JPS63172925A - 液面検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は容器中の試料液を吸引体により吸引させるとき
に、試料液の液面位置を検出する装置に関するものであ
る。特に、本発明は、所定の試薬層を有する化学分析ス
ライド〈以下、甲にスライドと称する）上に試料液を一
定量だけ自動的に点着供給する装置に用いることができ
る液面検出装置に関するものである。

（従来の技術） 近年、試料液の小滴を点着供給するだけで該試料液中に
含まれている特定の化学成分または有形成分を定量分析
することのできるドライタイプのスライドが開発され（
特公昭５３−２１６７７号、￥１開昭５５−１６４３５
６＠等）実用化されている。このようなスライドを用い
て試料液中の化学成分等の分析を行なうには、試料液を
スライドに計量付着させた後、これをインキュベータ（
恒温器）内で所定時間恒温保持（インキュベーション）
して呈色反応〈色素生成反応）させ、次いで試料成分と
スライドの試薬層に含まれる試薬との組み合わせにより
予め選定された波長を含む測定用照射光をこのスライド
に照射してその反射光学濃度を測定するもので、これに
より、上記化学成分等の定量的な分析を行なう。

このような分析を行なう場合、スライドの試薬層へ点着
供給する試料液は所定量を正確に計量して点着しなけれ
ばならない。この試料液の量が所定量と異なると反射光
学濃度が異なり、上記分析精度も低下するからである。

このため、試料液の点着供給を行なうときに、所定量を
正しく点着できるように、種々のピペット等が考案され
ている。

このようなとベットは、例えば、ピペット先端にチップ
を取り付けこのチップ内に所定量の試料液を吸引し、次
いでこの所定量の試料液をスライドの試薬層上に点着供
給するようにしたものがある。

このようなピペットを用いてチップ内への試料液の吸引
および試＊Ｓへの排出を行なうには、まずチップ先端を
試料液内に挿入し、ピストン・シリンダ機構等によって
チップ内に所定量の試料液を吸引保持し、この模チップ
先端をスライドの試薬層上に位置せしめ、チップ内の試
料液を試薬層上に点着供給する。しかしながら、この場
合において試料液内にチップ先端が挿入された後、これ
を点着のため引ぎ出すと、チップ先端の外周部に試料液
が付着し、この付着試料液も試薬層上に一緒に点着され
、点着する試料液量に誤差が生じ、測定精度が低下する
という問題がある。

このため、チップ内に試料液を吸引させるときに、チッ
プおよび試料液液面の上下位置を制御してチップ先端の
試料液への挿入量が常に一定に保たれるようにして、チ
ップ先端外周部への試料の付Ｉ！量が常に一定になるよ
うになし、点着供給する試料の量を常に一定にすること
ができるようにした自動点着装置が本出願人により提案
されている。この場合において上記挿入量を一定に保つ
には、チップ先端の位置および試料液の液面の位置を正
確に把握する必要がある。しかしながら、試料液の混合
防止、衛生上の観点等の理由から上記チップはその都度
交換するようになっていることが多かったり、このチッ
プの寸法精度があまり高くなかったりすることが多く、
また、形状の異なるチップを使用することがあり、この
ため、ピペットの先端に取付けたチップ先端の位置を正
確に把握することが難しく、チップ先端の挿入量の制御
が難しいという問題がある。また、試料液の液面位置に
ついても、例えば液面に泡が生じている場合等には、液
面位置の検出が難しいという問題がある。

このようなことから、本出願人は、試料液を入れた試料
容器の上方に、上下位置制御手段によって上下動自在に
吸引体を配し、且つこの吸引体の１喘に設けられたノズ
ル部材に連通された吸引手段によって試料液を吸引可能
なようになし、一方、吸引体に対してノズル部材を振動
可能な振動伝達板によって保持するとともに周波数制御
回路を介した振動付与手段によってノズル部材に周波数
を変化させながら撮動を付与し、このときの振動付与手
段のインピーダンスの変化を検出し、上記周波数変化に
対応するインピーダンスの極値を検知し、この極値の変
化を読取って上記ノズル部材と試料液との接触を検出し
、試料液の液面位置を検出する液面検出装置を提案した
。

（発明が解決しようとする問題点） しかしながら、上記装置を用いて上記周波数変化に対応
する出力の極値を読取うてノズル部材と試料液との接触
を検出する場合に、ノズル部材が試料液と接触してその
先端が試料液内に挿入される場合における上記極値の変
化が極く小さいことが多く、この極値の変化を読取るの
が難しいという問題があることが発見された。

