JPS63183687A - Semiconductor storage device - Google Patents

Semiconductor storage device

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Publication number
JPS63183687A
JPS63183687A JP62014047A JP1404787A JPS63183687A JP S63183687 A JPS63183687 A JP S63183687A JP 62014047 A JP62014047 A JP 62014047A JP 1404787 A JP1404787 A JP 1404787A JP S63183687 A JPS63183687 A JP S63183687A
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JP
Japan
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data line
complementary
signal
sense amplifier
signals
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Pending
Application number
JP62014047A
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Japanese (ja)
Inventor
Kazumasa Yanagisawa
一正 柳沢
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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Publication of JPS63183687A publication Critical patent/JPS63183687A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To execute a readout operation at a high speed by transferring the potential of a complementary data line to a complementary common data line through an amplifying MOSFET provided in accordance with the respective complementary data lines. CONSTITUTION:At the time point when a selecting operation for word lines W0-Wm has been ended, timing signals phipa1, phipa2 are activated and a sense amplifier SA is activated, and readout signals outputted to complementary data lines D0, the inverse of D0 from a memory array M-ARY are amplified by the amplifier SA and become quickly binary readout signals. There readout signals are transferred to complementary common data lines CD, the inverse of CD through amplifying MOSFETs Q7, Q15, Q8, Q16-Q9, Q17, Q10 and Q18 of a column switch CSW, and amplified by a main amplifier MA. Therefore, the amplifying action of the readout signal by the amplifier SA is not affected by the floating capacity of the data lines CD, the inverse of CD. Accordingly, a readout operation as a dynamic type RAM is executed at a high speed.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、半導体記憶装置に関するもので、例えば、
メモリアレイを構成するそれぞれのデータ線に対応して
センスアンプが設けられるダイナミック型RAM (ラ
ンダム・アクセス・メモリ)に利用して有効な技術に関
するものである。
[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to a semiconductor memory device, for example,
The present invention relates to a technique effective for use in a dynamic RAM (random access memory) in which a sense amplifier is provided corresponding to each data line forming a memory array.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

ダイナミック型RAMのメモリアレイは、情報蓄積用キ
ャパシタとアドレろ選択用MOS F ETからなるい
わゆる1素子型のダイナミック型メモリセルにより構成
され、論理11″又は論理“0”の記憶データは、情報
蓄積用キャパシタCsの電荷量に従って記憶される。メ
モリセルに記憶される情報の読み出し動作は、アドレス
選択用MOSFETをオン状態とし相補データ線の電位
が情報蓄積用キャパシタC3の電荷量に応じてどのよう
に変化するかセンスすることによって行われる。
The memory array of the dynamic RAM is composed of a so-called one-element type dynamic memory cell consisting of a capacitor for information storage and a MOS FET for address selection, and storage data of logic 11" or logic "0" is stored as information storage. The information stored in the memory cell is read out according to the amount of charge in the information storage capacitor Cs.The information stored in the memory cell is read by turning on the address selection MOSFET and changing the potential of the complementary data line depending on the amount of charge in the information storage capacitor C3. It is done by changing or sensing.

このような微小読み出し信号を増幅するため、それぞれ
のデータ線に対応して、ラッチ形態のセンスアンプが設
けられる。これらのセンスアンプにより増幅された読み
出し信号は、カラムスイッチによって選択され外部に出
力されるとともに、メモリセルの記憶データをリフレッ
シュするために用いられる。
In order to amplify such minute read signals, a latch-type sense amplifier is provided corresponding to each data line. The read signals amplified by these sense amplifiers are selected by column switches and output to the outside, and are used to refresh the data stored in the memory cells.

このようなセンスアンプを含むダイナミック型RAMに
ついては、例えば、特開昭57−82282号公報など
に記載されている。
A dynamic RAM including such a sense amplifier is described in, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 57-82282.

(発明が解決しようとする問題点〕 上記のようなダイナミック型RAMでは、第3図に示す
ように、ワード線選択タイミング信号φXに従ってロウ
アドレスデコーダRDCHによるワード線選択動作が行
われ、データ線選択タイミング信号φyに従ってカラム
アドレスデコーダCDCR及びカラムスイッチC8Wに
よるデータ線選択動作が行われる。また、各データ線に
対応して設けられるセンスアンプSAは、タイミング信
号φpaに従って活性状態とされる。これらのタイミン
グ信号は、第4図に示すような時間関係とされ、メモリ
セルから出力される微小読み出し信号が、増幅される。
(Problems to be Solved by the Invention) In the dynamic RAM as described above, as shown in FIG. 3, the word line selection operation is performed by the row address decoder RDCH in accordance with the word line selection timing signal φX, A data line selection operation is performed by column address decoder CDCR and column switch C8W according to timing signal φy. Also, sense amplifier SA provided corresponding to each data line is activated according to timing signal φpa. These timings The signals have a time relationship as shown in FIG. 4, and the minute read signal output from the memory cell is amplified.

すなわち、まずワード線選択タイミング信号φXがハイ
レベルとされることで所定のワード線がハイレベルの選
択状態とされ、そのワード線に結合されるメモリセルの
微小読み出し信号が対応する相補データ線(例えば相補
データ線DO・Do)に出力される0次にタイミング信
号φpa (又は反転タイミング信号φpa)がハイレ
ベル(又ハロウレベル)とされ、センスアンプSAが動
作状態とされる。これにより、相補データ線のレベルは
急速にハイレベル又はロウレベルに変化される。センス
アンプSAによる増幅動作が終了した時点で、データ線
選択タイミン゛り゛信号φyがハイレベルとされ、この
タイミング信号φyのハイレベルに同期してカラムアド
レスデコーダCDCRによって形成されるデータ線選択
信号(例えばYO)がハイレベルとなる。これにより、
カラムアドレス信号に指定された相補データ線のみが相
補共通データ線CD−CDに接続され、その読み出し信
号がメインアンプMA及びデータ出力バッファDOBを
介して、出力端子Doutから出力される。
That is, first, the word line selection timing signal φX is set to a high level, so that a predetermined word line is set to a high level selected state, and the minute read signal of the memory cell coupled to that word line is transferred to the corresponding complementary data line ( For example, the 0th order timing signal φpa (or inverted timing signal φpa) output to the complementary data lines DO (DO) is set to a high level (or a hollow level), and the sense amplifier SA is put into an operating state. As a result, the level of the complementary data line is rapidly changed to high level or low level. When the amplification operation by the sense amplifier SA is completed, the data line selection timing signal φy is set to high level, and the data line selection signal generated by the column address decoder CDCR is synchronized with the high level of this timing signal φy. (for example, YO) becomes high level. This results in
Only the complementary data line designated by the column address signal is connected to the complementary common data line CD-CD, and its read signal is output from the output terminal Dout via the main amplifier MA and data output buffer DOB.

このように、ダイナミック型RAMにおいては、相補共
通データ線CD−σ石に比較的大きな値の浮遊容1cが
存在するため、メモリセルから出力される微小読み出し
信号がセンスアンプSAによって充分増幅されそのレベ
ルが確立された後に、相補共通データ線CD −CDに
接続することが必要である。したがって、第4図に示す
ように、ワード線選択タイミング信号φXがハイレベル
とされワード線選択動作が開始されてからデータ線選択
タイミング信号φyがハイレベルとされデータ線の選択
動作が行われるまでの間に、所定の時間’l’ x y
をおかな(てはならない、ダイナミック型RAMの大容
量化が進み、相補共通データ線CD・σ百の浮遊容量が
増大するにしたがって、この時間T x yがダイナミ
ック型RAMの読み出し動作の高速化を妨げる要因とな
っている。
In this way, in the dynamic RAM, since a relatively large floating capacitance 1c exists in the complementary common data line CD-σ, the minute read signal output from the memory cell is sufficiently amplified by the sense amplifier SA. After the levels are established, it is necessary to connect to the complementary common data line CD-CD. Therefore, as shown in FIG. 4, from the time when the word line selection timing signal φX is set to high level and the word line selection operation is started until the time when the data line selection timing signal φy is set to high level and the data line selection operation is performed. During the predetermined time 'l' x y
As the capacity of dynamic RAM increases and the stray capacitance of the complementary common data line CD/σ increases, this time T This is a factor that hinders

この発明の目的は、読み出し動作の高速化を図った半導
体記憶装置を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a semiconductor memory device capable of speeding up read operations.

