JPS63180447A

JPS63180447A - ワ−ク加工装置

Info

Publication number: JPS63180447A
Application number: JP62008219A
Authority: JP
Inventors: Shinichi Hattori; 晋一服部; Manabu Kubo; 学久保
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1987-01-19
Filing date: 1987-01-19
Publication date: 1988-07-25
Anticipated expiration: 2011-10-09
Also published as: JP2542598B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］この発明は、ワークの加工線に沿って切断又は溶接等の
加工を施すワーク加工装置に関し、特にティーチング時
に加工線をウィービングしながら自動的に倣うことので
きるワーク加工装置に関するものである。

［従来の技術］従来より、レーザビーム等を用いてワークを切断加工又
は溶接加工することはよく知られている。

この種のワーク加工装置においては、ワーク上の加工線
を予めティーチングしその通りに加工するティーチング
プレイバック方式が用いられており、通常は、オペレー
タが手動制御により加工機本体を駆動しながらティーチ
ングを行なっている。

第５図は従来のワーク加工装置に用いられる一般的な加
工機本体（１０）の軸構成を示す概略斜視図である０図
において、（１）は加工ヘッド例えばレーザ切断加工ヘ
ッド（図示せず）を取り付けるためのヘッド取り付け部
であり、加工機本体（１０）のアーム（１０ａ）の先端
に設けられている。（２）はモータ（Ｎ５）を介してヘ
ッド取り付け部（１）をβ方向に回転させるためのβ軸
、（３）はモータ（Ｎ４）を介してヘッド取り付け部（
１）をα方向に回転させるためのα軸、（４）はモータ
（Ｎ３）を介してヘッド取り付け部（１）をＺ方向に移
動させるためのＺ軸、（５）はモータ（Ｎ２）を介して
ヘッド取り付け部（１）をＹ方向に移動させるためのＹ
軸、（６）はモータ（Ｍｌ）を介してヘッド取り付け部
（１）をＸ方向に移動させるためのＸ軸である。

次に、第５図に示した加工機本体（１０）を用いた従来
のワーク加工装置の動作について説明する。

まず、ヘッド取り付け部（１）に加工ヘッドを取り付け
、この加工ヘッドの先端から可視光線を放射させる。オ
ペレータは、可視光線のスポットを視覚で確認しながら
、ワーク（図示せず）上の加工線に沿って加工ヘッドが
移動するように加工機本体く１０）を駆動し、加工線座
標の入力を１点ずつ行う。

一般に、視覚認識できるようにワーク上には加工線とし
ての罫書きが施されており、又、加工機本体（１０）の
駆動に必要な指令の入力は、ＮＣ制御部（図示せず）に
接続されたティーチングボックス（図示せず）を介して
行なわれる。

以上のティーチング動作は、加工線の形状及び長さにも
よるが、１０００ポイント程度の入力が必要であること
から数時間かかるのが普通である。

こうして得られた加工線座標に基づいて、ＮＣ制御部（
図示せず）は加工プログラムを生成し、これにより、加
工機本体（１０）を駆動して所定の加工動作を実行する
。

［発明が解決しようとする問題点］従来のワーク加工装置は以上のように、加工線の入力を
オペレータの手動作業により行なっていたので、多くの
時間及び労力を必要とするという問題点があった。

この発明は上記のような問題点を解決するためになされ
たもので、わずかな初期設定を行うのみで、加工線を自
動的に倣うことのできるワーク加工装置を得ることを目
的とする。

［問題点を解決するための手段］この発明に係るワーク加工装置は、加工機本体のヘッド
取り付け部に設けられた計測センサと、この計測センサ
からの検出信号及び加工機本体からの位置検出信号に基
づいて加工線上に設けられた特異線の特異線位置座標信
号を出力すると共に特異線を検出するためのウィービン
グ座標信号をＮＣ＠御部に出力する倣い計測演算部と、
特異線位置座標信号に基づいてワークを加工するための
加工プログラムをＮＣ制御部に出力するデータ処理部と
を備えたものである。

［作用］この発明においては、特異線の始点、方向指示点及び終
点を初期設定するのみで、加工機本体に取り付けられた
計測センサがウィービングしながら自動的に加工線上の
特異線を追跡し、計測センサにより検出された特異線検
出信号及び高さ信号と加工機本体から得られる位置検出
信号とに基づいて、倣い計測演算部が特異線位置座標信
号をデータ処理部に出力する。

