JPS631934A - 照度測定子 - Google Patents
照度測定子Info
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- JPS631934A JPS631934A JP14484086A JP14484086A JPS631934A JP S631934 A JPS631934 A JP S631934A JP 14484086 A JP14484086 A JP 14484086A JP 14484086 A JP14484086 A JP 14484086A JP S631934 A JPS631934 A JP S631934A
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- light guide
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/02—Details
- G01J1/04—Optical or mechanical part supplementary adjustable parts
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
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- G01J1/0407—Optical elements not provided otherwise, e.g. manifolds, windows, holograms, gratings
-
- G—PHYSICS
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- G01J1/0414—Optical elements not provided otherwise, e.g. manifolds, windows, holograms, gratings using plane or convex mirrors, parallel phase plates, or plane beam-splitters
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、照度測定子に係り５％に狭い場所。
高温、活性雰囲気等における照度の測定に好適なライト
ガイドを有した測定子に関する。
ガイドを有した測定子に関する。
従来の測定子は、受光面にセンサーが密着し、さらに増
幅器も内蔵されていたため。
幅器も内蔵されていたため。
■、槽構造大きい
２、使用温度が４（Ｉｃ以下と制限がある３、構成部品
が樹脂材などであり、活性雰囲気に弱い などの欠点を有しており、狭い場所、高温、活性雰囲気
での照度測定に対する配慮がされていなかった。
が樹脂材などであり、活性雰囲気に弱い などの欠点を有しており、狭い場所、高温、活性雰囲気
での照度測定に対する配慮がされていなかった。
なお、この種の装置として関連するものには例えば特開
昭６０−１１１１２４号、特開昭６０−８８３２８号等
が挙げられる。
昭６０−１１１１２４号、特開昭６０−８８３２８号等
が挙げられる。
上記従来技術は、狭い場所、高温、活性な雰囲気等での
照度測定の点について配慮がなされておらず、狭い場所
での測定ができない、４０Ｃ以上の雰囲気での測定がで
きない、活性な雰囲気では測定子を構成する樹脂等の部
分が犯される等の問題があった。
照度測定の点について配慮がなされておらず、狭い場所
での測定ができない、４０Ｃ以上の雰囲気での測定がで
きない、活性な雰囲気では測定子を構成する樹脂等の部
分が犯される等の問題があった。
本発明の１］的は、このような狭い場所、高温。
活性な雰囲気での照度の測定を可能にすることにある。
上記目的は、照度測定子として、細く長いガラス棒、と
、これを保護する覆いを使い、これをライトガイト慴す
る光の入射部にて光を直角に曲げて、ガラス棒の長手方
向に来るように、ガラス棒先端部に反射面を構成し、ガ
ラス棒の出口部に光電管又はホトダイオード等を接続す
ることＫより達成される。
、これを保護する覆いを使い、これをライトガイト慴す
る光の入射部にて光を直角に曲げて、ガラス棒の長手方
向に来るように、ガラス棒先端部に反射面を構成し、ガ
ラス棒の出口部に光電管又はホトダイオード等を接続す
ることＫより達成される。
もちろんガラスの材料は、所望の波長の光を通すもので
あり、保護管は、ガラスを保護すると同時に入射孔以外
からガラス棒に光が入らないようにする役割も果たす。
あり、保護管は、ガラスを保護すると同時に入射孔以外
からガラス棒に光が入らないようにする役割も果たす。
