JPS63202369A - レ−ザ穿孔方法および装置 - Google Patents

レ−ザ穿孔方法および装置

Info

Publication number
JPS63202369A
JPS63202369A JP3328887A JP3328887A JPS63202369A JP S63202369 A JPS63202369 A JP S63202369A JP 3328887 A JP3328887 A JP 3328887A JP 3328887 A JP3328887 A JP 3328887A JP S63202369 A JPS63202369 A JP S63202369A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
laser
laser beam
raw sample
drilling
perforation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP3328887A
Other languages
English (en)
Inventor
Akira Miyake
亮 三宅
Nobuo Kimura
信夫 木村
Nobuyuki Hosomi
細見 信行
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP3328887A priority Critical patent/JPS63202369A/ja
Publication of JPS63202369A publication Critical patent/JPS63202369A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Apparatus Associated With Microorganisms And Enzymes (AREA)
  • Immobilizing And Processing Of Enzymes And Microorganisms (AREA)
  • Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、レーザ穿孔装置に係り、特に生細胞を対象に
穿孔し、これに遺伝子を移入するレーザ穿孔装置に関す
る。
〔従来の技術〕
第5図は、従来公知のレーザ穿孔装置を示す。
第5図において、1は穿孔用レーザ、2はレーザ1の発
生するレーザ光の光路を見るための参照用レーザ光を発
生する参照用レーザである。また、3は顕微鏡、4は顕
微鏡に組込まれた光路偏光装置である。上記穿孔用レー
ザ1によって発生されたレーザ光は、シャッタ5を経由
して、また参照用レーザ光はそのままの状態で光学的イ
ンターフェイス6に入射され、ここで両者のレーザ光が
所望の特性に変換された後、両者を同軸にして光路偏光
装置4に入射される。同軸にされたレンズはここで微少
な位置決めをされ、対物レンズ7で集光され、ステージ
8上に設置された試料容器9中の試料10に入射される
。上記光路偏光装置はここに入射されたレーザ光を試料
10のXY方向へ偏光できる構造になっている0以上の
ように構成された同装置において、生試料をモニタに映
し。
このモニタ上の生試料の任意の箇所にライトペンで指示
することにより、レーザ穿孔を行なっている。この場合
、生試料の細胞膜上にレーザ焦点が合致した場合のみ穿
孔が可能であるが、従来技術においては、この合焦操作
が自動化されていなかった。
なお、上記した如き従来技術は、特開昭60−8358
3号公報に開示されている。
〔発明が解決しようとする問題点〕
レーザ穿孔装置を用いての生試料への遺伝子移入は、穿
孔用パルスレーザ光を生試料表皮に照射し一時的に孔が
あいたところに遺伝子が流れ込むことを利用している。
一時的に孔をあけるという動作は、適当なエネルギで、
生試料表皮に穿孔用レーザを合焦させると、生試料のレ
ーザ照射部位が一瞬開孔し、その後生試料自身の自己修
復作用により自ら孔を閉じることで起きる。以下このよ
うな状態を「有効な穿孔」と呼ぶ。
従って、遺伝子移入効率を高めるためには有効な穿孔が
必要であり、生試料表皮に穿孔用レーザ光を確実に合焦
させるということが重要となる。
従来技術において、合焦操作の自動化はなされていない
、つまり、モニタ上に映し出されている各各の補胞等の
生試料において光軸方向に起伏があれば、各々の箇所に
応じて1合焦操作を行なわなければ有効な穿孔は不可能
となる。この合焦操作とは手動でステージを上下させ顕
微鏡やモニタ画像から受ける印象や、ライトペンの指示
箇所へ照射されている参照用レーザ光のスポットをst
mしながら、その焦点位置を判断する。その後穿孔レー
ザ光を照射してみることで合焦を確認する。有効な穿孔
が得られるまで試行を繰り返すことになる。
以上のように、モニタに映った任意の生試料に対しすば
やく有効な穿孔を行なうことは難しかった。
本発明は、生試料表皮にすばやく自動合焦し、高能率な
