JPS63225115A - 検査、組付等のための作業対象領域計測設定方法 - Google Patents
検査、組付等のための作業対象領域計測設定方法Info
- Publication number
- JPS63225115A JPS63225115A JP62059792A JP5979287A JPS63225115A JP S63225115 A JPS63225115 A JP S63225115A JP 62059792 A JP62059792 A JP 62059792A JP 5979287 A JP5979287 A JP 5979287A JP S63225115 A JPS63225115 A JP S63225115A
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- Japan
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- reference position
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Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 30
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title claims description 13
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 8
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 abstract description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
Landscapes
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の目的
(産業上の利用分野)
本発明は検査、組付等のための作業ステーションへ送り
込まれたプリント基板、電子部品等の検査、組付等の対
象領域を計測設定する方法に関するものである。
込まれたプリント基板、電子部品等の検査、組付等の対
象領域を計測設定する方法に関するものである。
(従来の技術)
プリント基板、電子部品等の検査、組付等の作業対象物
を所定の作業ステーションの適正位置に送り込み配置す
るため、従来では作業対象物を把持するチャック機構が
作業ステーションに設置されており、このチャック機構
により作業対象物の位置決め保持が行われるようになっ
ている。
を所定の作業ステーションの適正位置に送り込み配置す
るため、従来では作業対象物を把持するチャック機構が
作業ステーションに設置されており、このチャック機構
により作業対象物の位置決め保持が行われるようになっ
ている。
(発明が解決しようとする問題点)
ところが、チャック機構の把持作用により作業対象物が
損傷を受けたり、把持ミスが発生する等の問題がある上
、高価なチャック機構の採用によるコストアップ、チャ
ック機構の把持動作の占有時間に起因する作業ロス等も
無視できない。
損傷を受けたり、把持ミスが発生する等の問題がある上
、高価なチャック機構の採用によるコストアップ、チャ
ック機構の把持動作の占有時間に起因する作業ロス等も
無視できない。
発明の構成
(問題点を解決するための手段)
そこで本発明では、作業ステーションへ送り込まれる作
業対象物の予め設定された基準位置と作業ステーション
へ送り込まれた対象物の送り込み位置とのずれ量を視覚
装置等により検出し、前記基準位置上の作業対象物にお
ける作業対象領域位置に前記ずれ量の補正を施して変換
作業対象領域を設定し、この変換設定された作業対象領
域に対して検査、組付等の作業を行なうようにした。
業対象物の予め設定された基準位置と作業ステーション
へ送り込まれた対象物の送り込み位置とのずれ量を視覚
装置等により検出し、前記基準位置上の作業対象物にお
ける作業対象領域位置に前記ずれ量の補正を施して変換
作業対象領域を設定し、この変換設定された作業対象領
域に対して検査、組付等の作業を行なうようにした。
(作用)
即ち、例えばカメラを用いた視覚装置によるプリント基
板等の対象物の検査を行なう場合、作業ステーションへ
送り込まれた検査対象物の画像が前記カメラから取り込
まれ、この取り込まれた画像データと予め設定された基
