JPS63174013A - Beam diameter adjusting device - Google Patents

Beam diameter adjusting device

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Publication number
JPS63174013A
JPS63174013A JP705487A JP705487A JPS63174013A JP S63174013 A JPS63174013 A JP S63174013A JP 705487 A JP705487 A JP 705487A JP 705487 A JP705487 A JP 705487A JP S63174013 A JPS63174013 A JP S63174013A
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JP
Japan
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beam diameter
diameter
laser
laser light
plate
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JP705487A
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Japanese (ja)
Inventor
Katsuto Sumi
克人 角
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Fujifilm Holdings Corp
Original Assignee
Fuji Photo Film Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPS63174013A publication Critical patent/JPS63174013A/en
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Abstract

PURPOSE:To make beam diameter adjusting operation easy and accurate by arranging a beam diameter adjusting means which has an opening part in a specific shape in the optical path of laser light and displacing it along the optical axis. CONSTITUTION:The laser light L from a laser diode is mode incident on a collimator at a specific emission angle and becomes parallel luminous flux, which is mode incident on a beam expander 18. Then, the beam diameter D of the incident laser light L is determined by the emission angle of the diode. For the purpose, a displaceable plate body 32 with the opening part 34 is arranged between condenser lenses 28 and 30 which form a beam expander 18. The beam diameter Db of the laser light L emitted from the lens 30 is therefore settable to a specific value according to the position of the plate body 32. Namely, the plate body 32 is displaced along oblong holes 36a and 36b of a casing 26 through bolts 38a and 38b. Consequently, the beam diameter is easily and accurately adjusted by the simple constitution.

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はレーザ光等のビーム径を調整する装置に関し、
一層詳細には、発散あるいは収束するレーザ光等の光路
中に所定形状の開口部を有するビーム径調整手段を配し
、前記ビーム径調整手段を光軸に沿って変位させること
でビーム径を容易に調整可能としたビーム径調整装置に
関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a device for adjusting the beam diameter of laser light, etc.
More specifically, a beam diameter adjusting means having an aperture of a predetermined shape is disposed in the optical path of a diverging or converging laser beam, etc., and the beam diameter is easily adjusted by displacing the beam diameter adjusting means along the optical axis. The present invention relates to a beam diameter adjustment device that can be adjusted to

レーザプリンタ等のレーザを用いた記録装置では、記録
書込用光源として小型で且つ長寿命であると共に出力調
整の容易なレーザダイオードが使用されている。この場
合、前記レーザダイオードから出力されるレーザ光は発
散光であるため、例えば、コリメータによって平行光束
とした後、ビームエキスパンダによりそのビーム径を調
整し被走査体上に所定の書込スポット径で照射している
2. Description of the Related Art In recording devices using lasers, such as laser printers, laser diodes are used as light sources for recording and writing, which are small, have a long life, and are easy to adjust output. In this case, since the laser light output from the laser diode is a diverging light, for example, after collimating it with a collimator, the beam diameter is adjusted with a beam expander to create a predetermined writing spot diameter on the scanned object. It is irradiated with

ところで、レーザダイオードから出力されるレーザ光の
放射角には製造誤差によるばらつきがある。従って、例
えば、ビームエキスパンダがビーム径調整機能を有して
いない場合、使用するレーザダイオードによって被走査
体上の書込スポット径が異なり、レーザ光によって形成
される画像の品質が劣悪となる虞がある。
Incidentally, there are variations in the radiation angle of laser light output from a laser diode due to manufacturing errors. Therefore, for example, if the beam expander does not have a beam diameter adjustment function, the writing spot diameter on the scanned object will vary depending on the laser diode used, and the quality of the image formed by the laser beam may deteriorate. There is.

そこで、このような問題を解決するため、例えば、ビー
ムエキスパンダにズーム機能を持たせ被走査体に対する
書込スポット径を調整可能に構成することが考えられる
。然しなから、この場合、構造が複雑で且つ非常に高価
となる欠点が指摘されている。また、他の方法として、
レーザ光の光路中に虹彩絞りを配設してビーム径を調整
することも考えられるが、この場合も前記ズーム機能と
同様に構造が相当に複雑となる不都合がある。
Therefore, in order to solve such a problem, it is conceivable to provide a beam expander with a zoom function so as to be able to adjust the writing spot diameter with respect to the object to be scanned. However, in this case, it has been pointed out that the structure is complicated and very expensive. Also, as another method,
Although it is conceivable to arrange an iris diaphragm in the optical path of the laser beam to adjust the beam diameter, this also has the disadvantage that the structure becomes quite complicated, similar to the zoom function described above.

