JPS63206459A - プラズマ溶射方法 - Google Patents

プラズマ溶射方法

Info

Publication number
JPS63206459A
JPS63206459A JP62039877A JP3987787A JPS63206459A JP S63206459 A JPS63206459 A JP S63206459A JP 62039877 A JP62039877 A JP 62039877A JP 3987787 A JP3987787 A JP 3987787A JP S63206459 A JPS63206459 A JP S63206459A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
flame
plasma
gas
thermal spraying
powder
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP62039877A
Other languages
English (en)
Inventor
Nobuhiko Kawamura
河村 伸彦
Yoshio Machida
町田 芳雄
Koushi Sei
清 興至
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Resonac Holdings Corp
Original Assignee
Showa Denko KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Showa Denko KK filed Critical Showa Denko KK
Priority to JP62039877A priority Critical patent/JPS63206459A/ja
Publication of JPS63206459A publication Critical patent/JPS63206459A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C4/00Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
    • C23C4/12Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge characterised by the method of spraying
    • C23C4/134Plasma spraying

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は酸化物セラミックス等融点の高い難溶融材料の
溶射に好適なプラズマ溶射方法に関する。
〔従来の技術〕
プラズマ溶射は高融点材料、例えばモリブデン、タング
ステン、タングステンカーバイド、チタンカーバイドな
どの溶射に適し、耐食、耐酸化、耐摩耗用の被覆を形成
するため広く用いられており、特に機械部品分野に重要
である。
従来、プラズマ溶射において、緻密で密着力の大きい溶
射被覆を得るため、電気入力の増大、使用する材料の微
細化、減圧溶射等の方法が行なわれている。
〔発明が解決しようとする問題点〕
しかし、いずれの方法においても、酸化物セラミックス
のように融点が高く、しかも熱伝導率が低く、比重の小
さい粉末を用いた場合には、緻密で密着力の大きい被膜
が得られない。これは、電気の入力を増加すると、プラ
ズマフレーム(以下フレームという)の湿度は高くなる
が、電極保護のため、作動ガスdを増加する必要があり
、フレームの速度が増加し、さらに温度上昇に伴うガス
の膨張により速度が増加するので、フレーム中での粉末
の滞留時間が短くなり、溶融困難となる。
また、粉末粒度を細かくすると、粒子の速度が早くなり
、溶融性が悪化する。さらに、減圧溶射はフレームが長
くなるが、フレーム速度が上昇し、温度が低下するた崎
酸化物セラミックス等高融点材料の溶射は困難である。
すなわち、これらの方法は金属系の材料に対して好適で
あるが、酸化物セラミックス等の溶射には不適当であっ
た。
本発明者等は上記の問題点を解決すべく鋭意研究を行な
った結果、次の推考に到達した。・すなわち、一般に緻
密で密着力の大きい被膜を得るには、粉末材料を充分に
溶融させ、かつその飛行速度を大きくすることが必要で
ある。しかし、これら2つの条件は相反するもので、粉
末材料の飛行速度を大きくすると、フレーム中の滞留時
間が短くなり、溶融が不充分となる。特に、#203.
7rO2系等の酸化物セラミックスを用いた場合、通常
の溶射条件では溶融が不充分となり、逆にフレーム速度
を遅くした方が溶融が進み、形成する被膜が緻密となる
傾向があるが、その密着力は低い。
ところで、フレームに投入された粉末材料は、プラズマ
溶射ガンヘッドのフレームノズルから所定の距離離れた
位置で最高速度、最高温度に達し、それからは空気抵抗
によって著しく減速され、温度も低下する。したがって
、この最高速度、最高温度に達した位置から後で、減速
を防止すれば、温度′低下も小さくなり、緻密で密着力
の高い被膜が得られる。
本発明は上記の推考に基づいてなされたもので、酸化物
セラミックス等の高融点物質を用いてWi茫で密着力の
高い被膜が得られるプラズマ溶射方法を提供することを
目的とする。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明は上記の目的を達成すべくなされたもので、その
要旨は、プラズマ溶射方法において、プラズマフレーム
と同等或はそれの以上速度で、かつプラズマフレームと
並行する、空気または不活性ガスよりなるシールドガス
によって、プラズマフレームを囲繞するプラズマ溶射方
法にある。
〔作 用〕
本発明の方法は、上記の構成を有するので、フレームに
包含された粉末材料が、最高速度、最高温度に達した後
、減圧状態の空間を通るので空気抵抗が小さくなり、は