この発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、
この明細書の記述及び添付図面から明らかになるであろ
う。
The above and other objects and novel features of this invention include:
It will become clear from the description of this specification and the accompanying drawings.

(問題点を解決するための手段〕 本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、下記の通りである。
(Means for Solving the Problems) A brief overview of typical inventions disclosed in this application is as follows.

すなわち、相補データ線の電位を、それぞれの相補デー
タ線に対応して設けられる増幅MOSFETを介して相
補共通データ線に伝達するものである。
That is, the potential of the complementary data line is transmitted to the complementary common data line via the amplification MOSFET provided corresponding to each complementary data line.

〔作  用〕[For production]

上記した手段によれば、相補データ線の電位は高入力イ
ンピーダンスの増幅MOSFETを介して相補共通デー
タ線に伝達されることから、相補データ線に出力される
微小読み出し信号は相補共通データ線に存在する浮遊容
量の影響を受けることなく増幅されるため、ワード線選
択動作とデータ線選択動作を同時に行うことができ、ダ
イナミック型RAMの読み出し動作を高速化できる。
According to the above means, since the potential of the complementary data line is transmitted to the complementary common data line via the amplification MOSFET with high input impedance, the minute read signal output to the complementary data line is present on the complementary common data line. Since the signal is amplified without being affected by stray capacitance, the word line selection operation and the data line selection operation can be performed simultaneously, and the read operation of the dynamic RAM can be made faster.

〔実施例〕〔Example〕

第1図には、この発明が適用されたダイナミック型RA
Mの一実施例の回路ブロック図が示されている。同図の
各回路素子は、公知のCMO5(相補型MO5)築積回
路の製造技術によって、特に制限されないが、単結晶シ
リコンのような1個の半導体基板上において形成される
。同図において、チャンネル(バンクゲート)部に矢印
が付加されたMOSFETはPチャンネル型であり、矢
印の付加されないNチャンネルMOSFETと区別され
る。
FIG. 1 shows a dynamic RA to which this invention is applied.
A circuit block diagram of one embodiment of M is shown. Each circuit element in the figure is formed on a single semiconductor substrate such as, but not limited to, single crystal silicon using a known CMO5 (complementary MO5) integrated circuit manufacturing technology. In the figure, a MOSFET with an arrow added to the channel (bank gate) portion is a P-channel type, and is distinguished from an N-channel MOSFET without an arrow added.

第1図において、特に制限されないが、メモリアレイM
−ARYは2交点(折り返しビット線)方式とされ、第
1図の水平方向に配置されるn+1組の相補データ線D
O−DO〜Dn−百1と垂直方向に配置されるm+1本
のワード線WO〜Wm及びこれらの相補データ線とワー
ド線の交点に格子状に配置される(m+1)X (n+
1)個のメモリセルにより構成される。それぞれの相補
データ線には、相補データ線DO・■1及びDn・万1
に代表して示されるように、アドレス選択用MOSFE
TQmと情報記憶用キャパシタCsとからなるm+1個
の1素子型ダイナミツクメモリセルが、所定の規則性を
もってそれぞれ結合される。
In FIG. 1, although not particularly limited, memory array M
-ARY is a two-intersection (folded bit line) system, and n+1 sets of complementary data lines D are arranged in the horizontal direction in FIG.
m+1 word lines WO to Wm arranged perpendicularly to O-DO to Dn-1 and (m+1)X (n+
1) Consisting of memory cells. Each complementary data line has a complementary data line DO・■1 and Dn・1
As shown in the example, the address selection MOSFE
m+1 one-element type dynamic memory cells each consisting of TQm and an information storage capacitor Cs are coupled with a predetermined regularity.

各相補データ線の非反転信号線及び反転信号線の間には
、MOSFETQI 9及びQ20に代表されるスイッ
チMOS F ETからなるプリチャージ回路PCが設
けられる。これらのスイッチMOSFETのゲートは共
通接続され、後述するタイミング制御回路TCから、タ
イミング信号φpcが供給される。タイミング信号φp
cがハイレベルとされるダイナミック型RAMの非動作
状態において、スイッチMOSFETQI 9〜Q20
がオン状態となり、相補データ線の両信号線が短絡され
る。これにより、相補データ線の両信号線は、電源電圧
Vccの約1/2のようなハーフプリチャージレベルと
される。このため、各相補データ線の両信号線のレベル
は、読み出し信号に従って、このハーフプリチャージレ
ベルからハイレベル又はロウレベルに向かって変化され
るものとなり、読み出し動作が高速化される。
A precharge circuit PC consisting of switch MOSFETs represented by MOSFETs QI9 and Q20 is provided between the non-inverted signal line and the inverted signal line of each complementary data line. The gates of these switch MOSFETs are commonly connected, and a timing signal φpc is supplied from a timing control circuit TC, which will be described later. timing signal φp
In the non-operating state of the dynamic RAM where c is at high level, the switch MOSFETs QI9 to Q20
is turned on, and both signal lines of the complementary data line are short-circuited. As a result, both signal lines of the complementary data line are set to a half precharge level of approximately 1/2 of the power supply voltage Vcc. Therefore, the levels of both signal lines of each complementary data line are changed from this half precharge level toward a high level or a low level in accordance with the read signal, thereby speeding up the read operation.

メモリアレイM−ARYを構成する各相補データ線は、
センスアンプSAの対応する単位回路の入出力ノードに
結合される。
Each complementary data line constituting the memory array M-ARY is
It is coupled to an input/output node of a corresponding unit circuit of sense amplifier SA.

この実施例のダイナミック型RAMでは、さらに読み出
し動作の高速化を図るため、センスアンプSAの活性化
とデータ線の選択動作を同時に行っている。すなわち、
カラムアドレスデコーダCDCHによるデータ線選択動
作を行わせるためのデータ線選択タイミング信号φyを
、センスアンプ駆動用のタイミング信号φpalと同時
に形成している。また、センスアンプSAによるメモリ
セルの微小読み出し信号の増幅動作が、相補共通データ
線CD−5石の浮遊容量によって影響されるのを防ぐた
め、各相補データ線とカラムスイッチC8Wの対応する
スイッチMOSFET対との間に、高い入力インピーダ
ンスを持つ信号伝達手段(接続手段)が設けられる。こ
の実施例では、前記特性に合わせて、増幅機能を有する
信号伝達手段としての増幅MOS F ETが設けられ
る。これらの増幅MOSFETは、特に制限されないが
、センスアンプSAの各単位回路の二つのCMOSイン
バータ回路を構成するMOSFETと隣接して形成され
る。
In the dynamic RAM of this embodiment, in order to further speed up the read operation, activation of the sense amplifier SA and data line selection operation are performed simultaneously. That is,
A data line selection timing signal φy for causing the column address decoder CDCH to perform a data line selection operation is generated simultaneously with a timing signal φpal for driving the sense amplifier. In addition, in order to prevent the amplification operation of the minute read signal of the memory cell by the sense amplifier SA from being affected by the stray capacitance of the complementary common data line CD-5, each complementary data line and the corresponding switch MOSFET of the column switch C8W are connected. A signal transmission means (connection means) having high input impedance is provided between the pair. In this embodiment, an amplification MOS FET as a signal transmission means having an amplification function is provided in accordance with the above characteristics. These amplification MOSFETs are formed adjacent to the MOSFETs forming the two CMOS inverter circuits of each unit circuit of the sense amplifier SA, although they are not particularly limited.

