JPS63190633A - 有機薄膜層の作製方法 - Google Patents
有機薄膜層の作製方法Info
- Publication number
- JPS63190633A JPS63190633A JP62022318A JP2231887A JPS63190633A JP S63190633 A JPS63190633 A JP S63190633A JP 62022318 A JP62022318 A JP 62022318A JP 2231887 A JP2231887 A JP 2231887A JP S63190633 A JPS63190633 A JP S63190633A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- base plate
- molecular film
- substrate
- thin film
- organic thin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims description 11
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 8
- 239000002120 nanofilm Substances 0.000 claims abstract description 21
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 16
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 8
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims abstract description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 34
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 16
- HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N Chloroform Chemical compound ClC(Cl)Cl HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 6
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 abstract description 4
- 230000006835 compression Effects 0.000 abstract description 4
- 238000007906 compression Methods 0.000 abstract description 4
- 230000005499 meniscus Effects 0.000 abstract description 4
- DZVCFNFOPIZQKX-LTHRDKTGSA-M merocyanine Chemical compound [Na+].O=C1N(CCCC)C(=O)N(CCCC)C(=O)C1=C\C=C\C=C/1N(CCCS([O-])(=O)=O)C2=CC=CC=C2O\1 DZVCFNFOPIZQKX-LTHRDKTGSA-M 0.000 abstract description 2
- ZZUFCTLCJUWOSV-UHFFFAOYSA-N furosemide Chemical compound C1=C(Cl)C(S(=O)(=O)N)=CC(C(O)=O)=C1NCC1=CC=CO1 ZZUFCTLCJUWOSV-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 2
- VKOBVWXKNCXXDE-UHFFFAOYSA-N icosanoic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCCCC(O)=O VKOBVWXKNCXXDE-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 2
- KYARBIJYVGJZLB-UHFFFAOYSA-N 7-amino-4-hydroxy-2-naphthalenesulfonic acid Chemical compound OC1=CC(S(O)(=O)=O)=CC2=CC(N)=CC=C21 KYARBIJYVGJZLB-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 230000001955 cumulated effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000000975 dye Substances 0.000 abstract 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 abstract 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 abstract 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 8
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 4
