JPS63185602A - スラリ−法による薄膜形成方法 - Google Patents
スラリ−法による薄膜形成方法Info
- Publication number
- JPS63185602A JPS63185602A JP62017729A JP1772987A JPS63185602A JP S63185602 A JPS63185602 A JP S63185602A JP 62017729 A JP62017729 A JP 62017729A JP 1772987 A JP1772987 A JP 1772987A JP S63185602 A JPS63185602 A JP S63185602A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slurry
- thin film
- tape
- strip
- film forming
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims description 21
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 13
- 238000007613 slurry method Methods 0.000 title claims 3
- 239000002002 slurry Substances 0.000 claims description 15
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 7
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 4
- 239000007784 solid electrolyte Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 3
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 3
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 2
- 238000007751 thermal spraying Methods 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910002254 LaCoO3 Inorganic materials 0.000 description 1
- QIMZHEUFJYROIY-UHFFFAOYSA-N [Co].[La] Chemical compound [Co].[La] QIMZHEUFJYROIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
- Y02E60/30—Hydrogen technology
- Y02E60/50—Fuel cells
Landscapes
- Producing Shaped Articles From Materials (AREA)
- Inert Electrodes (AREA)
- Fuel Cell (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、固体電解質燃料電池の電極ならびに固体電解
質の形成技術に関する。
質の形成技術に関する。
焼結によって製作され、その形状が帯状かつ薄膜である
部材の形成に適用可能である。
部材の形成に適用可能である。
従来１円筒基体または平板基板上に帯状の薄膜を形成す
る場合には、マスク法が用いられている。第２図は２円
筒基体管上に横縞状の薄膜を形成する際のマスク法を示
す図である。すなわち、基体管１上で薄膜形成を必要と
しない部分に、マスク板２を装着する。マスク板２は多
くの場合は金属製である。
る場合には、マスク法が用いられている。第２図は２円
筒基体管上に横縞状の薄膜を形成する際のマスク法を示
す図である。すなわち、基体管１上で薄膜形成を必要と
しない部分に、マスク板２を装着する。マスク板２は多
くの場合は金属製である。
次に基体管１の露出した部分にスラリー液を塗布した後
、マスク板２をとりはずして焼成する。
、マスク板２をとりはずして焼成する。
また、溶射法で薄膜を形成する場合には、同様にマスク
板２を装着し、溶射ガンを用いて薄膜を形成する。その
後、マスク板２をとりはずす。
板２を装着し、溶射ガンを用いて薄膜を形成する。その
後、マスク板２をとりはずす。
ところが、前記した従来の薄膜形成法では。
帯状の薄膜を形成する場合に次のような不具合点が生じ
る。
る。
（１）薄膜を形成する毎に、マスク板２を交換しなけれ
ばならないため、能率が悪く、不経済である。
ばならないため、能率が悪く、不経済である。
（２）形成しようとする帯状薄膜に対応して、マスク板
２の形状を変化させなければならない。
２の形状を変化させなければならない。
そこで２本発明法では、予め形成しようとする薄膜材料
のスラリー液を調整しておき、このスラリー液を帯状テ
ープ上に均一に塗布する。
のスラリー液を調整しておき、このスラリー液を帯状テ
ープ上に均一に塗布する。
なお、上記テープの材料は、その後の焼成過程で揮発す
るものを選択する。次に、上記スラリーを塗布した上記
テープを基体管に付着させて水分を乾燥させた後、焼成
する。
るものを選択する。次に、上記スラリーを塗布した上記