第1図において、センスアンプSAは、n+1個の単位
回路により構成される。センスアンプSAの各単位回路
は、同図の相補データ線DO・百〇に対応する単位回路
に例示的に示されるように、PチャンネルMOSFET
Q3.Q4及びNチャンネルMOSFETQI 1.Q
l 2からなる二組のCMOSインバータ回路が交差接
続されてなるCMOSラッチ回路によって構成される。
In FIG. 1, sense amplifier SA is composed of n+1 unit circuits. Each unit circuit of the sense amplifier SA is a P-channel MOSFET, as exemplarily shown in the unit circuit corresponding to the complementary data line DO.
Q3. Q4 and N-channel MOSFET QI 1. Q
It is constituted by a CMOS latch circuit formed by cross-connecting two sets of CMOS inverter circuits consisting of l2.

このCMOSラッチ回路の入出力ノードは、対応する相
補データ線の非反転信号線DO及び反転信号線5丁にそ
れぞれ結合される。
The input/output nodes of this CMOS latch circuit are respectively coupled to five non-inverted signal lines DO and five inverted signal lines of the corresponding complementary data lines.

センスアンプSAの各単位回路を構成する二組のCMO
Sインバータ回路には、それぞれ増幅MOSFETQ7
−Ql 5及びQ8−Ql6が並列形態に設けられる。
Two sets of CMOs that constitute each unit circuit of sense amplifier SA
Each S inverter circuit has an amplification MOSFETQ7.
- Ql 5 and Q8-Ql6 are provided in parallel form.

増幅MOSFETQ?・Ql5及びQ8・Ql6はそれ
ぞれ直列形態とされ、それぞれのゲート及びソースはセ
ンスアンプSAの対応するMOSFETQ3・Qll又
はQ4・Ql2のゲート及びソースと共通接続される。
Amplification MOSFETQ? -Ql5 and Q8/Ql6 are each connected in series, and their respective gates and sources are commonly connected to the gates and sources of the corresponding MOSFETs Q3/Qll or Q4/Ql2 of the sense amplifier SA.

また、MOS F ETQ ?及びQl5の共通接続さ
れたドレインは、カラムスイッチC8Wの対応するスイ
ッチMOSFETQ21を介して相補共通データ線の非
反転信号線CDに結合される。これにより、増幅MOS
FETQ?・Ql5は、相補データ線の反転信号線五τ
の電位を反転して相補共通データ線の非反転信号線CD
に伝達するCMOSインバータ回路として作用する。同
様に、MOSFETQ8及びQl6の共通接続されたド
レインは、カラムスイッチC8Wの対応するスイッチM
OSFETQ22を介して相補共通データ線の反転信号
線て■に結合される。これにより、Q8・Ql6は、相
補データ線の非反転信号線DOの電位を反転して相補共
通データ線の反転信号線で百に伝達するCMOSインバ
ータ回路として作用する。
Also, MOS FETQ? The commonly connected drains of Q15 and Q15 are coupled to the non-inverting signal line CD of the complementary common data line via the corresponding switch MOSFET Q21 of the column switch C8W. This allows the amplification MOS
FETQ?・Ql5 is the inverted signal line 5τ of the complementary data line
By inverting the potential of the non-inverting signal line CD of the complementary common data line
It acts as a CMOS inverter circuit to transmit data to. Similarly, the commonly connected drains of MOSFETs Q8 and Ql6 are connected to the corresponding switch M of column switch C8W.
It is coupled to the inverted signal line (1) of the complementary common data line via OSFETQ22. Thereby, Q8 and Ql6 act as a CMOS inverter circuit that inverts the potential of the non-inverted signal line DO of the complementary data line and transmits it to the inverted signal line of the complementary common data line.

センスアンプSAの単位回路を構成する二組のインバー
タ回路と上記二組の増幅MOSFETには、特に制限さ
れないが、並列形態のPチャンネルMOSFETQI、
Q2を介して電源電圧Vccが供給され、並列形態のN
チャンネルMOSFETQ29.Q10を介して回路の
接地電圧が供給される。これらの駆動MO5)’ETQ
1.Q2及びMOSFETQ29.Q30は、同じメモ
リマント内に設けられる単位回路及び増幅MOSFET
に対して共通に用いられる。すなわち、同じメモリマッ
トに含まれるセンスアンプSAの単位回路及び増幅MO
SFETを構成するPチャンネルMOSFET及びNチ
ャンネルMOSFETのソースは、共通ソース線ps又
はn3にそれぞれ共通接続される。
The two sets of inverter circuits and the two sets of amplification MOSFETs that constitute the unit circuit of the sense amplifier SA include, but are not particularly limited to, parallel type P-channel MOSFETs QI,
Power supply voltage Vcc is supplied through Q2, and N
Channel MOSFETQ29. The ground voltage of the circuit is supplied through Q10. These driving MO5)'ETQ
1. Q2 and MOSFET Q29. Q30 is a unit circuit and amplification MOSFET provided in the same memory mantle.
Commonly used for. That is, the unit circuit of the sense amplifier SA and the amplification MO included in the same memory mat
The sources of the P-channel MOSFET and the N-channel MOSFET constituting the SFET are commonly connected to a common source line ps or n3, respectively.

駆動MOSFETQ1.Q29のゲートには、センスア
ンプSAを活性化させるための相補タイミング信号φp
a 1 、  φpalが供給され、MOSFETQ2
.Q30のゲートには、上記相補タイミング信号φpa
1.#I)aゴよりやや遅れて形成される相補タイミン
グ信号φpaL  φpa2が供給される。これにより
、センスアンプSAの動作は2段階に行われる。すなわ
ち、相補タイミング信号φpa 1 +  # pa 
1が供給される第1段階において、まず比較的小さいコ
ンダクタンスを持つようにされるMOSFETQI及び
Q29がオン状態となり、その電流制限作用によって、
メモリセルから対応する相補データ線に与えられる微小
読み出し電圧は不所望なレベル変動を受けることな(増
幅される。上記センスアンプSAの増幅動作によって相
補データ線の電位差がある程度大きくされた後、相補タ
イミング信号φpa2e  111が供給される。
Drive MOSFETQ1. A complementary timing signal φp for activating the sense amplifier SA is connected to the gate of Q29.
a 1 , φpal is supplied, MOSFETQ2
.. The gate of Q30 receives the complementary timing signal φpa.
1. #I) Complementary timing signals φpaL and φpa2 formed slightly later than a are supplied. As a result, the operation of the sense amplifier SA is performed in two stages. That is, complementary timing signal φpa 1 + # pa
In the first stage when 1 is supplied, MOSFET QI and Q29, which are made to have a relatively small conductance, are turned on, and their current limiting action causes
The minute read voltage applied from the memory cell to the corresponding complementary data line is amplified without undergoing any undesired level fluctuation. A timing signal φpa2e 111 is supplied.

これにより、比較的大きなコンダクタンスを持つMOS
FETQ2.Q30がオン状態となる。センスアンプS
Aの増幅動作は、MOSFETQ2゜Q30がオン状態
になることによって速(され、相補データ線のレベルは
急速にハイレベル又はロウレベルに推移する。このよう
に、センスアンプSAの増幅動作を2段階に分けて行わ
せることによって、相補データ線の不所望なレベル変化
を防止しつつ、データの高速読み出しを行うことができ
る。
This results in a MOS with relatively large conductance.
FETQ2. Q30 is turned on. sense amplifier S
The amplification operation of sense amplifier A is accelerated by turning on MOSFET Q2゜Q30, and the level of the complementary data line rapidly changes to high level or low level. In this way, the amplification operation of sense amplifier SA is performed in two stages. By performing the reading separately, data can be read out at high speed while preventing undesired level changes in the complementary data lines.