［実施例］以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図はこの発明の一実施例を示すブロック図である。

図において、加工機本体（１０）は第５図に示したもの
と同構成であり、複数のモータ（Ｍｌ）〜（Ｍ５）から
なるモータ部（１１）と、各モータ（Ｍｌ）〜（Ｍ５）
に個別・に設けられたレゾルバ（図示せず）からなるレ
ゾルバ部（１２）とを備えている。レゾルバ部（１２）
は、各モータ（Ｍｌ）〜（Ｈ５）の回転位置即ちヘッド
取り付け部（１）に設けられた加工ヘッド又はセンサヘ
ッド（後述する）の位置を示す位置検出信号りを出力し
ている。

（２０）はヘッド取り付け部（１）に取り付けられたセ
ンサヘッドであり、半導体レーザ、受光素子及び信号処
理ユニット（図示せず）が内蔵された計測センサ（２１
）を備えている。計測センサ（２１）においては、ワー
クの表面で乱反射された半導体レーザ光（赤外線）が入
力されており、信号処理ユニットが、受光素子上の受光
位置に基づいてセンサヘッド（２０）の先端からワーク
までの高さを示す高さ検出信号Ｈを出力している。又、
信号処理ユニットは、受光される反射光の光量を一定に
保つための制御信号を半導体レーザ駆動回路に入力して
おり、この制御信号の急峻な立ち上がりを、無反射性の
特異線Ｔ（例えば黒色テープ）の存在を示す特異線検出
信号りとして出力している。

（３０）は加工機本体（１０）を駆動するためのＮＣ制
御部であり、ＣＰ　Ｕ　（３１）と、このＣＰ　Ｕ　（
３１）に属するメモリ（３２）と、データ処理部（後述
する）から入力される加工プログラムＲを格納するため
の不揮発性メモリ（３３）と、データ処理部との間で信
号を送受信するための伝送インタフェース（３４）と、
操作！（後述する）との間で信号を送受信するための操
作盤インタフェース（３５）と、ティーチングボックス
（後述する）との間で信号を送受信するためのティーチ
ングボックスインタフェース（３６）と、モータ（Ｍｌ
）〜（Ｍ５）の各々を駆動する駆動信号Ｍをモータ部（
１１）に出力するためのモータインタフェース（３７）
と、レゾルバ部（１２）から位置検出信号りを取り込む
ためのレゾルバインタフェース（３８）と、計測センサ
（２１）から高さ検出信号Ｈを取り込むためのセンサイ
ンタフェース（３９）とを備えている。

又、これら構成要素（３２）〜（３９）はバス（３０Ｂ
）を介してＣＰ　Ｕ　（３１）に相互接続されている。

（４０）は倣い計測演算部であり、レゾルバ部（１２）
からの位置検出信号りと計測センサ（２１）からの高さ
検出信号Ｈ及び特異線検出信号りとに基づいて、餡卑矩
Ｔ　Ｍ　ｌｅｆ晋直博本壬す鶴慴趨／＆胛庫ネ璽信昇Ｃ
と特異線Ｔを倣い且つ検出するために用いられるウィー
ビング座標信号Ｗとを演算している。そして、倣い計測
演算部（４０）は、ＣＰ　Ｕ　（４１）と、このＣＰ　
Ｕ　（４１）に属するメモリ（４２）と、特異線位置座
標信号Ｃをデータ処理部に出力するための伝送インタフ
ェース（４３）と、ウィービング座標信号ＷをＮＣ＠御
部（３０）と共有するための共有メモリ（４４）と、位
置検出信号りを取り込むためのレゾルバインタフェース
（４５）と、高さ検出信号Ｈ及び特異線検出信号りを取
り込むためのセンサインタフェース（４６）とを備えて
いる。又、これら構成要素（４２）〜（４６）は、バス
（４０Ｂ）を介してＣＰ　Ｕ　（４１）に相互接続され
ている。

（５０）は周知のコンピュータ及びディスプレイ、キー
ボード、プリンタ等（図示せず）を備えたデータ処理部
であり、倣い計測演算部（４０）からの特異線位置座標
信号Ｃに基づいてワーク加工用の加工プログラムＲを演
算し、この加工プログラムＲをＮＣ制御部（３０）に出
力している。

