JPS63176768A - Magnetic levitation type conveyor - Google Patents
Magnetic levitation type conveyorInfo
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- Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、半導体製造工場など清浄または真空環境下で
の使用に適する磁気浮上型搬送装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Field of Industrial Application) The present invention relates to a magnetically levitated transfer device suitable for use in a clean or vacuum environment such as a semiconductor manufacturing factory.
(従来の技術)
通常、半導体ウェハー等を取扱う工場では、クリーンル
ームと呼ばれる清浄環境下で作業が行われるのが一般的
である。このため、半導体ウェハー等を搬送する装置に
あっても、その搬送中に細かい塵が出ないようなものが
求められる。(Prior Art) In factories that handle semiconductor wafers, etc., work is generally carried out in a clean environment called a clean room. For this reason, there is a demand for equipment for transporting semiconductor wafers and the like that does not generate fine dust during transport.
このような半導体ウェハー等の搬送装置としては従来、
たとえば、本出願人による先の出願に係る第一従来例(
実願昭61−153229号)および第二従来例(昭和
61年12月19日提出の特許願)がある。Conventionally, transportation devices for such semiconductor wafers, etc.
For example, the first prior art example (
There is a second conventional example (patent application filed on December 19, 1988).
これらの従来の磁気浮上型搬送装置は、半導体ウェハー
を収納゛したウェハーケース等の被搬送物を搬送する台
車<m送台本体)をガイド部材上に磁気浮上させ、この
台車をガイド部材に沿って所定位置まで搬送するように
なっている。すなわち、台車とガイド部材とが非接触の
状態でウエハ−ケース等が搬送されることにより、潤滑
油を用いる必要がないためクリーンルームが清浄に維持
されるものである。These conventional magnetic levitation type transfer devices magnetically levitate a cart (m transport body) for transporting an object such as a wafer case containing a semiconductor wafer onto a guide member, and move the cart along the guide member. It is designed to be transported to a predetermined position. That is, since the wafer cases and the like are transported without contact between the cart and the guide member, there is no need to use lubricating oil, and the clean room can be maintained clean.
(発明が解決しようとする問題点)
しかしながら、このような従来の磁気浮上型搬送装置に
あっては、ガイド部材はその周面に軸線方向には何の凹
凸もない単なる円筒状部材であり、この平滑な周面に沿
って搬送台本体が牽引手段により牽引されるようになっ
ているため、その搬送台本体の確実な位置決めあるいは
そのg&調整が非常に難しいという問題点があった。(Problems to be Solved by the Invention) However, in such a conventional magnetic levitation type conveyance device, the guide member is a mere cylindrical member with no unevenness on its circumferential surface in the axial direction; Since the carrier body is towed by the traction means along this smooth circumferential surface, there is a problem in that it is extremely difficult to reliably position the carrier body or to adjust its position.
(問題点を解決するための手段)
そこで本発明は前記問題点を解決するため、被搬送物を
支持する搬送台本体と、この搬送台本体に挿通し搬送台
本体を所定方向に移動するよう案内するガイド部材と、
このガイド部材に対向するよう前記搬送台本体に設けら
れガイド部材との間に所定の隙間を形成するよう搬送台
本体を磁力によりガイド部材から離隔させる磁気離隔手
段と、前記搬送台本体を前記ガイド部材の軸線に沿って
所定方向に移動させる牽引手段と、f!−備えた磁気浮
上型搬送装置において、前記牽引手段として、前記磁気
離隔手段に対向するねじ山を前記カイト部材に形成し、
ガイド部材を回転させることにより搬送台本体を移動さ
せるようにした構成としたものである。(Means for Solving the Problems) Therefore, in order to solve the above-mentioned problems, the present invention includes a conveyor main body that supports an object to be transported, and a device that is inserted into the conveyor main body and moves the conveyor main body in a predetermined direction. A guide member for guiding;
A magnetic separating means is provided on the conveyance table main body so as to face the guide member and separates the conveyance table main body from the guide member by magnetic force so as to form a predetermined gap between the conveyance table main body and the guide member; a traction means for moving the member in a predetermined direction along the axis; and f! - a magnetically levitated conveyance device comprising: forming a screw thread on the kite member that faces the magnetic separation means as the traction means;
The configuration is such that the main body of the conveyance table is moved by rotating the guide member.
