JPS63191980A - Semiconductor testing device - Google Patents

Semiconductor testing device

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JPS63191980A
JPS63191980A JP62024235A JP2423587A JPS63191980A JP S63191980 A JPS63191980 A JP S63191980A JP 62024235 A JP62024235 A JP 62024235A JP 2423587 A JP2423587 A JP 2423587A JP S63191980 A JPS63191980 A JP S63191980A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
measurement
time
trigger
cpu
program
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP62024235A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yoshihisa Niimi
新美 良久
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yokogawa Electric Corp
Original Assignee
Yokogawa Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yokogawa Electric Corp filed Critical Yokogawa Electric Corp
Priority to JP62024235A priority Critical patent/JPS63191980A/en
Publication of JPS63191980A publication Critical patent/JPS63191980A/en
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Abstract

PURPOSE:To measure a test execution time selectively with relatively simple constitution by generating a trigger signal under prescribed conditions of an application program for plural measurement modules and taking measurement of time according to it. CONSTITUTION:Start conditions for setting a desired time measurement section and stop condition data are loaded in a time measurement unit 4 from a CPU 3 before the application program is executed. Consequently, a trigger part 5 decides the prescribed conditions of the program executed by the CPU 3 and generates and applies the trigger signal TG to an AND gate 6. The gate 6 outputs a measurement clock CK according to the signal TG, and a counter part 7 counts it. Its time measurement result is read in the CPU 3 after the program execution and processed as required. Consequently, the execution times of the respective measurement modules are measured with the relatively simple constitution.

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、半導体テスト装置に関するものであり、詳し
くはテスト対染物半導体装置のテスト実行時間の計測に
関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Field of Industrial Application) The present invention relates to a semiconductor test device, and more particularly, to measurement of test execution time of a test-to-dye semiconductor device.

(従来の技術) 半導体テスト装置の一種に、第5図に示すように、テス
ト対象物半導体装置(以下DIJTという)に固有のア
プリケーションプログラムに従って演算制御部1により
複数の計測モジュール21〜2πを#I御するように構
成されたものがある。
(Prior Art) As shown in FIG. 5, one type of semiconductor test equipment uses a calculation control unit 1 to control a plurality of measurement modules 21 to 2π according to an application program specific to a semiconductor device under test (hereinafter referred to as DIJT). Some devices are configured to control I.

ところで、このような半導体テスト装置では、テスト時
間に対するコストが重要視されていることから、DUT
固有のテスト実行時間に対する関心が高く、各DUT毎
のテスト実行時間や個々のテストルーチンの実行時間の
81測に対する要求が高まりつつある。
By the way, in such semiconductor test equipment, the cost with respect to test time is important, so the DUT
There is a growing interest in specific test execution times, and there is an increasing demand for measurements of the test execution time for each DUT and the execution time of individual test routines.

ところが、従来の半導体テスト装置にはこのようなアプ
リケーションプログラムの実行時間を計測するための有
効な手段は講じられておらず、例えば必要に応じてイン
サーキットエミュレータとタイムインターバルカウンタ
を外部から接続して半導体テスト装置内部のプログラム
信号線をモニターし、所望の実行時間を計測することが
行われている。
However, conventional semiconductor test equipment does not have an effective means for measuring the execution time of such application programs.For example, if necessary, an in-circuit emulator and a time interval counter may be connected externally. A program signal line inside a semiconductor test device is monitored to measure a desired execution time.

(発明が解決しようとする問題点) しかし、このように外部から測定装置を接続してアプリ
ケーションプログラムの実行時間を計測する方法は、モ
ニタ一対象である半導体テスト装置の内部の状態がかな
り複雑であることから、的確な実行時間の計測は装置の
ユーザーのみならず装置のメーカーにおいてもかなり困
難である。
(Problem to be solved by the invention) However, in this method of measuring the execution time of an application program by connecting a measurement device from outside, the internal state of the semiconductor test equipment that is being monitored is quite complicated. For this reason, accurate measurement of execution time is quite difficult not only for device users but also for device manufacturers.