また、接続する光電管やホトダイオードは、所望の波長
に感度を有するものでなければならない。
に感度を有するものでなければならない。
狭い場所に挿入するため、細くて長いライトガイド（ガ
ラス棒と保護管）を構成する。
ラス棒と保護管）を構成する。
上下の間隔が狭く上からの光を下側で受光しこれを横に
遠くに導き出すため、受光方向と光をガイドする方向が
直角になるようにするため、ガラス棒先端の受上面とラ
イトガイドの軸とが４５６になるようにガラス棒先端を
加工し、さらに光を効率よく反射させるためアルミニウ
ムの金属の蒸゛層を行い、さらに５ｊＯ２被覆等により
蒸着面を保護する。
遠くに導き出すため、受光方向と光をガイドする方向が
直角になるようにするため、ガラス棒先端の受上面とラ
イトガイドの軸とが４５６になるようにガラス棒先端を
加工し、さらに光を効率よく反射させるためアルミニウ
ムの金属の蒸゛層を行い、さらに５ｊＯ２被覆等により
蒸着面を保護する。
該細く長いガラス棒の保護と、受光面以外からのガラス
棒への光の侵入を防ぐことのためガラス棒は、金属（た
とえばステンレス）の保護！内に収納する。
棒への光の侵入を防ぐことのためガラス棒は、金属（た
とえばステンレス）の保護！内に収納する。
゛ 細く長いライトガイドにより、狭く高温活性な雰囲
気の外へ導き出した該ライトガイドの他端部からの光を
増幅測定するため、該端部に光電管またはホトダイオー
ドを接続し増幅回路にて増幅し測定する。
気の外へ導き出した該ライトガイドの他端部からの光を
増幅測定するため、該端部に光電管またはホトダイオー
ドを接続し増幅回路にて増幅し測定する。
き
以下本発明の一実施例を第１〜４図によシ説明する。
第１図は、直径３關ムクの石英棒３よりなシ、波長２５
４ｎｍを通す材質で３００１１ＩＩ１１の長さである。
４ｎｍを通す材質で３００１１ＩＩ１１の長さである。
受光側の先端は受光面１として平面にし、この面と４５
°の角をなした反射面２を構成し、この面にアルミニウ
ムの蒸着°を行った後、Ｓｉのアルコキシド液を塗布し
処理して５ｊＯ２膜を形成して該アルミニウム蒸着膜を
保護する。
°の角をなした反射面２を構成し、この面にアルミニウ
ムの蒸着°を行った後、Ｓｉのアルコキシド液を塗布し
処理して５ｊＯ２膜を形成して該アルミニウム蒸着膜を
保護する。
第２図は１石英棒３を収納保護する肉厚０．５１１ＩＩ
Ｉ程度のステンレス製の保護管であり１石英棒３の先端
受光面１に相当する部分には第３図に示すように光の入
射孔５を形成し、該入射孔の穴径は約１．５ｓｗと□し
た。
Ｉ程度のステンレス製の保護管であり１石英棒３の先端
受光面１に相当する部分には第３図に示すように光の入
射孔５を形成し、該入射孔の穴径は約１．５ｓｗと□し
た。
該石英棒３を収納した保護管４け、その他端部が、光電
管又はホトダイオードよりなる光センサ−６の受光面と
密着するように接続されている。
管又はホトダイオードよりなる光センサ−６の受光面と
密着するように接続されている。
センサー６および増幅回路７は、ケース８に収納されて
おり、シード付ケーブル９により電源及び測部（図示せ
ず）に接続して、測定系を構成する。
おり、シード付ケーブル９により電源及び測部（図示せ
ず）に接続して、測定系を構成する。
゛・第４図は、実用例の一例を示すもので′あり、紫イ
光源１１と、ウェハ１４との間隔は約１０Ｉｏｌであ勺
、つ゛工□ハ１４は、ヒータを兼ねたワーク台１５に載
せである。ウェハ温度は２００Ｃであり雰囲気は、オゾ
ンを有した空気の流れである。これらは処理室１０内−
にあり、ウェハ１４上に本発明による測定子のライトガ
イド４を処理室の壁の一部より挿入して、ウェハ上の照
度を測定する。
光源１１と、ウェハ１４との間隔は約１０Ｉｏｌであ勺
、つ゛工□ハ１４は、ヒータを兼ねたワーク台１５に載
せである。ウェハ温度は２００Ｃであり雰囲気は、オゾ
ンを有した空気の流れである。これらは処理室１０内−
にあり、ウェハ１４上に本発明による測定子のライトガ
イド４を処理室の壁の一部より挿入して、ウェハ上の照
度を測定する。
該ライトガイドの挿入深さを増減し、かつ挿入口を軸と
して、ライトガイドを平面上で扇形に回転走査すれば、
ウェハ上の照度の分布が測定できる。
して、ライトガイドを平面上で扇形に回転走査すれば、
ウェハ上の照度の分布が測定できる。
本発明によれば、狭い場所、高温、活性雰囲気でも光を
ライトガイドによって該雰囲気外に導き出゛せるので、
容易かつ安全に正確に被照射面上の照度が直接測定でき
、工業的効果大である。
ライトガイドによって該雰囲気外に導き出゛せるので、
容易かつ安全に正確に被照射面上の照度が直接測定でき
、工業的効果大である。
第１図は１本発明の実施例になるライトガイド部の構成