本発明は前記の不都合を克服するためになされたもので
あって、発散あるいは収束するレーザ光等の光路中に所
定形状の開口部を有するビーム径調整手段を配設し、前
記ビーム径調整手段を光軸に沿って変位させることによ
り前記ビーム径を極めて簡単な構成で容易且つ正確に調
整することの出来るビーム径調整装置を提供することを
目的とする。
The present invention has been made to overcome the above-mentioned disadvantages, and includes a beam diameter adjusting means having an aperture of a predetermined shape in the optical path of a diverging or converging laser beam, etc. An object of the present invention is to provide a beam diameter adjusting device that can easily and accurately adjust the beam diameter with an extremely simple configuration by displacing the beam along the optical axis.

前記の目的を達成するために、本発明は発散または収束
する光束中に所定形状の開口部を有するビーム径調整手
段を配設し、前記ビーム径調整手段を前記光束の光軸に
沿って変位可能に構成することを特徴とする。
In order to achieve the above object, the present invention provides a beam diameter adjusting means having an aperture of a predetermined shape in a diverging or converging light beam, and displacing the beam diameter adjusting means along the optical axis of the light beam. It is characterized by being able to be configured.

次に、本発明に係るビーム径調整装置について好適な実
施態様を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説
明する。
Next, preferred embodiments of the beam diameter adjusting device according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

第1図において、参照符号10は本発明に係るビーム径
調整装置が適用されるレーザプリンタにおけるレーザ光
学系を示し、このレーザ光学系10はレーザ光りを出力
するレーザダイオード12)コリメータ14、ビームエ
キスパンダ18、ガルバノメータミラー20、走査レン
ズ22および転写マスクドラム24から基本的に構成さ
れる。
In FIG. 1, reference numeral 10 indicates a laser optical system in a laser printer to which a beam diameter adjustment device according to the present invention is applied, and this laser optical system 10 includes a laser diode 12) that outputs laser light, a collimator 14, and a beam extractor. It basically consists of a panda 18, a galvanometer mirror 20, a scanning lens 22, and a transfer mask drum 24.

コリメータ14はレーザダイオード12から放射角θで
出力される発散光としてのレーザ光りを平行光束として
ビームエキスパンダ18に導くものである。ビームエキ
スパンダ18は本発明に係るビーム径調整装置(後述)
を含み、レーザ光りを所定のビーム径に調整するために
用いられている。ガルバノメータミラー20は矢印方向
に揺動することで前記ビームエキスパンダ18によって
ビーム径の調整されたレーザ光りを転写マスクドラム2
4に対して主走査方向(矢印A方向)に偏向させる。走
査レンズ22はガルバノメータミラー20によって偏向
されたレーザ光りを走査速度を一定に保持した状態で転
写マスクドラム24に導(ものであり、通常、fθレン
ズより構成される。なお、転写マスクドラム24は図示
しない駆動源により副走査方向(矢印B方向)に回転駆
動される。
The collimator 14 guides laser light as a diverging light output from the laser diode 12 at a radiation angle θ to the beam expander 18 as a parallel light beam. The beam expander 18 is a beam diameter adjusting device (described later) according to the present invention.
It is used to adjust the laser beam to a predetermined beam diameter. By swinging in the direction of the arrow, the galvanometer mirror 20 transfers laser light whose beam diameter has been adjusted by the beam expander 18 to the transfer mask drum 2.
4 in the main scanning direction (direction of arrow A). The scanning lens 22 guides the laser beam deflected by the galvanometer mirror 20 to the transfer mask drum 24 while keeping the scanning speed constant, and is usually composed of an fθ lens. It is rotationally driven in the sub-scanning direction (direction of arrow B) by a drive source (not shown).