（６０）はディスプレイ及びキーボード、操作スイッチ
等（図示せず）を備えた操作盤であり、加工機本体（１
０）を駆動するときの初期設定指令及び動作指令等をＮ
Ｃ制御部（３０）に入力するようになっている。

（７０）はＮＣ制御部（３０）に接続されたハンドベル
ト形のキーボードからなるティーチングボックスであり
、手動操作により加工機本体（１０）を駆動できるよう
になっている。

第２図は第１図内のＮＣ制御部（３０）及び倣い計測演
算部〈４０）のティーチング時における機能を示す機能
ブロック図である。

図において、（８１）は高さ検出信号Ｈ及び特異線検出
信号りに基づいてセンサヘッド（２０）から特異線Ｔま
での高さを示す特異線高さ信号Ｕを出力する特異線高さ
検出処理手段、（８２）は特異線高さ信号Ｕ及び位置検
出信号しに基づいて特異線位置座標ＣＳを出力する現在
位置演算処理手段、（８３）は特異線位置座標Ｃ８を順
次記録して特異線位置座標信号Ｃをデータ処理部（５０
）に出力する特異線位Ｗ！標記録手段、（８４）はセン
サヘッド（２０）をウィービングさせて特異線Ｔを追跡
するためのウィービングパターン−Ｐが予め格納された
ウィービングパターン発生手段、（８５）はウィービン
グパターン−Ｐ、特異線位置座標ＣＳ及び特異線高さ信
号Ｕに基づいてウィービング点を示すウィービング座標
信号ＷをＮＣ制御部（３０）に出力する目標位置演算処
理手段である。尚、これら各手段（８１）〜（８５）は
倣い計測演算部（４０）内のＣＰ　Ｕ　（４１）により
実現されている。

（９１）はウィービング座標信号Ｗに基づいて、補間さ
れたウィービング軌跡を示す補間位置座標信号Ａを出力
する軌跡補間手段、（９２）は補間位置座標信号Ａと高
さ検出信号Ｈとに基づいて、補正されたセンサヘッド（
２０）の高さ位置を示す高さ補正信号Ｂを出力する高さ
補正制御手段、（９３）は高さ補正信号Ｂ及び位置検出
信号りに基づいて、モータ部（１１）の駆動信号Ｍを出
力する位置制御手段である。尚、これら各手段（９１）
〜（９３）はＮＣ制御部（３０）内のＣＰ　Ｕ　（３１
）により実現されている。

次に、第３図のフローチャート図、第４図のウィービン
グ動作説明図及び第５図を参照しながら、第１図及び第
２図に示したこの発明の一実施例の動作について説明す
る。

まず、ワークの加工線上に特異線粋理を施し、特異線Ｔ
を形成する（ステップＳ１）、この特異線Ｔとしては、
例えば０．４１幅の無反射性の黒色テープが用いられ、
必要に応じて貼り直すことができるようになっている。

次に、操作盤（６０）を介して倣い（ティーチング）モ
ードを選択しくステップＳ２）、ＮＣ制御部（３０）を
倣い計測モードにする。又、加工機本体（１０）のヘッ
ド取り付け部（１）にセンサヘッド（２０）即ち計測セ
ンサ（２１）を取り付ける（ステップＳ３）。

次に、操作盤（６０）を介してプログラム名及び倣いの
タイプを入力すると共に、ティーチングボックス（７０
）を介して特異線Ｔの始点Ｐｓ、方向指示点Ｐｏ及び終
点ＰＢ（第４図参照）を手動操作で入力し、倣い動作用
の初期設定を行う（ステップＳ４）、このときの各点Ｐ
ｓ、Ｐｏ及びＰＢは、可視光線の照射等によりオペレー
タの視覚で決定されるが、多少の誤差を含んでいても差
し支えない。

