JPS63205515A - Rotation detector - Google Patents
Rotation detectorInfo
- Publication number
- JPS63205515A JPS63205515A JP62037069A JP3706987A JPS63205515A JP S63205515 A JPS63205515 A JP S63205515A JP 62037069 A JP62037069 A JP 62037069A JP 3706987 A JP3706987 A JP 3706987A JP S63205515 A JPS63205515 A JP S63205515A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- teeth
- rotating body
- magnetic field
- magnetoresistive element
- rotation detection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 52
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 claims abstract description 30
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims description 3
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 7
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000005381 magnetic domain Effects 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
この発明は、強磁性体によって構成される磁気抵抗素子
MR素子)を検出素子として用い、回転体の回転速度に
対応して周期が設定されるようになるパルス状の信号を
発生させるようになる回転検出装置に関する。[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] This invention uses a magnetoresistive element (MR element) made of a ferromagnetic material as a detection element, and a period is set corresponding to the rotational speed of a rotating body. The present invention relates to a rotation detection device that generates a pulse-like signal.
[従来の技術]
回転体の回転速度、さらに回転角位置等を検出する回転
検出装置が、MR素子を用いて効果的に構成されること
は知られている。このようなMR素子を用いた回転検出
装置は、例えば多極磁石と組合せて構成される。すなわ
ち、回転体の外周部に所定の間隔で多数の磁極を形成さ
せるようにするものであり、このような多極磁石を被測
定回転体と同期的に回転させる。そして、この磁極の形
成された回転体の外周部に近接するようにして、MR素
子を固定設定するものである。[Prior Art] It is known that a rotation detection device that detects the rotational speed, rotational angular position, etc. of a rotating body can be effectively configured using an MR element. A rotation detection device using such an MR element is configured in combination with, for example, a multipolar magnet. That is, a large number of magnetic poles are formed at predetermined intervals on the outer periphery of the rotating body, and such a multipolar magnet is rotated synchronously with the rotating body to be measured. Then, the MR element is fixedly set so as to be close to the outer periphery of the rotating body on which the magnetic poles are formed.
すなわち、このような装置にあっては、回転体が回転し
てこの回転体に形成された磁極の1つがMR検出素子に
近接して通過するようになる毎に、この検出素子の抵抗
値が変化し、1つの磁極の通過毎に1つの電気的な検出
信号が得られるようになるものである。In other words, in such a device, each time the rotating body rotates and one of the magnetic poles formed on the rotating body passes close to the MR detecting element, the resistance value of the detecting element increases. The magnetic field changes so that one electrical detection signal is obtained for each passage of one magnetic pole.
しかし、このように構成される検出装置にあっては、回
転体の外周部に精度の高い状態で多数の磁極を形成させ
るような着磁を行なわなければならず、必然的にコスト
が高くなるものである。However, in a detection device configured in this way, it is necessary to perform magnetization to form a large number of magnetic poles on the outer periphery of the rotating body with high precision, which inevitably increases the cost. It is something.
このような点を考慮して、例えば第6図で示されるよう
な回転検出装置が考えられている。すなわち、この装置
にあっては、被測定体と同期的に回転されるようになる
回転体21を、外周部に複数の歯221 、222 、
・・・を有する。磁性体歯車によって構成するものであ
り、この回転体21の外周部に小間隔を設定して、MR
検出素子23を固定設定するようにしている。ここでM
R検出素子23は、永久磁石231からの磁界が垂直に
作用されるようにして薄膜状の強磁性体でなる磁気抵抗
素子232を設定するようにして構成されるもので、上
記磁気抵抗素子232の面が、上記回転体21の各歯2
211222、・・・に平行な状態で対面されるように
している。Taking these points into consideration, a rotation detection device as shown in FIG. 6, for example, has been devised. That is, in this device, the rotating body 21, which is rotated synchronously with the object to be measured, is provided with a plurality of teeth 221, 222,
It has... It is composed of magnetic gears, and a small interval is set on the outer periphery of this rotating body 21, and the MR
The detection element 23 is fixedly set. Here M
The R detection element 23 is configured by setting a magnetoresistive element 232 made of a thin film-like ferromagnetic material so that the magnetic field from a permanent magnet 231 acts perpendicularly to the magnetoresistive element 232. The surface of each tooth 2 of the rotating body 21 is
211222, . . . in a parallel state.