ぼ減速せず、また温度もあまり低下せずに被溶射面に達
する。
〔実施例〕
第1図ないし第3図は本発明の方法において用いられる
プラズマ溶射ガンヘッドの一例を示すもので、第1図は
縦断面図である。図中符号1は、一般に使用されている
溶射ガンヘッドとほぼ同じ構造のもので、先端中央部に
は、プラズマフレーム2を噴射するフレームノズル3が
開口し、また側部には、フレーム2に粉末材料4を投入
する原料供給孔5が設けられている。
上記ガンヘッド1の先端部には、シールドガス11を噴
射するガスシールドユニット12が取付けられている。
ガスシールドユニット12は、第2図および第3図に示
すように、側部にシールドガスの導入管13が取付けら
れた中空円環状の基部14が設けられ、この基部14の
内周縁部には、円筒体15の一方の端面が基部14と中
心軸線を同じにして一体に取付けられている。また、こ
の円筒体15には他方の端面15aと上記基部の中空部
14aを貫通する、上記中心軸線に平行な線貫通孔16
が間隔を狭めて上記端面15aに沿って多数穿設されて
いる。
このガスシールドユニット12が、上記ガンヘッド1の
先端に、フレームノズル3と同一中心軸線を有するよう
に基部14が固定され、本発明において使用されるガン
ヘッドAが構成される。
上記ガンヘッドAを用いてプラズマ溶射を行なうには、
従来性なわれているようにフレームノズル3よりフレー
ム2を噴射するとともに粉末材料4を少徂のキャリアガ
ス4aによって、側面よりフレーム2に送り込む。本発
明の方法においては、同時にシールドガス11を尋人管
13より送入する。シールドガスとしては、空気または
不活性ガスが用いられるが、その暑は比較的多く、空気
を用いるのが経済的である。シールドガス11の送入量
は、上記円筒体15の他方の而15aの位置でフレーム
速度とほぼ同等か、それ以上の速度となる驕であること
が必要である。フレーム2は、上記速度のシールドガス
11に囲繞され、共に高速で流れているので、フレーム
2の周囲は減圧状態となり空気の抵抗が減少し、速度の
低下、温度の低下が防止され、粉末材料4は溶融状態、
かつ高速で、被溶射物17にぶつかり、溶射膜18が形
成される。
上記シールドガスを高速にするには、多聞のガスを圧入
するが、シールドガスの加熱による熱膨張によっても加
速される。この熱源としては、フレームが熱源となるが
、さらに外部から熱を加えてもよい。また、フレームの
温度低下を防止する上からも、シールドガスは高温の方
が望ましい。
実施例1〜2、比較例1〜4 第1図に示すガンヘッドAを用い、種々な条件によって
、/VzOz単体、またはY2O38wt%、残Zr 
O2の粒径10〜44μmの粉末を用いてプラズマ溶射
を行ない、形成された溶射被膜を評価した。
溶射条件は、溶射ガンヘッド1としては、プラズマダイ
ン社製SG 100を用い、^rアークガス25〜50
J/min 、 He補助ガス154/min。
Arキャリアガス747m1n、出力900AX34〜
36V、溶射膜11t100mとし、ガスシールドユニ
ット12には、空気圧縮機によって、空気を室温で圧送
し、118Gi通孔16より噴出させた。
また評価は、気孔率を水銀圧入式ポロシメーターで測定
し、密着力は、25φ×80#のSUS丸棒の端面に、
厚み0.3mの溶射を行ない、接着剤によって試験片を
接着し、引張り試験を行なった。結果を第1表に示す。
以  下  余  白 第1表より明かなように、本発明の方法によって形成さ
れた酸化物セラミックスの溶射被膜は、緻密で、密着力
が高いことがわかる。
〔発明の効果〕
以上述べたように、本発明に係るプラズマ溶射方法は、
酸化物セラミックス等の高融点物質を用いて、緻密で密
着力の大きい、耐食性、耐摩耗性に優れた溶射被膜が得
られるので、機械部品その他の広い分野に寄与する優れ
た方法である。
【図面の簡単な説明】
第1図ないし第3図は本発明に係るプラズマ溶射方法を
実施する溶射ガンヘッドの一例を示すもので、第1図は
ill断面図、第2図はガスシールドユニットの平面図
、第3図は第2図の■−■線矢視断面図である。 1・・・・・・従来のガンヘッド、 2・・・・・・プラズマフレーム、3・・・・・・フレ
ームノズル、4・・・・・・粉末材料、4a・・・・・
・ヤ1!リアガス、5・・・・・・原料供給孔、11・
・・・・・シールドガス、12・・・・・・ガスシール
ドユニット、13・・・・・・シールドガス5!)入管
、14・・・・・・基部、14a・・・・・・中空部、
15・・・・・・円筒体、15a・・・・・・他方の端
面、16・・・・・・In通孔、17・・・・・・被溶
射物、18・・・・・・溶射膜、A・・・・・・本発明
の方法で用いるガンヘッド。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. プラズマ溶射方法において、プラズマフレームと同等或
    はそれ以上の速度で、かつプラズマフレームと並行する
    、空気または不活性ガスよりなるシールドガスによつて
    、プラズマフレームを囲繞することを特徴とするプラズ
    マ溶射方法。
JP62039877A 1987-02-23 1987-02-23 プラズマ溶射方法 Pending JPS63206459A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62039877A JPS63206459A (ja) 1987-02-23 1987-02-23 プラズマ溶射方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62039877A JPS63206459A (ja) 1987-02-23 1987-02-23 プラズマ溶射方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS63206459A true JPS63206459A (ja) 1988-08-25