次に、操作盤（６０）の起動ボタン（図示せず）を押し
て（ステップＳ５）、自動ティーチング用のウィービン
グ動作を実行させる（ステップＳ６）。

このとき、計測センサ（２１）からのレーザ光の照射点
を始点ｐｓから方向指示点ＰＯに対して直角方向に移動
させ、特異線Ｔとの交点Ｐ＋を検出してから所定量移動
した点を第１のウィービング点ｑ、とする。そして、始
点Ｐｓと第１のウィービング点Ｑ１とを結ぶ直線に沿っ
て折り返しく図面上では、便宜的に離間させて示すが交
点Ｐ１′は交点ＰＩと一致する）、所定量移動した点を
第２のウィービング点Ｑ２とする。このウィービング幅
ｌｌＩＤは通常Ｉｃｍ程度である。

こうして、最初のウィービング点ｑ、及びＱ２により、
特異線Ｔに対する第１の交点Ｐ、を検出する。

次に、方向指示点ＰＤに向けて傾斜しながら次のウィー
ビング点Ｑ、に移動し、更に、Ｑ４、ｑ９、・・・、Ｑ
ｎ＋１と順次折り返して特異線Ｔとの各交点Ｐ２〜Ｐｎ
を検出していく。このウィービング動作は、ウィービン
グ点Ｑｎ及びＱｎ＋＋により終点ＰＢの近傍の交点Ｐｎ
を検出した時点で終了する。

もし、第１回目のウィービング動作で特異線Ｔとの交点
Ｐ、が検出されなければ、方向指示点ｐＤに向けてわず
かに傾斜させて折り返し、交点Ｐ、を検出したときの一
対のウィービング点をｑｌ及びｑ２とする。又、始点Ｐ
Ｓと終点ＰＢとが一致する場合は、初期の特異線Ｔとの
交点Ｐ１、Ｐ７、・・・を所定数検出するまでウィービ
ング動作を停止させないようになっている。

次に、上記ウィービング時の駆動信号Ｍ及び特異線位置
座標信号Ｃを得るための動作について、第２図を参照し
ながら詳細に説明する。

まず、特異線高さ検出処理手段（８１）は、高さ検出信
号Ｈ及び特異線検出信号りに基づいて、センサヘッド（
２０）の先端から特異線Ｔま−での高さに相当する特異
線高さ信号Ｕを出力する。即ち、特異線Ｔではレーザ光
が反射されず、計測センサ（２１）がセンサヘッド（２
０）から特異線Ｔまでの実際の距＊＜高さ）は検出でき
ないので、特異線Ｔの両側の近傍でのワークまでの高さ
に基づいて、特異線Ｔの中心までの高さを演算する。

現在位置演算処理手段（８２）は、特異線高さ信号Ｕ及
び位置検出信号りに基づいて、特異ｌＵＴの交点Ｐｉの
３次元位置及び立体的姿勢を示す特異線位置座標ＣＳを
演算する。この特異線位置座標ＣＳは、特異線位置座標
記録手段（８３）即ちメモリ（４２）内に順次格納され
、特異線Ｔの各交点Ｐ１〜Ｐｎに対応する一連の特異線
位置座標信号Ｃとしてデータ処理部（５０）に出力され
る。

一方、目標位置演算処理手段（８５）は、特異線位置座
標ＣＳ及び特異線高さ信号Ｕに基づいて、１つのウィー
ビング点Ｑｉから次のウィービング点Ｑｉ＋＋に移動し
て確実に特異線Ｔとの交点Ｐｉを検出するため、基本的
なウィービングパターン−Ｐを演算処理し、各ウィービ
ング点ｑ、〜Ｑｎ＋＋に対応するウィービング座標信号
Ｗを共有メモリ（４４）を介してＮＣ制御部（３０）に
順次出力する。

軌跡補間手段（９１）は、ウィービング座標信号Ｗに基
づいて、１つのウィービング点Ｑｉから次のウィービン
グ点Ｑ！＋＋までの間の複数のサンプリング点ｑ１〜ｑ
＋ｍ（例えば、１０１Ｉのウィービング幅−〇に対し、
約２０ポイント）の各座標を補間して求め、補間位置座
標信号Ａとして高さ補正制御手段（９２）に出力する。

高さ補正制御手段（９２）は、補間位置座標信号Ａ及び
高さ検出信号Ｈに基づいて、センサヘッド（２０）の移
動中でも受光位置が計測センサ（２１）の計測範囲内と
なるように、センサヘッド（２０）からワークまでの高
さを一定に保つための高さ補正信号Ｂを出力する。これ
ら軌跡補間動作及び高さ補正動作においては、メモリ（
３２）が−次記憶、用に用いられる。