- 239000012154 double-distilled water Substances 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- YKYOUMDCQGMQQO-UHFFFAOYSA-L cadmium dichloride Chemical compound Cl[Cd]Cl YKYOUMDCQGMQQO-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 210000001015 abdomen Anatomy 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000862 absorption spectrum Methods 0.000 description 1
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 229910000028 potassium bicarbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000015497 potassium bicarbonate Nutrition 0.000 description 1
- 239000011736 potassium bicarbonate Substances 0.000 description 1
- TYJJADVDDVDEDZ-UHFFFAOYSA-M potassium hydrogencarbonate Chemical compound [K+].OC([O-])=O TYJJADVDDVDEDZ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229940086066 potassium hydrogencarbonate Drugs 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D1/00—Processes for applying liquids or other fluent materials
- B05D1/18—Processes for applying liquids or other fluent materials performed by dipping
- B05D1/20—Processes for applying liquids or other fluent materials performed by dipping substances to be applied floating on a fluid
- B05D1/202—Langmuir Blodgett films (LB films)
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41M—PRINTING, DUPLICATING, MARKING, OR COPYING PROCESSES; COLOUR PRINTING
- B41M5/00—Duplicating or marking methods; Sheet materials for use therein
- B41M5/26—Thermography ; Marking by high energetic means, e.g. laser otherwise than by burning, and characterised by the material used
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y30/00—Nanotechnology for materials or surface science, e.g. nanocomposites
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y40/00—Manufacture or treatment of nanostructures
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Composite Materials (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Thermal Transfer Or Thermal Recording In General (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、有機薄膜層の作製方法に関する。さらに詳し
くは、い才)ゆるラングミュア・プロジェット法をその
作製原理とする、有機薄膜層の作製方法に関する。
くは、い才)ゆるラングミュア・プロジェット法をその
作製原理とする、有機薄膜層の作製方法に関する。
ラングミュア・プロジェット法による有機薄膜層の作製
は、第二3図a−Cに示すように、液面;3上に展開し
た分子膜1を横切る形で基板2を上下させて行うが基板
が液相中で下降運動から上昇運動に転するとき、及び、
基板の最下部が液面から離れるとき、及び基板の最下部
が液相に入りこむときには、液相と基板とがなすメニス
カスの形がきわめて複雑に変化するため、薄膜層が不規
則につみ重なったり、あるいはまた、前に累積されてい
た層が剥離してしまったりすることがしばしばあり、ラ
ングミュア・プロジェット法による有機薄膜層の作製に
おいてきわめて重大な問題となっていた。すなオ)ち、
第4図に示すように、基板Z上に移しとられた有機薄膜
層4の上端部分5と下端部分5′の膜質が、上記のよう
な理由から膜の中央部分に比べてかなり悪いという事態
は、ラングミュア・プロジェット法を原理とする製膜法
ではどうしても避けられないことであると考えられでき
た。このような上・下端部分での膜質低下は、特に、液
面上から固体基板上に移しとりにくい分子膜を累積させ
る場合や、あるいは、分子膜を多数層つみ重ねる際には
、きオ)めで深刻な問題となっていた。
は、第二3図a−Cに示すように、液面;3上に展開し
た分子膜1を横切る形で基板2を上下させて行うが基板
が液相中で下降運動から上昇運動に転するとき、及び、
基板の最下部が液面から離れるとき、及び基板の最下部
が液相に入りこむときには、液相と基板とがなすメニス
カスの形がきわめて複雑に変化するため、薄膜層が不規
