JPS631782A - スクロ−ル式真空ポンプ - Google Patents

スクロ−ル式真空ポンプ

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Publication number
JPS631782A
JPS631782A JP14420486A JP14420486A JPS631782A JP S631782 A JPS631782 A JP S631782A JP 14420486 A JP14420486 A JP 14420486A JP 14420486 A JP14420486 A JP 14420486A JP S631782 A JPS631782 A JP S631782A
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JP
Japan
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scroll
end plate
orbiting scroll
casing
wrap portion
Prior art date
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Pending
Application number
JP14420486A
Other languages
English (en)
Inventor
Shunji Suzuki
俊次 鈴木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tokico Ltd
Original Assignee
Tokico Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tokico Ltd filed Critical Tokico Ltd
Priority to JP14420486A priority Critical patent/JPS631782A/ja
Publication of JPS631782A publication Critical patent/JPS631782A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C29/00Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
    • F04C29/0021Systems for the equilibration of forces acting on the pump

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Rotary Pumps (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は無給油型のスクロール式真空ポンプに関し、特
に旋回スクロールが安定して旋回できるようにしたスク
ロール式真空ポンプに関する。
〔従来技術〕
従来、無給油型のスフコール式流体機械としてのスクロ
ール式真空ポンプは駆動軸が設けられたケーシングと、
該ケーシングに固着され、鏡板にはうず巻状ラップ部が
立設された固定スクロールと、該固定スクロールに対向
して前記駆動軸に旋回自在に設けられ、鏡板には前記固
定スクロールのラップ部と重なり合って旋回する間に圧
縮室を形成するうず巻状ラップ部が立設された旋回スク
ロールと、該圧縮室で圧縮された空気を吐出するために
前記各ラップ部の巻始め端近傍位蓋に設けられた吐出口
と、該各ラップ部の巻終り端近傍位蓋に設けられた吸込
口と、前記旋回スクロールの鏡板背面とケーシングとの
間に設けられ、該旋回スクロールにかかる軸方向力を受
承するスラスト軸受とから大略構成されている。
そして、上述の構成からなるスクロール式真空ポンプは
駆動軸によって旋回スクロールを旋回させ、真空タンク
内の空気を吸込口から圧縮室内に吸込み、該圧縮室内で
圧縮した後吐出口から外部に吐出するようになっており
、上述した吸込み、圧縮、吐出の各行程を繰り返すこと
により真空タンク内の空気を抜出すようになっている。
〔発明が解決しようとする問題点〕 ところで、従来技術にあっては、第3図に示すように、
固定スクロール1の鏡板2に立設したうず巻状ラップ部
3と、該ラップ部3と重なり合う旋回スクロールのうず
巻状ラップ部4は共にインボリュート又はインボリュー
トに近い曲線に形成されている。そして、各ラップ部3
,4の巻始め端3A 、4Aをインボリュート曲線の始
端に近い部分から形成し、該各巻始め端3A 、4Aに
よって形成され、吐出口に連通した吐出室5の容積が極
力小さくなるようにすることによってデッドボリューム
を最小にし、性能向上を図っている。
しかしながら、吐出室5の容積を小さくする場合、各ラ
ップ部3.4の高さ寸法は一定であるから、吐出室5の
平面積を小さくしなければならないが、かくしては旋回