(作用)
このような構成の磁気浮上型搬送装置によれば、牽引手
段として磁気離隔手段に対向するねじ山をガイド部材に
形成したため、磁気離隔手段によりその先端部とガイド
部材に形成されたねじ山との間に所定の隙間を形成する
ことにより搬送台本体をガイド部材から疏隔させて浮上
させるとともに、ガイド部材をその円周方向に回転させ
ることにより搬送台本体をガイド部材の軸線に沿って所
定方向に移動させることができる。(Function) According to the magnetically levitated conveyance device having such a configuration, since the thread facing the magnetic separation means is formed on the guide member as the traction means, the screw thread formed on the tip end and the guide member is formed by the magnetic separation means. By forming a predetermined gap between the peaks, the main body of the conveyance table is floated at a distance from the guide member, and by rotating the guide member in the circumferential direction, the main body of the conveyance table is moved along the axis of the guide member. can be moved in a predetermined direction.
このように搬送台本体はねじ駆動により牽引されるなめ
、搬送台本体の位置決めを確実に行うこととができると
ともに、その位置決めのvfl、調整も容易に行うこと
が可能となる。In this way, the conveyance table main body is pulled by the screw drive, so that the position of the conveyance table main body can be reliably performed, and the positioning vfl and adjustment can be easily performed.
(実施例)
以下、本発明の実施例について図面に基づいて説明する
。第1.2図は本発明による磁気浮上型搬送装置の第1
実施例を示す図である。(Example) Hereinafter, an example of the present invention will be described based on the drawings. Figure 1.2 shows the first magnetic levitation type conveyance device according to the present invention.
It is a figure showing an example.
まず構成について説明すると、第1図において、1はそ
の上面に半導体ウェハー等の被搬送物を支持する搬送台
本体であり、この搬送台本体1の内側には水平方向に延
在するガイド部材2が挿通して、このガイド部材2に沿
って搬送台本体1を所定方向に移動するよう案内する。First, to explain the structure, in FIG. 1, reference numeral 1 denotes a carrier main body that supports an object to be transported such as a semiconductor wafer on its upper surface, and inside the carrier main body 1 is a guide member 2 extending horizontally. is inserted through the guide member 2 to guide the carrier body 1 to move in a predetermined direction.
ガイド部材2の端部はフレーム4に回転可能に支持され
ており、このフレーム4にはガイド部材2と平行に延在
する副ガイド部材5の端部も支持されている。An end of the guide member 2 is rotatably supported by a frame 4, and an end of a sub-guide member 5 extending parallel to the guide member 2 is also supported by the frame 4.
カイト部材2のフレーム4より外側には、ガイド部材2
を回転駆動するモータ(図示せず)が設けられている。A guide member 2 is provided outside the frame 4 of the kite member 2.
A motor (not shown) is provided for rotationally driving the .
ガイド部材2には断面が台形のネジ山7が形成されてお
り、このネジ山7の側面には搬送台本体1の内側に軸線
方向斜めに設けられた電磁石11〜18(磁気離隔手段
)の先n1部が対向して配置されている。電磁石11〜
14と電磁石15〜18とはそれぞれ搬送台本体1の両
端部に設けられ、さらに第2図に示すようにガイド部材
2の円周方向に間隔を置いて4つずつ設けられている6
また、搬送台本体1の下部には、電磁石19.20(磁
気離隔手段)がその先端部を副ガイド部材5の周面に対
向して設けられている。The guide member 2 is formed with a thread 7 having a trapezoidal cross section, and on the side surface of the thread 7 are electromagnets 11 to 18 (magnetic separation means) provided obliquely in the axial direction inside the carrier main body 1. The tip n1 parts are arranged facing each other. Electromagnet 11~
14 and electromagnets 15 to 18 are respectively provided at both ends of the carrier main body 1, and as shown in FIG. 2, four electromagnets 6 are provided at intervals in the circumferential direction of the guide member 2.
Moreover, electromagnets 19 and 20 (magnetic separation means) are provided at the lower part of the conveyance table main body 1, with their tips facing the circumferential surface of the sub-guide member 5.