一方、センスアンプSAによって増幅される相補データ
線の電位は、増幅MOSFETQ?・Q15〜QIO・
Ql8によってカラムスイッチC8Wの対応するスイッ
チMOSFET対に伝達される。すなわち、例えば相補
データ線DO・DOの非反転信号DOの電位は、増幅M
OSFETQ4・Ql2によつて反転され、カラムスイ
ッチCswのスイッチMOSFETQ22を介して、相
補共通データ線の反転信号線CDに伝達される。
On the other hand, the potential of the complementary data line amplified by the sense amplifier SA is the potential of the amplification MOSFETQ?・Q15~QIO・
It is transmitted by Ql8 to the corresponding switch MOSFET pair of column switch C8W. That is, for example, the potential of the non-inverted signal DO of the complementary data lines DO/DO is
It is inverted by OSFETQ4 and Ql2, and transmitted to the inverted signal line CD of the complementary common data line via the switch MOSFETQ22 of the column switch Csw.

同様に、反転信号線丁1の電位は、増幅MOSFETQ
3・Qllによって反転され、カラムスイッチCSWの
スイッチMOSFETQ21を介して、相補共通データ
線の非反転信号線CDに伝達される。
Similarly, the potential of the inverted signal line 1 is the amplification MOSFETQ
3.Qll, and is transmitted to the non-inverted signal line CD of the complementary common data line via the switch MOSFET Q21 of the column switch CSW.

センスアンプSAの各単位回路の入出力ノードすなわち
各相補データ線は、さらにカラムスイッチCSWのスイ
ッチMOS F ET対Q25・Q26〜Q27・Q2
8に結合される。
The input/output nodes of each unit circuit of the sense amplifier SA, that is, each complementary data line, are further connected to the switch MOS FET pairs Q25/Q26 to Q27/Q2 of the column switch CSW.
Combined with 8.

前述のように、この実施例のダイナミック型RAMでは
、読み出し動作モードにおいて、読み出し信号が相補デ
ータ線ごとに対応して設けられる増幅MOS F ET
を介して相補共通データ線CD・CDに伝達される。し
たがって、書き込み動作モードにおいて、同一の信号経
路を用いることができない、このため、ダイナミック型
RAMの署き込み動作モードにおいて、相補共通データ
線CD−CDと選択された相補データ線を増幅MOSF
ETを介することなく接続するためのスイッチMOS 
F ET対Q25・Q26〜Q27・Q2Bがカラムス
イッチC8Wに設けられる。
As described above, in the dynamic RAM of this embodiment, in the read operation mode, the read signal is transmitted through the amplification MOS FET provided corresponding to each complementary data line.
The data is transmitted to complementary common data lines CD and CD via the data lines CD and CD. Therefore, in the write operation mode, the same signal path cannot be used. Therefore, in the write operation mode of the dynamic RAM, the complementary common data line CD-CD and the selected complementary data line are amplified by the MOSFET.
Switch MOS for connection without going through ET
FET pairs Q25, Q26 to Q27, Q2B are provided in column switch C8W.

これらのスイッチMOSFET対Q25・Q26〜Q2
7・Q28と、前述の増幅MOS F ETの出力端子
が結合されるスイッチMOSFET対Q21・Q22〜
Q23・Q24のゲートはそれぞれ共通接続され、カラ
ムアドレスデコーダCDCHによって形成されるデータ
線選択信号YWO〜’f w n又はYrO〜Yrnが
供給される。これらのデータ線選択信号のうちデータ線
選択信号YwO〜Ywnは、ダイナミック型RAMの書
き込み動作モードにおいて、Yアドレス信号AYO〜A
Yiによって指定されたデータ線に対応する一つのみが
ハイレベルとされる。また、データF+tiM択信号Y
rO〜Yrnは、ダイナミ7り型RAMの読み出し動作
モードにおいて、Yアドレス信号AYO〜AYiによっ
て指定されたデータ線に対応する一つのみがハイレベル
とされる。
These switch MOSFET pairs Q25, Q26~Q2
7.Q28 and the switch MOSFET pair Q21.Q22 to which the output terminal of the aforementioned amplification MOS FET is coupled.
The gates of Q23 and Q24 are connected in common and supplied with data line selection signals YWO~'fwn or YrO~Yrn formed by a column address decoder CDCH. Among these data line selection signals, data line selection signals YwO to Ywn are used as Y address signals AYO to A in the write operation mode of the dynamic RAM.
Only one line corresponding to the data line designated by Yi is set to high level. Also, data F+tiM selection signal Y
Only one of rO to Yrn corresponding to the data line specified by the Y address signals AYO to AYi is set to high level in the read operation mode of the dynamic 7-type RAM.

カラムアドレスデコーダCDCRは、カラムアドレスバ
ッファCADBから供給される相補内部アドレス信号a
yO〜ayi  (ここで例えば外部アドレス信号AY
Oと同相の内部アドレス信号ayOと逆相の内部アドレ
ス信号ayQをあわせて相補内部アドレス信号ayQと
表す、以下同じ)をデコードし、タイ文ング制御回路T
Cから供給されるデータ線選択タイミング信号φy及び
内部制御信号weに従ってデータ線選択信号YWO〜Y
Wn及びYrO〜Yrnを形成し、カラムスイッチC8
Wに供給する。すなわち、カラムアドレスデコーダCD
CRは、内部制御信号weがハイレベルとされる書き込
み動作モードにおいて、データ線選択信号YWO〜Yw
nのいずれか一つをハイレベルとし、また内部制御信号
weがロウレベルとされる読み出し動作モードにおいて
、データ線選択信号YrO〜’/ w rのいずれか一
つをハイレベルとする。これらのデータ線選択信号は、
データ線選択タイミング信号φyに同期して、ハイレベ
ルとされる。
Column address decoder CDCR receives complementary internal address signal a supplied from column address buffer CADB.
yO~ayi (Here, for example, external address signal AY
The internal address signal ayO, which is in phase with O, and the internal address signal ayQ, which is in opposite phase, are collectively expressed as a complementary internal address signal ayQ (hereinafter the same) is decoded, and the timing control circuit T
Data line selection signals YWO to Y according to data line selection timing signal φy and internal control signal we supplied from C
Wn and YrO to Yrn are formed, and column switch C8
Supply to W. That is, column address decoder CD
CR is connected to data line selection signals YWO to Yw in the write operation mode in which the internal control signal we is at a high level.
In a read operation mode in which any one of the data line selection signals YrO to '/wr is set to a high level and the internal control signal we is set to a low level, one of the data line selection signals YrO to '/wr is set to a high level. These data line selection signals are
It is set to high level in synchronization with the data line selection timing signal φy.

この実施例のダイナミック型RAMでは、前述のように
、センスアンプSAを活性化するためのタイミング信号
φpalと、このデータ線選択タイミング信号φyが同
時にハイレベルとされる。また、読み出し動作モードに
おいて、相補データ線の電位は増幅MOSFETを介し
て相補共通データ線CD−nに伝達される。このため、
比較的大きな浮遊容量を持つ相補共通データ線CD−τ
下がセンスアンプSAの活性化と同時に指定される相補
データ線に接続されるにもかかわらず、相補データ線に
出力される微小読み出し信号は相補共通データ線CD−
σ■の浮遊容量に影響されることなく増幅され、ダイナ
ミック型RAMの読み出し動作が高速化される。
In the dynamic RAM of this embodiment, as described above, the timing signal φpal for activating the sense amplifier SA and the data line selection timing signal φy are simultaneously set to high level. Further, in the read operation mode, the potential of the complementary data line is transmitted to the complementary common data line CD-n via the amplification MOSFET. For this reason,
Complementary common data line CD-τ with relatively large stray capacitance
Even though the lower end is connected to the complementary data line specified at the same time as the activation of sense amplifier SA, the minute read signal output to the complementary data line is connected to the complementary common data line CD-
It is amplified without being affected by the stray capacitance of σ■, and the read operation of the dynamic RAM is accelerated.