穿孔を可能にすることを目的とする。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明は、ライトペンでのモニタ画面上の指示位置の光
強度を検出し、この光強度を用いてビームウェスト位置
と生試料表面とが合致する位置を含む所定領域を求め、
この所定領域内でビームウェスト位置と生試料表面位置
との距離を変更し。
この変更期間中に穿孔用レーザ光を生試料に照射するよ
うにしたことを特徴とする。
[作用〕 対物レンズ通過後の参照用レーザ光のビームウェスト位
置と生試料表面との距離を変化させて。
モニタ画面上のライトペン指示位置での光強度の変化を
検出する。この段階で、ビームウェスト位置と生試料表
面とが合致した位置(合焦位置)をみつけ、この位置を
含む所定範囲の領域を見出す。
次に、この領域内でビームウェスト位置と生試料表面と
の距離を変更させる。この変更によって、上記合焦の状
態が存在するので、この変更期間中に穿孔用レーザ光を
生試料に照してやれば、合焦した状態でのレーザ光の距
離の確率は高くなる。
これによって、生試料表面に合焦したレーザ光は、穿孔
可能なエネルギ密度に達し、有効な穿孔を行う。
〔実施例〕
以下、本発明の実施例を図面を用いて説明する。
第1図は本発明の一実施例を示すブロック図である。第
2a図はステージを移動させた時参照用レーザ光のビー
ムウェスト位置が生試料内部に存在する場合のモニタT
V像を表わし、第2b図はレーザ光と生試料表皮の相対
位置関係を示す概念図である。同様に第3a図、第3b
図は、生試料表皮ビームウェスト位置と合致した場合の
モニタTV像、概念図を夫々表わす、第4a図、第4b
図は、生試料表皮がビームウェスト位置から離れたとこ
ろに存在する場合のモニタTV像、概念図を夫々表わす
、第5図は、第2a図〜第4b図のようにテーブルを移
動させ、生試料表面のレーザ光反射強度をセンシングし
ていった場合の補助説明図である。第6a図はビームエ
キスパンダ22を変動させた場合の対物レンズ7による
穿孔用レーザ光21のビームウェスト位置の変化を表わ
し、上から■、■、■とすると、第6b図は第6a図の
■、■、■に対応したビームウェストと生試料表皮の相
対位置関係を示す概念図である。第7図は第6a図のよ
うにビームエキスパンダ22が■から■まで変化する間
の発振回数だけ穿孔用レーザ光を照射した時各照射ごと
のレーザ光ビームウェスト位置を示した図である。
第1図において、穿孔用レーザ光21を発生する穿孔用
レーザ1と、参照用レーザ光15を発生する参照用レー
ザ2は、光学的インターフェース(例えばダイクロイッ
クミラー)6によって、上記2つのレーザ光が同軸にな
るように配置されている。顕微鏡3は対物レンズ7を有
し、該レーザ光をステージ8上の生試料10に照射する
ように配置されている。生試料10は、試料容器9の内
側に保存されている。TVカメラ19は、顕微鏡3で得
られた生試料像を撮像できるように顕微鏡3の図示しな
い鏡筒に固定されている。モニタTV12は、間にスキ
ャナコントローラ282位置検出回路27.カメラコン
トローラ26を介してTVカメラ19に接続されている
。モニタTV12上の画像の任意の位置を指示するライ
トペン11は位置検出回路27と結線されている。スキ
ャナコントローラ28は、位置検出回路27から送られ
てくる搬像信号とライトペン指示位置信号を受けてスキ
ャナドライバ29に制御信号を、モニタTV12に画像
信号を送るように結線されている。
スキャナドライバ29は、その制御信号を入力してライ
トペンで指示された位置に対応する生試料上の位置に前
記レーザ光を偏光する光路偏光装置4に結線されている
。穿孔の際に穿孔用レーザ光21を通過させるためシャ
ッタ5が穿孔用レーザ1の出口直後のところに配置され
ている。ライトペン11の指示位置に対応する生試料上
には参照用レーザ光15のスポットができる。スポット
は、モニタTV12上で光輝エリア16として映し出さ
れる。ライトペン11の先端には、この光輝エリアの光
強度をセンシングできる光輝度センサ30が併設されて
いる。光輝度センサの信号は光強度検出部20へ入力さ
れ、さらに演算制御部25へ出力される。演算制御部2
5には、上記入力の他に穿孔用レーザ1からのレーザ光
発振信号を入力し、各制御指令がシャッタコントローラ
28、ビームエキスパンダコントローラ27.ステージ
コントローラ26へ各々出力されるように結線されてい
る。シャッタコントローラ28は前記シャッタ5へ開閉
タイミングを与える信号を発する。ビームエキスパンダ
コントローラ27の信号は、モータ24に伝達するよう
に結線されている。ギヤ部23は、モータ軸出力をビー
ムエキスパンダ22に伝達するように設置されている。
ステージコントローラ2日も同様にモータ14と結線さ
れギヤ部13はモータ14の出力をステージ8へ伝達す
るように設置されている。
次に、第1図に示す実施例の動作を詳細に説明する。
第1図に示すように、ライトペン11をモニタTV12
の画面上、生試料10の穿孔したい箇所へ移し軽く押え
る。それは操作開始信号として演算制御部25へ伝達さ