次に作用について説明する。図外のコントローラ(制御
回路)から電磁石11〜18に通電するとこれらに磁力
が発生し、これらの先端面がガイド部材2のネジ山7の
側面との間に所定の隙間を形成するようネジ山7から離
隔することにより搬送台本体1をガイド部材2の上に浮
上させる。Next, the effect will be explained. When the electromagnets 11 to 18 are energized from a controller (control circuit not shown), a magnetic force is generated in them, and the screw threads are arranged so that a predetermined gap is formed between their tip surfaces and the side surface of the thread 7 of the guide member 2. By separating from the guide member 7, the carrier main body 1 is floated above the guide member 2.
この状態でガイド部材2をモータによりその円周方向に
回転させるとネジ山7がガイド部材2の軸線方向に移動
する。このとき、電磁石11〜18はその先端部とネジ
山7の側面との間に所定の隙間を維持しようとして、ネ
ジ山7と同方向に追随して移動することにより、搬送台
本体1をガイド部材2の軸線に沿って所定方向に移動さ
せることができる。In this state, when the guide member 2 is rotated in the circumferential direction by a motor, the screw thread 7 moves in the axial direction of the guide member 2. At this time, the electromagnets 11 to 18 try to maintain a predetermined gap between their tips and the side surfaces of the screw threads 7, and guide the carrier body 1 by moving in the same direction as the screw threads 7. It can be moved in a predetermined direction along the axis of the member 2.
このように搬送台本体1がその上に半導体ウェハー等の
被搬送物を載置(支持)して、ガイド部材2と非接触の
状態で半導体ウェハー等を所定位置に搬送することによ
りクリーンルームが清浄に維持される。In this way, the carrier main body 1 places (supports) objects to be transported, such as semiconductor wafers, on it and transports the semiconductor wafers, etc. to a predetermined position without contacting the guide member 2, thereby keeping the clean room clean. will be maintained.
また、前記コントローラにより電磁石19.20に通電
するとこれらに磁力が発生し、これらの先端面が副ガイ
ド部材5の周面との間に所定の隙間を形成するよう副ガ
イド部材5の周面から避隔することにより、搬送台本体
1がガイド部材2の回りに回転しないよう規制する。Furthermore, when the electromagnets 19 and 20 are energized by the controller, a magnetic force is generated in them, and the end surfaces of these are moved from the circumferential surface of the sub-guide member 5 so that a predetermined gap is formed between them and the circumferential surface of the sub-guide member 5. By spacing, the conveyance table main body 1 is prevented from rotating around the guide member 2.
そして、前述のように搬送台本体1はねじ駆動により牽
引されるため、搬送台本体1の位置決めを確実に行うこ
とができるとともに、その位置決めのvl、調整も容易
に行うことが可能となる。As described above, since the conveyance table main body 1 is pulled by the screw drive, the position of the conveyance table main body 1 can be reliably determined, and the positioning and adjustment can be easily performed.
なお、以上説明してきた第1実施例においてはネジ山7
が一条のものでありなか、第3図に示す第2実施例のよ
うにネジ山23が二条のものであってもよい。この第2
実施例によれば、たがいに対向する電磁石32.34を
同一垂直平面内に配置することができ、搬送台本体にモ
ーメントがかかることを防止することができる。In addition, in the first embodiment described above, the screw thread 7
Instead of having one thread, the thread 23 may have two threads as in the second embodiment shown in FIG. This second
According to the embodiment, the electromagnets 32, 34 facing each other can be arranged in the same vertical plane, and it is possible to prevent a moment from being applied to the carrier body.
また、上記第1、第2実施例においては電磁石がその先
端部を搬送台本体1の外側に向けるような方向で設けら
れていたが、電磁石はその先端部を搬送台本体1の内側
に向けるような方向で設けてもよい。Furthermore, in the first and second embodiments, the electromagnet was provided in such a direction that its tip was directed toward the outside of the carrier body 1, but the electromagnet was provided with its tip directed toward the inside of the carrier body 1. It may be provided in such a direction.