位置制御手段（９３）は、高さ補正信号Ｂ及び位置検出
信号りに基づいて、加工機本体（１０）に設けられたセ
ンサヘッド（２０）を移動させるための駆動信号Ｍをモ
ータ部（１１）に出力する。

以上のように、逐次演算されるウィービング点Ｑｉ及び
前回の交点Ｐｉ−，に基づいて、次のウィービング点Ｑ
ｉ＋＋が演算される。従って、センサヘッドク２０）か
らワークまでの高さを一定に保ち且つセンサヘッド（２
０）のワーク面に対する角度を垂直に保ちながら、確実
に特異線Ｔを追跡してウィービング動作し、特異線Ｔ上
の交点Ｐ１〜Ｐｎが検出されていく、もし、ティーチン
グ動作中に特異線Ｔの追跡が不可能となったときは、ア
ラーム（Ｉｇ示せず）が作動するので、適宜手動モード
に切り換えたり、追跡可能な特殊ウィービングモードに
切り換えることができる。

終点ＰＢの近傍の特異線Ｔの交点Ｐｎが検出されて、Ｐ
　ｌ−Ｐ　ｎに対応する特異線位置座標信号Ｃの検出が
−通り終了すると、一連の特異線位置座標信号Ｃは検出
データとしてデータ処理部（５０）に伝送される（ステ
ップ５７）０次に、倣い動作が終了したか否かを判別し
くステップＳ８）、もし終了していなければ再び初期設
定ステップＳ４に戻って前述の動作を繰り返し、終了し
ていれば加工機本体（１０）のヘッド取り付け部（１）
に加工ヘッド（図示せず）を取り付ける（ステップＳ９
）。

データ処理部（５０）は、特異線位置座標信号Ｃに基づ
いて、特異線Ｔに沿ってワークを加工するための加工プ
ログラムＲを演算し、これを伝送インタフエース（３４
）を介してＮＣ１７１８部（３０）内の不揮発性メモリ
（３３）に格納する（ステップ５ｔＯ）、この加工プロ
グラムＲは、不必要な検出データＣが間引かれた必要最
小限のデータ量から得られるようになっている６例えば
、特異線Ｔが直線近似できる場合は、両端の２点の座標
のみが加工プログラムＲに用いられる。

以下、前述と同様に、ＮＣ制御部（３０）は、加工プロ
グラムＲに従う駆動信号Ｍにより加工機本体（１０）を
駆動し、所定の溶接又は切断加工動作を実行する（ステ
ップ５ｌｌ）　。

尚、上記実施例では、信号処理ユニットの制御信号を用
いて特異線検出信号りとしたが、光量信号をそのまま特
異線検出信号としてもよい。

又、センサヘッド（２０）をヘッド取り付け部（１）に
設けたが、加工ヘッドの近傍に計測センサ（２１）のみ
を設けて加工ヘッドから選択的に放射される可視光線を
受光するようにしてもよい、この場合、センサヘッド（
２０）の取り付け動作は不要となる。