Family

ID=12565213

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP62039877A Pending JPS63206459A (ja) 1987-02-23 1987-02-23 プラズマ溶射方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS63206459A (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0703302A1 (en) * 1994-09-26 1996-03-27 Plas Plasma Ltd. A method for depositing a coating onto a substrate by means of thermal spraying and an apparatus for carrying out said method
JP2001511484A (ja) * 1997-07-28 2001-08-14 フオルクスワーゲン・アクチエンゲゼルシヤフト 特に滑り軸受用のサーマルコーティング方法
EP1651790A1 (en) * 2003-07-31 2006-05-03 Praxair S.T. Technology, Inc. Method of shielding effluents in spray devices
WO2011010400A1 (ja) * 2009-07-22 2011-01-27 日鉄ハード株式会社 耐溶融金属部材および耐溶融金属部材の製造方法
EP2465965A1 (de) * 2010-12-15 2012-06-20 LEONI Bordnetz-Systeme GmbH Vorrichtung sowie Verfahren zum Aufspritzen einer Struktur aus leitfähigem Material auf ein Substrat
CN111945100A (zh) * 2020-08-15 2020-11-17 德清创智科技股份有限公司 一种惰性气体保护的仿可控气氛等离子喷涂方法及其装置

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0703302A1 (en) * 1994-09-26 1996-03-27 Plas Plasma Ltd. A method for depositing a coating onto a substrate by means of thermal spraying and an apparatus for carrying out said method
JP2001511484A (ja) * 1997-07-28 2001-08-14 フオルクスワーゲン・アクチエンゲゼルシヤフト 特に滑り軸受用のサーマルコーティング方法
EP1651790A1 (en) * 2003-07-31 2006-05-03 Praxair S.T. Technology, Inc. Method of shielding effluents in spray devices
JP2007500791A (ja) * 2003-07-31 2007-01-18 プラックセアー エス.ティ.テクノロジー、 インコーポレイテッド 吹き付け装置において流出液をシールドする方法
EP1651790A4 (en) * 2003-07-31 2009-12-23 Praxair Technology Inc METHOD FOR SHIELDING OUTLET HEADS IN SPRAYING DEVICES
WO2011010400A1 (ja) * 2009-07-22 2011-01-27 日鉄ハード株式会社 耐溶融金属部材および耐溶融金属部材の製造方法
JP5647608B2 (ja) * 2009-07-22 2015-01-07 日鉄住金ハード株式会社 耐溶融金属部材および耐溶融金属部材の製造方法
EP2465965A1 (de) * 2010-12-15 2012-06-20 LEONI Bordnetz-Systeme GmbH Vorrichtung sowie Verfahren zum Aufspritzen einer Struktur aus leitfähigem Material auf ein Substrat
CN111945100A (zh) * 2020-08-15 2020-11-17 德清创智科技股份有限公司 一种惰性气体保护的仿可控气氛等离子喷涂方法及其装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5043548A (en) Axial flow laser plasma spraying
US3927223A (en) Method of forming refractory oxide coatings
KR920010091B1 (ko) 귀금속 피복 부싱
US2974388A (en) Process of making ceramic shells
JPS63206459A (ja) プラズマ溶射方法
US5176964A (en) Diffuse black plasma sprayed coatings
JP3172121B2 (ja) 中空円筒管内周面への溶射加工方法
JPS62161945A (ja) セラミックス系スパッタリングタ−ゲットの製造法
TW370566B (en) Process for preparing ceramic composite powder of molybdenum-containing or molybdenum-containing intermetallic compound and ceramic composite material thereof
JP5168543B2 (ja) プラズマ処理容器内部材
JP3028709B2 (ja) プラズマ溶射装置
CA2119429A1 (en) Fixture and method for cooling tubular substrate during thermal spraying
KR20090044157A (ko) 복합재료 코팅장치
US1268030A (en) Coating process.
JPH01104756A (ja) 酸化物系溶射材料
Khan et al. Molybdenum and tungsten coatings for x-ray targets obtained through the low-pressure plasma spraying process
JPH04131649U (ja) プラズマ溶射ガン
JPS62273044A (ja) セラミツクス粉末の製造方法
JPS62192572A (ja) 溶射材料の供給方法
JPS58223999A (ja) スピ−カ用振動板の製造方法
JPH0215157A (ja) 酸化物系溶射材料
JPS63259064A (ja) 溶射方法および装置
JP2016183065A (ja) 複合中空粒子
JPH04131364A (ja) アルミナ分散合金の溶射方法
JPS64461B2 (ja)