また、上記第1実施例においては電磁石をガイド部材2
の円周方向に4つずつ設けたが、第4図に示す第3実施
例のように3つずつでも、あるいはそれ以外の数でもよ
い。Further, in the first embodiment, the electromagnet is connected to the guide member 2.
4 in the circumferential direction, but the number may be three as in the third embodiment shown in FIG. 4, or any other number.
また、上記第1実施例においてはガイド部材が水平方向
に配置されたものについて説明したが、第5図に示す第
4実施例のように、ガイド部材22を垂直方向に配置し
てもよい。この第5図において、21は搬送台本体、2
1aは被搬送物を載せる支持台、24は各電磁石の磁力
を制御するコントローラ、25はコントローラ24の電
源すなわち電池、26は電池25の充電用ターミナル、
29はガイド部材22の回転駆動用のモータ、3つは副
ガイド部材である。Further, in the first embodiment, the guide member 22 is arranged horizontally, but the guide member 22 may be arranged vertically as in the fourth embodiment shown in FIG. In this FIG.
1a is a support base on which the transported object is placed; 24 is a controller that controls the magnetic force of each electromagnet; 25 is a power source for the controller 24, that is, a battery; 26 is a charging terminal for the battery 25;
29 is a motor for rotationally driving the guide member 22, and three are sub guide members.
第6図には、本発明の第5実施例について示す。前記実
施例においては電磁石11〜18がガイド部材2の軸線
方向に対して斜めに配置され、その先端部がネジ山7の
側面に対向するよう設けられていたのに対し、この第5
実施例は、電磁石27.28(磁気離隔手段)がガイド
部材30の軸線方向に対して直角に配置され、その先端
部がネジ山31の頂面に対向するよう設けられている点
において異なる。そして、電磁石27.28はそれぞれ
ネジ山31の幅の肩からδずつ互いに逆方向にすれて設
けられている。FIG. 6 shows a fifth embodiment of the present invention. In the embodiment described above, the electromagnets 11 to 18 were arranged diagonally with respect to the axial direction of the guide member 2, and their tips were provided to face the side surface of the screw thread 7.
The embodiment differs in that the electromagnets 27 and 28 (magnetic separation means) are arranged at right angles to the axial direction of the guide member 30, and their tips are provided to face the top surface of the thread 31. The electromagnets 27 and 28 are each provided so as to be offset by δ from the shoulder of the width of the thread 31 in opposite directions.
この第5実施例においては、搬送台本体33をガイド部
材30のうえに磁気浮上させることができることはもち
ろん、ガイド部材30を回転させることにより搬送台本
体33をガイド部材30の軸線方向に牽引することがで
きる。電磁石27と28とがネジ山31から同量δずつ
互いに逆方向にずれているため、電磁石27と28の、
ガイド部材30の軸方向の磁力のバランスがとれて一方
のずれを他方が抑制する関係にある。このため、結局電
磁石27と28はネジ山31の移動に追随するからであ
る。In this fifth embodiment, not only can the carriage main body 33 be magnetically levitated above the guide member 30, but also the carriage main body 33 can be pulled in the axial direction of the guide member 30 by rotating the guide member 30. be able to. Since the electromagnets 27 and 28 are offset from the thread 31 by the same amount δ in opposite directions, the electromagnets 27 and 28 are
The magnetic forces in the axial direction of the guide member 30 are balanced, so that the displacement of one is suppressed by the other. Therefore, the electromagnets 27 and 28 eventually follow the movement of the screw thread 31.
また、第6図において、搬送台本体33の下方には被搬
送物36を載せる支持台35が下垂して形成されており
、この支持台35あるいはそこに載せた被搬送物36の
重さにより搬送台本体33がガイド部材30の回りに回
転しないよう規制することができる。In addition, in FIG. 6, a support table 35 on which an object to be transported 36 is placed is formed to hang down below the main body 33 of the conveyor table. The transport table main body 33 can be restricted from rotating around the guide member 30.
このため、この第5実施例によれは副カイト部材を省略
できるとともに、前記第1実施例よりも搬送台本体の構
造や電磁石の組み立てが簡単で、かつ、はぼ同様の効果
を得ることができる。Therefore, in this fifth embodiment, the sub kite member can be omitted, and the structure of the carrier main body and the assembly of the electromagnets are simpler than in the first embodiment, and almost the same effect can be obtained. can.