（問題点を解決するための手段） 本出願人は、上記問題に鑑みてノズル部材に付与する振
動として矩形波、三角波、正弦波等の種々の形状の振動
を用いて実験を行ない、この結果正弦波を用いた場合に
上記極値の変化が最も顕著に現われるという事実を見出
した。このため、本発明においては上記問題を解決する
手段として、この液面検出装置を次のように構成してい
る。すなわち、この液面検出装置は、ノズル部材を振動
伝達板を介して吸引体により保持せしめるとともに、こ
のノズル部材に振動付与手段により所定の周波数を有し
た正弦波状の振動を付与し、周波数制御回路を用いてノ
ズル部材への付与振動の周波数を変化させつつ、この周
波数の変化に対応する出力電圧等の極値の変化を検出す
るように構成している。なお、この装置において試料液
の種類およびノズル部材の形状等に制限はなく、いろん
な試料液およびノズル部材が用いられるのであるが、化
学分析スライドの試薬層上に所定の試料液を点着供給す
るための自動点！ｅＩｔ装置において、ノズル部材（ノ
ズル体もしくはノズル体の下端に取り付けられた点着チ
ップ）に試料液を所定量だけ吸引させるときに、ノズル
部材と試料液との接触を検出し、液面位置を検出しノズ
ル部材下端の試料液内への挿入ｍを制御するのに特に有
゛効である。

（作用） 以上のように構成した本発明の液面検出装置によれば、
ノズル部材（ノズル体もしくは点着チップ）の下端が液
面に接触すると、振動付与手段によって付与されたノズ
ル部材め振動が試料液による抵抗を受けるため振動付与
手段の出力電圧もしくは電流が変化するので、この変化
を付与振動の周波数に対する出力電圧もしくは電流の極
値の変化として検知することができる。すなわち、振動
子に供給される信号が定電流源より供給されるものであ
れば、検出される極値は電圧変化としてとらえられ、撮
動子に供給される信号が定電源から供給されるものであ
れば検出される極値は電流変化としてとらえられる。し
たがって、振動付与手段のインピーダンスの変化を検出
し、周波数の変化に対応するインピーダンスの極値を検
出すればよい。これによってノズル部材と試料液との接
触を検出することができるのであるが、上記振動付与手
段によりノズル部材に加えられる撮動としては正弦波状
の振動が用いられるので、ノズル部材が試料液の液面と
接触した時に生ずる上記極値の変化が比較的大きくなり
その変化を検出するのが容易であり、上記ノズル部材と
液面との接触を確実に検出することができる。

（実施例） 以下、図面に祉づいて本発明の好ましい実施例について
説明する。

第１図は自動点着装置５０を有する化学分析装置の１例
を示す斜視図で、この自動点着装置５０に本発明に係る
液面検出装置が設けられている。この化学分析装置は本
体１０上にカートリッジ１１、インキュベータ２０、搬
送・挿入手段４０および自動点着１１ｆｔ５０を取り付
けてなり、これらを本体１０を覆うカバープレート１６
を取り外して上方から見て示すのが第２図の平面図であ
る。なお、第１図に示すように、本装置には、測定中に
おける測定データ表示等を行なうディスプレイ部１４．
この表示等の操作のための操作キー１５および記録用の
磁気ディスク挿入部１３が設けられるが、第２図ではこ
れらを省略して示している。

この化学分析装置の構造および作動について以下に説明
する。

カートリッジ１１は未使用の化学分析スライド１を重ね
て収納し、このカートリッジ１１の右側方にはインキュ
ベータ２０が位置し、このインキュベータ２０内にはカ
ートリッジ１１内の最下段の化学分析スライド１と同一
平面上で右方に並んで化学分析スライド１を収納保持す
る複数の収納室２１，２１．・・・２１が形成されてい
る。インキュベータ２０の下方にはインキュベータ２０
の下面に対向して横力向く矢印Ｃ方向）に摺動自在な反
射光学濃度測定用読取りヘッド（図示せず）が配される
。なお、この摺動はインキュベータ２０の下方に横方向
に延びて配されたレール上を、例えばリニアモータ等に
より駆動されてなされ、このレールはカートリッジ１１
の下面にまで延びており、読取りヘッドはカートリッジ
１１の下面と対向する位置まで摺動でき、カートリッジ
最下段の化学分析スライド１と対向できるようになって
いる。

このため、まずカートリッジ１１の下面と対向する位置
に読取りヘッドが移動し、カートリッジ１１に重ねて収
納された化学分析スライド１のうらの最下段の化学分析
スライド１のカブリ測光がなされる。なお、読取りヘッ
ドが移動の際、カートリッジ１１とインキュベータ２０
との間に配された基準白黒１１１度板１７と対向し測光
誤差の修正がなされる。

一方、インキュベータ２０の後方には、収納室２１の入
口開口２１ａと対向してレール４９上を横方向（矢印Ｃ
方向）に摺動自在な搬送・挿入手段４０が配されており
、このカブリ測光がなされると、この化学分析スライド
１は押出しレバー１２によって、第２図の２点鎖線Ｘで
示す位置に移動した搬送・挿入手段４０の上に押し出さ
れ、これに保持される。

