行列Ｊはヤコビ行列と称されている。

（４）式は、上述のように、各圧電アクチュエータ１４
に変位Δα１．Δα２．Δα３を発生せしめたとき、微
動テーブル１２のＸ軸方向、ｙ軸方向、２軸まわりの変
位はどうなるかを表わす式である。しかしながら、一般
には、微動テーブル１２の変位ΔＸ、Δｙ、Δθは所望
する値（目標値）となるので既知であり、必要とするの
は、これら目標値を得るための各圧電アクチュエータの
変位Δα、。

Δα２．Δα、である。したがって（４）式は次のよう
に書換えられる。

上記（５）式は、微動テーブル１２にΔＸ、Δｙ、Δθ
の変位を与えるには、各圧電アクチュエータ１４にそれ
ぞれどれだけの変位を発生させればよいかを表わす式で
ある。なお、行列Ｊ−１は行列Ｊの逆行列であり、逆ヤ
コビ行列と称される。

１４）、　＋５）式におけるヤコビ行列Ｊ、逆ヤコビ行
列Ｊ−１は、本来、微細位置決め装置１０の設計値から
求め得るものである。しかし、その製造時における設計
誤差は前述のように不可避であるので、実際上は変位検
出部４の変位測定値により求められる。

ここで、第１図に示す本実施例の動作を説明する。まず
、演算部３に、測定により求められた逆ヤコビ行列Ｊ−
１を記憶しておく。この状態で、目標変位設定部２に微
動テーブル１２の目標変位（上記（５）式における変位
ΔＸ、Δｙ、Δθ）を設定する。この設定値は演算部３
に入力され、演算部３では記憶している逆ヤコビ行列Ｊ
−１を用いて（５）式の演算が実行される。この結果、
微動テーブル１２を目標値に変位させるのに必要な各圧
電アクチュエータ１４の変位量（上記（５）式のΔα１
．Δα２゜Δα、）が得られる。したがって、各圧電ア
クチュエータ１４には当該変位量を発生させる電圧が印
加される。これにより、微動テーブル１２には目標値に
一致した変位を与えることができる。即ち、微細位置決
め装置１０は、その設計誤差や干渉変位の如何にかかわ
らず、極めて精度の高い変位を行なうことができる。

ところで、上記変位制御装置においては、一旦逆ヤコピ
行列Ｊ−１が得られれば、これを用いて高精度の変位制
御を実行することができる。したがって、変位検出部４
は、逆ヤコビ行列Ｊ−１が得られた後は不要である。し
かし、逆ヤコビ行列Ｊ−１の値は、微細位置決め装置の
経年変化や環境の変化等により僅かながら変化すること
がある。そこで、より一層正確な逆ヤコビ行列Ｊ−１を
得るため、本実施例では次の手段が採用される。

即ち、微細位置決め装置１０の設置個所の環境が変化し
たり、長期間経過している場合には、適宜時期に各圧電
アクチュエータ１４に対しである値の変位を発生させ、
そのときの微動テーブル１２の変位を変位検出部４によ
り測定する。今、このような測定をｎ回行なったとする
と、これにより次の行列が作られる。

なお、上記（６）式で、行列の各値の右肩に付された数
字は測定回（２であれば第２回測定）を表わす。

（６）式における値Δｘ＋・・・・Δθ７の行列をＸ、
値Δα、′・・・・Δαｒの行列をＥで表わすと、ヤコ
ビ行列Ｊは最小２乗法による次式から求めることができ
る。

Ｊ＝Ｘ−ＥＴ　・　（Ｅ　−Ｅ”　）　−’　−−−−
−−−−−−−−−−−一・・・・（７）（７）式で、
行列Ｅ７は行列Ｅの転置行列を表わす。

演算部３では、（７）式の演算を行ない、この演算から
逆ヤコビ行列Ｊ−１を求め、これをそれまで記憶されて
いた逆ヤコビ行列Ｊ−１と入れ換える。即ち、逆ヤコビ
行列Ｊ−１を修正する。これにより、より一層精度の高
い変位制御を行なうことができる。