準位置における画像データとの比較に基づいて基準位置
に対する送り込み位置のずれ量が算出される。この算出
されたずれ量の補正が基準位置上の作業対象物における
作業対象領域位置に施され、新たな作業対象領域が変換
設定される。これにより検査対象物が本来の適正送り込
み位置、つまり基準位置に送りこまれなかった場合にも
、前記カメラは検査対象物上の検査対象領域まで正確に
移動され、同カメラによる視覚検査がミスな(行われる
。
板等の対象物の検査を行なう場合、作業ステーションへ
送り込まれた検査対象物の画像が前記カメラから取り込
まれ、この取り込まれた画像データと予め設定された基
準位置における画像データとの比較に基づいて基準位置
に対する送り込み位置のずれ量が算出される。この算出
されたずれ量の補正が基準位置上の作業対象物における
作業対象領域位置に施され、新たな作業対象領域が変換
設定される。これにより検査対象物が本来の適正送り込
み位置、つまり基準位置に送りこまれなかった場合にも
、前記カメラは検査対象物上の検査対象領域まで正確に
移動され、同カメラによる視覚検査がミスな(行われる
。
前記ずれ量の計測は視覚装置に限らず磁気変位センサ、
光電センサ等によっても可能であり、さらには検査に限
らず組付の対象領域の設定も同様に行なうことができる
。
光電センサ等によっても可能であり、さらには検査に限
らず組付の対象領域の設定も同様に行なうことができる
。
(実施例)
以下、本発明を具体化した一実施例を図面に基づいて説
明する。
明する。
第1図に示すように一対のレールからなる搬送用コンベ
ア1の上方には一対の支持ボックス2゜3が搬送用コン
ベア1の搬送方向に対向設置されており、一方の支持ボ
ックス2にはパルスモータM1が装着されている。両支
持ボックス2.3間にはガイドロッド4が架設支持され
ていると共に、モータM1の駆動ねじ5が回転可能かつ
ガイドロッド4と平行に架設支持されており、ガイドロ
ッド4及び駆動ねじ5には移動台6がスライド可能及び
螺合移動可能に支持されている。移動台6にはガイドロ
ッド7がガイドロッド4及び駆動ねじ5と直交するよう
に固定支持されており、その先端部には支持台8が固定
支持されている。支持台8にはパルスモータM2が装着
されており、その駆動ねじ9が移動台6と支持台8との
間に回転可能かつガイドロッド7と平行に架設支持され
ている。ガイドロッド7及び駆動ねじ9には取付体10
がスライド可能及び螺合移動可能に支持されており、そ
の下面には画像取り込み用カメラ11が吊下支持されて
いる。
ア1の上方には一対の支持ボックス2゜3が搬送用コン
ベア1の搬送方向に対向設置されており、一方の支持ボ
ックス2にはパルスモータM1が装着されている。両支
持ボックス2.3間にはガイドロッド4が架設支持され
ていると共に、モータM1の駆動ねじ5が回転可能かつ
ガイドロッド4と平行に架設支持されており、ガイドロ
ッド4及び駆動ねじ5には移動台6がスライド可能及び
螺合移動可能に支持されている。移動台6にはガイドロ
ッド7がガイドロッド4及び駆動ねじ5と直交するよう
に固定支持されており、その先端部には支持台8が固定
支持されている。支持台8にはパルスモータM2が装着
されており、その駆動ねじ9が移動台6と支持台8との
間に回転可能かつガイドロッド7と平行に架設支持され
ている。ガイドロッド7及び駆動ねじ9には取付体10
がスライド可能及び螺合移動可能に支持されており、そ
の下面には画像取り込み用カメラ11が吊下支持されて
いる。
パルスモータMl、M2はマイクロコンピュータ等より
なる制御装置Cからの指令に基づいて作動され、制御装
置Cは取り込まれた画像データに基づいて両モータMl
、M2に作動指令を送る。
なる制御装置Cからの指令に基づいて作動され、制御装
置Cは取り込まれた画像データに基づいて両モータMl
、M2に作動指令を送る。
制御装置Cから出力される作動指令信号は変換器12に
てパルス量に変換され、この変換されたパルス信号がモ
ータ駆動部13に入力される。これにより取付体10が
ガイドロッド4,7、駆動ねじ5,9を含む平面内を移
動し、カメラ11の下方に設定される検査ステーション
Sがカメラ11の視野に捉えられる。第1図に示す原点
位置上のカメラ11はその下方の位置ずれ計測領域fを
視野として取り込み、カメラ11の側方近傍に設置され
たランプ14が位置ずれ計測領域fを照射する。
てパルス量に変換され、この変換されたパルス信号がモ
