JPS63199007U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63199007U JPS63199007U JP8997287U JP8997287U JPS63199007U JP S63199007 U JPS63199007 U JP S63199007U JP 8997287 U JP8997287 U JP 8997287U JP 8997287 U JP8997287 U JP 8997287U JP S63199007 U JPS63199007 U JP S63199007U
- Authority
- JP
- Japan
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- target
- image
- image sensor
- measuring device
- optical system
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 7
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
第１図〜第５図は本考案の光学式変位測定装置
の一実施例を示す構成図、第６図は従来の光学式
変位測定装置の一例を示す構成図である。 ＴＧ……ターゲツト、１，１１……光源、２１
〜２３……ハーフミラー、３１，３２，７１〜７
３……レンズ、４……絞り、５Ｘ，５Ｙ……イメ
ージセンサ、６……信号処理回路、７……テレセ
ントリツク光学系、８１……振幅検出回路、８２
……駆動装置。
の一実施例を示す構成図、第６図は従来の光学式
変位測定装置の一例を示す構成図である。 ＴＧ……ターゲツト、１，１１……光源、２１
〜２３……ハーフミラー、３１，３２，７１〜７
３……レンズ、４……絞り、５Ｘ，５Ｙ……イメ
ージセンサ、６……信号処理回路、７……テレセ
ントリツク光学系、８１……振幅検出回路、８２
……駆動装置。
Claims (1)
- ターゲツトに光を照射するとともにその反射光
を利用してイメージセンサ上にターゲツトの像を
結ばせターゲツトの変位に応じた結像の動きをイ
メージセンサにより検出するようにした光学式変
位測定装置において、それぞれの焦点距離の和に
等しい間隔をおいて配置された２枚のレンズによ
り構成されるとともに前記ターゲツトに対する投
受光光路中に移動可能に配置されたテレセントリ
ツク光学系と、このテレセントリツク光学系にお
ける焦点位置に配置された絞りとを具備し、前記
ターゲツトとの距離に応じてこのターゲツトの像
が前記イメージセンサ上に結像するように前記テ
レセントリツク光学系の位置を移動させるように
してなる光学式変位測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8997287U JPS63199007U (ja) | 1987-06-11 | 1987-06-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8997287U JPS63199007U (ja) | 1987-06-11 | 1987-06-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63199007U true JPS63199007U (ja) | 1988-12-21 |
Family
ID=30949436
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8997287U Pending JPS63199007U (ja) | 1987-06-11 | 1987-06-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63199007U (ja) |
-
1987
- 1987-06-11 JP JP8997287U patent/JPS63199007U/ja active Pending
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