なお、このような修正は漸化式を用いることにより行な
ってもよい。

次に、微細位置決め装置１の他の具体例について述べる
。第５図は第１図に示す微細位置決め装置の第２の具体
例の斜視図である。図で、２０はこの具体例の微細位置
決め装置、２１は固定部材、２２は微動テーブルである
。２３１〜２３６は固定部材２１と微動テーブル２２と
の間に連結された６個の駆動リンク部材である。駆動リ
ンク部材２３１は微動テーブル２２の側面にかつ微動テ
ーブル２２の面とほぼ同一面に沿った状態で連結され、
駆動リンク部材２３２）２３３は微動テーブル２２の側
面に駆動リンク部材２３１と直交方向に連結されている
。駆動リンク部材２３４〜２３６は微動テーブル２２の
下面にこれと垂直に連結されている。

ここで、各駆動リンク部材の構成を図により説明する。

第６図Ｔａ）は駆動リンク部材の側面図、第６図（ｂ）
は駆動リンク部材に使用される円柱ヒンジの斜視図であ
る。第６図（ｂｌで、円柱ヒンジｂは、高い剛性を有す
る円柱部材のほぼ中央円周部分に、断面Ｖ字状の切欠き
部す、を形成することにより構成される。ｂ、、ｂ、は
切欠き部す、の両側の剛体部、ｂ４は切欠き部す、によ
り形成される極小径部である。Ａは極小径部ｂ４．剛体
部す、。

ｂ２の中心を通る軸を示す。

今、剛体部ｂ２を固定し、剛体部す、に軸Ａまわりのモ
ーメントを作用させると、極小径部ｂ４が捩れることに
より剛体部ｂ１は軸Ａを中心として回動する。又、剛体
部ｂ１に軸Ａと直交する軸まわりのモーメントを作用さ
せると、剛体部す。

は当該軸まわりに回動する。しかし、軸Ａ方向に作用す
る力に対しては高い剛性を示す。

次に、第６図（ａ）は第５図に示す駆動リンク部材２３
１を示すものであり、２３１ｂは第６図山）に示す円柱
ヒンジ、２３１ｃは並進ジヨイントである。並進ジヨイ
ント２３１ｃは多数積層された圧電素子で構成されてお
り、電圧が印加されることにより軸Ａ方向に伸縮する。

駆動リンク部材２３１は、軸Ａを中心に、これに沿って
１つの並進ジヨイント２３１ｃおよびその両端に結合さ
れた２つの円柱ヒンジ２３１ｂで構成される。他の駆動
リンク部材２３２〜２３６も駆動リンク部材２３１　と
同じ構成であるので説明は省略する。

次に、この具体例の微細位置決め装置２０の動作の概略
を説明する。駆動リンク部材２３１のみを駆動すると、
微動テーブル２２は駆動リンク部材２３１の軸Ａ方向に
並進変位し、又、駆動リンク部材２３２゜２３３を同量
駆動すると、微動テーブル２２はそれらの軸Ａ方向に並
進変位する。さらに、駆動リンク部材２３４．２３５．
２３６を同量駆動すると、微動テーブル２２はそれらの
軸Ａ方向（図の上方）に並進変位する。又、駆動リンク
部材２３２．２３３を異なる量駆動すると、微動テーブ
ル２２はその平面内で回転変位する。又、駆動リンク部
材２３４．２３５．２３６を選択的に異なる量駆動する
と、微動テーブル２２はこれに応じてその面に平行な軸
まわりに回転変位する。これら変位において、駆動され
ない駆動リンク部材は、変位中に微動テーブル２２から
伝達される荷重に対して自由にたわみ、微動テーブル２
２の変位を妨げることはない。