ータ駆動部13に入力される。これにより取付体10が
ガイドロッド4,7、駆動ねじ5,9を含む平面内を移
動し、カメラ11の下方に設定される検査ステーション
Sがカメラ11の視野に捉えられる。第1図に示す原点
位置上のカメラ11はその下方の位置ずれ計測領域fを
視野として取り込み、カメラ11の側方近傍に設置され
たランプ14が位置ずれ計測領域fを照射する。
この実施例ではプリント基板Wが検査対象物であり、搬
送用コンベア1上に整列3!置された多数のプリント基
板Wが検査ステーションSへ順次間欠送りされる。検査
ステーションSへ送りこまれるプリント基板Wの検査ス
テーションSにおける基準位置は第2図に示すように位
置ずれ計測領域fに対して実線で示す位置に設定されて
おり、プリント基板Wの角部P1で代表するプリント基
板Wの基準位置は設定されたx−y平面上の〔X(b)
、y (b))及びカメラ視野上の座標〔X(b)、Y
(b))で表されると共に、位置ずれ計測領域fはその
角部P2の座標(x(f)、y(f)〕で表される。こ
のようにx−y平面上で設定された位置ずれ計測領域f
の位置(x(f)。
送用コンベア1上に整列3!置された多数のプリント基
板Wが検査ステーションSへ順次間欠送りされる。検査
ステーションSへ送りこまれるプリント基板Wの検査ス
テーションSにおける基準位置は第2図に示すように位
置ずれ計測領域fに対して実線で示す位置に設定されて
おり、プリント基板Wの角部P1で代表するプリント基
板Wの基準位置は設定されたx−y平面上の〔X(b)
、y (b))及びカメラ視野上の座標〔X(b)、Y
(b))で表されると共に、位置ずれ計測領域fはその
角部P2の座標(x(f)、y(f)〕で表される。こ
のようにx−y平面上で設定された位置ずれ計測領域f
の位置(x(f)。
y(f))及びプリント基板Wの基準位置〔X(b)、
y(b))及び(X (b)、 Y (b) )は制御
装置Cに予め入力設定されている。又、プリント基板W
上の検査対象領域f1はその角部P3の座標(x (f
1)、 y (f 1))で表され、同様に制御装
置Cに入力設定されている。
y(b))及び(X (b)、 Y (b) )は制御
装置Cに予め入力設定されている。又、プリント基板W
上の検査対象領域f1はその角部P3の座標(x (f
1)、 y (f 1))で表され、同様に制御装
置Cに入力設定されている。
プリント基板Wの検査は第3図に示すフローチャートに
従って遂行されるようになっており、以下にこの作用を
説明する。
従って遂行されるようになっており、以下にこの作用を
説明する。
さて、カメラ11は第1図に示す原点位置上に配置され
ており、この配置状態でプリント基板Wが検査ステーシ
ョンS上へ送り込み配置される。
ており、この配置状態でプリント基板Wが検査ステーシ
ョンS上へ送り込み配置される。
検査ステーションSへ送り込まれたプリント基板Wはラ
ンプ14から位置ずれ計測領域fへ照射される光を反射
し、この反射光がカメラ11に入射する。従って、プリ
ント基板Wが基準位W(x(b)、y (b))へ正確
に送り込み配置された場合には、カメラ11により取り
こまれる位置ずれ計測領域fの画像は、X座標(X (
b)、Y)からX−Y座標原点側が暗部、反対側が明部
となり、明暗部の境界が送り込まれたプリント基板Wの
X座標を示す。プリント基板Wが例えば第2図の鎖線位
置へ送り込み配置された場合には、カメラ11により取
りこまれる位置ずれ計測領域fの画像は、X座標(X
(m)、Y)からX−Y座標原点側が暗部、反対側が明
部となり、明暗部の境界が送り込まれたプリント基板W
のX座標を示す。
ンプ14から位置ずれ計測領域fへ照射される光を反射
し、この反射光がカメラ11に入射する。従って、プリ
ント基板Wが基準位W(x(b)、y (b))へ正確
に送り込み配置された場合には、カメラ11により取り
こまれる位置ずれ計測領域fの画像は、X座標(X (
b)、Y)からX−Y座標原点側が暗部、反対側が明部
となり、明暗部の境界が送り込まれたプリント基板Wの
X座標を示す。プリント基板Wが例えば第2図の鎖線位
置へ送り込み配置された場合には、カメラ11により取
りこまれる位置ずれ計測領域fの画像は、X座標(X
(m)、Y)からX−Y座標原点側が暗部、反対側が明
部となり、明暗部の境界が送り込まれたプリント基板W
のX座標を示す。
この取りこまれた位置ずれ計測領域fの画像データは制
御装置Cに記憶保持され、送り込み位置計測のための処