カラムアドレスバッファCADBは、入力端子AO〜A
iを介してカラムアドレスストローブ信号CASの立ち
下がりに同期して供給されるYアドレス信号AYO〜A
Yiを受け、相補内部アドレス信号ayQ〜ayiを形
成する。相補内部アドレス信号ayQ〜上yiは、カラ
ムアドレスデコーダCDCHに供給される。カラムアド
レスバンフ7CADBにおけるYアドレス信号AYO〜
AYiの取り込み動作は、タイミング制御回路TCにお
いてカラムアドレスストローブ信号で1石の立ち下がり
を検出して形成されるタイミング信号φac (図示さ
れない)に従つて行われる。
The column address buffer CADB has input terminals AO to A.
Y address signals AYO to A supplied via i in synchronization with the falling edge of the column address strobe signal CAS.
It receives Yi and forms complementary internal address signals ayQ to ayi. Complementary internal address signals ayQ to upper yi are supplied to column address decoder CDCH. Y address signal AYO~ in column address banff 7CADB
The capture operation of AYi is performed in accordance with a timing signal φac (not shown) generated by detecting one falling edge of the column address strobe signal in the timing control circuit TC.

−・方、メモリアレイM−ARYの同じ行に配置される
メモリセルのアドレス選択用MOSFETQnLのゲー
トは、対応するアドレスのワード線WQ −−W mに
結合される。ワード線WO〜Wmは、ロウアドレスデコ
ーダに結合されそのうちの一本が選択・指定される。
--On the other hand, the gates of the address selection MOSFETs QnL of memory cells arranged in the same row of the memory array M-ARY are coupled to the word line WQ --Wm of the corresponding address. Word lines WO to Wm are coupled to a row address decoder, and one of them is selected and designated.

特に制限されないが、ロウアドレスデコーダは2段構造
とされ、■次ロウアドレスデコーダRDCRiと2次ロ
ウアドレスデコーダRDCR2によって構成されり、1
次ロウアドレスデコーダRDCR1は、下位2ビツトの
相補内部アドレス信号aXO及びaxlをデコードして
、タイミング制御回路TCから供給されるタイミング信
号φXに同期した4つのワード線選択タイミング信号φ
xoOないしφxllを形成する。これらのワード線選
択タイミング信号は、下位2ビツトを除(相補内部アド
レス信号ax2〜axiをデコードする2次ロウアドレ
スデコーダRDCR2により形成される共通選択信号と
組み合わされることによって、Xアドレス信号AXO=
AXiに指定される一本のワード線を選択するためのワ
ード線選択信号(WO〜W m )が形成される。
Although not particularly limited, the row address decoder has a two-stage structure, consisting of a secondary row address decoder RDCRi and a secondary row address decoder RDCR2.
The next row address decoder RDCR1 decodes the complementary internal address signals aXO and axl of the lower two bits, and generates four word line selection timing signals φ synchronized with the timing signal φX supplied from the timing control circuit TC.
xoO to φxll are formed. These word line selection timing signals are combined with a common selection signal formed by the secondary row address decoder RDCR2 that decodes the complementary internal address signals ax2 to axi except for the lower two bits, so that the X address signal AXO=
A word line selection signal (WO to W m ) for selecting one word line designated by AXi is formed.

ロウアドレス系の選択回路を以上のような2段構成とす
ることで、2次ロウアドレスデコーダRDCR2の単位
回路のレイアウトピッチ(間隔)′とワード線のレイア
ウトピンチとを合わせることができ、半導体基板上のレ
イアウトを効率的なものとすることができる。
By configuring the row address system selection circuit in two stages as described above, it is possible to match the layout pitch (spacing) of the unit circuits of the secondary row address decoder RDCR2 with the layout pinch of the word line. The above layout can be made more efficient.

ロウアドレスバッファRADBは、アドレスマルチプレ
ンフサAMXから供給されるロウアドレス信号を受け、
それを保持するとともに、相補内部アドレス信号aXO
〜上xiを形成して、1次ロウアドレスデコーダRDC
R1,2次ロウアドレスデコーダRDCR2に供給する
The row address buffer RADB receives a row address signal supplied from the address multiplexer AMX,
While holding it, the complementary internal address signal aXO
〜Upper xi is formed to form a primary row address decoder RDC.
R1 and the secondary row address decoder RDCR2.

ところで、この実施例のダイナミック型RAMでは、メ
モリセルの記憶データを所定の周期内に読み出し、再書
き込みするための自動リフレッシュモードが設けられ、
この自動リフレフシェモードにおいてリフレッシユすべ
きワード線を指定するためのリフレッシュアドレスカウ
ンタREFCが設けられる。アドレス4マルチプレフク
サAMXは、タイミング制御回路TCから供給される内
部制御信号re、fに従って、外部端子AO〜Aiを介
して供給されるXアドレス信号AXO=AXt又はリフ
レンジエアドレスカウンタREFCから供給されるリフ
レフシェアドレス信号CXO〜Cxtを選択し、ロウア
ドレス信号としてロウアドレスバッファRADBに伝達
する。すなわち、内部1aJ御信号refがロウレベル
とされる通常のメモリアクセスモードにおいて、外部端
子AO〜Alを介して外部の装置から供給されるXアド
レス信号AXO〜AXiを選択し、内部制御信号ref
がハイレベルとされる自動リフレンシエモードにおいて
、リフレッシエアドレスカウンタREFCから出力され
るリフレンジエアドレス信号CXO〜cxiを選択する
By the way, the dynamic RAM of this embodiment is provided with an automatic refresh mode for reading and rewriting data stored in memory cells within a predetermined cycle.
A refresh address counter REFC is provided for specifying a word line to be refreshed in this automatic refresh mode. The address 4 multiplexer AMX is supplied with an X address signal AXO=AXt supplied via external terminals AO to Ai or a rerange air address counter REFC according to internal control signals re and f supplied from the timing control circuit TC. The ref-ref shared address signals CXO to Cxt are selected and transmitted to the row address buffer RADB as a row address signal. That is, in a normal memory access mode in which the internal 1aJ control signal ref is at a low level, X address signals AXO to AXi supplied from an external device via external terminals AO to Al are selected, and the internal control signal ref is selected.
In the automatic refresher mode in which the refresher address counter REFC is set to a high level, the refresher address signals CXO to cxi output from the refresher address counter REFC are selected.

Xアドレス信号AXO〜AXiは、外部から制御信号と
して供給されるロウアドレスストローブ信号RASの立
ち下がりに同期して供給されるため、ロウアドレスバッ
ファRADBによるロウアドレス信号の取り込みは、タ
イミング制御回路TCによってロウアドレスストローブ
信号RASの立ち下がりを検出して形成されるタイミン
グ信号φar <図示されない)に従って行われる。
Since the X address signals AXO to AXi are supplied in synchronization with the fall of the row address strobe signal RAS supplied as a control signal from the outside, the acquisition of the row address signal by the row address buffer RADB is controlled by the timing control circuit TC. This is performed in accordance with a timing signal φar<not shown) which is generated by detecting the fall of the row address strobe signal RAS.

次に、カラムスイッチC8Wによって指定された相補デ
ータ線が選択的に接続される共通相補データ線CD −
CDは、メインアンプMAの入力端子に結合されるとと
もに、データ入カバフファDIBの出力端子に結合され
る。メインアンプMAの出力端子は、さらにデータ出力
バッファDOBの入力端子に結合される。
Next, the common complementary data line CD − to which the complementary data line specified by the column switch C8W is selectively connected
CD is coupled to the input terminal of main amplifier MA and to the output terminal of data input buffer DIB. The output terminal of main amplifier MA is further coupled to the input terminal of data output buffer DOB.