ここで、本発明に係るビーム径調整装置を含むビームエ
キスパンダ18は、第2図に示すように、円筒状のケー
シング26の両端部に集光レンズ28および30を備え
ると共に、前記ケーシング26の中間部に本発明に係る
ビーム径調整装置を構成する円盤状の板体32を有する
。この場合、板体32は中央部にレーザ光りの光軸33
を中心とする開口部34を有し、前記光軸33に沿って
矢印C方向に変位可能に構成される。すなわち、前記ケ
ーシング26の周側部には光軸33に平行となる長孔3
6a、36bが穿設されており、これらの長孔36a、
36bには各一端部が板体32の周側部に固定されるポ
ル) 38 a、38bが挿通される。
Here, the beam expander 18 including the beam diameter adjusting device according to the present invention includes condensing lenses 28 and 30 at both ends of a cylindrical casing 26, as shown in FIG. A disk-shaped plate 32 that constitutes the beam diameter adjusting device according to the present invention is provided in the intermediate portion. In this case, the plate body 32 has an optical axis 33 of the laser beam in the center.
It has an opening 34 centered at , and is configured to be movable in the direction of arrow C along the optical axis 33 . That is, a long hole 3 parallel to the optical axis 33 is formed in the circumferential side of the casing 26.
6a, 36b are bored, and these long holes 36a,
38a and 38b each having one end fixed to the circumferential side of the plate 32 are inserted through 36b.

なお、これらのボルト38a、38bにはケーシング2
6の周側部を板体32の周側部と共働して挟持するナツ
ト40a、40bが螺着する。
Note that the casing 2 is attached to these bolts 38a and 38b.
Nuts 40a and 40b are screwed together to hold the circumferential side of the plate 32 in cooperation with the circumferential side of the plate 32.

本実施態様のビーム径調整装置を含むレーザ光学系は基
本的には以上のように構成されるものであり、次にその
作用並びに効果について説明する。
The laser optical system including the beam diameter adjusting device of this embodiment is basically constructed as described above, and its operation and effects will be explained next.

レーザダイオード12から出力されたレーザ光りは所定
の放射角θでコリメータ14に入射する。
Laser light output from the laser diode 12 is incident on the collimator 14 at a predetermined radiation angle θ.

この場合、コリメータ14は前記レーザ光りを平行光束
としてビームエキスパンダ18に導く。
In this case, the collimator 14 guides the laser beam to the beam expander 18 as a parallel beam.

ここで、ビームエキスパンダ18に入射するレーザ光り
のビーム径りはレーザダイオード12の放射角θによっ
て予め決定されてしまう。従って、ビームエキスパンダ
18の集光レンズ28.30間に板体32がない場合に
は前記ビームエキスパンダ18から射出されるレーザ光
りのビーム径り、は放射角θによって決定されてしまう
Here, the beam diameter of the laser light incident on the beam expander 18 is determined in advance by the radiation angle θ of the laser diode 12. Therefore, if there is no plate 32 between the condensing lenses 28 and 30 of the beam expander 18, the beam radius of the laser light emitted from the beam expander 18 will be determined by the radiation angle θ.

そこで、ビームエキスパンダ18を構成する集光レンズ
28.30間に開口部34を有する変位可能な板体32
を配設すれば、前記板体32の位置によって集光レンズ
30から射出されるレーザ光りのビーム径Dbを所定の
値に設定することが可能となる。すなわち、板体32を
ポルト38a、38bを介してケーシング26の長孔3
6a、36bに沿って矢印C方向に変位させれば、集光
レンズ30から射出されるレーザ光りのビーム径Dbは
所定の大きさに設定される。この場合、ビーム径り、を
所定の大きさに設定した後、ナツト40a、40bを螺
回させれば、板体32はケーシング26に固定される。
Therefore, a displaceable plate body 32 having an opening 34 between the condenser lenses 28 and 30 constituting the beam expander 18
By arranging this, it becomes possible to set the beam diameter Db of the laser light emitted from the condenser lens 30 to a predetermined value depending on the position of the plate 32. That is, the plate body 32 is inserted into the elongated hole 3 of the casing 26 via the ports 38a and 38b.
6a and 36b in the direction of arrow C, the beam diameter Db of the laser beam emitted from the condenser lens 30 is set to a predetermined size. In this case, after setting the beam diameter to a predetermined size, the plate body 32 is fixed to the casing 26 by screwing the nuts 40a and 40b.