則につみ重なったり、あるいはまた、前に累積されてい
た層が剥離してしまったりすることがしばしばあり、ラ
ングミュア・プロジェット法による有機薄膜層の作製に
おいてきわめて重大な問題となっていた。すなオ)ち、
第4図に示すように、基板Z上に移しとられた有機薄膜
層4の上端部分5と下端部分5′の膜質が、上記のよう
な理由から膜の中央部分に比べてかなり悪いという事態
は、ラングミュア・プロジェット法を原理とする製膜法
ではどうしても避けられないことであると考えられでき
た。このような上・下端部分での膜質低下は、特に、液
面上から固体基板上に移しとりにくい分子膜を累積させ
る場合や、あるいは、分子膜を多数層つみ重ねる際には
、きオ)めで深刻な問題となっていた。
本発明の目的はこのような問題を一挙に解決し、有機分
子膜を基板、特に光記録に最も適した円盤状の基板に、
均一に、かつ効率よく累積する方法を提供することにあ
る。
子膜を基板、特に光記録に最も適した円盤状の基板に、
均一に、かつ効率よく累積する方法を提供することにあ
る。
本発明と類似の方法に回転円筒法と呼ばれる方法がある
が、この方法では円筒の腹部に分子膜を累積するのが主
眼であるのに対して、本方法は。
が、この方法では円筒の腹部に分子膜を累積するのが主
眼であるのに対して、本方法は。
盤状基板の上下面に均一に分子膜を累積することを主眼
とする。すなわち本発明による方法は、光記fEk媒体
などにおけろ盤状基板に適した方法である。
とする。すなわち本発明による方法は、光記fEk媒体
などにおけろ盤状基板に適した方法である。
この目的は、基板上に移しとるべき分子膜が展開されて
いる液面下に、基板の一部分をつねに浸漬させた状態で
、基板面と垂直に交オ)る直線を回転軸とする回転運動
を基板にとらせることによって達成されろ。
いる液面下に、基板の一部分をつねに浸漬させた状態で
、基板面と垂直に交オ)る直線を回転軸とする回転運動
を基板にとらせることによって達成されろ。
本発明による方法では、基板を液相中に入れたり出した
りすることがないので、メニスカスを大きく乱すことが
なく、そのために、全面にオ)たって均質な有機薄膜層
が累積される。
りすることがないので、メニスカスを大きく乱すことが
なく、そのために、全面にオ)たって均質な有機薄膜層
が累積される。
以下1本発明の実施例を図面により詳述する。
第1図は本発明による有機薄膜層の作製方法を示す図で
ある。
ある。
図において、基板2は、直径125nm、厚さ2mの円
盤状透明ガラス板である。この円盤状基板を、圧縮バリ
ア10で仕切られた水槽11に満たされた2回蒸留水1
2中に、図のように円盤面の中心長6が、水面3の位装
置に来るまで静かに沈めた。この円盤状ガラス基板2は
中央部がくり抜かれており、この穴に円盤を回転させろ
ための軸1;3が通されている。軸13は、直流回転モ
ーター(図示略)と結ばれている。水槽11中の2回蒸
留水12には、塩化カドミウムと炭酸水素カリウムを、
各々4)no−’モル/Qと5X10−I!1モル/Q
の濃度で溶解した。
盤状透明ガラス板である。この円盤状基板を、圧縮バリ
ア10で仕切られた水槽11に満たされた2回蒸留水1
2中に、図のように円盤面の中心長6が、水面3の位装
置に来るまで静かに沈めた。この円盤状ガラス基板2は
中央部がくり抜かれており、この穴に円盤を回転させろ
ための軸1;3が通されている。軸13は、直流回転モ
ーター(図示略)と結ばれている。水槽11中の2回蒸
留水12には、塩化カドミウムと炭酸水素カリウムを、
各々4)no−’モル/Qと5X10−I!1モル/Q
の濃度で溶解した。
円盤状ガラス基板2と水面3とが、第1図に示すような
位置関係にある状態で、([)式で表わされるメロシア
ニン色素と、アラキシン酸とを1:2の割合で含むクロ
ロホルム溶液を、水面上に静かに滴下した。クロロホル
ムが揮発するのを待って、圧縮バリア10を静かに動か
し、水面上に展開されているメロシアニン色素とアラキ
シン酸の1:2混合分子膜1に25mN/mの表面圧が
かかるようにした。この状態で円盤状載板を、その中心
点を円盤面に垂直に通る軸6を回転軸として5分間に1
回転の割合で回転させた。最初の半回転では、基板が水
中から出てくる側でのみ、基板上に分子膜1がうつし取
られたが、それ以後は、水中から出て来る側でも、水中
に没する側でも、水 ・面上の分子膜が基板ヒに移しと
られた。
位置関係にある状態で、([)式で表わされるメロシア
ニン色素と、アラキシン酸とを1:2の割合で含むクロ
ロホルム溶液を、水面上に静かに滴下した。クロロホル
ムが揮発するのを待って、圧縮バリア10を静かに動か
し、水面上に展開されているメロシアニン色素とアラキ
シン酸の1:2混合分子膜1に25mN/mの表面圧が
かかるようにした。この状態で円盤状載板を、その中心
点を円盤面に垂直に通る軸6を回転軸として5分間に1
回転の割合で回転させた。最初の半回転では、基板が水
中から出てくる側でのみ、基板上に分子膜1がうつし取
られたが、それ以後は、水中から出て来る側でも、水中
に没する側でも、水 ・面上の分子膜が基板ヒに移しと
られた。
円盤状4ル板に移しとられた膜の吸収スペクトルを測定
したところ597同に吸収ピークが175181Mされ
た。
したところ597同に吸収ピークが175181Mされ
た。
以上は、基板の中心点が水面の位置にある場合であった
が、水面より高い位置、又は低い位置にある場合には、
それぞれ第2図の斜線部で示すような形で、円盤上に分
子膜が移しとられろ。
が、水面より高い位置、又は低い位置にある場合には、
それぞれ第2図の斜線部で示すような形で、円盤上に分
子膜が移しとられろ。
本発明の方法により、水面上に展開した有機分子膜を、
基板、特に光記録に最も適した円盤状の基板に、メニス
カスによる擾乱を受けることなく均一に、かつ効率よく
堆積することが可能になった。
基板、特に光記録に最も適した円盤状の基板に、メニス
カスによる擾乱を受けることなく均一に、かつ効率よく