れる。演算制御部25は。
この信号を受けて、ステージ8を第5図に示すように現
在位[Z oからZlへ、その後Z1からZlまで移動
させる命令をステージコントローラ26へ伝達する。こ
のテーブル移動範囲は1合焦位置がその範囲内に入るよ
うに設定する必要がある。上記命令を受けてステージ8
は、顕微鏡3の微動つまみに連動したギヤ部13.モー
タ14によって所定量移動する。このステージの移動に
伴って、生試料10に照射されている参照用レーザ光1
5による光輝エリア16の光輝度が変化する。
第3a図に示すように、この光輝度は生試料表皮18に
参照用レーザ光15のビームウェストが合致した時、最
も強くなる。ライトペン11先端の光輝度センサ30は
、この光輝度変化を検知し、光強度検出部で例えば第5
図の31のようにデジタル信号化される。さらに、メモ
リによってそれらの信号は保存される。ステージ8の移
動によるセンシングが終了すると演算制御部25は、上
記メモリ中のデータを受けとり、ビームウェストと生試
料表皮18が合致する位置Zrと測定による位置の誤差
範囲ΔZを演算する1次に、その値の決定方法を示す。
得られたデータは第5図32に示すように回帰曲線で補
正される。この曲線でピークとなる位置をZr とする
。Zrは確実な値ではなく測定による誤差を含む。そこ
でZrでの光強度値I +al1mに対してI =0 
、95 X I mJIKの光強度値をとるピーク両端
のステージ位置の差をΔZとする。ZrとΔZの決定方
法としては、微分を用いてピーク位置を決定する方法や
、しきい値を設けて上記合致点が含まれる範囲ΔZを定
め、その中間位置をZr とする方法なども用いること
ができる。演算制御部25はZrの位置へステージ8を
移動させる命令をステージコントローラ26へ送る。
次のステップとして演算制御部25ではΔZの値よりビ
ームエキスパンダ作動量を演算する。上記作動量の演算
には、ビームエキスパンダ22のレンズ間距離と対物レ
ンズ7を通過したレーザ光の焦点位置との実験式を用い
る。
この実験式からΔZに対応したビームエキスパンダレン
ズ間変化量ΔLが計算される。この値は、演算制御部2
5からビームエキスパンダコントローラ27へ伝達され
る。コントローラはモータ24に対して、現在のレンズ
間距離ΔL/2縮めるための信号を発する。
その後、演算制御部25は、穿孔用レーザ1によるレー
ザ光発振パルスの最も早い信号をトリガとして捉え、即
座にシャッタコントローラ28゜ビームエキスパンダコ
ントローラ27へ信号を発する。これを受けて、はぼ同
時にシャッタ5は開き、ビームエキスパンダ22のレン
ズ間距離は第6a図の■、■、■のように変化する。す
なわち、第6図の■、■、■に示すように細胞10に対
して焦点位置が所定量変化する。
第7図に示す例では、焦点位置がΩ−五からQlまでΔ
Q変化する間に穿孔用レーザ光21は10回照射される
。この10回の内、焦点が細胞表皮18と重なった■の
場合、有効な穿孔が起こることになる。所定量の走査が
終了すると、シャッタ5は閉じられ、ビームエキスパン
ダ22のレンズ間距離は初期設定値へ戻る。
以上の過程を経て、確実に生試料に有効な穿孔を行なう
ことができる。生試料表皮18は、表面の状態が一様と
は限らないので、参照用レーザ光15の光輝エリア16
の光輝度の最大値は、ライトペン指示位置によって異な
る。また、その指示位置の光輝度センシングデータ自体
にもばらつきがある6以上のような理由から、本実施例
においては、データから回帰曲線を求め、そのピーク値
を選ぶという方法を採っている。しかし1個々のポイン
トにおいて、平坦に近い面を持つ試料に対しては、ステ
ージを上下振動させ、レーザスポツトの光輝度変化によ
ってフィードバックをかけながら目的の焦点位置へステ
ージを収束させてゆく方法でも良い、このような方法だ
と、本実施例に比べて、さらに短かい時間で穿孔が可能
となる。
また、光輝度センシングをさらにに正確にするために次
のような方法が考えられる。
テレビカメラの直前にハーフミラ−を設け、試料像を反
射して光感応素子をマトリックス状に分布したセンサー
へ導く。この光感応素子は、参照用レーザ光の波長(本
実施例においては、波長633nm)に特に敏感なもの
を選ぶ、ライトペンの指示箇所に対応した素子に試料か
らの参照用レーザ光反射光が照射されているので、該光
感応素子は上述のライトベン先端の開度センサの役割を
代用する。この方法を用いると、さらに合焦精度は向上
する。
上記した実施例に用いた穿孔用レーザは、パルス発振型
のレーザであるが、例えば連続発振型のレーザを用いる
こともできる。レーザ光出口において光シャッタを設け
、ビームエキスパンダの距離変化の際レーザ光を一定時
間開放しながら照射する方法や断続的に通してレーザ光
をパルス化しながら照射する方法などが可能である。
また、上記の実施例では、参照用レーザ光15のビーム
ウェスト位置と生試料表皮18の距離を変化させる手段
としてテーブル8を移動させる方法を採ったが、振動等
の外力を嫌う試料等の場合は光学的インターフェース6