理を受ける。明暗境界部の位置計測は位置ずれ計測領域
fのX座標原点〔X(0)。
御装置Cに記憶保持され、送り込み位置計測のための処
理を受ける。明暗境界部の位置計測は位置ずれ計測領域
fのX座標原点〔X(0)。
Y (0) )から明暗境界部までの距離をカメラクロ
ックのカウントにより行われ、この計数値が画像データ
として制御装置Cに把握される。制御袋WCに予め入力
設定されている座標(X(b)。
ックのカウントにより行われ、この計数値が画像データ
として制御装置Cに把握される。制御袋WCに予め入力
設定されている座標(X(b)。
Y(b))、 も同様の計数値として把握されている
。一方、カメラ移動に必要な、機械的なx、 X座標
(x (b)、 y (b) )、 (x H1)
、 y(f1))も予め入力設定されている。
。一方、カメラ移動に必要な、機械的なx、 X座標
(x (b)、 y (b) )、 (x H1)
、 y(f1))も予め入力設定されている。
制御装置Cはこのような計測により得られるプリント基
板Wの送り込み位置と基準位置(X (b)、Y(b)
)とを比較演算し、基準位置〔X(b)、Y(b))に
対する送り込み位置のずれ量Δxを算出する。プリント
基板Wが基準位置に送り込み配置された場合にはΔx=
0、プリント基板Wが第2図の鎖線位置へ送り込み配置
された場合にはΔx=X (b)−X (m)となる。
板Wの送り込み位置と基準位置(X (b)、Y(b)
)とを比較演算し、基準位置〔X(b)、Y(b))に
対する送り込み位置のずれ量Δxを算出する。プリント
基板Wが基準位置に送り込み配置された場合にはΔx=
0、プリント基板Wが第2図の鎖線位置へ送り込み配置
された場合にはΔx=X (b)−X (m)となる。
制御装置CはΔx=0の場合にはカメラ移動量として〔
x N) −x (f 1)、 y (f) −y(
f1))を算出し、この算出移動量が変換器12にてモ
ータ駆動用パルス量[Px (b)、Py(b)]に変
換される。これによりモータ駆動部13は算出されたX
成分パルスiPx (b)相当分だけモータM1を正転
作動すると共に、y成分パルス’WkPy (b)相当
分だけモータM2を逆転作動する。プリント基板Wが基
準位置(X(b)。
x N) −x (f 1)、 y (f) −y(
f1))を算出し、この算出移動量が変換器12にてモ
ータ駆動用パルス量[Px (b)、Py(b)]に変
換される。これによりモータ駆動部13は算出されたX
成分パルスiPx (b)相当分だけモータM1を正転
作動すると共に、y成分パルス’WkPy (b)相当
分だけモータM2を逆転作動する。プリント基板Wが基
準位置(X(b)。
y(b))へ送り込み配置されたときのプリント基板W
上の検査対象領域f1は座標(x(f1)。
上の検査対象領域f1は座標(x(f1)。
y(f1)]に配置されており、それ故にカメラ11は
対象領域「1を視野に捉える位置まで正確に移動し、対
象領域f1の検査画像がずれを生じることなくカメラ1
1により取り込まれる。
対象領域「1を視野に捉える位置まで正確に移動し、対
象領域f1の検査画像がずれを生じることなくカメラ1
1により取り込まれる。
制御装置CはΔx≠0の場合にはカメラ移動量としてΔ
xにカメラ倍率を考慮した係数を掛けたΔxを用いて(
x (f)−x N 1)−Δx、 y(f)−y
H1))を算出し、この算出移動量が変換器12にてモ
ータ駆動用パルス[1(Px(Δx)、Py (b))
に変換される。これによりモータ駆動部13は算出され
たX成分パルス量Px(Δx)相当分だけモータM1を
正転作動すると共に、y成分パルス1iPy (b)相
当分だけモータM2を逆転作動する。即ち、プリント基
板Wが位置(x (m) 、 y (b) )へ送り
込み配置されたときのプリント基板W上の検査対象領域
は座標(x (f2)、y (f2))に配置されてい
るが、カメラ11の検査対象視野もずれ量Δxに基づい
て基準位置(x (b) 、 y (b) )に対し
て変換されており、それ故にカメラ11は位置(x (
m) 、 y (b) )へ送り込み配置されたプリ
ント基板W上の対象領域r2を視野に捉える位置まで正
確に移動し、対象領域f2の検査画像がずれを生じるこ
となくカメラ11により取り込まれる。このカメラ11
の視野変換はx−y平面上において検査対象領域f1を
検査対象領域r2に変換したことと同等であり、ずれ量
Δxに基づいて行われる対象領域変換がチャック機構を
