JPS6318843U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6318843U JPS6318843U JP11132086U JP11132086U JPS6318843U JP S6318843 U JPS6318843 U JP S6318843U JP 11132086 U JP11132086 U JP 11132086U JP 11132086 U JP11132086 U JP 11132086U JP S6318843 U JPS6318843 U JP S6318843U
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 6
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図は本考案の一具体例を示す半導体ウエー
ハ計数装置の略示正面図、第２図はセンサの一実
施例の略構成図である。第３図は半導板ウエーハ
を整列収納したキヤリアの一部を断面で示した側
面図、第４図は第３図の線―に沿う断面図で
ある。 １……半導体ウエーハ、３……移動手段（スキ
ヤニング装置）、４……投光素子、５……受光素
子、Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３……センサ、６……加算回
路、７……コンパレータ、８……パルスカウンタ
。
ハ計数装置の略示正面図、第２図はセンサの一実
施例の略構成図である。第３図は半導板ウエーハ
を整列収納したキヤリアの一部を断面で示した側
面図、第４図は第３図の線―に沿う断面図で
ある。 １……半導体ウエーハ、３……移動手段（スキ
ヤニング装置）、４……投光素子、５……受光素
子、Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３……センサ、６……加算回
路、７……コンパレータ、８……パルスカウンタ
。
Claims (1)
- 容器内に整列配置された半導体ウエーハの枚数
をカウントする複数個のセンサと、前記容器とセ
ンサとを半導体ウエーハの整列方向に沿つて相対
的に移動させる移動手段と、前記センサの検出値
の総和を算出する加算回路と、該検出値の総和を
予め設定された基準値と比較するコンパレータと
、該コンパレータの出力値を表示するパルスカウ
ンタとを具備したことを特徴とする半導体ウエー
ハ計数装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11132086U JPS6318843U (ja) | 1986-07-18 | 1986-07-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11132086U JPS6318843U (ja) | 1986-07-18 | 1986-07-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6318843U true JPS6318843U (ja) | 1988-02-08 |
Family
ID=30991134
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11132086U Pending JPS6318843U (ja) | 1986-07-18 | 1986-07-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6318843U (ja) |
-
1986
- 1986-07-18 JP JP11132086U patent/JPS6318843U/ja active Pending