メインアンプMAは、タイミング制御回路TCから供給
されるタイミング信号φ−aのハイレベルによって動作
状態とされ、選択されたメモリセルから対応する増[M
OSFET及び相補共通データ線CD−τ百を介して入
力される読み出し信号をさらに増幅し、データ出力バッ
ファDOBに伝達する。
The main amplifier MA is brought into operation by the high level of the timing signal φ-a supplied from the timing control circuit TC, and the main amplifier MA is activated by the high level of the timing signal φ-a supplied from the timing control circuit TC.
The read signal inputted through the OSFET and the complementary common data line CD-τ is further amplified and transmitted to the data output buffer DOB.

データ出力バッファDOBは、ダイナミック型RAMの
読み出し動作モードにおいて、タイミング制御回路TC
から供給されるタイミング信号φrのハイレベルによっ
て動作状態とされ、上記メインアンプMAの出力信号を
データ出力端子Doutに出力する。ダイナミック型R
AMの非動作状態あるいは書き込み動作モードにおいて
、データ出力バッファDOBの出力はハイインピーダン
ス状態とされる。
In the read operation mode of the dynamic RAM, the data output buffer DOB is connected to the timing control circuit TC.
The main amplifier MA is activated by the high level of the timing signal φr supplied from the main amplifier MA, and outputs the output signal of the main amplifier MA to the data output terminal Dout. Dynamic type R
In the AM non-operation state or write operation mode, the output of the data output buffer DOB is placed in a high impedance state.

データ入力バッファDIBは、ダイナミック型RA M
の書き込み動作モードにおいて、タイミング信号φWの
ハイレベルによって動作状態とされ、データ入力端子D
inから供給される書き込みデータを相補書き込み信号
とし、相補共通データ線CD−CDに供給する。これら
の相補書き込み信号は、カラムスイッチC8Wの書き込
み用スイッチMOSFET対Q25・Q26〜Q27・
Q2Bを介して、選択された相補データ線及びメモリセ
ルに供給される。ダイナミック型RAMの非動作状態あ
るいは読み出し動作モードにおいて・データ入力バッフ
ァDIBの出力はハイインピーダンス状態とされる。
The data input buffer DIB is a dynamic RAM
In the write operation mode, the timing signal φW is set to the high level and the data input terminal D is activated.
The write data supplied from in is made into a complementary write signal and is supplied to the complementary common data line CD-CD. These complementary write signals are sent to the write switch MOSFET pairs Q25, Q26 to Q27, and the column switch C8W.
It is supplied to the selected complementary data line and memory cell via Q2B. When the dynamic RAM is in a non-operating state or in a read operation mode, the output of the data input buffer DIB is placed in a high impedance state.

リフレッシュアドレスカウンクREFCは、ダイナミッ
ク型RAMの自動リフレッシュ動作モードにおいて動作
し、タイミング制!11回路TCから供給されるタイミ
ング信号φCを計数して、リフレッシュすべきワード線
を指定するためのリフレッシュアドレス信号cxQNc
xiを形成し、アドレスマルチプレクサAMXに供給す
る。
The refresh address counter REFC operates in the automatic refresh operation mode of dynamic RAM, and is timing-based! A refresh address signal cxQNc for counting the timing signal φC supplied from the 11 circuit TC and specifying a word line to be refreshed.
xi and supplies it to the address multiplexer AMX.

タイミング制御図123Tcは、外部から制御信号とし
て供給されるロウアドレスストローブ信号百AS、カラ
ムアドレスストローブ信号CAS及びライトイネーブル
信号WEによって上記各種の内部制御信号やタイミング
信号を形成し、各回路に供給する。
The timing control diagram 123Tc forms the various internal control signals and timing signals mentioned above based on the row address strobe signal AS, column address strobe signal CAS, and write enable signal WE supplied as control signals from the outside, and supplies them to each circuit. .

第2図には、この実施例のダイナミック型RAMの読み
出し動作モードにおける一実施例のタイミング図が示さ
れている。同図により、この実施例のダイナミック型R
AMの読み出し動作の概要を説明する。
FIG. 2 shows a timing diagram of an embodiment in the read operation mode of the dynamic RAM of this embodiment. According to the same figure, the dynamic type R of this embodiment
An outline of the AM read operation will be explained.

第2図において、ダイナ< +7り型RAMは、ロウア
ドレスストローブ信号RASがハイレベルからロウレベ
ルに変化されることによって起動される。このロウアド
レスストローブ信号Tw下の立ち下がりに先立って、図
示されないライトイネーブル信号Wπがハイレベルとさ
れ、外部端子AO〜AiにはXアドレス信号AXO−A
Xiが供給される。また、ロウアドレスストローブ信号
H丁にやや遅れて、カラムアドレスストローブ信号CA
Sがハイレベルからロウレベルに変化される。
In FIG. 2, the Dyna<+7 type RAM is activated by changing the row address strobe signal RAS from high level to low level. Prior to the fall of the row address strobe signal Tw, a write enable signal Wπ (not shown) is set to a high level, and the external terminals AO to Ai are connected to the X address signal AXO-A.
Xi is supplied. Also, a little later than the row address strobe signal H, the column address strobe signal CA
S is changed from high level to low level.

このカラムアドレスストローブずδ号Cτlの立ち下が
りに先立って、外部端子AO〜AiにはYアドレス信号
AYO”AYiが供給される。
Prior to the fall of the column address strobe signal δ Cτl, the Y address signal AYO''AYi is supplied to the external terminals AO to Ai.

この実施例のダイナミック型RAMでは、ロウアドレス
ストローブ信号RASの立ち下がりからカラムアドレス
ストローブ信号CASの立ち下がりまでの時間は、ダイ
ナミック型RAM内のアドレス選択動作及び読み出し信
号の増幅動作に関係なく、設定される。つまり、ロウア
ドレスバッファRADB及びカラムアドレスバッファC
ADHによるアドレス信号の取り込みが確実に行われる
時間余裕のみによって、ロウアドレスストローブ信号r
τ1とカラムアドレスストローブ信号CAτの立ち下が
り間隔すなわちRAS・στゴ遅延時間T rcdが設
定される。
In the dynamic RAM of this embodiment, the time from the fall of the row address strobe signal RAS to the fall of the column address strobe signal CAS is set regardless of the address selection operation and read signal amplification operation in the dynamic RAM. be done. In other words, row address buffer RADB and column address buffer C
The row address strobe signal r
τ1 and the falling interval of the column address strobe signal CAτ, that is, the RAS·στ delay time Trcd are set.

ダイナミック型RAMでは、ロウアドレスストローブ信
号RASの立ち下がりによってタイミング信号φarが
形成され、Xアドレス信号AXO〜AXiがロウアドレ
スバッファRADBに取り込まれる。また、このタイミ
ング信号φarにやや遅れて、ワード線選択タイミング
信号φXがハイレベルとされ、ロウアドレスデコーダR
DCHによるワード線選択動作が開始される。これによ
り、各相補データ線(例えば相補データ線DO・DO)
には、センスアンプSAの動作に先立って、選択された
ワード線に結合されるメモリセルから微小読み出し信号
が出力される。
In the dynamic RAM, timing signal φar is generated by the fall of row address strobe signal RAS, and X address signals AXO to AXi are taken into row address buffer RADB. Also, a little later than this timing signal φar, the word line selection timing signal φX is set to high level, and the row address decoder R
A word line selection operation by DCH is started. As a result, each complementary data line (for example, complementary data line DO/DO)
Before the sense amplifier SA operates, a minute read signal is output from the memory cell coupled to the selected word line.

次に、カラムアドレスストローブ信号CASの立ち下が
りによってタイミング信号φacが形成され、Yアドレ
ス信号AYO〜AYiがカラムアドレスバッファCAD
Bに取り込まれる。
Next, timing signal φac is formed by the fall of column address strobe signal CAS, and Y address signals AYO to AYi are sent to column address buffer CAD.
It is taken into B.

