JPS63206483A - エツチング液 - Google Patents
エツチング液Info
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- JPS63206483A JPS63206483A JP3689287A JP3689287A JPS63206483A JP S63206483 A JPS63206483 A JP S63206483A JP 3689287 A JP3689287 A JP 3689287A JP 3689287 A JP3689287 A JP 3689287A JP S63206483 A JPS63206483 A JP S63206483A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の概要〕
硝酸第２セリウムアンモニウムと硝酸アンモニウムとヘ
キサメタリン酸ナトリウム水溶液からなるエツチング液
を提供する。
キサメタリン酸ナトリウム水溶液からなるエツチング液
を提供する。
本発明はクロム又はクロム化合物等をエツチングするた
めのエツチング液に関するものである。
めのエツチング液に関するものである。
従来、クロム、クロム化合物等をエツチングするエツチ
ング液として硝酸第２セリウムアンモニウム（（Ｎｌｉ
４） ｔｃｅ （ＮＯ＋） ６） 、過塩素酸（ｌｌＣ
１０４）を含有する水溶液（以下エツチング液Ａと記す
）が用いられている。このエツチング液Ａはエツチング
速度が速く、浸漬処理でのエツチングコントロールが困
難である。
ング液として硝酸第２セリウムアンモニウム（（Ｎｌｉ
４） ｔｃｅ （ＮＯ＋） ６） 、過塩素酸（ｌｌＣ
１０４）を含有する水溶液（以下エツチング液Ａと記す
）が用いられている。このエツチング液Ａはエツチング
速度が速く、浸漬処理でのエツチングコントロールが困
難である。
そこで、過塩素酸に代えて、エツチング速度コントロー
ル性のある酢酸アンモニウム（Ｃ１ｌ：＋Ｃ００ＮＩＩ
４）を加え、又、エツチング表面での濡れ性を良くする
ため、界面活性剤としてヘキサメタリン酸ナトリウム（
（ＮａＰＯｓ） ６）を加えた水溶液（以下エツチング
液Ｂと記す）が考えられる。なお、ヘキサメタリン酸ナ
トリウムはエツチング速度を遅らせる効果もある。
ル性のある酢酸アンモニウム（Ｃ１ｌ：＋Ｃ００ＮＩＩ
４）を加え、又、エツチング表面での濡れ性を良くする
ため、界面活性剤としてヘキサメタリン酸ナトリウム（
（ＮａＰＯｓ） ６）を加えた水溶液（以下エツチング
液Ｂと記す）が考えられる。なお、ヘキサメタリン酸ナ
トリウムはエツチング速度を遅らせる効果もある。
しかしながら上記エツチング液Ｂはく約２５℃以上で液
中の硝酸第２セリウムアンモニウムのＮＯ３−根と、酢
酸アンモニウムのｃｏ、ｃｏｏ−又は０１（−根が置換
され、Ｃ（３”（ＮＯ３−）ｎ （ＯＲ−）ｓ（Ｃ１
１３ＣＯＯ−） ｚの沈澱が２５℃以上で約６０日間で
生じ、エツチング液の劣化が認められる。
中の硝酸第２セリウムアンモニウムのＮＯ３−根と、酢
酸アンモニウムのｃｏ、ｃｏｏ−又は０１（−根が置換
され、Ｃ（３”（ＮＯ３−）ｎ （ＯＲ−）ｓ（Ｃ１
１３ＣＯＯ−） ｚの沈澱が２５℃以上で約６０日間で
生じ、エツチング液の劣化が認められる。
そこで本発明はエツチング速度のコントロール性と液の
濡れ性を良くし、しかも２５℃以上でも沈澱を生じない
新しいエツチング液を提供することを目的とする。
濡れ性を良くし、しかも２５℃以上でも沈澱を生じない
新しいエツチング液を提供することを目的とする。
〔問題点を解決するための手段及び作用〕上記問題点は
本発明によれば、硝酸第２セリウムアンモニウムと硝酸
アンモニウム（ＮＨ４ＮＯ：ｌ） 、ヘキサメタリン酸
ナトリウム（商品名：カルボン）とを含有することを特
徴とするエツチング液によって解決される。
本発明によれば、硝酸第２セリウムアンモニウムと硝酸
アンモニウム（ＮＨ４ＮＯ：ｌ） 、ヘキサメタリン酸
ナトリウム（商品名：カルボン）とを含有することを特
徴とするエツチング液によって解決される。
本発明によれば、硝酸アンモニウムは５．０〜７．５重
量％含有することがエツチング液の劣化防止から好まし
く、またヘキサメタリン酸ナトリウムは０．１重量％以
下含有することが液の濡れ性及びエツチング特性に有効
である。
量％含有することがエツチング液の劣化防止から好まし
く、またヘキサメタリン酸ナトリウムは０．１重量％以
下含有することが液の濡れ性及びエツチング特性に有効
である。
前述の通り、エツチング液Ｂは沈澱を生じるが沈澱物が
硝酸（）ｆＮ（ｈ）に溶解することや、沈澱生成時に同
時に硝酸アンモニウム（ＮＩＩＪＯｚ）を生じることか
ら、エツチング液ＢにＮＨ４ＮＯ３を加えると、液の劣
化を防止できると発明者は考察した。
硝酸（）ｆＮ（ｈ）に溶解することや、沈澱生成時に同
時に硝酸アンモニウム（ＮＩＩＪＯｚ）を生じることか