を示す横断面図および縦断面図、第２図は、ライトガイ
ドの保護管の側面図、第３図は。 本発明の実施例の藤度測定子の全体構成を示す概略図、
第４図は、本発明の測定子の具体的応用５・例の説明図
である。 １・・・ライトガイドの受光面、２・・・反射面、３・
・・ライトガイド、４・・・保護管、５・・・入射孔、
６・・・センサー、７・・・増幅器、８・・・ケース、
９・・・ケーブル。 １０・・・処理室、１１・・・光源、１２・・・光源の
口金。 １３・・・リード線、１４・・・ウェハ、１５・・・ヒ
ータ付乎 ｌ 菌 （α） （υ 第 ４ 図 １．５ ／ 受り面 Ｓ−Ｘ弁↑礼
を示す横断面図および縦断面図、第２図は、ライトガイ
ドの保護管の側面図、第３図は。 本発明の実施例の藤度測定子の全体構成を示す概略図、
第４図は、本発明の測定子の具体的応用５・例の説明図
である。 １・・・ライトガイドの受光面、２・・・反射面、３・
・・ライトガイド、４・・・保護管、５・・・入射孔、
６・・・センサー、７・・・増幅器、８・・・ケース、
９・・・ケーブル。 １０・・・処理室、１１・・・光源、１２・・・光源の
口金。 １３・・・リード線、１４・・・ウェハ、１５・・・ヒ
ータ付乎 ｌ 菌 （α） （υ 第 ４ 図 １．５ ／ 受り面 Ｓ−Ｘ弁↑礼
Claims (1)
- １、測定しようとする波長の光を透過する細いガラスと
、その先端にて光が直角に曲がり、ガラスの長手方向に
来るような反射面を設け、該ガラス管を耐熱、耐薬品性
の保護管で覆い、この細くて長い他の端部に、測定しよ
うとする波長に感度を有する光電管またはホトダイオー
ドを密着接続した照度測定子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14484086A JPS631934A (ja) | 1986-06-23 | 1986-06-23 | 照度測定子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14484086A JPS631934A (ja) | 1986-06-23 | 1986-06-23 | 照度測定子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS631934A true JPS631934A (ja) | 1988-01-06 |
Family
ID=15371652
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14484086A Pending JPS631934A (ja) | 1986-06-23 | 1986-06-23 | 照度測定子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS631934A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08248322A (ja) * | 1995-02-23 | 1996-09-27 | Carl Zeiss:Fa | 焦点測定のためのアタッチメントモジュール |
| ES2597982R1 (es) * | 2015-01-05 | 2017-02-07 | Abengoa Solar New Technologies, S.A. | Sistema y método de medida de la irradiancia asociada a una fuente de radiación lumínica y del ángulo de incidencia de dicha radiación |
-
1986
- 1986-06-23 JP JP14484086A patent/JPS631934A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08248322A (ja) * | 1995-02-23 | 1996-09-27 | Carl Zeiss:Fa | 焦点測定のためのアタッチメントモジュール |
| ES2597982R1 (es) * | 2015-01-05 | 2017-02-07 | Abengoa Solar New Technologies, S.A. | Sistema y método de medida de la irradiancia asociada a una fuente de radiación lumínica y del ángulo de incidencia de dicha radiación |
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