ワード線選択動作が終了する時点で、センスアンプSA
を活性化するためのタイミング信号φpal及びφpa
2が形成されるとともに、データ線選択タイミング信号
φyがハイレベルとされる。これにより、相補データ線
DO・万1に出力された微小読み出し信号はセンスアン
プSAの対応する単位回路によって増幅され、急速に7
1イレベル又はロウレベルの2値読み出し信号とされる
。これらの21A=!み出し信号は、カラムスイッチC
5Wの読み出し用スイッチM OS F E ’I’対
を介して相補共通データ線CD −CDに伝達され、さ
らにメインアンプMAによって増幅される。
At the point when the word line selection operation is completed, the sense amplifier SA
Timing signals φpal and φpa for activating
2 is formed, and the data line selection timing signal φy is set to high level. As a result, the minute read signal output to the complementary data line DO is amplified by the corresponding unit circuit of the sense amplifier SA, and rapidly
It is a binary read signal of 1 high level or low level. These 21A=! The protruding signal is column switch C.
The signal is transmitted to the complementary common data lines CD-CD via a pair of 5W read switches MOSFE'I', and further amplified by the main amplifier MA.

メインアンプM Aによる増幅動作が終了する時点で、
夕・イミング信号ψrが形成される。このタイミング信
号φrのハイレベルによつ°Cデータ出力バノファDO
Bが動作状態となり、読み出しデータが出力端子Dou
tから外部の装置に出力される。
At the point when the amplification operation by the main amplifier M A is completed,
An evening timing signal ψr is formed. Due to the high level of this timing signal φr, the °C data output vanofer DO
B is in the operating state, and the read data is output to the output terminal Dou.
It is output from t to an external device.

以上のように、この実施例のダイナミック型RAMには
、対応する相補データ線の電位を相補共通データ線CD
 −CDに伝達するための増幅MO3F ETQ 7・
Q15.QB・QI6〜Q9・Q17、QIO・QIO
が設けられ、タイミング信号φpal及びφpa2によ
ってセンスアンプSAが活性化されると同時に、カラム
アドレスデコーダCDCR及びカラムスイッチC8Wに
よるデータ線の選択動作が開始される。このため、比較
的大きな浮遊容量が結合される相補共通データ線CD・
CDが、センスアンプSAの活性化と同時に接続される
にもかかわらず、センスアンプSAによる読み出し信号
の増幅動作は相補共通データ線CD−CDの浮遊容量に
よるχ響を受けない、したがって、ダイナミック型RA
Mとしての読み出し動作は高速化され、そのアクセスタ
イムが短縮化される。
As described above, in the dynamic RAM of this embodiment, the potential of the corresponding complementary data line is connected to the complementary common data line CD.
- Amplified MO3F ETQ 7 for transmitting to CD
Q15. QB・QI6~Q9・Q17, QIO・QIO
is provided, and at the same time as sense amplifier SA is activated by timing signals φpal and φpa2, data line selection operation by column address decoder CDCR and column switch C8W is started. Therefore, the complementary common data line CD/
Although the CD is connected at the same time as the sense amplifier SA is activated, the read signal amplification operation by the sense amplifier SA is not affected by the stray capacitance of the complementary common data line CD-CD. R.A.
The read operation as M is accelerated and its access time is shortened.

以上の本実施例に示されるように、この発明をダイナミ
ック型RAM等の半導体記憶装置に通用゛ することに
より、次のような効果が得られる。すなわち、 (1)相補データ線の電位を、それぞれの相補データ線
に対応して設けられる増幅MOSFETを介して相補共
通データ線に伝達することで、相補データ線に出力され
る微小読み出し信号を、相補共通データ線に結合される
比較的大きな浮遊容量の影響を受けることなく、センス
アンプによって増幅できるという効果が得られる。
As shown in the above embodiment, by applying the present invention to a semiconductor memory device such as a dynamic RAM, the following effects can be obtained. That is, (1) By transmitting the potential of the complementary data line to the complementary common data line via the amplification MOSFET provided corresponding to each complementary data line, the minute read signal output to the complementary data line is This provides the advantage of being able to be amplified by the sense amplifier without being affected by the relatively large stray capacitance coupled to the complementary common data line.

(2)上記(1)項により、センスアンプの活性化ある
いはワード線の選択動作とデータ線の選択動作を同時に
行うことができるという効果が得られる。
(2) According to the above item (1), it is possible to achieve the effect that the activation of the sense amplifier or the selection operation of the word line and the selection operation of the data line can be performed simultaneously.

(3)上記(1)項及び(2)項により、ダイナミック
型RAMの読み出し動作を高速化でき、そのアクセスタ
イムを短縮化できるという効果が得られる。
(3) According to the above (1) and (2), it is possible to speed up the read operation of the dynamic RAM and shorten the access time.

以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、この発明は上記実施例に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることはい・)までもない0例えば、第1図の実
施例ではセンスアンプSAの活性化とデータ線の選択動
作を同時に行っているが、データ線の選択動作換言すれ
ばデータ線と共通データ線との接続動作を、ワード線の
選択動作と同時に換言すればセンスアンプの動作開始よ
り前に行うものであればよい0例えば、ワード線選択タ
イミング信号φXとデータ線選択タイミング信号φyを
同時にハイレベルとするものであってもよい。また、第
1図の実り例では、カラムスイッチC3Wの書き込み用
スイッチM OS l”E′r対と読み出し用スイッチ
MOSFET対を別々に設け、共通の相補共通デー°り
線CD−σ石によって書き込み信号及び読み出し信号を
伝達しているが、書き込み用相補共通データ線と読み出
し用相補共通データ線をj囚別に設けることもよい。
Although the invention made by the present inventor has been specifically explained above based on examples, this invention is not limited to the above-mentioned examples, and can be modified in various ways without departing from the gist of the invention.) For example, in the embodiment shown in FIG. 1, the activation of the sense amplifier SA and the data line selection operation are performed simultaneously, but the data line selection operation, in other words, the connection operation between the data line and the common data line In other words, it may be performed at the same time as the word line selection operation, in other words, before the sense amplifier starts operating. For example, the word line selection timing signal φX and the data line selection timing signal φy may be set to high level at the same time. There may be. In addition, in the example shown in FIG. 1, the writing switch MOSFET pair and the reading switch MOSFET pair of the column switch C3W are provided separately, and the writing is performed using a common complementary common data line CD-σ stone. Although signals and read signals are transmitted, it is also possible to provide separate complementary common data lines for writing and complementary common data lines for reading.

増幅MOSFETは、センスアンプSAの単位回路とは
分離して配置してもよいし、増幅MOSFETのPチャ
ンネルMOS F ETを相補共通データ線の非反転信
号線及び反K(8号線ごとに共通に設けるものであって
もよい、この場合、Pチャフ  1ネルMOSFETで
はな(、例えば高抵抗など他の負荷手段を用いることも
よい、また、相補共通データ線の非反転信号線と反転信
号線との間に、そのゲートにタイミング信号φpcを受
ける短絡用のNチャンネルMOSFETを設けることが
望ましい、この場合、チップ非選択状態における相補共
通データ線の両信号線の電位は、相補データ線のプリチ
ャージレベルに等しいVcc/2とされる。
The amplification MOSFET may be placed separately from the unit circuit of the sense amplifier SA, or the P-channel MOSFET of the amplification MOSFET may be placed in common for each non-inverting signal line of the complementary common data line and the anti-K (line 8). In this case, other load means such as a high resistance may be used instead of a P-chaff single-channel MOSFET. It is desirable to provide a short-circuiting N-channel MOSFET that receives the timing signal φpc at its gate between the two signal lines. In this case, the potential of both signal lines of the complementary common data line in the chip non-selected state is It is set to Vcc/2, which is equal to the level.