本発明ぼ、このような問題点に着目してなされたもので
あり、その目的は、アプリケーションプログラムに基づ
く任意のテスト実行時間を比較的簡単な構成で選択的に
計測できる半導体テスト装置を実現することにある。
The present invention has been made with attention to such problems, and its purpose is to realize a semiconductor test device that can selectively measure the execution time of any test based on an application program with a relatively simple configuration. There is a particular thing.

く問題点を解決するための手段) このような問題点を解決する本発明は、テスト対象物半
導体装置に応じた所定のプログラムに従って複数の計測
モジュールを制御する演算制御部と、 この演算制御部で実行されるプログラムの所定の条件を
判定してトリガー信号を発生するトリガー部と、 このトリが一部から出力されるトリガー信号に従って時
間計測を行い計測結果を演算制御部に出力するカウンタ
部を設けたことを特徴とする。
The present invention, which solves these problems, comprises: a calculation control section that controls a plurality of measurement modules according to a predetermined program according to a semiconductor device to be tested; A trigger unit that determines a predetermined condition of a program to be executed and generates a trigger signal, and a counter unit that measures time according to the trigger signal output from a part of this trigger and outputs the measurement result to the arithmetic control unit. It is characterized by having been established.

(実施例〉 以下、図面を用いて本発明の実施例を詳細に説明する。(Example> Embodiments of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings.

第1図は本発明の一実施例を示すブロック図であり、第
5図と同一部分には同一符号を付けている。第1図にお
いて、3は演算制御部1に設けられている演算処理ユニ
ット(以下CPUという)であり、4は本発明に基づい
て設けられる時間計測ユニットである。ここで、時間計
測ユニット4は、CPtJ3の制御下に置かれている。
FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of the present invention, and the same parts as in FIG. 5 are given the same reference numerals. In FIG. 1, 3 is an arithmetic processing unit (hereinafter referred to as CPU) provided in the arithmetic control section 1, and 4 is a time measurement unit provided based on the present invention. Here, the time measurement unit 4 is placed under the control of the CPtJ3.

すなわち、CPU3は、アプリケーションプログラムを
実行するとともに時間計測ユニット4の制御も実時間で
実行することになる。
That is, the CPU 3 executes the application program and also controls the time measurement unit 4 in real time.

第2図は、時間計測ユニット4の基本構成を示すブロッ
ク図である。第2図において、5はトリガー部であり、
演算制御部1のCPU3で実行されるアプリケーション
プログラムの所定の条件を判定してトリガー信号TGを
発生する。このトリガー信号TGはアンドゲート6の一
方の入力端子に加えられる。アンドゲート6の他方の入
力端子には時間計測クロックGKが加えられる。7はカ
ウンタ部であり、トリガー部4から出力されるトリガー
信号TGに従ってアンドゲート6から出力される計測ク
ロックGKをカウントして時間計測を行う。なお、この
時間計測結果は、アプリケーションプログラム実行後に
CPU3に読み込まれ、必要な演算処理が行われる。こ
のようなカウンタ部7としては、計測時間に応じて例え
ば16〜24ビツトのバイナリ−カウンタを用いる。
FIG. 2 is a block diagram showing the basic configuration of the time measurement unit 4. As shown in FIG. In FIG. 2, 5 is a trigger part;
A trigger signal TG is generated by determining a predetermined condition of an application program executed by the CPU 3 of the arithmetic control unit 1. This trigger signal TG is applied to one input terminal of the AND gate 6. A time measurement clock GK is applied to the other input terminal of the AND gate 6. A counter section 7 counts the measurement clock GK output from the AND gate 6 in accordance with the trigger signal TG output from the trigger section 4 to measure time. Note that this time measurement result is read into the CPU 3 after the application program is executed, and necessary arithmetic processing is performed. As such a counter section 7, a 16- to 24-bit binary counter, for example, is used depending on the measurement time.