このような回転検出装置にあっては、回転体21の回転
に伴って、その歯221.222 、・・・の1つが検
出素子23に近接して通過する毎に、磁気抵抗素子23
2の抵抗値が変化するものであり、その抵抗値の変化率
の状態は、回転体21の回転に対応して第7図で示すよ
うに変化する。しかし、このような構成のものでは、第
7図でも示されているように抵抗値が連続的に変化せず
、不連続部が生ずる。In such a rotation detection device, as the rotating body 21 rotates, each time one of its teeth 221, 222, ... passes close to the detection element 23, the magnetic resistance element 23
The resistance value of 2 changes, and the state of the change rate of the resistance value changes as shown in FIG. 7 in response to the rotation of the rotating body 21. However, with such a configuration, as shown in FIG. 7, the resistance value does not change continuously and a discontinuous portion occurs.
すなわち、検出出力に歪が生ずるようになるものであり
、回転検出特性が不安定な状態となる。In other words, distortion occurs in the detection output, and the rotation detection characteristics become unstable.
[発明が解決しようとする問題点コ
この発明は上記のような点に鑑みなされたちので、回転
体に形成された各歯に対応した抵抗値変化が連続性をも
って得られるようになり、安定した回転検出出力が得ら
れるようにしたMR素子をl 用いた回転検出装置
を提供しようとするものである。[Problems to be solved by the invention] This invention has been made in view of the above points, so that it is possible to obtain a continuous change in resistance value corresponding to each tooth formed on the rotating body, and to achieve a stable result. The present invention aims to provide a rotation detection device using an MR element capable of obtaining a rotation detection output.
[問題点を解決するための手段]
すなわち、この発明に係る回転検出装置は、磁性体によ
って歯車状にした回転体を構成するものであり、この回
転体の外周部に近接する状態で、面に垂直にして磁界を
作用させるようにした強磁性体よりなる磁気抵抗素子を
含むMR検出素子を固定設定するようにしているもので
あり、この検出素子の上記磁気抵抗素子の面が、上記回
転体の歯の軸方向に延びる面に対して傾斜して設定され
るようにしているものであり、この傾斜角は例えば1°
〜33@に設定されるようにしているものである。[Means for Solving the Problems] That is, the rotation detecting device according to the present invention comprises a gear-shaped rotating body made of a magnetic material, and when the rotating body is close to the outer periphery of the rotating body, The MR detection element includes a magnetoresistive element made of a ferromagnetic material that is perpendicular to the direction of the rotation direction, and a magnetic field is applied thereto. It is set to be inclined with respect to the plane extending in the axial direction of the teeth of the body, and this inclination angle is, for example, 1°.
~33@.
[作用]
上記のように構成される回転検出装置にあっては、回転
体の歯がこの回転体の回転に伴ってMR検出素子に近付
く状態のときには、その歯にその回転方向に対応する方
向から磁界が作用するようになる。したがって、上記歯
は上記磁界方向に対応して磁化されるようになる。また
、上記歯がMR検出素子に対面する位置に到来したとき
には、上記歯と検出素子の磁気抵抗素子の面が傾斜して
いるものであるため、上記第1の方向と直角の第2の方
向に磁界が作用するようになり、上記歯はその磁界の方
向に対応した一定方向に磁化されるようになる。すなわ
ち、各歯は検出素子に近接して通過する毎に、回転する
ような状態で磁化されるようになり、磁気抵抗素子の抵
抗値は連続性をもって変化され、安定性に富んだ回転検
出信号が得られるようになるものである。[Function] In the rotation detection device configured as described above, when the teeth of the rotating body approach the MR detection element as the rotating body rotates, the teeth are moved in the direction corresponding to the rotation direction. A magnetic field comes into play. Therefore, the teeth become magnetized in accordance with the direction of the magnetic field. Furthermore, when the teeth reach a position facing the MR detection element, since the surfaces of the teeth and the magnetoresistive element of the detection element are inclined, the teeth move in a second direction perpendicular to the first direction. A magnetic field comes to act on the teeth, and the teeth become magnetized in a certain direction corresponding to the direction of the magnetic field. In other words, each tooth becomes magnetized in a rotating state each time it passes close to the detection element, and the resistance value of the magnetoresistive element changes continuously, producing a highly stable rotation detection signal. This will allow you to obtain
[発明の実施例コ 以下、図面を参照してこの発明の一実施例を説明する。[Embodiments of the invention] Hereinafter, one embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
第1図はその構成を示したもので、図では示されない被
測定回転体と同期的に回転されるようにした回転体11
を有するもので、この回転体は磁性材料によって、その
外周部に複数の歯121 。FIG. 1 shows its configuration, in which a rotating body 11 is rotated synchronously with a rotating body to be measured, which is not shown in the figure.