スクロールをスラスト軸受に押付けることによって該旋
回スクロールを安定に保つ軸方向力が極めて弱くなる。
このため、旋回スクロールに作用する軸方向力によるモ
ーメントよりも各ラップ部3.4の側面にかかる径方向
力により前記スラスト軸受に作用するモーメントが大き
くなって、旋回スクロールの旋回運動が不安定になり、
振動、騒音が発生したり、スラスト軸受が偏摩耗すると
いう欠点がある。
本発明は上述した従来技術の欠点に鑑みなされたもので
、本発明が解決しようとする問題点は旋回スクロールを
スラスト軸受に押付ける軸方向の力を大きくすることに
より、該旋回スクロールの旋回運動を安定化させ、振動
、騒音の発生を防止すると共に、スラスト軸受の偏摩耗
を防止することにある。
〔問題点を解決するための手段〕
上述した問題点を解決するために構成された本発明の手
段の#徴は、ケーシングには吸込口に連通し旋回スクロ
ールの鏡板背面側ケーシング内を負圧状態にする連通孔
を設け、該旋回スクロールの鏡板前面側中央には各ラッ
プ部の巻始め端を各鏡板の外径寄りに位置させて前記吐
出口に連通ずる受圧面積の広い吐出室を形成することに
より、該旋回スクロールの鏡板にかかる軸方向力による
該旋回スクロールに作用するモーメントが、該旋回スク
ロールのランプ部側面にかかる径方向力による前記スラ
スト軸受に作用するモーメントよりも大きくなるように
したことにある。
〔実施例〕
以下1本発明の一実施例を第1図及び第2図に基づいて
詳述する。
図において、11はケーシングを示し、該ケーシング1
1は軸受部11Aと、大径筒部11Bと、該大径筒部1
1Bの内側に突設されたフランジ状の軸受摺接部11c
とからなり、大径筒部11B内はクランク室11Dにな
っている。
12は前記ケーシング11の大径筒部11B端面に固着
された固定スクロールで、該固定スクロール12は鏡板
13と、該鏡板13に立設され、歯の高さ寸法をHとす
るうず巻状ラップ部14と、鏡板13から該ラップ部1
4と同一高さに突出形成されたフランジ15とから構成
されている。そして、該ラップ部14は従来技術による
ものと同様にインボリュート又はインボリュートに近い
曲線に形成されているが、その巻始め端14Aは従来技
術のものに比較して外径側に位舒せしめられている(第
2図参照)。
16は固定スクロール12と同一軸線0+−0+に位置
してケーシング11に設けられた駆動軸で、該駆動軸1
6は軸受部11Aの軸受17,18を介して回転自在に
支持されている。そして、該駆動軸16の一端はケーシ
ング11外に突出してモータ(図示せず)に接続され、
その他端は大径筒部11B内のクランク室11Dに突出
したクランク軸16Aになっており、該クランク軸16
Aの軸線02−02は駆動軸16の軸線01−01 に
対して距離δだけ偏心している。
19はクランク軸16Aと同一軸線o2−o2に設けら
れた旋回スクロールを示し、該旋回スクロール19は鏡
板20と、該鏡板20の前面20Aに立設されたうず巻
状ラップ部21と、鏡板20の背面20B中央に突出形
成されたボス部22とから構成されており、該旋回スク
ロール19は該ボス部22内に嵌着した軸受23を介し
てクランク軸16Aに回転自在に支持されている。そし
て、該旋回スクロール19のラップ部21も従来技術に
おけるものと同様にインボリュート又はインボリュート
に近い曲線に形成されているが、その巻始め端21Aは
従来技術のものに比較して外径寄りに位置せしめられて
いる(第2図参照)、上述の構成からなる旋回スクロー
ル19はラップ部21が固定スクロール12のラップ部
14と所定角度ずらせて重なり合うようにクランク軸1
6Aに取付けられており、旋回スクロール19が公転す
る際、該各うップ部14.21間は密閉空間となって複
数の圧縮室24,24゜・・・が形成されている。そし
て、各ラップ部14゜21の巻始め端14A、21Aを
前述の如く鏡板13.20の外側寄りに位置して形成す
ることにより、鏡板13.20の中心には平面状の最長
開口長さをDとし、旋回スクロール19が図示の状態に
あるときには、半円形をラップ部14.21の厚さ分だ
け互に逆方向にずらした形状からなる吐出室25が形成
されている。
次に、26は前記圧縮室24で圧縮された空気を吐出す
るために前記吐出室25に連通して固定スクロール12
の鏡板13中心に穿設された吐出口で、該吐出口26を
介することによって吐出室25は大気圧状態になってい
る。−方、27は各ラップ部14.21の巻終り端14
B、21B近傍に位置して固定スクロール12の鏡板1
3に穿設された吸込口で、該吸込口27は真空タンク(
図示せず)に接続されるようになっている。
28はケーシング11の軸受摺接部11Cに軸方向に穿
設され、−端側は前記吸込口27側に開孔し、他端側は
前記クランク室11Dに開孔した連通孔で、該連通孔2
8によって旋回スクロール19の鏡板20背面20B側
に位置するクランク室11Dは負圧状態になっている。