次いで、搬送・挿入手段４０はレール４９上を右方に移
動し、点着位置の下方の位置（実線Ｙで示す位１）へ移
動する。

この搬送・挿入手段４０の後方には、第２図において矢
印Ｂで示すように回動自在な点着アーム３０を備えた自
動点着装置５０が配されている。この点着アーム３０は
吸引体としても作用するもので、その先端に点着チップ
３５が着脱自在となっており、この先端が矢印Ｂ方向に
回動して、本体１０上に置かれた試料室１１３５２の上
方に位置する吸引位置（図中２点鎖線で示す位置）と、
本体１０上のカバープレート１６に形成された点着孔１
９の上方に位置する点着位置（図中実線で示す位置）と
の間を、移動自在となっている。点着孔１９の下方には
、搬送・挿入手段４０によってカートリッジ１１から受
側プ取られてレール４９上を搬送された後、試料液を点
着させるための所定位置（第２図で実線Ｙで示す位置）
に置かれたスライド１の試薬層が位置するようになって
おり、点着位置においては点着チップ３５の先端は、こ
のスライド１の試薬層の上方に位置する。このため、自
動点＠装置５０によって、試料容器５２内の試料が、吸
引位置において点着チップ３５内に吸引され（この点着
チップ内への吸引作動および点着アーム３０の構造詳細
については後述する）、点着位置において上記Ｙで示す
位置に搬送されたスライド１の試１層上へ点着供給され
る。この後、搬送・挿入手段４０はレール４９上を横方
向（矢印Ｃ方向）に移動して、インキュベータ２０の所
定の収納室２１と対向し、この収納室２１内へスライド
１が挿入された後、このインキュベータ２０により恒温
保持（インキュベーション）される。この恒温保持（イ
ンキュベーション）の間に、収納室の下方に移動した読
取りヘッドによりスライド１への照射光の照射およびそ
の反射光学濃度が測定され、スライド１の試薬層へ点着
された試料の化学分析がなされる。そして、これらの測
定が完了するとこの化学分析スライド１は搬送・挿入手
段４０により収納室２１から受は皿２９内に排出される
。以下、上記作動を繰り返すことにより、数多くの化学
分析スライドによる化学分析を自動的に且つ連続的に行
なうことができる。

上記測定を行なうときに、試料容器５２内の試料液を点
着チップ３５内に吸引し、次いでこの点着チップ３５か
らスライド１の試薬層上へ自動的に点着供給するための
自動点着装置５０について、以下に詳細に説明する。

この自動点着装置５０の構成を第３図に示す、このｖ４
置５０は、下端に着脱自在に点着チップ３５が取り付け
られた点着アーム３０、この点着アーム３０を上下動さ
せるチップ上下位置制御手段６０、点着アーム３０を回
動させ点着チップ３５を吸引位置と点着位置との間で移
動させるチップ移動手段７０、およびチップ３５内に連
通しチップ３５内への試料液の吸引およびチップ３５内
からの試料液の吐出、を行なわせる吸引・吐出手段８０
から構成されている。

点着アーム３０は、本体１０に対し回転軸３１ｂを中心
に回動自在なアーム体３１と、回転軸３１ｂと反対側端
部においてアーム体３１に片持ち支持された振動可能な
振動伝達板３２と、該振動伝達板３２に保持されたノズ
ル体３３と、振動伝達板３２に取り付けられた圧電セラ
ミック等からなる振動子３４と、ノズル体３３の下端に
着脱自在に取り付けられた点着チップ３５とからなる。

ノズル体３３は上下に延びる貫通孔を有し、この孔は下
端が点着チップ３５の内空ｔｆｆｉ３５ａと連通し、上
端はホース３６を介してアーム体３１に形成された通路
３１ａに連通ずる。上記振動子３４は外部から印加され
る電気信号によりそれ自体が振動するもので、これによ
り振動伝達板３２が振動し、これに保持されたノズル体
３３および点着チップ３５も同一周波数の振動を受ける
。

この振動子３４への電気信号はコントローラ９０から送
られるのであるが、このコントローラ９０の働ぎを第４
図のブロック図を用いて説明する。振動子３４への電気
信号は、のこぎり波発生器９１から電圧制ｔ１］発娠器
９２を介して出力される正弦波状の信号であり、これに
より振動子３４は所定周波数範囲く例えば、０〜ＩＫＩ
−１７＞をスィーブするように周波数を変化させながら
正弦波状に振動する（すなわち、振動子３４の振幅は時
間の正弦関数となる入すなわち、のこぎり波発生器９１
、電圧制御発振器９２および振動子３４とにより図示の
ごとく正弦波振動付与および周波数制御をなす回路が構
成される。