This rotating body is made of magnetic material and has a plurality of teeth 121 on its outer periphery.
122、・・・を有する歯車によって構成される。そし
て、この回転体11の外周部に小間隔で対向されるよう
にして、MR検出素子13が固定設定されるようにする
。It is composed of gears having 122, . . . The MR detection element 13 is fixedly set so as to face the outer circumference of the rotating body 11 at a small interval.
ここで上記検出素子18は、絶縁基板131の上記回転
体の対向する面に強磁性材料によって構成される薄膜状
の磁気抵抗素子132を設定するようにして構成される
もので、上記絶縁基板131の上記磁気抵抗素子132
とは反対側の面には、永久磁石133を取付は設定し、
上記磁気抵抗素子132の面に垂直なバイアス磁界が作
用させられるようにしている。Here, the detection element 18 is configured such that a thin film magnetoresistive element 132 made of a ferromagnetic material is set on a surface of an insulating substrate 131 facing the rotating body. The above magnetoresistive element 132 of
A permanent magnet 133 is installed on the opposite side of the
A bias magnetic field perpendicular to the surface of the magnetoresistive element 132 is applied.
このように回転体11との関連で固定設定されるように
なるMR検出素子13は、回転体11に形成される各歯
121.122 、・・・に平行に対面されるように設
定されるのではなく、この検出素子13が上記歯の1つ
121に対面するような状態となったとき、この歯12
1の回転体軸線に平行な第1の方向に延びる面に、磁気
抵抗素子132の面が角度θ傾斜して設定されるように
している。The MR detection element 13, which is thus fixed in relation to the rotating body 11, is set to face each tooth 121, 122, . . . formed on the rotating body 11 in parallel. When this detection element 13 faces one of the teeth 121 instead of
The surface of the magnetoresistive element 132 is set to be inclined at an angle θ to a surface extending in a first direction parallel to the axis of the first rotating body.
このように、回転体11の歯と検出素子13の検出面と
が平行に対面するのではなく、傾斜した状態で対面され
るようにすると、この歯が検出素子13に近接して通過
する状態で、磁気抵抗素子132の抵抗値が連続性をも
って変化され、その抵抗値は第2図で示すように回転体
11の回転に対応して連続的に変化するようになる。し
たがって、この検出素子13から安定した回転検出信号
が出力されるようになるものである。In this way, if the teeth of the rotating body 11 and the detection surface of the detection element 13 are made to face each other in an inclined state instead of facing each other in parallel, a state in which the teeth pass close to the detection element 13 can be obtained. Then, the resistance value of the magnetoresistive element 132 changes continuously, and the resistance value changes continuously in response to the rotation of the rotating body 11, as shown in FIG. Therefore, the detection element 13 outputs a stable rotation detection signal.
ここで、回転体11の回転に伴ってその歯の1つ例えば
121が検出素子13に近接通過するときの状態を考察
してみると以下のようになる。Here, when one of the teeth of the rotating body 11, for example 121, passes close to the detection element 13 as the rotating body 11 rotates, the following situation will be considered.