この第5実施例においては2組の電磁石27と28の磁
力のバランスにより搬送台本体33を牽引したが、第7
図に示す第6実施例は、さらにネジ山31の両側面を挾
むように一対の電磁石37.38を追加したものである
。この第6実施例によれば、電磁石27と28には搬送
台本体33をガイド部材30の上に磁気浮上させる機能
のみを分担させ、電磁石37.38にはネジ山31とと
もに搬送台本体33を牽引する機能を分担させることに
より、第5実施例よりも搬送台本体33の位置決めを確
実に行うこととができるとともに、その位置決めのv1
調整も容易に行うことが可能となる。In this fifth embodiment, the carrier main body 33 is pulled by the balance of the magnetic forces of the two sets of electromagnets 27 and 28, but the seventh embodiment
In the sixth embodiment shown in the figure, a pair of electromagnets 37 and 38 are further added to sandwich both sides of the thread 31. According to this sixth embodiment, the electromagnets 27 and 28 are assigned only the function of magnetically levitating the carrier main body 33 above the guide member 30, and the electromagnets 37 and 38 have the function of magnetically levitating the carrier main body 33 together with the screw thread 31. By sharing the towing function, it is possible to position the carrier body 33 more reliably than in the fifth embodiment, and the positioning v1
Adjustments can also be made easily.
第8図には、本発明の第7実施例を示す。前記実施例に
おいてはガイド部材にネジ山を形成したものであったが
、この第7実施例は副ガイド部材の方にネジ山を形成し
た点において異なる。すなわち、ガイド部材40は単な
る円柱で形成され、このガイド部材40の回りには円周
方向に4つの電磁石42(磁気離隔手段)が前後2組搬
送台本体44に設けられている。FIG. 8 shows a seventh embodiment of the present invention. In the previous embodiment, the guide member was threaded, but this seventh embodiment is different in that the sub-guide member is threaded. That is, the guide member 40 is formed of a simple cylinder, and around the guide member 40, four electromagnets 42 (magnetic separation means) are provided in two sets, front and rear, on the conveyance table main body 44 in the circumferential direction.
そして、ガイド部材40の下方の副ガイド部材46には
ネジ山47が形成され、この副ガイド部材46の両側に
一対の電磁石50(磁気離隔手段)がその先端部を副ガ
イド部材46の周面に対向するよう搬送台本体44に設
けられているとともに、ネジ山47の側面には互いに逆
向きに配置された一対の電磁石52.53(磁気離隔手
段)の先端面が対向するよう搬送台本体44に設けられ
ている。A screw thread 47 is formed on the sub-guide member 46 below the guide member 40, and a pair of electromagnets 50 (magnetic separation means) are attached to both sides of the sub-guide member 46 so that the distal end thereof is attached to the circumferential surface of the sub-guide member 46. A pair of electromagnets 52 and 53 (magnetic separating means) are provided on the carriage body 44 so as to face each other, and are disposed on the side surface of the screw thread 47 in opposite directions. 44.
電磁石42は前記コントローラにより通電されてその磁
力により搬送台本体44をガイド部材40の上に浮上さ
せ、電磁石50はその磁力により搬送台本体44がガイ
ド部材40の回りに回転しないよう規制し、電磁石52
.53はネジ山47によるネジ駆動を介して搬送台本体
44をガイド部材40の軸方向に牽引するようになって
いる。The electromagnet 42 is energized by the controller and uses its magnetic force to levitate the carrier main body 44 above the guide member 40, and the electromagnet 50 uses its magnetic force to restrict the carrier main body 44 from rotating around the guide member 40. 52
.. 53 is adapted to pull the conveyance table main body 44 in the axial direction of the guide member 40 through a screw drive by a screw thread 47.
したがってこの第7実施例においては、ネジ山47を有
する副ガイド部材46の方に回転駆動モータ(図示せず
)が設けられている。Therefore, in this seventh embodiment, a rotational drive motor (not shown) is provided on the auxiliary guide member 46 having the thread 47.