と試料の間にビームエキスパンダを追加して上記手段を
代行させることが可能である。
〔発明の効果〕
本発明によれば、モニタに映った生試料の任意の箇所に
おいて、ライトベンを近づけることにより、そのポイン
トにおける自動合焦が可能となる。
さらに、上記合焦操作の誤差を補うために、穿孔用レー
ザ光を、光軸方向に走査させることで、ライトペンで指
示した箇所に対し、確実に有効な穿孔が可能となる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を示す概略図、第28図、第
2b図、第3a図、第3b図、第4a図および第4b図
は生試料をパイロットレーザ光焦点に対して移動させた
場合のモニタに映るスポット像の変化を示した図、第5
図はステージ位置とレーザスポット光輝度の関係の一例
を示した図、第6a図および第6b図はビームエキスパ
ンダレンズ間距離と穿孔レーザの焦点走査の状態を表わ
した図、第7図はレーザ焦点走査と照射タイミングを示
す図、第8図は従来技術を示す図である。 1・・・穿孔用レーザ、2・・・参照用レーザ、3・・
・顕微鏡、4・・・光路変更装置、5・・・シャッタ、
6・・・光学的インターフェース、7・・・対物レンズ
、9・・・試料容器、10・・・生試料、11・・・ラ
イトペン、12・・・モニタTV、13・・・ギヤ部、
14・・・モータ、15・・・参照用レーザ光、19・
・・TVカメラ、20・・・光強度検出部、21・・・
穿孔用レーザ光、22・・・ビームエキスパンダ、23
・・・ギヤ部、24・・・モータ、25・・・演算制御
部、26・・・カメラコントローラ、27・・・位置検
出回路、28・・・スキャナコントローラ、29・・・
スキャナドライバ、33・・・シャッタコントローラ、
34・・・ビームエキスパンダコントロ第24図 f北
国  T4に ”tzb図   ’EEb図   第4b図冨5図 Z−:j18ズf−3;4fL# 32   看り′¥46し9回帰−シ秀鳴しT〆久図 
     fZb図 77 カム゛−り゛クス 18主麩)り仮 第 7  図 ノ、−ノーl=ΔZ

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、穿孔用レーザ光と参照用レーザ光とを同軸にして顕
    微鏡に導き、該顕微鏡の対物レンズを介してステージ上
    の生試料に該参照用レーザ光を照射した状態における生
    試料像を撮像してモニタ上に画像表示し、該モニタ上の
    画像の任意の位置をライトペンで指示した位置と該画像
    における参照用レーザ光の照射位置とを合致させるべく
    光路偏光を行い、該合致後において前記穿孔用レーザを
    該生試料に照射して穿孔を行うレーザ穿孔方法において
    、 前記ライトペンの指示位置における画面上の光強度を検
    出し、該光強度が最も大となるビームウェスト位置を含
    む所定領域を求めてこの領域内でレーザ光のビームウェ
    スト位置と前記生試料表面との間の距離を変動させ、該
    変動期間内において前記穿孔用レーザ光を前記生試料に
    照射することを特徴とするレーザ穿孔方法。 2、穿孔用レーザ光を発生する穿孔用レーザと、参照用
    レーザ光を発生する参照用レーザと、上記2つのレーザ
    光を同軸にして顕微鏡に導く光学系と、上記レーザ光を
    入射してステージ上の生試料に照射する対物レンズを有
    する該顕微鏡と、該顕微鏡で得られた生試料像を画像表
    示するモニタと、該モニタ上の画像の任意の位置を指示
    するライトペンと、該ライトペンで指示された位置に対
    応する該生試料の位置に前記レーザ光を偏光する光路偏
    光手段と、穿孔の際に前記穿孔用レーザ光を通過させる
    シャッタとを有するレーザ穿孔装置において、 前記ライトペンの指示位置における光強度を検出する光
    強度検出手段と、前記対物レンズ通過後のレーザ光のビ
    ームウェスト位置と前記生試料表面との距離を変更せし
    める変動手段と、該距離変化によって得られる該指示位
    置における前記光強度の変化から該ビームウェスト位置
    と前記生試料表面とが合致する距離を含む所定領域を求
    め、該所定領域に基づいて前記距離を該所定領域内で変
    更させるための制御信号を前記変動手段に出力すると共
    に、該制御信号の出力期間中に前記シャッタに前記穿孔
    用レーザ光の照射指令を出力する演算制御手段とを設け
    たことを特徴とするレーザ穿孔装置。
JP3328887A 1987-02-18 1987-02-18 レ−ザ穿孔方法および装置 Pending JPS63202369A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3328887A JPS63202369A (ja) 1987-02-18 1987-02-18 レ−ザ穿孔方法および装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3328887A JPS63202369A (ja) 1987-02-18 1987-02-18 レ−ザ穿孔方法および装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS63202369A true JPS63202369A (ja) 1988-08-22