まず、歯121が検出素子13に位置に到達する前の状
態では、第3図の(A)に示すようにこの歯121に対
して横方向(軸線に直角な第1の方向)から磁界が作用
するようになる。したがってこのような状態では、歯1
21に設定される各磁区で、図に矢印で示すように上記
第1の方向に対応して磁化されるようになる。そして、
回転体11が回転して検出素子13に対面するようにな
ると、第6図で示したように構成された場合は、磁界が
垂直に作用するよになり、したがって磁界は上記第1の
方向さらに軸線と平行な第2の方向の成分が零の状態と
なる。このため、各磁区の磁化状態は第3図の(B)で
示すようにランダムな状態となるものであるが、まだ上
記第1の方向に磁化された部分が残っている。しかし、
実際に磁界が存在しない状態であるため、その磁化の状
態は不安定となっているもので、例えば第3図の(C)
で示すように突然磁化の方向が逆の方向を向いたりする
ものであり、この磁化方向の突然の変化によって、検出
信号にノイズが含まれた状態となる。すなわち、第7図
で示したように抵抗値変化に不連続部が生ずるようにな
る。First, before the tooth 121 reaches the position of the detection element 13, as shown in FIG. It comes to work. Therefore, in this condition, tooth 1
Each of the magnetic domains set in 21 is magnetized in the first direction as shown by the arrow in the figure. and,
When the rotating body 11 rotates and comes to face the detection element 13, in the case of the configuration shown in FIG. The component in the second direction parallel to the axis becomes zero. Therefore, although the magnetization state of each magnetic domain is random as shown in FIG. 3(B), there still remains a portion magnetized in the first direction. but,
Since there is no actual magnetic field, the state of magnetization is unstable, for example (C in Figure 3).
As shown in , the direction of magnetization suddenly turns to the opposite direction, and this sudden change in the direction of magnetization causes the detection signal to contain noise. That is, as shown in FIG. 7, a discontinuous portion occurs in the resistance value change.
しかし、実施例で示したように歯と検出素子13とに角
度θを設定するようにすると、歯121の第2の方向の
両端で磁気抵抗素子132との距離が相違するようにな
り、歯121に作用する磁界強度に差が生ずるようにな
る。例えば図上で上部の磁界強度は弱く、下部の磁界強
度が強くなる。このため、結果として第3図の(D)で
示すように第2の方向のバイアス磁界が生ずるようにな
り、歯121はこの図に矢印で示すように磁化されるよ
うになる。この場合、磁界は磁気抵抗素子132の面で
回転するようになり、磁化の不連続点が無くなるように
なって、第2図で示したようなノイズのない抵抗値変化
が得られるようになるものである。However, if the angle θ is set between the tooth and the detection element 13 as shown in the embodiment, the distance from the magnetoresistive element 132 will be different at both ends of the tooth 121 in the second direction. A difference occurs in the strength of the magnetic field acting on 121. For example, in the diagram, the magnetic field strength is weaker at the top and stronger at the bottom. As a result, a bias magnetic field in the second direction is generated as shown in FIG. 3(D), and the tooth 121 is magnetized as shown by the arrow in this figure. In this case, the magnetic field rotates in the plane of the magnetoresistive element 132, and there are no discontinuities in magnetization, making it possible to obtain noise-free resistance changes as shown in Figure 2. It is something.
ここで、磁気抵抗素子132の磁界強度と抵抗変化率の
関係をみると第4図で示すようになる。すなわち、第2
の方向の磁界強度を変化させた場合は、この図で0−5
4D−4S→0の経路を通り、元に戻るようになる。こ
れに対して第1の方向に磁界強度を変化させると、0→
R−E→R→Aの経路を通り、磁界強度が零となったと
きにA点までしか戻らず、O−A部分のロスが生ずる。Here, the relationship between the magnetic field strength of the magnetoresistive element 132 and the rate of change in resistance is shown in FIG. 4. That is, the second
If you change the magnetic field strength in the direction of 0-5 in this figure,
It will return to its original state through the path 4D-4S→0. On the other hand, when the magnetic field strength is changed in the first direction, 0→
It passes through the path RE→R→A and returns only to point A when the magnetic field strength becomes zero, causing a loss in the O-A portion.
しかし、第2の方向に磁界が印加されている状態である
と、−挙にS−D上で変化し、抵抗値変化がC−8間で
変化することとなって、大きな出力が得られるようにな
る。However, when a magnetic field is applied in the second direction, the resistance changes suddenly on S-D, and the resistance value changes between C-8, resulting in a large output. It becomes like this.
第5図は検出素子13の設定される傾き角度θと抵抗値
変化率との関係を示したもので、傾き角度θが1mより
小さい状態にあると抵抗値変化率が急激に小さくなり、
ノイズによる歪も生じ易い状態となる。また上記θが3
3°を越えて大きくなると、この場合も抵抗値変化率が
急激に小さくなるものであり、やはりノイズの影響を受
は易くなる。したがって、上記傾き角度θは1″〜33
″であることが好ましい。FIG. 5 shows the relationship between the tilt angle θ set for the detection element 13 and the rate of change in resistance value. When the tilt angle θ is smaller than 1 m, the rate of change in resistance value decreases rapidly.
