JPS63177733U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63177733U JPS63177733U JP6902387U JP6902387U JPS63177733U JP S63177733 U JPS63177733 U JP S63177733U JP 6902387 U JP6902387 U JP 6902387U JP 6902387 U JP6902387 U JP 6902387U JP S63177733 U JPS63177733 U JP S63177733U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor pressure
- detection device
- hole
- plastic plate
- pressure detection
- Prior art date
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- Granted
Links
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- 239000000565 sealant Substances 0.000 claims 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims 1
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Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例による半導体圧力
検出装置の断面図、第２図は従来の半導体圧力検
出装置の断面図である。 １……ケーシング、２……ケーシング本体、３
……キヤツプ、４……基準圧導入孔、５……台座
、９……半導体圧力センサ、１２……プラスチツ
クプレート、１３……通孔、１４……フツ素樹脂
系フイルタ、１５……シール剤。なお、図中同一
符号は同一又は相当部分を示す。
検出装置の断面図、第２図は従来の半導体圧力検
出装置の断面図である。 １……ケーシング、２……ケーシング本体、３
……キヤツプ、４……基準圧導入孔、５……台座
、９……半導体圧力センサ、１２……プラスチツ
クプレート、１３……通孔、１４……フツ素樹脂
系フイルタ、１５……シール剤。なお、図中同一
符号は同一又は相当部分を示す。
補正 昭６３．５．１２
図面の簡単な説明を次のように補正する。
明細書６頁９〜１０行の「キヤツプ」を「カバ
ー」と訂正する。
ー」と訂正する。
Claims (1)
- ケーシングの台座に設けられた基準圧導入孔に
外部から導入された基準圧を検出して電気信号に
変換するための半導体圧力センサを備えた半導体
圧力検出装置において、上記基準圧導入孔を覆う
ように中心に通孔を備え、かつこの通孔にフツ素
樹脂系フイルタを熱溶着して取付けたプラスチツ
クプレートを配置し、このプラスチツクプレート
を常温で硬化するシール剤によつて台座に気密固
定したことを特徴とする半導体圧力検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6902387U JPH0628664Y2 (ja) | 1987-05-09 | 1987-05-09 | 半導体圧力検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6902387U JPH0628664Y2 (ja) | 1987-05-09 | 1987-05-09 | 半導体圧力検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63177733U true JPS63177733U (ja) | 1988-11-17 |
| JPH0628664Y2 JPH0628664Y2 (ja) | 1994-08-03 |
Family
ID=30909379
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6902387U Expired - Lifetime JPH0628664Y2 (ja) | 1987-05-09 | 1987-05-09 | 半導体圧力検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0628664Y2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0464741U (ja) * | 1990-10-15 | 1992-06-03 | ||
| JPH04299103A (ja) * | 1991-03-28 | 1992-10-22 | Ube Ind Ltd | ブロー成形機のパリソン肉厚制御方法および装置 |
| JPH0533044U (ja) * | 1991-10-07 | 1993-04-30 | 理化工業株式会社 | 圧力センサ |
| JP2021110541A (ja) * | 2020-01-06 | 2021-08-02 | 三菱電機株式会社 | 差圧センサ |
-
1987
- 1987-05-09 JP JP6902387U patent/JPH0628664Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0464741U (ja) * | 1990-10-15 | 1992-06-03 | ||
| JPH04299103A (ja) * | 1991-03-28 | 1992-10-22 | Ube Ind Ltd | ブロー成形機のパリソン肉厚制御方法および装置 |
| JPH0533044U (ja) * | 1991-10-07 | 1993-04-30 | 理化工業株式会社 | 圧力センサ |
| JP2021110541A (ja) * | 2020-01-06 | 2021-08-02 | 三菱電機株式会社 | 差圧センサ |
| US11371900B2 (en) | 2020-01-06 | 2022-06-28 | Mitsubishi Electric Corporation | Differential pressure sensor with improved filter stability |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0628664Y2 (ja) | 1994-08-03 |