Family

ID=12382347

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3328887A Pending JPS63202369A (ja) 1987-02-18 1987-02-18 レ−ザ穿孔方法および装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS63202369A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2001079806A1 (de) * 2000-04-13 2001-10-25 Leica Microsystems Wetzlar Gmbh Verfahren und vorrichtung zum laserschneiden mikroskopischer proben
US7332313B2 (en) * 2001-06-05 2008-02-19 Applied Biophysics, Inc. Electrical wounding assay for cells in vitro
JP2010148460A (ja) * 2008-12-25 2010-07-08 Nsk Ltd 細胞穿孔装置及び細胞穿孔形成方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2001079806A1 (de) * 2000-04-13 2001-10-25 Leica Microsystems Wetzlar Gmbh Verfahren und vorrichtung zum laserschneiden mikroskopischer proben
US7332313B2 (en) * 2001-06-05 2008-02-19 Applied Biophysics, Inc. Electrical wounding assay for cells in vitro
JP2010148460A (ja) * 2008-12-25 2010-07-08 Nsk Ltd 細胞穿孔装置及び細胞穿孔形成方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107346059B (zh) 可变焦距成像系统
JP4923541B2 (ja) 顕微鏡
WO2001067154A3 (en) A microscope suitable for high-throughput screening having an autofocusing apparatus
JPS58179834A (ja) 投影露光装置及び方法
US6833918B2 (en) Light scattering particle size distribution measuring apparatus and method of use
JPS58181005A (ja) 自動焦点位置合せ及び測定装置並びに方法
JP5162783B2 (ja) 走査型顕微鏡法における位置信号および検出信号の位相補正のための方法ならびに装置および走査型顕微鏡
EP0902945B1 (en) System for adjusting the spot size in an optical recording system
JPS63202369A (ja) レ−ザ穿孔方法および装置
JPS63278692A (ja) レ−ザ−加工装置に於ける自動焦点機構
JP4974060B2 (ja) 創薬スクリーニング方法
JP3431300B2 (ja) 顕微鏡用自動焦点検出装置
JP2001091821A (ja) 顕微鏡用オートフォーカスシステム
JPH1123952A (ja) オートフォーカス装置及びこれを利用したレーザ加工装置
JP4962769B2 (ja) 3次元顕微鏡システム
JPH10232342A (ja) 顕微鏡用オートフォーカス装置
JPH04237587A (ja) レーザ加工装置
JPH09189849A (ja) 顕微鏡用焦点検出装置
CN114544498A (zh) 一种光刻样品及微纳结构跟踪装置及方法
JPH0919784A (ja) レーザパターニング加工装置および加工方法
JP2974393B2 (ja) 顕微鏡の画像入力装置
JP2828145B2 (ja) 光切断顕微鏡装置及びその光学手段の位置合わせ方法
TW202204974A (zh) 光學顯微鏡之雷射加工之能量動態調整方法與光斑大小動態調整方法
JPH04271773A (ja) 生試料の加工位置制御方法
JPH04157413A (ja) 走査型顕微鏡