接続手段の高入力インピーダンスに加えこれらの電位が
ほぼ同じにされることで、センスアンプの動作開始前相
補データ線と相補共通データ線とが接続された時の相補
データ線の電位変動を防止できる。さらに、第1図に示
したダイナミック型RAMは、例えばメモリアレイを複
数のメモリマントにより構成したり、同時に複数ピント
の書き込み又は読み出しができるようにするなど、その
回路ブロンク構成や制御信号の組み合わせは種々の実施
形態を採りうるものである。
In addition to the high input impedance of the connection means, by making these potentials almost the same, it is possible to prevent potential fluctuations on the complementary data line when the complementary data line and the complementary common data line are connected before the sense amplifier starts operating. . Furthermore, the dynamic RAM shown in FIG. 1 has different circuit block configurations and control signal combinations, for example, the memory array is configured with multiple memory mantles, and multiple focus points can be written or read at the same time. Various embodiments are possible.

以上の説明では主として本願発明者等によってなされた
発明をその背景となった利用分野であるダ・イナE7り
型RAMに適用した場合について説明したが、それに限
定されるものではなく、例えば、ダイナミック型RAM
をスタティック型RAMとコンパティプルに使用しうる
構成とした擬像スタティック型RAMなど各種の半導体
記憶装置にも通用できる0本発明は、少なくともそのメ
モリアレイがダイナミック型メモリセルにより構成され
、相補データ線ごとにセンスアンプを有する崖導体記憶
装置及びそのような半導体記憶装置を含む半導体装置に
広く適用できる。
In the above explanation, the invention made by the inventors of the present application was mainly applied to the Dina E7 type RAM, which is the background field of application, but the invention is not limited to this. type RAM
The present invention can also be applied to various semiconductor memory devices such as a pseudo-imaging static RAM which has a structure that can be used compatible with a static RAM. The present invention can be widely applied to semiconductor devices including cliff conductor memory devices having sense amplifiers and such semiconductor memory devices.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

本願において開示される発明のうち代表的なものによっ
て得られる効果を簡単に説明すれば、下記のとおりであ
る。すなわち、相補データ線の電位を、それぞれの相補
データ線に対応して設けられる増幅MOS F ETを
介して相補共通データ線に伝達することで、相補データ
線に出力される微小読み出し信号を相補共通データ線に
結合される比較的大きな浮遊容量の影響を受けることな
く増幅することができ、センスアンプの活性化あるいは
ワード線の選択動作とデータ線の選択動作を同時に行う
ことができるため、半導体記憶装置の読み出し動作を高
速化できるものである。
A brief explanation of the effects obtained by typical inventions disclosed in this application is as follows. That is, by transmitting the potential of the complementary data line to the complementary common data line via the amplification MOS FET provided corresponding to each complementary data line, the minute read signal output to the complementary data line is transmitted to the complementary common data line. Semiconductor memory This makes it possible to speed up the read operation of the device.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は、この発明が通用されたダイナミック型RAM
の一実施例を示す回路ブロック図、第2図は、第1図の
ダイナミック型RA Mの読み出し動作の一実施例を示
すタイミング図、第3図は、従来のダイナミック型RA
Mのメモリアレイ及びその周辺回路の一例を示す回路ブ
ロック図、 第4図は、!fsa図のダイナミック型RAMの読み出
し動作を示すタイミング図である。 M−ARY・・・メモリアレイ、PC・・・プリチャー
ジ回路、SA・・・センスアンプ、C8W・・・カラム
スイッチ、RDCR1・・・1次ロウアドレスデコーダ
、RDCR2・・・2次ロウアドレスデコーダ、CDC
R・・・カラムアドレスデコーダ、RADB・・・ロウ
アドレスバッファ、AMX・・・アドレスマルチプレク
サ、CADB・・・カラムアドレスバッファ、MA・・
・メインアンプ、DOB・・・データ出カバソファ、D
IB・・・データ入カバンファ、REFC・・・リフレ
ッシュカウンタ、TC・・・タイミング制御回路。 Cs・・・情餡凸積用キャパシタ、Qm・・・アドレス
選択M OS F E T 、 Q 2〜Q、10.Q
31〜Q33・・・PチャンネルMOSFET、Q1工
〜Q30.Q34〜Q3B・・・NチャンネルMOSF
ET。 lぐ\、
Figure 1 shows a dynamic RAM to which this invention is applied.
FIG. 2 is a timing diagram showing an example of the read operation of the dynamic RAM shown in FIG.
Figure 4 is a circuit block diagram showing an example of the M memory array and its peripheral circuits. FIG. 3 is a timing diagram showing a read operation of the dynamic RAM shown in the fsa diagram. M-ARY...Memory array, PC...Precharge circuit, SA...Sense amplifier, C8W...Column switch, RDCR1...Primary row address decoder, RDCR2...Secondary row address decoder , CDC
R...Column address decoder, RADB...Row address buffer, AMX...Address multiplexer, CADB...Column address buffer, MA...
・Main amplifier, DOB...data output cover sofa, D
IB...Data input buffer, REFC...Refresh counter, TC...Timing control circuit. Cs...Capacitor for information convexity, Qm...Address selection MOSFET, Q2~Q, 10. Q
31~Q33...P channel MOSFET, Q1~Q30. Q34~Q3B...N channel MOSF
E.T. lg\、

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、メモリアレイを構成するデータ線に対応して設けら
れメモリセルの読み出し信号を増幅するセンスアンプと
、そのゲートが対応する上記データ線に結合される複数
の増幅MOSFETと、上記増幅MOSFETの出力信
号を共通データ線に選択的に伝達するカラムスイッチを
具備することを特徴とする半導体記憶装置。 2、上記センスアンプは、交差接続される二組のCMO
Sインバータ回路により構成され、上記増幅MOSFE
Tは、それぞれのゲート及びソースが対応するデータ線
に結合されるセンスアンプの二組のCMOSインバータ
回路を構成するPチャンネルMOSFET及びNチャン
ネルMOSFETにそれぞれ共通接続され、それぞれの
共通接続されたドレインが対応する上記共通データ線の
非反転信号線及び反転信号線にそれぞれ結合される二組
の直列形態のPチャンネルMOSFET及びNチャンネ
ルMOSFETにより構成されることを特徴とする特許
請求の範囲第1項記載の半導体記憶装置。 3、上記カラムスイッチは、半導体記憶装置の読み出し
動作において、上記センスアンプが活性状態にされる以
前に選択状態とされるものであることを特徴とする特許
請求の範囲第1項又は第2項記載の半導体記憶装置。 4、上記半導体記憶装置は、ダイナミック型RAMであ
ることを特徴とする特許請求の範囲第1項、第2項又は
第3項記載の半導体記憶装置。
[Claims] 1. A sense amplifier provided corresponding to a data line constituting a memory array and amplifying a read signal of a memory cell, and a plurality of amplifying MOSFETs whose gates are coupled to the corresponding data line. , a semiconductor memory device comprising a column switch that selectively transmits the output signal of the amplification MOSFET to a common data line. 2. The above sense amplifier has two sets of CMOs that are cross-connected.
It is composed of an S inverter circuit, and the above amplification MOSFE
T is commonly connected to a P-channel MOSFET and an N-channel MOSFET constituting two sets of CMOS inverter circuits of a sense amplifier whose gates and sources are coupled to corresponding data lines, respectively, and whose commonly connected drains are connected to each other. Claim 1, characterized in that it is constituted by two sets of series-type P-channel MOSFETs and N-channel MOSFETs respectively coupled to the non-inverting signal line and the inverting signal line of the corresponding common data line. semiconductor storage device. 3. The column switch is set to a selected state before the sense amplifier is activated in a read operation of the semiconductor memory device, claim 1 or 2. The semiconductor storage device described above. 4. The semiconductor memory device according to claim 1, 2, or 3, wherein the semiconductor memory device is a dynamic RAM.
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