堆積することが可能になった。
第1図は本発明の一実施例による、分子膜の累積方法を
示す側断面図、第2図は回転軸と水面との相対的な位置
関係のちがいにより、基板上のどの部分に分子膜が移し
とられるかを示す側面図、第3図の(a)、(b)、(
c)は水面上の分子膜が置板基板上に移し、とr)れろ
様子を示す概略図、第4図は、従来例における基板上に
累積された分子膜の模式的な外観図である。 1・・・単分子1漠、2・・・基板、10・・・圧縮バ
リア、1]・・・水槽、12・・・2回蒸留水、13・
・・回転軸。 ■・・ ′ 寥 / 区 囁4 凹 毛 2 圀 (久) 職 3 区 仏) (e) −:三= (C)
示す側断面図、第2図は回転軸と水面との相対的な位置
関係のちがいにより、基板上のどの部分に分子膜が移し
とられるかを示す側面図、第3図の(a)、(b)、(
c)は水面上の分子膜が置板基板上に移し、とr)れろ
様子を示す概略図、第4図は、従来例における基板上に
累積された分子膜の模式的な外観図である。 1・・・単分子1漠、2・・・基板、10・・・圧縮バ
リア、1]・・・水槽、12・・・2回蒸留水、13・
・・回転軸。 ■・・ ′ 寥 / 区 囁4 凹 毛 2 圀 (久) 職 3 区 仏) (e) −:三= (C)
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、液面上に展開した分子膜を順次固体基板上に移し取
ることによって有機薄膜層を形成させる方法において、
該基板の一部分をつねに該液面下に浸漬させておき、該
基板面内の一点で該基板面と垂直に交わる直線を回転軸
として、該基板を回転させることにより、液面上の分子
膜を固体基板上に累積させることを特徴とする有機薄膜
層の作製方法。 2、固体基板の形状が円盤状であることを特徴とする特
許請求の範囲第1項記載の有機薄膜層の作製方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62022318A JPS63190633A (ja) | 1987-02-04 | 1987-02-04 | 有機薄膜層の作製方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62022318A JPS63190633A (ja) | 1987-02-04 | 1987-02-04 | 有機薄膜層の作製方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63190633A true JPS63190633A (ja) | 1988-08-08 |
Family
ID=12079375
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62022318A Pending JPS63190633A (ja) | 1987-02-04 | 1987-02-04 | 有機薄膜層の作製方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63190633A (ja) |
-
1987
- 1987-02-04 JP JP62022318A patent/JPS63190633A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20020196399A1 (en) | Apparatus and method for fabricating layered periodic media | |
JPS60173842A (ja) | パタ−ン形成方法 | |
US20050025880A1 (en) | Process for forming a film, process for manufacturing a device, electro-optical device and electronic equipment | |
JPH1199354A (ja) | 回転式塗布方法及び塗布装置 | |
EP0270348B1 (en) | Method and apparatus for forming thin organic film | |
JPS63190633A (ja) | 有機薄膜層の作製方法 | |
CN104362123A (zh) | 一种用于去除方形基片光刻蚀过程中边缘堆胶的夹具及方法 | |
EP0147199A2 (en) | Process and apparatus for forming an alignment surface for liquid crystal display devices | |
JPH0618898A (ja) | 液晶素子 | |
JP2956282B2 (ja) | ラングミュア・ブロジェット膜の製造装置 | |
JPH01293164A (ja) | 成膜方法 | |
EP0654307B1 (en) | Method of two-dimensional aggregation and fixation of protein | |
JPH02139522A (ja) | 液晶表示装置およびその製造方法 | |
JPH0695123A (ja) | 電極基板の製造方法 | |
JP2541806B2 (ja) | 液晶表示素子用配向膜の形成方法 | |
JPH09115808A (ja) | 塗布装置 | |
JPS61151617A (ja) | 液晶ライトバルブ | |
JPS62286576A (ja) | 成膜方法 | |
JPH04263219A (ja) | 液晶配向膜の作成方法 | |
JPS61271049A (ja) | 成膜装置 | |
JPH0475065B2 (ja) | ||
JP2532218B2 (ja) | 液晶表示素子 | |
JPH0691219A (ja) | 単分子膜形成方法 | |
JPH0618889A (ja) | 液晶素子 | |
JPH0580340A (ja) | 液晶配向膜の製造方法 |