テープを基体管に付着させて水分を乾燥させた後、焼成
する。
まだ、上記スラリーを塗布する上記テープの幅は、形成
しようとする帯状薄膜の幅とする。
しようとする帯状薄膜の幅とする。
従って、上記の手段によれば。
（１） マスク板を用いることなく、帯状の薄膜が形
成できる。
成できる。
（２） スラリーを塗布するテープの幅を変えること
により、帯状薄膜の幅を容易に制御できる。
により、帯状薄膜の幅を容易に制御できる。
本発明の方法を、固体電解質燃料電池セルの空気極の形
成に適用した例を第１図を参照して以下に説明する。
成に適用した例を第１図を参照して以下に説明する。
本実施例では、空気極材料としてランタンコバルト複合
酸化物（ＬａＣ００３）を用いた。ＬａＣ００３のスラ
リー液はＬａＣｏＯ３１００重量部に対して。
酸化物（ＬａＣ００３）を用いた。ＬａＣ００３のスラ
リー液はＬａＣｏＯ３１００重量部に対して。
混線液４０重量部を混合した。混線液は主成分である水
１００重量部に、結合剤２５重量部及び界面活性剤７重
量部を混合したものである。結合剤には水溶液アクリル
を用いた。調整したスラリーは、第１図に示す装置を用
いてテープ４上に途布し２円筒基体管６上に付着させた
。すなわち、テープ４を巻きつけたドラム３から一定速
度でテープ４を送り出し、そのテープ４上〜ニにう・ヒ
ｌ：ｌｑ ７糟ｑｔｉすしてに二流体ノズル５から噴出
させたスラリーを付着させ、テープ４を円筒基体管６に
巻き取った。
１００重量部に、結合剤２５重量部及び界面活性剤７重
量部を混合したものである。結合剤には水溶液アクリル
を用いた。調整したスラリーは、第１図に示す装置を用
いてテープ４上に途布し２円筒基体管６上に付着させた
。すなわち、テープ４を巻きつけたドラム３から一定速
度でテープ４を送り出し、そのテープ４上〜ニにう・ヒ
ｌ：ｌｑ ７糟ｑｔｉすしてに二流体ノズル５から噴出
させたスラリーを付着させ、テープ４を円筒基体管６に
巻き取った。
テープ４を巻きつけだ円筒基体管６は、風乾させてスラ
リー中の水分を除去した。この円筒基体管６を大気中１
４００℃で４〜１０時間焼成することにより、固体電解
質燃料電池セルの空気極を得た。得られた空気極の膜厚
は、１５０〜３００μｍ であった。
リー中の水分を除去した。この円筒基体管６を大気中１
４００℃で４〜１０時間焼成することにより、固体電解
質燃料電池セルの空気極を得た。得られた空気極の膜厚
は、１５０〜３００μｍ であった。
なお、スラリーを塗布するテープ４は耐水性 １を有す
るとともに焼成時に揮発するよって濾紙を用いた。
るとともに焼成時に揮発するよって濾紙を用いた。
なお、テープ４を円筒基体管６に巻き付ける際には、テ
ープ４を円筒基体管６の所定の位置に１回乃至数回巻き
付けた後、所定の治具でテープ４を切断し２円筒基体管
６の長手方向に適宜な間隔だけずらした後、テープ４の
先端を巻き付は始めだ。
ープ４を円筒基体管６の所定の位置に１回乃至数回巻き
付けた後、所定の治具でテープ４を切断し２円筒基体管
６の長手方向に適宜な間隔だけずらした後、テープ４の
先端を巻き付は始めだ。
また、このテープ４を円筒基体管６上に螺線状に１回乃
至数回巻き付けた後、適当な間隔でテープ４を切断して
第２図に示すような円筒基体管１にしても良い。
至数回巻き付けた後、適当な間隔でテープ４を切断して
第２図に示すような円筒基体管１にしても良い。
なお、第１図中の符号８はスラリー回収容器を示してい
る。
る。
本発明法により、一定膜厚で一定の幅をもつ帯状の薄膜
を能率よく安価に形成することができる等産業上の利用
価値が太きい。
を能率よく安価に形成することができる等産業上の利用
価値が太きい。
第１図は２本発明の方法による薄膜の形成法を示す説明
図である。第２図は、従来の円筒基体管に横縞状の薄膜
を形成する際のマスク法を示す説明図である。 １・・・円筒基体管、２・・・マスク板、３・・・ドラ
ム。 ４・・テープ、５・・二流体ノズル、６・・・円筒基体
管、７・・スラリー貯留槽、８・・・スラリー回収容器
。
図である。第２図は、従来の円筒基体管に横縞状の薄膜
を形成する際のマスク法を示す説明図である。 １・・・円筒基体管、２・・・マスク板、３・・・ドラ
ム。 ４・・テープ、５・・二流体ノズル、６・・・円筒基体
管、７・・スラリー貯留槽、８・・・スラリー回収容器
。
Claims (1)
- スラリー法による薄膜形成において、予め調整したスラ
リー液を帯状のテープの上に均一に塗布し、上記テープ
を円筒基体または、平板基板上に付着させて乾燥させた
後、焼結して帯状の薄膜を得ることを特徴とするスラリ
ー法による薄膜形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62017729A JPS63185602A (ja) | 1987-01-28 | 1987-01-28 | スラリ−法による薄膜形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62017729A JPS63185602A (ja) | 1987-01-28 | 1987-01-28 | スラリ−法による薄膜形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63185602A true JPS63185602A (ja) | 1988-08-01 |
Family
ID=11951834