ら、エツチング液ＢにＮＨ４ＮＯ３を加えると、液の劣
化を防止できると発明者は考察した。
そこでまずエツチング液Ｂに硝酸アンモニウムをそれぞ
れ約１．５，３．０及び７．５重量％を加え高温保管調
査とエツチング特性調査を行った結果、液の劣化防止効
果が得られ、更に第１図及び第２図に示すようにエツチ
ング速度コントロール性も得られた。
れ約１．５，３．０及び７．５重量％を加え高温保管調
査とエツチング特性調査を行った結果、液の劣化防止効
果が得られ、更に第１図及び第２図に示すようにエツチ
ング速度コントロール性も得られた。
すなわち第１図は例えば金属クロムのパターンを形成す
るためのエツチング速度を示したものでＩはエツチング
液Ｂのみ（データは・）、２はエツチング液ＢにＮＨＪ
Ｏｓを１．５％添加したもの（データは×）、３はエツ
チング液Ｂ ニＮｔｌＪ（ｈを３．０％を添加したもの
（データは０）そして４はエツチング液ＢにＮＨ，ＮＯ
３を７．５％添加したもの（データは△）のそれぞれの
結果を示す、第１図からエツチング液ＢにＮ）ｉＪＯ３
を多く添加した方がエツチング速度を小さくすることが
わかる。
るためのエツチング速度を示したものでＩはエツチング
液Ｂのみ（データは・）、２はエツチング液ＢにＮＨＪ
Ｏｓを１．５％添加したもの（データは×）、３はエツ
チング液Ｂ ニＮｔｌＪ（ｈを３．０％を添加したもの
（データは０）そして４はエツチング液ＢにＮＨ，ＮＯ
３を７．５％添加したもの（データは△）のそれぞれの
結果を示す、第１図からエツチング液ＢにＮ）ｉＪＯ３
を多く添加した方がエツチング速度を小さくすることが
わかる。
第２図は第１図に示したクロムパターン形成後のサイド
エツチング速度を示したものである。エツチング液及び
添加液は第１図の場合と同様のものを使用した。第２図
においても第１図と同様にエツチング液ＢにＮＨ４０Ｈ
２を多く添加した方がエツチング速度を小さくすること
がわかる。
エツチング速度を示したものである。エツチング液及び
添加液は第１図の場合と同様のものを使用した。第２図
においても第１図と同様にエツチング液ＢにＮＨ４０Ｈ
２を多く添加した方がエツチング速度を小さくすること
がわかる。
これらのことからエツチング液Ｂ中の酢酸アンモニウム
が液劣化の原因と考えられ、又、硝酸アンモニウムにも
エツチング速度コントロール性があることがわかった。
が液劣化の原因と考えられ、又、硝酸アンモニウムにも
エツチング速度コントロール性があることがわかった。
この結果から、エツチングＭＢ中の酢酸アンモニウムと
硝酸アンモニウムを置換することにより液劣化防止効果
があり、エツチング液Ｂ同様のエツチングコントロール
性を有することが考えられる。
硝酸アンモニウムを置換することにより液劣化防止効果
があり、エツチング液Ｂ同様のエツチングコントロール
性を有することが考えられる。
以下本発明の詳細な説明する。
硝酸第２セリウムアンモニウム約１７．０重量％と硝酸
アンモニウム約６．５重量％、カルボン約０．０３５重
量％と残部水のエツチング液Ｃ−１を作成した。
アンモニウム約６．５重量％、カルボン約０．０３５重
量％と残部水のエツチング液Ｃ−１を作成した。
なお、上記組成中鎖酸アンモニウムを約７．５重世％と
したエツチング液Ｃ−２も同様に作成した。
したエツチング液Ｃ−２も同様に作成した。
第３図に上記エツチング液Ｂ、エツチング液Ｃ−１、エ
ツチング液Ｃ−２をそれぞれ使用して得られたクロムの
エツチング速度を示したものである０図中５がエツチン
グ液Ｂ（データＯ）、６がエツチング液Ｃ−１（データ
×）そして７がエツチング液Ｃ−２（データ△）の結果
を示す。第３図に示すようにエツチング速度はエツチン
グＢとエツチング液Ｃ−１、エツチング液Ｃ−２の場合
はｙ°同一レベルのエツチング特性を有した。また第４
図は第３図に示したクロムパターン形成後のサイドエツ
チング速度を示したものである。
ツチング液Ｃ−２をそれぞれ使用して得られたクロムの
エツチング速度を示したものである０図中５がエツチン
グ液Ｂ（データＯ）、６がエツチング液Ｃ−１（データ
×）そして７がエツチング液Ｃ−２（データ△）の結果
を示す。第３図に示すようにエツチング速度はエツチン
グＢとエツチング液Ｃ−１、エツチング液Ｃ−２の場合
はｙ°同一レベルのエツチング特性を有した。また第４
図は第３図に示したクロムパターン形成後のサイドエツ
チング速度を示したものである。
第４図においても第３図の結果と同様にエツチング液Ｂ
のサイドエツチング速度とエツチング液Ｃ−１，エツチ
ング液Ｃ−２のそれとばばソ′同一のレベルであった。
のサイドエツチング速度とエツチング液Ｃ−１，エツチ
ング液Ｃ−２のそれとばばソ′同一のレベルであった。
しかもエツチング液Ｃ−１及びエツチング液Ｃ−２は３
５℃の高温保管で９０日間以上経過しても沈澱は生成せ
ず液の劣化はほとんど認められなかった。
５℃の高温保管で９０日間以上経過しても沈澱は生成せ
ず液の劣化はほとんど認められなかった。