以上の説明から、本具体例の微細位置決め装置２０は、
各駆動リンク部材２３１〜２３６を選択的に駆動するこ
とにより、６自由度の変位を得ることができるのは明ら
かである。この具体例の微細位置決め装置２０を用いた
場合の変位制御については、以下に述べる第３の具体例
の微細位置決め装置の変位制御とともに説明する。

第７図は第１図に示す微細位置決め装置の第３の具体例
の斜視図である。図で、３０は本具体例の微細位置決め
装置、３１は板状の固定部材、３２は固定部材３１と対
向する位置に配置された微動テーブルである。３３１〜
３３６は第６図（ａ）に示すものと同じく、並進ジヨイ
ントとその両側に結合された円柱ヒンジで構成される駆
動リンク部材である。これら各駆動リンク部材３３１〜
３３６は、対向配置された固定部材３１と微動テーブル
３２との間に連結されている。第５図に示される微細位
置決め装置２０と本具体例の微細位置決め装置３０とは
、前者がその駆動リンク部材２３１〜２３６の互いの配
置にそれらの軸が互いにほぼ直交又は平行であるという
規則性を有するのに対し、後者はその駆動リンク部材３
３１〜３３６の互いの配置にそのような規則性を有さな
い点で相違する。

しかしながら、第５図に示される微細位置決め装置２０
の動作の説明から、本具体例の微細位置決め装置３０も
、駆動リンク部材３３１〜３３６を選択的に駆動するこ
とにより６自由度の変位を得ることができるのは、容易
に類推し得るものと考える。

そして、両微細位置決め装置２０．３０とも、その変位
制御は同一の手法で実施される。

次に、両微細位置決め装置２０．３０の変位制御につい
て説明する。まず、微動テーブル２２．３２のＸ。

Ｙｒ　　Ｚ軸方向の微小並進変位をそれぞれΔＸ、Δｙ
。

Δ２．又、ｘ、ｙ、ｚ軸まわりの回転変位をそれぞれΔ
θ８．Δθ７．Δθ８、さらに６つの駆動リンク部材２
３１〜２３６．３３１〜３３６の並進ジ日インドの変位
をそれぞれα１〜α、とすると、変位ΔＸ、Δｙ、Δ２
．Δθ８．Δθ７．Δθヨの勘分方程式は前記（２）式
に準じて次のように表わされる。

ａ　“、　　　　　　　　　　　　　　　　　　９　α
６θ　α１　　　　　　　　　　　　　　　　　　θ　
α６８　α１　　　　　　　　　　　　　　　　　　θ
　α−ａ　α１　　　　　　　　　　　　　　　　　９
　α。

ａ　αＩ　　　　　　　　　　　　　　　　　　０　α
６θ　α、　　　　　　　　　　　　　　　　　　　９
　　αｂこの（８）式を行列で表現すると、前記（３）
弐に順して次式のようになる。

も求めることができる。

このようにして求められた逆ヤコビ行列Ｊ−１を第１図
に示す演算部３に記憶させておき、目標変位設定部２に
微動テーブル２２．３２の目標変位（ΔＸ。

Δｙ、Δ２．Δθ８．Δθ９．Δθ３）を設定する。演
算部３では、この目標変位と記憶する逆ヤコビ行列Ｊ−
１を用いて次式の演算を実行し、目標変位を得るための
各駆動リンク部材２３１〜２３６゜３３１〜３３６の各
並進ジヨイントの所要変位（Δα１〜Δα６）を算出す
る。

算出された変位Δα１〜Δα６は微細位置決め装置２０
．３０に出力され、これに応じた電圧が各並進ジヨイン
トを構成する圧電アクチュエータに印加される。この結
果、微動テーブル２２．３２を目標変位に対して高精度
で変位せしめることができる。