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62017729A Pending JPS63185602A (ja) | 1987-01-28 | 1987-01-28 | スラリ−法による薄膜形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63185602A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7226691B2 (en) | 2002-09-25 | 2007-06-05 | Nissan Motor Co., Ltd. | Unit cell solid oxide fuel cell and related method |
-
1987
- 1987-01-28 JP JP62017729A patent/JPS63185602A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7226691B2 (en) | 2002-09-25 | 2007-06-05 | Nissan Motor Co., Ltd. | Unit cell solid oxide fuel cell and related method |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3112184A (en) | Method of making ceramic articles | |
| DE69911150D1 (de) | Verfahren zur Herstellung von Elektroden einer Batterie und durch Verfahren hergestellte Elektrode | |
| DE1012700B (de) | Verfahren zum Aufbringen emissionsfaehiger Schichten auf Traeger fuer direkt oder indirekt geheizte Kathoden elektrischer Entladungsgefaesse | |
| JPS5514627A (en) | Voltage dividing resistor for electron gun structure | |
| DE69601788T2 (de) | Pyrotechnisches material | |
| US4329271A (en) | Flexible ceramic tape and method of making same | |
| JPS63185602A (ja) | スラリ−法による薄膜形成方法 | |
| US6811741B2 (en) | Method for making thick and/or thin film | |
| US3598679A (en) | Method of making a pressure-transferrable tape | |
| EP0104636A2 (de) | Sauerstoffsensor und Verfahren zu dessen Herstellung | |
| DE4119498A1 (de) | Verfahren zur herstellung einer brennstoffzellen-luftelektrode | |
| US4459322A (en) | Method for producing cathode structure for cathode ray tubes utilizing urea-containing slurry | |
| US3345213A (en) | Process of manufacturing a storage cell electrode | |
| JP3166333B2 (ja) | セラミックスのコーティング方法 | |
| US20040018377A1 (en) | Leakage free ceramic films for porous surfaces | |
| DE10061375A1 (de) | Herstellung eines Schichtsystems, umfassend wenigstens ein poröses Substrat, eine Anodenfunktions- und eine Elektrolytschicht | |
| JP3104100B2 (ja) | 熱陰極物質の陰極被覆方法 | |
| JP2889595B2 (ja) | 酸化物超電導体膜の電極形成方法 | |
| US3045289A (en) | Methods for preparing thin sheets from powder material | |
| JPS6040147B2 (ja) | 蓄電池用焼結基板の製造方法 | |
| DE19523798A1 (de) | Verfahren zur Herstellung keramischer Elektronikteile | |
| JPS6122682A (ja) | グレ−ズドセラミツク基板の製造方法 | |
| JP2002110179A (ja) | 緻密質焼結膜の作製方法 | |
| JPH0474768A (ja) | 焼成方法および焼成治具 | |
| JPS58133305A (ja) | 焼結基板の製造法 |