更に、29は前記旋回スクロール19の鏡板20背面2
0Bとケーシングの軸受摺接部11Cとの間に配設され
た環状のスラスト軸受で、該スラスト軸受29は旋回ス
クロール19と共に駆動軸16に対して偏心して回転す
るものであるため、その環状中心は駆動軸16の軸線0
1−01に対して少なくとも距離文aだけ離間しており
、かつ、ケーシング11の軸受摺接部11Cと摺動する
摺動面29Aは各ラップ部14.21の高さHの中心か
ら距It l tだけ離間している。そして、該スラス
ト軸受29は旋回スクロール16が公転するときに軸受
摺接部11Cに摺接しつつ回転し、各圧縮室24内に発
生する空気圧による力によって旋回スクロール19に加
わる軸方向の力を受承するようになっている。
なお1図中30は旋回スクロール19の自転防止機構と
しての補助クランクで、該補助クランク30は固定スク
ロール12と旋回スクロール19との間に所定間隔で複
数配設されている。また、31はクランク室11D内に
位置して駆動軸16に固着されたバランスウェイトを示
す。
本実施例は前述の如く構成されるが、次にその作動につ
いて説明する。
モータを回転すると、その回転は駆動軸16、クランク
軸16A、軸受23を順次介して旋回スクロール19に
伝えられる。旋回スクロール19の軸線はクランク軸1
6Aの軸線02−02 と同−軸線で、固定スクロール
12の軸線は駆動軸16の軸線Oi −o、 と同一軸
線であり、かつ、両軸線は距離δだけ偏心しているから
、旋回スクロール19は固定スクロール12に対して軸
線01−0.を9心に相対的円運動を行う、この結果、
圧縮室24は膨張、縮小を繰返し、負圧状態にある真空
タンク内の空気は吸込口27を介して圧縮室24内に吸
込まれ、圧縮室24内で徐々に圧縮され、大気圧状態に
ある吐出室25から吐出口26を介して外部に突出され
る。そして、上述した吸込、圧縮、吐出の各行程を繰返
して真空タンク内の空気を外部に排出することにより、
真空タンク内は徐々に真空状態になる。
而して、上述した作動中、旋回スクロール19の鏡板背
面20B側に位置するクランク室11D内は連通孔28
を介して真空タンク側に連通し、該クランク室11D内
は負圧状態になるから、旋回スクロール19には大気圧
状態にある吐出室25がある鏡板20前面20A側の力
Fが加わることになる。
ここで、該旋回スクロール19にかかる力Fは圧縮室2
4内の空気圧によりラップ部21の平面に加わる直角方
向の力Fし及び鏡板20の前面20Aに加わる軸方向力
FJ と、旋回スクロール19自体の質量による遠心力
Fc とに分けられる。これらのうち、遠心力FCは旋
回スクロール19の形状を適宜設計してその重心位置を
変えることにより、スラスト軸受29に対してモーメン
トが生じないようにすることができる。−方、ラップ部
21に加わる直角方向の力Fiについてみれば、該直角
方向の力Ftが加わるラップ部21の高さHの中心と摺
動面29Aとは距fa5LLだけ離間しているから、旋
回スクロール19を傾転させるモーメン)Mrが下記(
1)式のように発生する。
MT =F(X文t・・・・・・・・・(1)また、軸
方向力Fdについては、旋回スクロール19の中心とス
ラスト軸受29の中心とは距離文、だけ離間しているか
ら、前記モーメン)MTとは逆方向に旋回スクロール1
9を傾転させるモーメン)MAが下記(2)式のように
発生する。
MA=Fa XjLa−−・・・(2)ところで、−般
に、にスクロール式真空ポンプにあっては、吐出口26
に連通した吐出室25のみが大気圧状態であるのに対し
、圧縮室24内への空気の吸込圧力は大気圧以下であり
、該圧縮室24内に吐出室25から漏れ込む空気によっ
て上昇する圧力は極〈僅かであるから、圧縮室24内に
は軸方向力Fa に寄与する力は殆んど発生しない、従
って、旋回スクロール19に加わる軸方向力は次式のよ
うになる ここで、Po :大気圧 次に、ラップ部21に加わる直角方向の力は次式のよう
になる。
Fr =DXHXPo −−−(4) 而して、本実施例によれば、吐出室25の最大開口長さ
Dは第2図に示すように従来技術のものより大径に設計
することによりMA >Mr 、即ち(1)式ないしく
4)式より、 になるように設定することができる。そして。
(5)式から明らかなように、旋回スクロール19にか
かる軸方向力F、は吐出室25の最大開口長さDの二乗
に比例するから、該開口長さDを僅かに拡張するだけで
旋回スクロール19に加わる軸方向力Faを急増させる
ことができる。
かくして、本実施例によれば、旋回スクロール19はス
ラスト軸受29を介してケーシング11の軸受摺接部1
1Cに大きな安定した軸方向力Faによって押付けるこ
とができるから、該旋回スクロール19を安定して旋回
させることができ、振動、騒音の発生やスラスト軸受2
9の偏摩耗、更にはラップ部14.21の接触事故等を
防止できる。
〔発明の効果〕
以上詳述した如く本発明によれば、旋回スクロ−ルの中