第3図は第2図の具体例を示すブロック図であり、第2
図と同一部分には同一符号を付けている。
FIG. 3 is a block diagram showing a specific example of FIG.
The same parts as in the figure are given the same reference numerals.

第3図において、8はCPUバス上の現在のプログラム
アドレスCPAを格納するレジスタであり、その出力は
比較器9の一方の入力端子に加えられるとともに比較器
10の一方の入力端子に加えられている。11はスター
トプログラムアドレスPA1を格納するレジスタであり
、その出力は比較器9の他方の入力端子に加えられてい
る。12はストッププログラムアドレスP A 2を格
納するレジスタであり、その出力は比較器10の他方の
入力端子に加えられている。13は比較器9の出力信号
に従って所定のパルス幅のスタートイベントパルスPa
を出力するパルス発生器であり、その出力パルスpaは
ダウンカウンタ14に加えられている。15は比較器1
0の出力信号に従って所定のパルス幅のストップイベン
トパルスPbを出力するパルス発生器であり、その出力
パルスPbはダウンカウンタ16に加えられている。1
7はスタートイベントカウントデータを格納するレジス
タであり、その出力はダウンカウンタ14にプリセット
される。12はストップイベントカウントデータを格納
するレジスタであり、その出力はダウンカウンタ16に
プリセットされる。19はセット・リセット形のフリッ
プフロップであり、セット端子Sにはダウンカウンタ1
4の出力信号が加えられ、リセット端子Rにはダウンカ
ウンタ16の出力信号が加えられている。20はクロッ
クCKを出力するクロック発生器である。21〜23は
8ビツトのカウンタであり、これら各カウンタ21〜2
3のカウント値はレジスタ24〜26を介してCPU3
に読み込まれる。
In FIG. 3, 8 is a register that stores the current program address CPA on the CPU bus, and its output is applied to one input terminal of comparator 9 and also to one input terminal of comparator 10. There is. Reference numeral 11 denotes a register that stores the start program address PA1, and its output is applied to the other input terminal of the comparator 9. 12 is a register that stores the stop program address P A 2, and its output is applied to the other input terminal of the comparator 10. 13 is a start event pulse Pa having a predetermined pulse width according to the output signal of the comparator 9.
The output pulse pa is applied to the down counter 14. 15 is comparator 1
This is a pulse generator that outputs a stop event pulse Pb of a predetermined pulse width in accordance with an output signal of 0, and the output pulse Pb is applied to the down counter 16. 1
A register 7 stores start event count data, and its output is preset to the down counter 14. 12 is a register that stores stop event count data, and its output is preset to the down counter 16. 19 is a set/reset type flip-flop, and a down counter 1 is connected to the set terminal S.
The output signal of the down counter 16 is applied to the reset terminal R. 20 is a clock generator that outputs a clock CK. 21 to 23 are 8-bit counters, and each of these counters 21 to 2
The count value of 3 is sent to the CPU 3 via registers 24 to 26.
is loaded into.

このように構成された#A置の動作について、第4図の
タイミングチャートを用いて説明する。
The operation of the #A position configured in this way will be explained using the timing chart of FIG. 4.

