JPS6317714A - Ｉｃハンドラ用のｉｃ搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はＩＣハンドラにおけるＩＣ搬送装置に係り、特
に、ＩＣハンドラのブリヒータ用に好適なように改良し
た搬送装置に関するものである。

〔従来技術〕

ＩＣハンドラは、多数のＩＣを順次に搬送してＩＣ測定
ソケットに装置して電気的性能の検査に供し、かつ、上
記測定ソケットから離脱せしめたＩＣを検査結果に従っ
て級別に分類して搬出する自動機器である。

前記の電気的性能の検査は所定の温度条件で行われるの
で、ＩＣを測定ソケットに搬入する前に該ＩＣを所定温
度に予熱（若しくは予冷）する為にプリヒータ　（若し
くはプリクーラ）が設けられる。

ＩＣハンドラにおけるプリヒータ（プリクーラ）とは、
加熱手段（冷却手段）を設けた搬送装置である。即ち、
プリヒータは、恒温槽内にシュートレールを設けた構造
、又は、シュートレール内に電気ヒータを埋設した構造
が用いられる。

ＩＣハンドラにおける搬送手段として用いられるシュー
トレールを大別すると、（イ）匂配を付して設置し、Ｉ
Ｃを滑降させるもの（垂直に設置するものも含む）、（
ロ）水平に設置して、これと別体にＩＣを押動する手段
（エアーによる吹き送り手段を含む）を併設するもの、
及び、（ハ）水平に設置したシュートレールを前後、上
下に動かして矩形を描かせて送り作動するもの、といっ
た種類が有る。

プリヒータに用いるシュートレールは、ＩＣを比較的低
速度で搬送し、しかも搬送速度を自在に調節する必要が
有る。また、シュートレールを別体にＩＣを押動する手
段を設けるとプリヒータの構造を複雑にして保温構造を
困難にする。こうした観点からは、前記（ハ）の形式す
なわち、シュートレール自体を前後、上下に往復動せし
める形式の搬送手段が好適である。

第１０図は、プリヒータ用シュートレールの従来例を示
す。

矢印ａ、ａの如き上、上作動と、矢印す、ｄの如き前、
後進作動をするシュートレール１の両画に、固定部材で
あるＩＣサポート２ａ＋２ｂが設置されている。３はヒ
ータである。

前記シュートレール１が矢印ａ、ｂ、ｃ、ｄの順に矩形
運動を繰り返すと、ＩＣ４は矢印Ｂ方向にピッチ送りさ
れる。

〔発明が解決しようとする問題点〕

前記のような従来例のプリヒータ用シュートレールにお
いては、次記のような技術的困難が有った。

（ｉ）　　被搬送物であるＩＣの形式を変更しようとす
ると、該ＩＣの外形寸法の変化に対応してシュートレー
ル１及びＩＣサポート２ａ＋２ｂを交換しなければなら
ないので、交換作業の所要時間が長し１゜ （ｉｉ）　　シュートレール１を上下９前後に駆動しな
ければならないので駆動機構が複雑である。

（ｉｉｉ）　　シュートレール１は上下２前後の加速度
を受けるので、慣性力の掛かり方が複雑で、動力学的な
強度を大きくしなければならない。

本発明は上述の事情に鑑みて為されたもので、（イ）被
搬送物であるＩＣの型式変更に迅速、容易に対応するこ
とが出来、 （ロ）駆動機構が単純で、しかも （ハ）運動部材に対する慣性力の掛かり方が単純で、動
力学的な設計が容易で、その上、動力学的な所要強度の
小さい、ＩＣハンドラ用のＩＣ搬送装置を提供しようと
するものである。

〔問題点を解決するための手段〕

上記の目的を達成するため、本発明の搬送装置は、水平
な搬送用レール部材の上にＩＣを乗せて、該ＩＣを上方
に持ち上げ、水平方向に一定距離だけ送り、ＩＣを持ち
上げる操作を繰り返す構造のＩＣ′ｍ送手段において、
前記の杆状部材を幅方向について少なくとも三つの部分
に縦割り状に分割し、分割された中央の部材にヒータを
設けると共に長手方向に往復駆動する手段を設け、かつ
１分割された両外側の部材は水平姿勢を保って上下に平
行移動するように駆動する手段を設けると共に、該駆動
手段に対して着脱交換容易に連結する。

〔作　用〕

上記のように構成した搬送装置によれば、（イ）中央の
部材（ヒータを設けである）を交換することなく、両外
側の部材を交換して被搬送ＩＣの型式変更に順応できる
ので、交換操作が容易で、所要時間が短い。