上記逆ヤコビ行列、７−１の修正は、第１の具体例の微
細位置決め装置ｌＯにおける場合と全く同様に、（７）
式の最小２乗法により、又は漸化式を用いて行なわれる
。

なお、上記微細位置決め装置の具体例において、駆動リ
ンク部材として角柱ヒンジの複数の結合による構成、円
柱ヒンジと並進ジヨイントの組合せ構成を例示したが、
その他、種々のヒンジ、ジヨイント、たわみ部材の組合
せ構成が考えられる。

このように、本実施例では、目標変位を設定し、この設
定値と逆ヤコビ行列に基づいて圧電アクチュエータの所
要の変位を演算し、これにより圧電アクチュエータを変
位せしめるようにしたので、設計誤差や干渉変位の存在
の如何にかかわらず、微動テーブルを高い精度で変位せ
しめることができる。又、適宜逆ヤコビ行列の修正を行
なうようにしたので、構造の経年変化や環境変化が生じ
ても高い変位精度を維持することができる。

なお、上記実施例の説明では、逆ヤコビ行列を用いた微
細位置決め装置の変位制御および当該逆ヤコビ行列の修
正について述べた。しかしながら、逆ヤコビ行列は一度
設定した後は、これを修正しなくても充分に高精度の変
位を得ることができ、必ずしも修正を必要としない。又
、上記微細位置決め装置の具体例として３つの例を示し
たが、本発明の変位制御はこれらのような微細位置決め
装置に適用されるだけではなく、従来の組合せ型。

積重ね型、その他の型の微細位置決め装置に適用できる
のは明らかである。

〔発明の効果〕

以上述べたように、本発明では、目標変位を設定し、微
細位置決め装置の入力部の入力と当該微細位置決め装置
の変位部の変位との関係を決定する特性行列の逆行列と
前記設定された目標変位とに基づいて前記入力部の入力
を演算し、これにより変位部の変位制御を行なうように
したので、設計誤差や干渉変位が存在していても、変位
部を高い精度で変位制御することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例に係る微細位置決め装置の変位
制御装置のブロック図、第２図は第１図に示す微細位置
決め装置の第１の具体例の平面図、第３図は角柱ヒンジ
の斜視図、第４図は第２図に示す装置のリンク機構の模
式図、第５図は第１図に示す微細位置決め装置の第２の
具体例の斜視図、第６図Ｔａｌ、　（ｂ）は駆動リンク
部材の側面図および円柱ヒンジの斜視図、第７図は第１
図に示す微細位置決め装置の第３の具体例の斜視図であ
る。 １　、１０．２０．３０・・・微細位置決め装置、２・
・・目標変位設定部、３・・・演算部、１２．２２．３
２・・・微動テーフ゛ル、１３１〜１３３．２３１〜２
３６．３３１〜３３６・・・罵区動リンク部材。 第１図 １）・・・固定部付 １２・・・卆吹勧チー７’Ｊν １３１〜１３３・・、ｌ１ｆｆｔ力１ルク８引士ａ・・
・角オ主ζシジ 第３図 第５図 （ａ） 第７図 ３１・・・固定嵜１３材 ３２・・・布交重カテーフつし

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）所定方向の力を発生する複数の入力部と、これら
   入力部の入力に対応して変位する１つの変位部とで構成
   された微細位置決め装置において、この変位部の目標変
   位を設定する目標変位設定部と、前記入力部の入力と前
   記変位部の変位の関係を決定する特性行列の逆行列およ
   び前記目標変位設定部に設定された目標変位に基づいて
   前記入力部の入力を演算する演算部とを設けたことを特
   徴とする微細位置決め装置の変位制御装置。
2. （２）特許請求の範囲第（１）項において、前記演算部
   は、前記入力部の入力を演算する演算手段と、前記入力
   部に入力された値および当該入力による前記変位部の変
   位量を記憶する記憶手段と、この記憶手段に記憶された
   値に基づいて前記逆行列を修正する修正手段とを備えて
   いることを特徴とする微細位置決め装置の変位制御装置
   。