まず、トリガー部5のスタートアドレスレジスタ11.
ストップアドレスレジスタ12.スタートイベントカウ
ントデータレジスタ17およびストップイベントカウン
トデータレジスタ18には、CPU3からアプリケーシ
ョンプログラム実行前にカウンタ部7に所望の時間計測
区間を設定するための起動条件データおよび停止条件デ
ータがロードされる。このようにトリガー部5が時間計
測区間を指定する機能を持っていることから、CPU3
はアプリケーションプログラム実行中は(a)に示すよ
うな実行時点での現在のプログラムアドレスCPAを逐
次アドレスレジスタ8に送出するだけでよく、ソフトウ
ェアの負担は極めて軽いものになる。比較器9は、アド
レスレジスタ8に逐次格納されるプログラムアドレスC
PAとスタートアドレスレジスタ11に格納されている
プログラムアドレスP A +とを比較して一致出力を
パルス発生器13に出力する。これにより、パルス発生
器13から(b)に示すようなスタートイベントパルス
Paがダウンカウンタ14に出力される。
First, the start address register 11 of the trigger section 5.
Stop address register 12. The start event count data register 17 and the stop event count data register 18 are loaded with start condition data and stop condition data for setting a desired time measurement section in the counter section 7 before execution of the application program from the CPU 3. Since the trigger section 5 has the function of specifying the time measurement section in this way, the CPU 3
While the application program is being executed, it is only necessary to sequentially send the current program address CPA at the time of execution as shown in (a) to the address register 8, and the burden on the software is extremely light. The comparator 9 receives the program address C which is sequentially stored in the address register 8.
It compares PA and the program address P A + stored in the start address register 11 and outputs a match output to the pulse generator 13 . As a result, a start event pulse Pa as shown in (b) is output from the pulse generator 13 to the down counter 14.

そして、ダウンカウンタ14がレジスタ17によりプリ
セットされた所定の数のスタートイベントパルスPaを
カウントすることにより(C)に示すようにスタート条
件が成立し、フリップフロップ19がセットされて(f
>に示すようにトリガー信号TGが立ら上がることにな
る。一方、比較器10は、アドレスレジスタ8に逐次格
納されるプログラムアドレスCPAとストップアドレス
レジスタ12に格納されているプログラムアドレスP 
A 2とを比較して一致出力をパルス発生器15に出力
する。これにより、パルス発生器15からは、(d)に
示すようなストップイベントパルスPbがダウンカウン
タ16に出力される。そして、ダウンカウンタ16がレ
ジスタ18によりプリセットされた所定の数のストップ
イベントパルスPbをカウントすることにより(e)に
示すようにストップ条件が成立し、フリップフロップ1
つがリセットされて(f)に示すようにトリガー信号T
Gが立ち下がることになる。この結果、カウンタ部7に
は(lに示すようにアンドゲート6を介してトリガー信
号TGが立ち上がっている時間だけクロックGKが加え
られることになり、ループプログラムを含んだアプリケ
ーションプログラムに基づく所望のテスト実行時間を計
測することができる。なお、このようにしてカウンタ部
7で計測された時間データは、前述のようにアプリケー
ションプログラム実行後にCPU3に収集されることに
なる。
When the down counter 14 counts a predetermined number of start event pulses Pa preset by the register 17, the start condition is satisfied as shown in (C), and the flip-flop 19 is set (f
The trigger signal TG rises as shown in >. On the other hand, the comparator 10 compares the program address CPA sequentially stored in the address register 8 with the program address P stored in the stop address register 12.
A2 is compared and a matching output is output to the pulse generator 15. As a result, the pulse generator 15 outputs a stop event pulse Pb as shown in (d) to the down counter 16. When the down counter 16 counts a predetermined number of stop event pulses Pb preset by the register 18, the stop condition is established as shown in (e), and the flip-flop 1
is reset and the trigger signal T is reset as shown in (f).
G will fall. As a result, the clock GK is applied to the counter section 7 through the AND gate 6 during the period when the trigger signal TG is rising, as shown in (l), and the desired test based on the application program including the loop program is performed. The execution time can be measured.The time data thus measured by the counter unit 7 will be collected by the CPU 3 after the application program is executed as described above.

このような回路は、比較的簡単に構成することができて
装置全体から見れば回路部品の増加量は僅かであり、従
来のように外部機器を接続することなく必要に応じてア
プリケーションプログラムの任意のテスト実行時間を計
測できる。
This type of circuit can be configured relatively easily, and the number of circuit components increases only slightly when viewed from the overall device. The test execution time can be measured.