ビームエキスパンダ18においてビーム径力D、に設定
されたレーザ光りはガルバノメータミラー20によって
偏向され走査レンズ22を介して転写マスクドラム24
上に照射される。この場合、ガルバノメータミラー20
によって偏向されたレーザ光りは前記ガルバノメータミ
ラー20の揺動動作によって転写マスクドラム24上を
主走査方向(矢印へ方向)に走査する。一方、転写マス
クドラム24は矢印B方向に回転しており、従って、そ
の周側面が二次元的に走査されることになる。なお、前
記転写マスクドラム24上にはレーザ光りによって所定
の画像情報、あるいは文字情報等に応じた電荷が蓄積さ
れるため、この電荷に基づいて、例えば、トナーが所定
の記録紙上に転写され、前記文字情報等が可視像として
記録される。
The laser beam set to a beam radial power D in the beam expander 18 is deflected by a galvanometer mirror 20 and transmitted to a transfer mask drum 24 via a scanning lens 22.
irradiated on top. In this case, the galvanometer mirror 20
The laser beam deflected by the oscillating motion of the galvanometer mirror 20 scans the transfer mask drum 24 in the main scanning direction (in the direction of the arrow). On the other hand, the transfer mask drum 24 is rotating in the direction of arrow B, so that its circumferential surface is two-dimensionally scanned. Incidentally, charges corresponding to predetermined image information, character information, etc. are accumulated on the transfer mask drum 24 by laser light, and based on this charge, for example, toner is transferred onto a predetermined recording paper. The character information and the like are recorded as a visible image.

ここで、転写マスクドラム24上に所定の書込スポット
径のレーザ光りを照射する場合の調整方法を第3図に基
づき説明する。
Here, an adjustment method for irradiating laser light with a predetermined writing spot diameter onto the transfer mask drum 24 will be explained based on FIG. 3.

走査レンズ22がfθレンズである場合、その焦点距離
をf、レーザ光りの波長をλとすると、転写マスクドラ
ム24上の書込スポット径り、は、と表される。この場
合、走査レンズ22によって転写マスクドラム24上に
形成されるエアリ−ディスクの直径を書込スポット径D
3とすれば、K=2.44である。
If the scanning lens 22 is an fθ lens, and if its focal length is f and the wavelength of the laser beam is λ, then the diameter of the writing spot on the transfer mask drum 24 is expressed as follows. In this case, the diameter of the Airy disk formed on the transfer mask drum 24 by the scanning lens 22 is the writing spot diameter D.
3, then K=2.44.

一方、ビームエキスパンダー8の集光レンズ30の焦点
距離をf ax、板体32に形成された開口部34の直
径をり8、集光レンズ30の焦点と板体32との距離を
lとした場合、ビームエキスパンダニ8から射出される
レーザ光りのビーム径り、は! と表される。従って、(1)、(2)式より書込スポッ
ト径り、は または と表される。従って、転写マスクドラム24上に形成さ
れる書込スポット径り、は集光レンズ30の焦点に対す
る板体32の距離!を(3)式に基づいて調整すればよ
いことになる。
On the other hand, the focal length of the condensing lens 30 of the beam expander 8 is f ax, the diameter of the opening 34 formed in the plate 32 is 8, and the distance between the focal point of the condensing lens 30 and the plate 32 is l. In this case, the beam diameter of the laser beam emitted from the beam expander mite 8 is ! It is expressed as Therefore, from equations (1) and (2), the writing spot diameter is expressed as . Therefore, the diameter of the writing spot formed on the transfer mask drum 24 is the distance of the plate 32 from the focal point of the condenser lens 30! can be adjusted based on equation (3).

なお、(4)式から諒解されるように、板体32の移動
量Δlに対する書込スポット径の変化量ΔD、は板体3
2の開口部34の直径り、に依存している。従って、例
えば、第4図に示すように、集光レンズ30の焦点の近
傍に開口部42の直径が比較的小さい板体44を配設す
ると共に、集光レンズ30の近傍に開口部46の直径の
大きい板体48を配設し、これらの板体44および48
を矢印C方向に独立に変位させれば、転写マスタドラム
24上の書込スポット径り、を微調整および粗調整する
ことが可能となる。この場合、板体44の変位によって
書込スポット径り、が粗調整され、また、板体48の変
位によって前記書込スポット径り、が微調整される。
Note that, as understood from equation (4), the amount of change ΔD in the writing spot diameter with respect to the amount of movement Δl of the plate 32 is
The diameter of the opening 34 in FIG. Therefore, for example, as shown in FIG. 4, a plate 44 having an opening 42 with a relatively small diameter is provided near the focal point of the condenser lens 30, and an aperture 46 is provided near the condenser lens 30. A plate body 48 having a large diameter is arranged, and these plates 44 and 48
By independently displacing them in the direction of arrow C, it becomes possible to finely and coarsely adjust the writing spot diameter on the transfer master drum 24. In this case, the writing spot diameter is roughly adjusted by the displacement of the plate 44, and the writing spot diameter is finely adjusted by the displacement of the plate 48.