以上説明したように本発明に係るエツチング液Ｃは２５
℃以上の温度でも液の劣化を生せず、工・７チング速度
をコントロールする効果を有する。
℃以上の温度でも液の劣化を生せず、工・７チング速度
をコントロールする効果を有する。
第１図及び第２図はエツチング液Ｂと、エツチング液Ｂ
に硝酸アンモニウムを３種類添加したエツチング液につ
いてのそれぞれクロムのエツチング速度及びサイドエ・
ノチング速度を示し、第３図及び第４図はエツチング液
Ｂとエツチング液Ｃ−１、Ｃ−２についてもクロムのエ
ツチング速度及びサイドエツチング速度を示したもので
ある。 エツチング時間（秒） エツチング速度 第１図 エツチング時間（秒） サイドエツチング速度 第２図 エツチング時間（秒） エツチング速度 ′＄３図
に硝酸アンモニウムを３種類添加したエツチング液につ
いてのそれぞれクロムのエツチング速度及びサイドエ・
ノチング速度を示し、第３図及び第４図はエツチング液
Ｂとエツチング液Ｃ−１、Ｃ−２についてもクロムのエ
ツチング速度及びサイドエツチング速度を示したもので
ある。 エツチング時間（秒） エツチング速度 第１図 エツチング時間（秒） サイドエツチング速度 第２図 エツチング時間（秒） エツチング速度 ′＄３図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、硝酸第２セリウムアンモニウムと硝酸アンモニウム
とヘキサメタリン酸ナトリウムを含有することを特徴と
するエッチング液。 ２、前記硝酸アンモニウムを５．０〜７．５重量％含有
することを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のエッ
チング液。 ３、前記ヘキサメタリン酸ナトリウムを０．１重量％以
下含有することを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
のエッチング液。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62036892A JP2550048B2 (ja) | 1987-02-21 | 1987-02-21 | エツチング液 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62036892A JP2550048B2 (ja) | 1987-02-21 | 1987-02-21 | エツチング液 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63206483A true JPS63206483A (ja) | 1988-08-25 |
| JP2550048B2 JP2550048B2 (ja) | 1996-10-30 |
Family
ID=12482426
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62036892A Expired - Lifetime JP2550048B2 (ja) | 1987-02-21 | 1987-02-21 | エツチング液 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2550048B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100813005B1 (ko) * | 2001-12-12 | 2008-03-14 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 몰리브덴을 배리어층으로 가지는 구리/몰리브덴 배선의일괄식각방법 |
| CN105297018A (zh) * | 2015-11-16 | 2016-02-03 | 无锡英普林纳米科技有限公司 | 一种液晶显示器用蚀刻液的制备方法 |
-
1987
- 1987-02-21 JP JP62036892A patent/JP2550048B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100813005B1 (ko) * | 2001-12-12 | 2008-03-14 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 몰리브덴을 배리어층으로 가지는 구리/몰리브덴 배선의일괄식각방법 |
| CN105297018A (zh) * | 2015-11-16 | 2016-02-03 | 无锡英普林纳米科技有限公司 | 一种液晶显示器用蚀刻液的制备方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2550048B2 (ja) | 1996-10-30 |
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