用いた従来のプリント基板Wの位置決め方法に内在する
種々の問題を解消する。即ち、本実施例の機構では従来
のチャック機構に比して検査対象領域設定が正確かつ安
定となると共に、設定に要する時間が短縮されて作業効
率が向上し、コスト的にも有利である。
xにカメラ倍率を考慮した係数を掛けたΔxを用いて(
x (f)−x N 1)−Δx、 y(f)−y
H1))を算出し、この算出移動量が変換器12にてモ
ータ駆動用パルス[1(Px(Δx)、Py (b))
に変換される。これによりモータ駆動部13は算出され
たX成分パルス量Px(Δx)相当分だけモータM1を
正転作動すると共に、y成分パルス1iPy (b)相
当分だけモータM2を逆転作動する。即ち、プリント基
板Wが位置(x (m) 、 y (b) )へ送り
込み配置されたときのプリント基板W上の検査対象領域
は座標(x (f2)、y (f2))に配置されてい
るが、カメラ11の検査対象視野もずれ量Δxに基づい
て基準位置(x (b) 、 y (b) )に対し
て変換されており、それ故にカメラ11は位置(x (
m) 、 y (b) )へ送り込み配置されたプリ
ント基板W上の対象領域r2を視野に捉える位置まで正
確に移動し、対象領域f2の検査画像がずれを生じるこ
となくカメラ11により取り込まれる。このカメラ11
の視野変換はx−y平面上において検査対象領域f1を
検査対象領域r2に変換したことと同等であり、ずれ量
Δxに基づいて行われる対象領域変換がチャック機構を
用いた従来のプリント基板Wの位置決め方法に内在する
種々の問題を解消する。即ち、本実施例の機構では従来
のチャック機構に比して検査対象領域設定が正確かつ安
定となると共に、設定に要する時間が短縮されて作業効
率が向上し、コスト的にも有利である。
検査対象領域の画像取り込み後、制御装置CはモータM
1に逆転作動指令を送ると共に、モータM2に正転作動
指令を送り、カメラ11が原点位置へ復帰する。そして
、新たなプリント基板Wが検査ステーションS上へ送り
こまれ、前記と同様の対象領域変換及び対象領域の画像
取り込みが行われる。
1に逆転作動指令を送ると共に、モータM2に正転作動
指令を送り、カメラ11が原点位置へ復帰する。そして
、新たなプリント基板Wが検査ステーションS上へ送り
こまれ、前記と同様の対象領域変換及び対象領域の画像
取り込みが行われる。
なお、本実施例ではX軸方向のみのずれを想定している
が、y軸方向のずれに対しても同様の対象領域変換及び
対象領域の画像取り込みを行なうことができる。
が、y軸方向のずれに対しても同様の対象領域変換及び
対象領域の画像取り込みを行なうことができる。
本発明は勿論前記実施例にのみ限定されるものではなく
、例えばプリント基板以外にも電子部品等を検査対象と
することができ、これら各検査対象物の基準位置に対す
る送り込み位置のずれ量検出手段としては検査対象物に
よっては光電センサ、磁気変位センサあるいはポテンシ
ョメータ等の採用が可能である。又、本発明は検査に限
らず組付作業の対象物にも適用可能である。
、例えばプリント基板以外にも電子部品等を検査対象と
することができ、これら各検査対象物の基準位置に対す
る送り込み位置のずれ量検出手段としては検査対象物に
よっては光電センサ、磁気変位センサあるいはポテンシ
ョメータ等の採用が可能である。又、本発明は検査に限
らず組付作業の対象物にも適用可能である。
発明の効果
以上詳述したように本発明は、作業対象物の予め設定さ
れた基準位置と作業ステーションへ送り込まれた対象物
の送り込み位置とのずれ量に基づいて作業ステーション
へ送り込まれた対象物における作業対象領域を基準位置
上の対象物の作業対象領域から変換設定し、この変換設
定された対象領域に対して検査、組付等の作業を行なう
ようにしたので、コスト、位置決め安定性の上で問題の
あったチャック機構方式では得られない正確、安定かつ
効率のよい作業性能を達成し得るという優れた効果を奏
する。
れた基準位置と作業ステーションへ送り込まれた対象物
の送り込み位置とのずれ量に基づいて作業ステーション
へ送り込まれた対象物における作業対象領域を基準位置
上の対象物の作業対象領域から変換設定し、この変換設
定された対象領域に対して検査、組付等の作業を行なう
ようにしたので、コスト、位置決め安定性の上で問題の
あったチャック機構方式では得られない正確、安定かつ
効率のよい作業性能を達成し得るという優れた効果を奏
する。
図面は本発明を具体化した一実施例を示し、第1図は検