ここで、本実施態様に係る板体32)あるいは板体44
および48を第1図に示すレーザダイオード12とコリ
メータ14との間に配設しても同様に書込スポット径り
、を調整することが出来ることは容易に諒解されよう。
Here, the plate body 32) or the plate body 44 according to this embodiment
It will be readily understood that even if the laser diode 12 and 48 are disposed between the laser diode 12 and the collimator 14 shown in FIG. 1, the writing spot diameter can be adjusted in the same way.

なお、レーザダイオード12から射出されるレーザ光り
は放射角θで等方向に放射されるとは限らず、通常はコ
リメータ14の入射面に対して楕円を形成するように放
射される。そこで、第5図に示すように、レーザ光りの
光軸に対する断面形状が真円となるようにコリメータ1
4とビームエキスパンダ18との間に一対のシリンドリ
カルレンズ50および52からなる波形整形器54を配
設する場合がある。この場合、前記シリンドリカルレン
ズ50および52はレーザ光りの光軸に直交するX、Y
の2方向の中、X方向のみ集光する特性を有している。
Note that the laser light emitted from the laser diode 12 is not necessarily emitted in the same direction at the radiation angle θ, but is normally emitted so as to form an ellipse with respect to the incident surface of the collimator 14. Therefore, as shown in FIG.
A waveform shaper 54 consisting of a pair of cylindrical lenses 50 and 52 may be disposed between the beam expander 18 and the beam expander 18 . In this case, the cylindrical lenses 50 and 52 are
It has a characteristic of condensing light only in the X direction out of the two directions.

従って、レーザダイオード12から出力されたレーザ光
りは波形整形器54によってX方向の幅が修正される。
Therefore, the width of the laser beam output from the laser diode 12 in the X direction is corrected by the waveform shaper 54.

そこで、これらのシリンドリカルレンズ50.52間に
Y方向に長尺な長方形の開口部56を有する板体58を
配設すれば、レーザ光りの書込スポット径を波形整形と
共に効果的に調整することが出来る。
Therefore, by disposing a plate 58 having a long rectangular opening 56 in the Y direction between these cylindrical lenses 50 and 52, the writing spot diameter of the laser beam can be effectively adjusted along with waveform shaping. I can do it.

すなわち、板体58を矢印C方向に変位させれば、X方
向の書込スポット径のみを調整することが可能となる。
That is, by displacing the plate 58 in the direction of arrow C, it is possible to adjust only the writing spot diameter in the X direction.

なお、第3図および第4図に示す板体32.44および
48を光軸33に対して傾斜させることで、前記波形整
形器54と同様の効果を導き出すことも可能である。
Note that it is also possible to derive the same effect as the waveform shaper 54 by tilting the plates 32, 44 and 48 shown in FIGS. 3 and 4 with respect to the optical axis 33.

以上のように、本発明によれば、発散、あるいは収束す
るレーザ光等の光路中に所定形状の開口部を有するビー
ム径調整手段を配設し、前記ビーム径調整手段を前記レ
ーザ光等の光軸に沿って変位可能に構成している。その
ため、前記ビーム径調整手段の位置によって絞り径を変
えた場合と同等の効果が得られ、極めて容易にビーム径
を調整することが出来る。この場合、当該ビーム径調整
手段の変位量に対するビーム径の変化量はビーム径調整
手段に形成される開口部の直径によって相違するため、
前記開口部の直径が異なる複数のビーム径調整手段を当
該レーザ光等の光路中に配設すれば、そのビーム径を微
調整および粗調整することも極めて容易である。
As described above, according to the present invention, a beam diameter adjusting means having an aperture of a predetermined shape is provided in the optical path of the diverging or converging laser beam, etc. It is configured to be movable along the optical axis. Therefore, the same effect as when changing the aperture diameter by changing the position of the beam diameter adjusting means can be obtained, and the beam diameter can be adjusted extremely easily. In this case, since the amount of change in the beam diameter with respect to the amount of displacement of the beam diameter adjusting means differs depending on the diameter of the opening formed in the beam diameter adjusting means,
If a plurality of beam diameter adjusting means having apertures with different diameters are arranged in the optical path of the laser beam, etc., it is extremely easy to finely and coarsely adjust the beam diameter.