心に位置して各ラップ部の巻始め端によって形成される
吐出室の平面積を増加させることにより、該旋回スクロ
ールに加わる軸方向のモーメントが旋回スクロールのラ
ップ部側面にかかる空気圧によるスラスト軸受を中心と
するモーメントよりも大きくなるように構成したから、
旋回スクロールを安定して旋回させることができる。こ
の結果、振動、騒音を減少でき、また、スラスト軸受は
勿論旋回軸受の偏摩耗を防止して該各軸受の長寿命化を
図ることができるし、各ラップ部の接触事故を防止でき
る。
【図面の簡単な説明】
第1図及び第2図は本発明の一実施例を示し、第1図は
スクロール式真空ポンプの縦断面図、第2図は第1図中
の■−■矢示方向断面図、第3図は従来技術に係るスク
ロール式真空ポンプを第2図と同様位置で示す縦断面図
である。 11・・・ケーシング、12・・・固定スクロール、1
3・・・鏡板、14・・・ラップ部、14A・・・巻始
め端、16・・・駆動軸、19・・・旋回スクロール、
2゜・・・鏡板、21・・・ラップ部、21A・・・巻
始め端、24・・・圧縮室、25・・・吐出室、26・
・・吐出口。 27・−・吸込口、28・・・連通孔、29・・・スラ
スト軸受。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1.  ケーシングと、該ケーシングに設けられ、鏡板からう
    ず巻状ラップ部が立設された固定スクロールと、前記ケ
    ーシングに回転自在に設けられた駆動軸と、該駆動軸に
    回転自在に設けられ、鏡板前面には前記固定スクロール
    のラップ部と重なり合って旋回する間に圧縮室を形成す
    るうず巻状ラップ部が立設された旋回スクロールと、該
    圧縮室で圧縮された空気を吐出するために前記各ラップ
    部の巻始め端近傍位置に設けられた吐出口と、該吐出口
    から離れた該各ラップ部の巻終り端近傍位置に設けられ
    た吸込口と、前記旋回スクロールの鏡板背面と前記ケー
    シングとの間に設けられ、該旋回スクロールにかかる軸
    方向力を受承するスラスト軸受とからなるスクロール式
    真空ポンプにおいて、前記ケーシングには前記吸込口に
    連通し前記旋回スクロールの鏡板背面側ケーシング内を
    負圧状態にする連通孔を設け、該旋回スクロールの鏡板
    前面側中央には前記各ラップ部の巻始め端を前記各鏡板
    の外径寄りに位置させて前記吐出口に連通する受圧面積
    の広い吐出室を形成することにより、該旋回スクロール
    の鏡板にかかる軸方向力による該旋回スクロールに作用
    するモーメントが、該旋回スクロールのラップ部側面に
    かかる径方向力による前記スラスト軸受に作用するモー
    メントよりも大きくなるようにしたことを特徴とするス
    クロール式真空ポンプ。
JP14420486A 1986-06-20 1986-06-20 スクロ−ル式真空ポンプ Pending JPS631782A (ja)

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JP14420486A JPS631782A (ja) 1986-06-20 1986-06-20 スクロ−ル式真空ポンプ

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JPS631782A true JPS631782A (ja) 1988-01-06

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ID=15356646

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JP (1) JPS631782A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5743719A (en) * 1995-07-21 1998-04-28 Anest Iwata Corporation Oil-free scroll vacuum pump having a gas ballast part
US5855473A (en) * 1995-06-07 1999-01-05 Varian Associates, Inc. High displacement rate,scroll-type, fluid handling apparatus

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5855473A (en) * 1995-06-07 1999-01-05 Varian Associates, Inc. High displacement rate,scroll-type, fluid handling apparatus
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