Distortion due to noise is also likely to occur. Also, the above θ is 3
When the angle exceeds 3°, the rate of change in resistance value decreases rapidly in this case as well, making it susceptible to noise. Therefore, the above inclination angle θ is 1″ to 33
” is preferable.
上記実施例ではMR検出素子13を傾けて設定するよう
にしたが、これは回転体11に形成される歯121.1
22 、・・・の面を、回転体11の軸に傾けて形成す
るようにしても上記同様の効果が得られるものである。In the above embodiment, the MR detection element 13 is set by tilting, but this is because the teeth 121.1 formed on the rotating body 11
Even if the surfaces of 22, .
[発明の効果]
以上のようにこの発明に係る回転検出装置によれば、磁
気抵抗素子を用いて、例えば通常に使用されている歯車
をそのまま使用するような状態で簡単に回転検出装置を
構成することができるようになるものであり、しかもノ
イズのない安定した特性の検出信号が得られるようにな
る。すなわち、検出特性の安定した信頼性の高い回転検
出装置が提供されるものである。[Effects of the Invention] As described above, according to the rotation detection device according to the present invention, the rotation detection device can be easily configured using a magnetoresistive element, for example, by using a commonly used gear as is. In addition, a detection signal with stable characteristics and no noise can be obtained. That is, a highly reliable rotation detection device with stable detection characteristics is provided.
第1図はこの発明の一実施例に係る回転検出装置を示す
もので、(A)は正面から見た構成図、(B)は平面か
ら見た構成図、第企図は上記検出装置における磁気抵抗
素子の抵抗値変化率の状態を示す図、第3図(A)〜(
D)は磁化の変化の状態を従来例との関連で説明する図
、第4図は磁界強度と抵抗変化率との関係を説明する図
、第5図は上記装置における傾き角度と抵抗変化率との
関係を示す図、第6図は従来の近接センサを説明する図
、第7図はその抵抗値変化率を示す図である。
11・・・回転体、121.122 、・・・歯、13
・・・MR検出素子、131・・・絶縁基板、132・
・・磁気抵抗素子、133・・・永久磁石。
出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第1図
第2図
第3図
第4図
(B)
第6 図FIG. 1 shows a rotation detection device according to an embodiment of the present invention, in which (A) is a block diagram seen from the front, (B) is a block diagram seen from a plane, and the first diagram shows the magnetic field in the detection device. Figures 3(A) to 3(A) are diagrams showing the state of the resistance value change rate of the resistive element.
D) is a diagram explaining the state of change in magnetization in relation to the conventional example, Figure 4 is a diagram explaining the relationship between magnetic field strength and resistance change rate, and Figure 5 is a diagram showing the tilt angle and resistance change rate in the above device. FIG. 6 is a diagram illustrating a conventional proximity sensor, and FIG. 7 is a diagram showing its resistance value change rate. 11...Rotating body, 121.122,...Teeth, 13
...MR detection element, 131... Insulating substrate, 132.
... Magnetoresistive element, 133... Permanent magnet. Applicant's representative Patent attorney Takehiko Suzue Figure 1 Figure 2 Figure 3 Figure 4 (B) Figure 6
Claims (2)
されるようになり、外周部に複数の歯を有し、磁性体に
よって構成されるようにした歯車状回転体と、 この回転体の外周部に固定的に設定され、小間隔で上記
歯に対設設定されるようにした強磁性体磁気抵抗素子お
よびこの磁気抵抗素子の面に垂直にバイアス磁界を加え
る手段を含み構成されたMR検出素子とを具備し、 上記検出素子の上記磁気抵抗素子の面と、上記回転体の
角歯の軸線と平行方向に延びる面とが傾けて設定される
ようにしたことを特徴とする回転検出装置。(1) A gear-shaped rotating body that rotates synchronously with the object to be measured whose rotation is to be detected, has a plurality of teeth on its outer periphery, and is made of a magnetic material; The device includes a ferromagnetic magnetoresistive element fixedly set on the outer circumference of the body and opposed to the teeth at a small interval, and means for applying a bias magnetic field perpendicular to the surface of the magnetoresistive element. and an MR detection element, characterized in that a surface of the magnetoresistive element of the detection element and a surface extending in a direction parallel to the axis of the square tooth of the rotating body are set to be inclined. Rotation detection device.