以上、本発明について好適な実施態様を挙げて説明した
が、本発明はこの実施態様に限定されるものではな(、
例えば、発散するレーザ光のみならず収束するレーザ光
においても本発明に係るビーム径調整装置を用いること
で同様にそのビーム径を調整可能である等、本発明の要
旨を逸脱しない範囲において種々の改良並びに設計の変
更が可能なことは勿論である。
Although the present invention has been described above by citing preferred embodiments, the present invention is not limited to these embodiments (
For example, the beam diameter of not only a diverging laser beam but also a converging laser beam can be similarly adjusted by using the beam diameter adjusting device according to the present invention. Of course, improvements and changes in design are possible.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明に係るビーム径調整装置が適用されるレ
ーザプリンタのレーザ光学系を示す構成説明図、 第2図は本発明に係るビーム径調整装置を含むビームエ
キスパンダの斜視断面説明図、第3図は第2図に示すビ
ームエキスパンダの側面説明図、 第4図は本発明に係るビーム径調整装置を適用したビー
ムエキスパンダの他の実施態様を示す説明図、 第5図は本発明に係るビーム径調整装置を含む波形整形
器を有する光学系の斜視説明図である。 10・・・レーザ光学系  12・・・レーザダイオー
ド14・・・コリメータ   18・・・ビームエキス
パンダ20・・・ガルバノメータミラー′ 22・・・走査レンズ   24・・・転写マスクドラ
ム28.30・・・集光レンズ 32・・・板体34・
・・開口部     44.48・・・板体FIG、1 立   C
FIG. 1 is a configuration explanatory diagram showing a laser optical system of a laser printer to which the beam diameter adjusting device according to the present invention is applied, and FIG. 2 is a perspective cross-sectional explanatory diagram of a beam expander including the beam diameter adjusting device according to the present invention. , FIG. 3 is an explanatory side view of the beam expander shown in FIG. 2, FIG. 4 is an explanatory diagram showing another embodiment of the beam expander to which the beam diameter adjustment device according to the present invention is applied, and FIG. 1 is a perspective explanatory diagram of an optical system having a waveform shaper including a beam diameter adjustment device according to the present invention. 10...Laser optical system 12...Laser diode 14...Collimator 18...Beam expander 20...Galvanometer mirror' 22...Scanning lens 24...Transfer mask drum 28.30...・Condensing lens 32...Plate body 34・
...Opening 44.48...Plate FIG, 1 Standing C

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)発散または収束する光束中に所定形状の開口部を
有するビーム径調整手段を配設し、前記ビーム径調整手
段を前記光束の光軸に沿って変位可能に構成することを
特徴とするビーム径調整装置。
(1) A beam diameter adjusting means having an aperture of a predetermined shape is disposed in the diverging or converging light beam, and the beam diameter adjusting means is configured to be movable along the optical axis of the light beam. Beam diameter adjustment device.
(2)特許請求の範囲第1項記載の装置において、ビー
ム径調整手段は小径の開口部を有し発散または収束する
光束の小径部に配設される第1の板体と、前記第1板体
の開口部よりも大径の開口部を有し前記光束の大径部に
配設される第2の板体とからなり、前記第1および第2
板体は前記光束の光軸に沿って独立に変位可能に構成し
てなるビーム径調整装置。
(2) In the apparatus according to claim 1, the beam diameter adjusting means includes a first plate having a small diameter opening and disposed in a small diameter portion of the diverging or converging light beam; a second plate having an aperture larger in diameter than the aperture of the plate and disposed in a large diameter portion of the light beam;
A beam diameter adjusting device in which the plate is configured to be independently displaceable along the optical axis of the light beam.
JP705487A 1987-01-14 1987-01-14 Beam diameter adjusting device Pending JPS63174013A (en)

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JPS63174013A true JPS63174013A (en) 1988-07-18

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JP705487A Pending JPS63174013A (en) 1987-01-14 1987-01-14 Beam diameter adjusting device

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