また、アプリケーションプログラム実行中におけるトリ
が一部への処理は現在のプログラムアドレスの送出だけ
でよく、本発明によってソフトウェアの複雑化や実行時
間の低下を生じることはない。
Further, processing for a part of the application program while the application program is being executed only requires sending the current program address, and the present invention does not cause the software to become complicated or the execution time to decrease.

また、トリガー部は、スタートアドレスおよびストップ
アドレスだけではなくイベントカウントも条件として判
定するために、複雑なループプログラムなどを含むアプ
リケーションプログラムであっても任意のテストの実行
時間を選択的に計測することができる。
In addition, since the trigger part makes decisions based on not only the start address and stop address but also the event count, it is possible to selectively measure the execution time of any test, even for application programs including complex loop programs. Can be done.

(発明の効果) 以上説明したように、本発明によれば、アプリケーショ
ンプログラムに基づく任意のテスト実行時間を比較的簡
単な構成で選択的に計測できる半導体テストt装置が実
現でき、実用上の効果は大きい。
(Effects of the Invention) As described above, according to the present invention, it is possible to realize a semiconductor test device that can selectively measure the execution time of any test based on an application program with a relatively simple configuration, and has practical effects. is big.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の一実施例を示すブロック図、第2図は
時間計測ユニットの基本構成を示すブロック図、第3図
は第2図の具体例を示すブロック図、第4図は第3図の
動作を説明するためのタイミングチャート、第5図は半
導体テスト装置の概念図である。 1・・・演算制御部、3・・・演算処理ユニット(CP
U)、4・・・時間計測ユニット、5・・・トリガー部
、6・・・アンドゲート、7・・・カウンタ部。 代理人  弁理士  小 沢 信 助 第1図 第Z図
FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a block diagram showing the basic configuration of a time measurement unit, FIG. 3 is a block diagram showing a specific example of FIG. 2, and FIG. FIG. 3 is a timing chart for explaining the operation, and FIG. 5 is a conceptual diagram of the semiconductor test device. 1... Arithmetic control unit, 3... Arithmetic processing unit (CP
U), 4... Time measurement unit, 5... Trigger section, 6... AND gate, 7... Counter section. Agent Patent Attorney Shinsuke Kozawa Figure 1 Figure Z

Claims (1)

【特許請求の範囲】 テスト対象物半導体装置に応じた所定のプログラムに従
つて複数の計測モジュールを制御する演算制御部と、 この演算制御部で実行されるプログラムの所定の条件を
判定してトリガー信号を発生するトリガー部と、 このトリガー部から出力されるトリガー信号に従つて時
間計測を行い計測結果を演算制御部に出力するカウンタ
部を設けたことを特徴とする半導体テスト装置。
[Claims] A calculation control unit that controls a plurality of measurement modules according to a predetermined program according to a semiconductor device to be tested; and a trigger determined by determining a predetermined condition of the program executed by the calculation control unit. A semiconductor test device comprising: a trigger section that generates a signal; and a counter section that measures time according to the trigger signal output from the trigger section and outputs the measurement result to an arithmetic control section.
JP62024235A 1987-02-04 1987-02-04 Semiconductor testing device Pending JPS63191980A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62024235A JPS63191980A (en) 1987-02-04 1987-02-04 Semiconductor testing device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62024235A JPS63191980A (en) 1987-02-04 1987-02-04 Semiconductor testing device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS63191980A true JPS63191980A (en) 1988-08-09

Family

ID=12132594

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP62024235A Pending JPS63191980A (en) 1987-02-04 1987-02-04 Semiconductor testing device

Country Status (1)

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JP (1) JPS63191980A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0285777A (en) * 1988-09-22 1990-03-27 Nec Corp Inspection device for semiconductor integrated circuit

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0285777A (en) * 1988-09-22 1990-03-27 Nec Corp Inspection device for semiconductor integrated circuit

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