査ステーション付近の斜視図、第2図は作業対象領域の
変換を説明するためのグラフ、第3図はフローチャート
である。
査ステーション付近の斜視図、第2図は作業対象領域の
変換を説明するためのグラフ、第3図はフローチャート
である。
Claims (1)
- 1 検査、組付等の対象物(W)を予め設定された作業
ステーション(S)へ送り込み、この作業ステーション
(S)における前記対象物(W)の予め設定された基準
位置と作業ステーション(S)へ送り込まれた対象物(
W)の送り込み位置とのずれ量(Δx)を検出し、前記
基準位置上の対象物(W)における検査、組付等の作業
対象領域(f1)位置にずれ量(Δx)の補正を施して
変換作業対象領域(f2)を設定し、この変換設定され
た作業対象領域(f2)に対して検査、組付等の作業を
行なうことを特徴とする検査、組付等のための作業対象
領域計測設定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62059792A JPS63225115A (ja) | 1987-03-13 | 1987-03-13 | 検査、組付等のための作業対象領域計測設定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62059792A JPS63225115A (ja) | 1987-03-13 | 1987-03-13 | 検査、組付等のための作業対象領域計測設定方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63225115A true JPS63225115A (ja) | 1988-09-20 |
Family
ID=13123487
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62059792A Pending JPS63225115A (ja) | 1987-03-13 | 1987-03-13 | 検査、組付等のための作業対象領域計測設定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63225115A (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5512407A (en) * | 1978-07-12 | 1980-01-29 | Nippon Seiko Kk | Method of compensating error in measuring circle of arc and meter with compensator |
JPS59155710A (ja) * | 1983-01-29 | 1984-09-04 | エム・ア−・エヌ−ロ−ラント・ドルツクマシ−ネン・アクチエンゲゼルシヤフト | 印刷枚葉紙のインキ測定フイ−ルドを検出しかつ評価するための装置 |
JPS60263807A (ja) * | 1984-06-12 | 1985-12-27 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | プリント配線板のパタ−ン欠陥検査装置 |
-
1987
- 1987-03-13 JP JP62059792A patent/JPS63225115A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5512407A (en) * | 1978-07-12 | 1980-01-29 | Nippon Seiko Kk | Method of compensating error in measuring circle of arc and meter with compensator |
JPS59155710A (ja) * | 1983-01-29 | 1984-09-04 | エム・ア−・エヌ−ロ−ラント・ドルツクマシ−ネン・アクチエンゲゼルシヤフト | 印刷枚葉紙のインキ測定フイ−ルドを検出しかつ評価するための装置 |
JPS60263807A (ja) * | 1984-06-12 | 1985-12-27 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | プリント配線板のパタ−ン欠陥検査装置 |
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