角度は、上記接線に対して1°〜33°に設定されるよ
うにした特許請求の範囲第1項記載の回転検出装置。(2) The rotation detection device according to claim 1, wherein the angle of inclination of the surface of the magnetoresistive element with respect to the surface of the tooth is set to 1° to 33° with respect to the tangent.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62037069A JP2503481B2 (en) | 1987-02-20 | 1987-02-20 | Rotation detector |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62037069A JP2503481B2 (en) | 1987-02-20 | 1987-02-20 | Rotation detector |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63205515A true JPS63205515A (en) | 1988-08-25 |
JP2503481B2 JP2503481B2 (en) | 1996-06-05 |
Family
ID=12487260
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62037069A Expired - Lifetime JP2503481B2 (en) | 1987-02-20 | 1987-02-20 | Rotation detector |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2503481B2 (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5637995A (en) * | 1992-12-09 | 1997-06-10 | Nippondenso Co., Ltd. | Magnetic detection device having a magnet including a stepped portion for eliminating turbulence at the MR sensor |
US6020736A (en) * | 1994-08-25 | 2000-02-01 | Nippondenso Co., Ltd. | Magnetoresistive type position sensor having bias magnetic and magnet resistance elements in bias magnetic field thereof |
US6954063B2 (en) | 2001-03-27 | 2005-10-11 | Denso Corporation | Motion detecting device using magnetoresistive unit |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60155917A (en) * | 1984-01-25 | 1985-08-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Detection apparatus |
JPS6183910A (en) * | 1984-10-01 | 1986-04-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Detector |
-
1987
- 1987-02-20 JP JP62037069A patent/JP2503481B2/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60155917A (en) * | 1984-01-25 | 1985-08-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Detection apparatus |
JPS6183910A (en) * | 1984-10-01 | 1986-04-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Detector |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5637995A (en) * | 1992-12-09 | 1997-06-10 | Nippondenso Co., Ltd. | Magnetic detection device having a magnet including a stepped portion for eliminating turbulence at the MR sensor |
US6020736A (en) * | 1994-08-25 | 2000-02-01 | Nippondenso Co., Ltd. | Magnetoresistive type position sensor having bias magnetic and magnet resistance elements in bias magnetic field thereof |
US6954063B2 (en) | 2001-03-27 | 2005-10-11 | Denso Corporation | Motion detecting device using magnetoresistive unit |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2503481B2 (en) | 1996-06-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH10318784A (en) | Revolution sensor | |
US4754221A (en) | Position detecting apparatus for detecting a signal magnetic field indicative of a desired position | |
US5644226A (en) | Magnetic detector having a bias magnet and magnetoresistive elements shifted away from the center of the magnet | |
JPS63205515A (en) | Rotation detector | |
JPH0426047B2 (en) | ||
JPH03135722A (en) | Rotation sensor | |
JPH0720218A (en) | Magnetic sensor | |
JP2003149260A (en) | Position deciding device for motion sensor element | |
JPH07107486B2 (en) | Rotary positioner | |
JPS6266116A (en) | Rotary sensor | |
JPH069306Y2 (en) | Position detector | |
JPH0473087B2 (en) | ||
JPH05126513A (en) | Angle detector | |
JPS59142417A (en) | Magnetism detecting device | |
JPH063158A (en) | Detector | |
JPH04282480A (en) | Magnetic sensor | |
JP2687602B2 (en) | Rotational position detector | |
JP2513851Y2 (en) | Rotation sensor | |
JPH09287911A (en) | Apparatus for detecting rotational shift | |
JP3027668B2 (en) | Rotation detection device | |
JP3182880B2 (en) | Rotation detection device | |
JPH03226625A (en) | Rotation positioner | |
JPS60168018A (en) | Position detecting device | |
JPH073650Y2 (en) | Magnetoresistive element | |
JPH0320779Y2 (en) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
EXPY | Cancellation because of completion of term |