（ロ）中央部材は前後に、両外側の部材は上下に、それ
ぞれ１次元的に往復運動すれば足りるので、駆動機構が
単純である。

（ハ）同様の理由で、中央、外側、双方の部材に掛かる
慣性力が単純（１方向）で、動力学的に設計が容易であ
り、しかも所要強度が小さく、軽量。

安価に構成できる。

〔実施例〕

第１図は本発明の搬送装置の１実施例を示し。

模式的に描いた斜視図である。

搬送方向矢印已に揃えて水平に設置した１組の杆状部材
５は、縦割り方向に分割した形に、中央部５ａと、右側
部５ｂｔ左側部５゜とによって構成しである。

中央部５ａはヒータ３を内蔵しており、かつ、水平駆動
手段（図示せず）によって往復矢印ｂ−ｄ方向に前、後
進駆動される。

左、右両側部５゜、５ｂは、上下駆動手段（図示せず）
により往復矢印ａ−ｃの如く上、下駆動され、かつ、前
記の上下駆動手段に対して着脱、交換容易に取り付けで
ある６ 本発明において着脱、交換容易とは、特殊工具を使用す
ることなく、格別の熟練を要せず、１個の部材当り数分
間以内に着脱し得る意である。

第２図は上記実施例の作動説明図である。この説明図は
、ＩＣ４を水平方向に、最上部に示した点イから魚目ま
で矢印Ｂ方向に送る作動の１サイクルを表わしている。

本第２図（Ａ）において、ＩＣ４は点イに相当する位置
にあり、中央部５ａに乗せられている。この状態で左、
右両側部５゜、５．は中央部５ａよりも下方に下げられ
ている。

本図（Ｂ）の如く、左、右両側部５゜＋５ｂを矢印ａ方
向に上昇させると、ＩＣ４は点イに相当する位置のまま
で持ち上げられ、中央部５ａから雅量する。

同図（Ｃ）の如く、中央部５ａを矢印ｄ方向に後退させ
る。ＩＣ４は動かない。

同図ＣＤ）の如く、左、右両側部５゜＋５ｂを矢印Ｃ方
向に下降させると、ＩＣ４は点イに相当する位置のまま
で中央部５ａによって支承される。

同図（Ｅ）の如く、中央部５ａを矢印すの如く前進させ
ると、ＩＣ４は魚目に相当する位置まで送られる。

第１図に示したＩＣ４に比して全幅寸法Ｗの大きいＩＣ
を搬送する際は、左、右両側部５Ｃ＋　５ｂを上下駆動
手段から取り外し、第３図に示すごとく、別途に準備し
た左、右両側部６ｃ＋６ｂと交換する。

この左、右両側部６゜ｐ６ｂは、大形のＩＣ７の全幅寸
法Ｗ′に適合するよう、予め構成しておく。

このようにして、本実施例の搬送装置においては、被搬
送物であるＩＣの型式変更に際して、左。

右両側の杆状部材を着脱交換するという簡単な操作で、
迅速、容易に対応することが出来る。特に。

ヒータを内蔵した中央部の交換を要しないため、交換操
作は極めて容易であり、かつ安全である。

その上、中央部の杆状部材５ａ、及び、左、右両側の杆
状部材５゜、５ｂ（若しくは６゜、６ｂ）は、一方向に
往復駆動されるだけであるから駆動手段の構成が簡単で
あり、その上、−軸方向の慣性力を受けるのみであるか
ら動力学的設計が容易であり、大きい強度を必要としな
い。

以上、第３図について説明したように、本発明を適用す
ると、ＩＣの幅寸法Ｗの変更に対して迅速、容易に対応
し得る。次に、工Ｃの長さ寸法（即ち、搬送方向に関し
て前後方向の寸法）の変更を伴う場合について述べる。

第４図は、本発明を適用して、矢印ｂ−ｄの如く往復駆
動される杆状部材中央部５ａによって、長さ寸法０．１
のＩＣ８を搬送している状態の説明図である。

中央部５ａの頂面には、長さＱ、ｌのＩＣ８を収納し得
るよう、長さ寸法９１よりも若干大きい寸法０の内法を
有する凹部５ａ−１がピッチＰで列設されている。この
ピッチ寸法Ｐは矢印ｂ−ｄ方向の往復駆動ストロークに
合わせて設定されている。

第２図について説明した作用により、ＩＣ８は矢印Ｐ’
、　Ｐ’の如く順次に前方の凹部に送られてゆく。

この杆状部材中央部５ａによって、ＩＣ８よりも長さ寸
法の小さい寸法Ｑ２のＩＣ９を搬送すると、該ＩＣ９は
シュートレール１の上面に設けられた凹部の中で位置が
決らないという問題を生じる。

本発明者の実験によれば、凹みの長さ寸法Ｑの杆状部材
中央部５ａを用いて、長さ寸法＋２２（ただし、Ｑ　２
＜＜　Ｑ　）のＩＣ９をピッチ送りすると、矢印Ｐ’、
Ｐ’、Ｐ’の如く１区画ずつ前方の凹みに移されてゆく
が、該凹みの中で前後方向（第４図において左右方向）
に、Ｑ−Ｑ２のガタを生じ、凹みの中におけるＩＣ４の
位置が定まらない。

このように、シュートレール上面の凹部の中でＩＣの位
置が不安定であると、該ＩＣを次工程へ受渡す場合（例
えば真空吸着してＩＣソケットに搭載する場合）、受渡
し作動の失敗率が高くなる。

次に説明する実施例は１本発明に係る杆状部材中央部に
ついて更に改良を加えて、長さ寸法の短いＩＣを、搬送
終了地点において正しく位置決め出来るようにした例で
ある。