［発明の効果］以上のようにこの発明によれば、加工機本体に設けられ
た計測センサから入力される高さ検出信号及び特異線検
出信号と加工機本体から構成される装置検出信号とに基
づいて、加工線に対応する特異線位置座標信号を出力す
ると共に特異線を検出するためのウィービング座標信号
をＮＣ制御部に出力する倣い計測演算部と、特異線位置
座標信号に基づいて、ワークを加工するための加工プロ
グラムをＮＣ制御部に出力するデータ処理部とを備え、
わずかな初期設定により計測センサが自動的に加工線上
の特異線を追跡しながらティーチング動作を行うように
したので、ティーチング労力が省けると共にティーチン
グ時間が短縮できるワーク加工装置が得られる効果があ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を示すブロック図、第２図
は第１図内のＮ　Ｃ＄ＩＩ御部及び倣い計測演算部を示
す機能ブロック図、第３図はこの発明の一実施例の動作
を説明するためのフローチャート図、第４図はこの発明
によるウィービング動作を示す説明図、第５図は従来の
ワーク加工装置に用いられる一般的な加工機本体の軸構
成を示す概略斜視図である。（１）・・・ヘッド取り付け部（１０）・・・加工機本体　　　（ｌｏａ）・・・アー
ム（２１）・・・計測センサ　　　（３０）・・・ＮＣ
制御部（４０）・・・倣い計測演算部　（５０）・・・
データ処理部（８１）・・・特異線高さ検出処理手段（
８２）・・・現在位置演算処理手段（８３）・・・特異線位置座標記録手段（８４）・・・
ウィービングパターン発生手段（８５）・・・目標位置
演算処理手段（９１）・・・軌跡補間手段（９２）・・・高さ補正制御手段（９３）・・・位置制御手段Ｔ・・・特異線　　　　　　　Ｍ・・・駆動信号Ｈ・・
・高さ検出信号　　　　Ｄ・・・特異線検出信号Ｌ・・
・位置検出信号　　　　Ｕ・・・特異線高さ信号ＣＳ・
・・特異線位置座標Ｃ・・・特異線位置座標信号　Ｒ・・・加工プログラム
ＨＰ・・・ウィービングパターンＷ・・・ウィービング座標信号Ａ・・・補間位置座標信号　　　Ｂ・・・高さ補正信号
ｑ１〜Ｑｎ＋１・・・ウィービング点　ｐｓ・・・始点
ＰＤ・・・方向指示点　　　　　　２日・・・終点向、
図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。＊蛸ノ辷メｌ←　　　　　　　　　　　リＷ）３図Ｑ、ＮＱｎ÷１　：　ライ−げ一ヂ、セ。Ｐｓ：　　飴色ＰＤ　　　方向ｆｌｉ示焦ＰＥ、終た。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）アーム先端にヘッド取り付け部を有し且つワーク
の加工線に沿って移動する加工機本体と、この加工機本
体を駆動するための駆動信号を出力するＮＣ制御部と、
前記ヘッド取り付け部に設けられ前記ワークまでの高さ
を示す高さ検出信号と前記加工線に設けられた特異線の
存在を示す特異線検出信号とを出力する計測センサと、
前記高さ検出信号及び前記特異線検出信号と前記加工機
本体から入力される前記計測センサの位置を示す位置検
出信号とに基づいて、前記特異線の位置を示す特異線位
置座標信号を出力し且つ前記特異線を検出するために用
いられるウィービング座標信号を前記ＮＣ制御部に出力
する倣い計測演算部と、前記特異線位置座標信号に基づ
いて、前記ワークを加工するための加工プログラムを前
記ＮＣ制御部に出力するデータ処理部とを備え、ティー
チング時に、前記特異線の始点、方向指示点及び終点を
初期設定することにより、前記ヘッド取り付け部が前記
特異線を自動的に倣っていくことを特徴とするワーク加
工装置。
（２）倣い計測演算部は、高さ検出信号及び特異線検出
信号に基づいて計測センサから特異線までの高さを示す
特異線高さ信号を出力する特異線高さ検出処理手段と、
前記特異線高さ信号と加工機本体からの位置検出信号と
に基づいて、前記特異線の３次元位置を示す特異線位置
座標を出力する現在位置演算処理手段と、前記特異線位
置座標を順次記録してデータ処理部に特異線位置座標信
号を出力する特異線位置座標記録手段と、予め格納され
たウィービングパターンを発生するウィービングパター
ン発生手段と、前記ウィービングパターン、前記特異線
位置座標及び前記特異線高さ信号に基づいて、ＮＣ制御
部にウィービング座標信号を出力する目標位置演算処理
手段とを備えたことを特徴とする特許請求の範囲第１項
記載のワーク加工装置。
（３）ＮＣ制御部は、倣い計測演算部からのウィービン
グ座標信号に基づいて、１つのウィービング点から次の
ウィービング点までの軌跡を補間した補間位置座標信号
を出力する軌跡補間手段と、前記補間位置座標信号及び
計測センサからの高さ検出信号に基づいて高さ補正信号
を出力する高さ補正制御手段と、前記高さ補正信号及び
加工機本体からの位置検出信号に基づいて、前記加工機
本体を駆動するための駆動信号を出力する位置制御手段
とを備えたことを特徴とする特許請求の範囲第１項又は
第２項記載のワーク加工装置。