このような第7実施例によれば、それだけ実施上のバリ
エーションを増加させてレイアウト上の自由度を増大さ
せることができる。According to the seventh embodiment, variations in implementation can be increased accordingly, and the degree of freedom in layout can be increased.
なお、上記実施例においてはガイド部材の下に副ガイド
部材を配置したが、副ガイド部材の下にガイド部材を配
置してもよい。またこれに関連して、被搬送物は搬送台
本体の上に載せて支持しても、または内部に収納して支
持しても、あるいは下方にぶら下げて支持して搬送する
ものであってもよい。In addition, in the above embodiment, the sub-guide member is arranged under the guide member, but the guide member may be arranged below the sub-guide member. In addition, in this regard, the object to be transported may be supported by being placed on the main body of the transport platform, supported by being stored inside the transport platform, or supported by being suspended from below. good.
また、前記実施例においては副ガイド部材を円柱状の部
材で形成したが、第7実施例を除いては、板状の部材を
用いてもよい。Further, in the embodiments described above, the sub-guide member is formed of a cylindrical member, but except for the seventh embodiment, a plate-shaped member may be used.
また、前記第7実施例においてはガイド部材を円柱状の
部材で形成したが、四角柱あるいはその他の多角柱を用
いてもよい。Further, in the seventh embodiment, the guide member is formed of a cylindrical member, but a square prism or other polygonal prism may also be used.
また、前記電磁石の磁力は引き合うものでも反発するも
のでもよい、対向する電磁石の磁力のバランスの問題で
あるからである。Further, the magnetic force of the electromagnets may be either attracting or repelling, and it is a matter of balance between the magnetic forces of opposing electromagnets.
さらに、被搬送物としては、半導体ウェハーやそのウェ
ハーケースに限定されないことはいうまでもない。Furthermore, it goes without saying that the objects to be transported are not limited to semiconductor wafers and their wafer cases.
(発明の効果)
以上説明したように本発明によれば、搬送台本体はねじ
駆動により牽引されるため、搬送台本体の位置決めを確
実に行うこととができるとともに、その位置決めのv&
調整も容易に行うことが可能となる。(Effects of the Invention) As explained above, according to the present invention, the conveyance table main body is pulled by the screw drive, so that the positioning of the conveyance table main body can be performed reliably, and the
Adjustments can also be made easily.
また前記第2実施例によれば、たがいに対向する電磁石
を同一垂直平面内に配置することができ、搬送台本体に
モーメントがかかることを防止することができる。Further, according to the second embodiment, the electromagnets facing each other can be arranged in the same vertical plane, and it is possible to prevent a moment from being applied to the carrier body.
また前記第3実施例によれば、電磁石を1組減らしてそ
れだけコストを低減することができる。Further, according to the third embodiment, the number of electromagnets can be reduced by one, and the cost can be reduced accordingly.
また前記第4実施例によれば、前記第1実施例のように
重力による各電磁石の磁力の差異を考慮する必要がない
。Further, according to the fourth embodiment, there is no need to consider the difference in magnetic force of each electromagnet due to gravity, unlike the first embodiment.
また前記第5実施例によれば、副ガイド部材を省略でき
るとともに、前記第1実施例よりも搬送台本体の構造や
電磁石の組み立てが簡単でほぼ同様の効果を得ることが
できる。Furthermore, according to the fifth embodiment, the sub-guide member can be omitted, and the structure of the carrier body and the assembly of the electromagnets are simpler than those of the first embodiment, and almost the same effects can be obtained.
また前記第6実施−1によれば、前記第5実施例よりも
搬送台本体33の位置決めを確実に行うことができると
ともに、その位置決めのg&調整も容易に行うことが可
能となる。Furthermore, according to the sixth embodiment-1, the positioning of the conveyance table main body 33 can be performed more reliably than in the fifth embodiment, and the g&adjustment of the positioning can be performed more easily.
また前記第7実施例によれば、それだけ実施上のバリエ
ーションを増加させてレイアウト上の自由度を増大させ
ることができる。Further, according to the seventh embodiment, variations in implementation can be increased accordingly, and the degree of freedom in layout can be increased.