第５図に示す１０は本発明に係る杆状部材中央部であり
、３は前記実施例におけると同様のヒータである。

本例の中央部１０の長手方向中央部、及び搬送始点側（
図において右側）は、長さ寸法旦の凹みが列設されてい
る。

そして、終末部（左端部付近）　ｉｏａは、矢印ｅ。

ｆで示したように着脱交換自在に構成しである。

第６図は、上記終末部付近の拡大詳細図である。

この実施例は、長さ寸法ＱのＩＣを搬送し得る杆状部材
中央部を改良して、Ｑ　２　＜　＜　２なる長さ寸法Ｑ
２のＩＣ９を搬送して位置決めし得るように構成したも
のである。

着脱交換可能な終末部１０ａは、その上面に長さ寸法の
異なる凹部を設けてあり、最終端の凹部の長さ寸法（詳
しくは、長手方向の内法寸法）Ｌｏは、ＩＣ９の長さ寸
法１ｉｚに遊合するように設定する５長さ寸法り、の凹
部から右方へ（搬送方向について上流側へ、順次に長さ
寸法Ｌ１の凹み、同じ＜Ｌ２．Ｌ３の凹みを順次に並設
し、 Ｌｏ＜Ｌ＋＜Ｌ２＜Ｌ３＜Ｒに設定する。そして、凹部
の前、後の面（図において左、右の面）は傾斜を付して
構成する。

長さ寸法Ｑの凹みから長さ寸法Ｌ３の凹みに送りこまれ
たＩＣ４は、Ｌ３（Ｑであるため第７図に仮想線で示し
た４′の如く凹部の内法面に乗り上げるが、この内法の
而１０ｂが傾斜になっているので矢印りの如く滑って凹
みの底面に当接し、寸法ｇのガタを残して落ちつく。

同様に、第８図に示す如く、長さ寸法Ｌｚ　（Ｌ＋）の
凹部でも矢印ｈ′の如く滑って落ちつき、ガタ寸法ｇ′
は次第に減小する。

そして、終末端においては第９図に示すように長さ寸法
り、の凹みの中で矢印ｈ′の如く滑って。

ガタ無く安定する。

〔発明の効果〕

以上詳述したように、本発明のＩＣ搬送装置は。

（イ）被搬送物であるＩＣの型式変更に迅速、容易に対
応することが出来、 （ロ）　駆動機構が単純で、しかも （ハ）運動部材に対する慣性力の掛かり方が単純で動力
学的な設計が容易で、その上、動力学的な所要強度が小
さいという優れた実用的効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のＩＣハンドラ用搬送装置の１実施例を
模式的に描いた斜視図、第２図は上記実施例の作動を説
明するための図表、第３図は同じく作用効果を説明する
ための斜視図である。 第４図は上記実施例におけるＩＣの搬送状態の説明図で
ある。 第５図は前記と異なる実施例を模式的に描いた説明図、
第６図はその要部拡大詳細図、第７図乃至第９図は同じ
く作用説明図である。 第１０図は従来のＩＣハンドラ用搬送装置の１例を示す
斜視図である。 １・・・シュートレール−２１＋　２ｂ・・・ＩＣサポ
ート。 ３・・・ヒータ、４・・・ＩＣ１５ａ・・・分割された
形状の杆状部材中央部、５ｂ・・・同じく右側部、５ｃ
・・・同じく左側部、６１．・・・交換用杆状部材の右
側部、６ｏ・・同じく左側部、９・・・ＩＣ１１０・・
・杆状部材中央部、１０ａ・・同終末部、１０ｂ・・・
斜面。 特許出願人　　日立電子エンジニアリング株式会社代理
人　弁理士　　秋　本　　正　実 ８　ｌ　圀 ４　（ＩＣ） 第　２　図 第　７　訂 第　ｌＯ図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、水平な搬送用の杆状部材の上にＩＣを乗せ、該ＩＣ
   を上方に持ち上げ、水平方向に一定距離だけ送り、ＩＣ
   を持ち上げる操作を繰り返す構造のＩＣ搬送手段におい
   て、前記の杆状部材を幅方向について少なくとも三つの
   部分に縦割り状に分割し、分割された中央の部材にヒー
   タを設けると共に長手方向に往復駆動する手段を設け、
   かつ、分割された両外側の部材は水平姿勢を保って上下
   に平行移動するように駆動する手段を設けると共に、該
   駆動手段に対して着脱交換容易に連結したことを特徴と
   する、ＩＣハンドラ用のＩＣ搬送装置。 ２、前記の、長手方向に往復駆動される中央の部材は、
   その頂面に凹部を列設したものであり、該凹部は長手方
   向に往復動ストロークとほぼ等しいピッチで配列され、
   かつ、その搬送方向終末付近の凹部を設けた部分は着脱
   自在に分割された形状をなすとともに、該凹部の長手方
   向の内法寸法が搬送終末点に近づくにつれて次第に小さ
   くしたものであることを特徴とする、特許請求の範囲第
   １項に記載のＩＣハンドラ用のＩＣ搬送装置。