JPS63215925A - エタロン分光器

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(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野コ本発明は光分析機器に関する。

［従来の技術］従来のエタロン分光器は１表面に高反射率物質を蒸着し
た２枚の平行平面板を向かい合わせに配置してなるエタ
ロンに垂直に光を入射して板間距離を変えることにより
スペクトル分析のための波長走査を行なうものであった
。

［発明が解決しようとする問題点］このため、従来のエタロン分光器においては。

２枚の平行平面板の４つの面に高平行度が要求されてエ
タロンの製造が鑑しく、製造品質が確保できていない場
合は、波長走査を行なったときに光路ずれを起こし、精
度良くスペクトル分析が行なえないという問題点があっ
た。

そこで本発明は、製造が簡単でしかも製造品質が高く、
精度良くスペクトル分析が行なえるエタロン分光器を提
供することを目的とする。

［問題点を解決するための手段］本発明は、エタロンとして２枚の平行平面板のかわりに
表裏２面が高平行度に保たれた１つの固体エタロンを用
いて、この固体エタロンに入射する光の入射角度を変化
させることにより固体エタロン内で光の光路差を生じさ
せて波長走査を行なうようにしたものである。

［作用］これにより、エタロンの製造が簡単となり、Ｗ造品質も
確保でき、また固体エタロン内で反射する光の光路ずれ
がなくなり、精度良くスペクトル分析を行なうことがで
きる。

［実施例〕本発明の一実施例によるエタロン分光器の波長走査方法
を図面を用いて説明する。

固体エタロン１は厚さＱ、屈折率ｎの物質で製造され１
表２に２つのエタロン面ＬＡ　、　ＩＢが高平行度、高
面精度に保たれている。

この固体エタロン１を用いて波長走査を行なうときは、
第１図に示すように、波長λの入射光に対する入射角Ｏ
が変化するように固体エタロン１を回転させる。固体エ
タロン１内に左方より入射した光は固体エタロン１内で
反射を繰り返し、光路差を生じながら右方へ出射する。

この右方へ出射した光を図示せぬレンズでスクリーン上
に集光すれば、レンズの焦点面上に干渉縞が生じる。

このとき、回転角０に対する干渉縞の条件は、んとなる。従って、固体エタロン１の屈折率ｎと厚さＱを
既知の値とすれば、干渉縞が現われたときの固体エタロ
ン１の回転角θ等を測定することにより容易に光の波長
λを算出することができる。

第２図はエタロンの走査機構の一例を示し、エタロン１
はエタロン支持板３上に固定されており、エタロン支持
板３はギア４を介してモータ２により駆動される。モー
タ２は回転制御装置５により制御され１回転制御装置５
にはロータリエンコーダ等の角度検出袋Ｗ１６の出力信
号が入力されている。

以上のように本実施例によれば、平行平面が２面の固体
エタロン１を用いることにより、エタロンの製造が簡単
になる。また、製造品質が高いため精度良く波長走査を
行なうことができる。

尚、本実施例では、入射角度を変化させるためにエタロ
ンを回転させる場合について説明したが。

エタロンを固定し、光源側を回転させて入射角度を変化
させてもよい。

〔発明の効果コ以上のように本発明によれば、製造が簡単でしかも精度
の良いエタロン分光器が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例によるエタロン分光器の波長
走査方法説明図、第２図はその走査機構図である。１・・・固体エタロン、２・・・モータ、３・・・エタ
ロン支持板、４・・・ギア、５・・・回転制御装置。６・・・角度検出装置。第１図第２図

【特許請求の範囲】

光路差を生成するためのエタロンを備えるエタロン分光
器において、２面が高平行度に保たれた固体エタロンを
備えると共に、波長走査するためにこの固体エタロンと
入射光との入射角度を変化させるための走査手段を備え
ていることを特徴とするエタロン分光器。