第1.2図は本発明による磁気浮上型搬送装置の第1実
施例を示す図であり、第1図はその主要部断面側面図、
第2図はその主要部透視正面図、第3図は本発明の第2
実施例を示す主要部透視斜視図、第4図は本発明の第3
実施例を示す正面図、第5図は本発明の第4実施例を示
す主要部透視斜視図、第6図は本発明の第5実施例を示
す主要部透視側面図、第7図は本発明の第6実施例を示
す主要部透視斜視図、第8図は本発明の第7実施例を示
す主要部透視斜視図である。
1.21.33.44・・・搬送台本体2.22.30
.40・・・ガイド部材4・・・フレーム
5.39.46・・・副ガイド部材
7.23.31.47・・・ネジ山
11〜20.27.28.32.34.37.38.4
2.50.52.53
・・・電磁石(磁気隔隔手段)
21a、35・・・支持台
24・・・コントローラ
25・・・電池
26・・・充電用ターミナル
29・・・モータ
36・・・被搬送物
特許出願人 セイコー精機株式会社
第3図
本発明の第3実施例を示す正面図
第4図
第 5 図FIG. 1.2 is a diagram showing a first embodiment of the magnetically levitated conveyance device according to the present invention, and FIG. 1 is a cross-sectional side view of the main part thereof;
Fig. 2 is a perspective front view of the main part, and Fig. 3 is the second part of the present invention.
FIG. 4 is a transparent perspective view of the main part showing the embodiment, and FIG.
FIG. 5 is a perspective view of main parts showing a fourth embodiment of the present invention, FIG. 6 is a perspective side view of main parts showing a fifth embodiment of the present invention, and FIG. FIG. 8 is a transparent perspective view of a main part showing a sixth embodiment of the invention, and FIG. 8 is a perspective view of a main part showing a seventh embodiment of the invention. 1.21.33.44...Transportation platform body 2.22.30
.. 40...Guide member 4...Frame 5.39.46...Sub-guide member 7.23.31.47...Screw threads 11-20.27.28.32.34.37.38. 4
2.50.52.53...Electromagnet (magnetic separation means) 21a, 35...Support stand 24...Controller 25...Battery 26...Charging terminal 29...Motor 36...・Conveyed object Patent applicant: Seiko Seiki Co., Ltd. Figure 3 Front view showing the third embodiment of the present invention Figure 4 Figure 5
Claims (1)
通し搬送台本体を所定方向に移動するよう案内するガイ
ド部材と、このガイド部材に対向するよう前記搬送台本
体に設けられガイド部材との間に所定の隙間を形成する
よう搬送台本体を磁力によりガイド部材から離隔させる
磁気離隔手段と、前記搬送台本体を前記ガイド部材の軸
線に沿つて所定方向に移動させる牽引手段と、を備えた
磁気浮上型搬送装置において、前記牽引手段として、前
記磁気離隔手段に対向するねじ山を前記ガイド部材に形
成し、ガイド部材を回転させることにより搬送台本体を
移動させるようにしたことを特徴とする磁気浮上型搬送
装置。A conveyance table main body that supports a conveyed object, a guide member that is inserted into the conveyance table main body and guides the conveyance table main body to move in a predetermined direction, and a guide member provided on the conveyance table main body so as to face the guide member. magnetic separating means for separating the conveyance table main body from the guide member by magnetic force so as to form a predetermined gap between the conveyance table main body and a traction means for moving the conveyance table main body in a predetermined direction along the axis of the guide member; In the magnetically levitated conveyance device, the guide member is provided with a screw thread facing the magnetic separation means as the traction means, and the conveyor main body is moved by rotating the guide member. A magnetic levitation type transport device.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62009761A JPS63176768A (en) | 1987-01-19 | 1987-01-19 | Magnetic levitation type conveyor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62009761A JPS63176768A (en) | 1987-01-19 | 1987-01-19 | Magnetic levitation type conveyor |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63176768A true JPS63176768A (en) | 1988-07-21 |
Family
ID=11729260
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62009761A Pending JPS63176768A (en) | 1987-01-19 | 1987-01-19 | Magnetic levitation type conveyor |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63176768A (en) |
-
1987
- 1987-01-19 JP JP62009761A patent/JPS63176768A/en active Pending
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