この振動子３４の１ｔｉａは振動伝達板３２を介してノ
ズル体３３および点着チップ３５に伝えられ、これらも
同様に正弦波状に振動する。なお、ホース３６はフレキ
シブルなものなので、ホース３６からアーム体３１への
撮動伝達はほとんどない。このようにして振動子３４が
振動するときに、上記周波数制御回路中に１Ｆ！動子３
４と直列に配された固定抵抗９３の両端の電圧（Ｖ）が
測定され、これが整流・平滑回路９４により整流されて
平滑化された後、アンプ９５により増幅されて極値検知
手段９６に送られる。この極値検知手段９Ｇは上記スイ
ープされる周波数に対応して振動子３４の出力電圧（Ｖ
）を検知するもので、両者の関係は例えば第６図に実線
で示すようになる（なお、図では電圧（Ｖ）と周波数の
関係を示すが、電圧と電流は比例関係にあるので、電圧
に代えて電流を用いてもよい）。すなわち、振動伝達板
３２、ノズル体３３および点者チップ３５の固有賑初数
との関係から、ある周波数に対して電圧（Ｖ）は極大値
Ｑおよび極小値Ｐを有する関係が得られる。

この極値ＰＸＱの位置は点着チップ３５の下端が試料容
器５２の試料液液面から離れている場合には、点者アー
ム３０の上下動に拘らず一定であるが、点者チップ３５
の下端が試料液液面に接触すると試料液の抵抗を受けて
共撮点が変化するため、例えば第６図で破線で示すよう
に周波数に対する電圧（Ｖ）の値が変化し、極値Ｐ、Ｑ
はＰ’　、Ｑ’の位置に移動する。このため、極値検知
手段９６においては点着チップ３５の下端が液面から離
れているときの極値Ｐ、Ｑを記憶しておき、チップ上下
位置制御手段６０によって点着アーム３０が下動されて
いる間での極値を継続して検知し、この検知極値と記憶
極値とを比較回路９７において比較し、この極値の変化
の有無により点着デツプ３５の下端と液面との接触の有
無を検知し、液面位置を検出するようになっている。こ
の場合において、振動子３４により付与される振動は正
弦波状の振動であるため、上記ｉ値の変化は他の振動波
（例えば、矩形波、三角波等）の場合に比べて大きく、
液面位置の検出が容易である。この液面との接触の有無
の検知に応じ、モータ作動制御回路９８および９９から
上下位置制御手段６０のパルスモータ６１および吸引・
吐出手段８０のピストン駆動モータ８１へ作動制御信号
が送られ、点着アーム３０の上下動制御および点着チッ
プ３５への試料液の吸引・吐出制御がなされる。

チップ上下位置制御手段６０は、本体１０に取り付けら
れたパルスモータ６１と、このパルスモータ６１の回転
軸にカップリング６２を介して連結された駆動体６３と
、駆動体６３に形成された側ネジ６３ａに噛合う雄ネジ
６４ｂを有する被動体６４とからなる。被動体６４は、
矢印ＩＶ　−ＩＶに沿った断面を示す第４図に示すよう
に、本体１０の突起１０ａと緩く嵌合する凹部６４ａを
有し、本体１０に対して上下動自在であるが、回転は阻
止されるようになっている。さらに、この被動体６４の
上部に互いに相対回転自在に点者アーム３０の回転軸３
１ｂが連結されている。このため、パルスモータ６１に
より駆動体６３が回転されると、被動体６４は回転が阻
止されているので駆動体とのネジ噛合い量が変化し、被
動体６４が上下動され、このとぎ被動体６４に連結され
た点着アーム３０の回転軸３１ｂも上下動されるように
なっている。

チップ移動手段７０は、本体１０に取り付けられた回動
モータ７１と、この回動モータ７１の回転軸にカップリ
ング７２を介して連結された駆動ギヤ７３と、この駆動
ギヤ７３に噛合うとともに駆動ギヤ７３に対して上下移
動可能な被動ギヤ７４とからなり、被動ギヤ７４は点着
アーム３０の回転軸３１ｂに同軸に固設されている。点
着アーム３０の回転軸３１ｂは本体１０に回転自在に支
持されており、このため、回動モータ１１を回転駆動さ
せると、この回転はカップリング１２、駆動ギヤ７３お
よび被動ギＡ７７４を介して回転軸３１ｂに伝えられる
。これによって点着アーム３０は回転軸３１ｂを中心に
回転され、点着アーム３０の先端に取り付けられた点着
チップ３５を吸引位置と点着位置との閘で移動させるこ
とができるようになっている。

吸引・吐出手段８０は、回転軸上にカム板８２を有する
ピストン駆動モータ８１と、このカム板８２とリンク８
３を介して連結されるピストンロッド８４と、このピス
トンロッド８４の先端に取り付けられたピストン８４ａ
が嵌入されるシリンダ８５と、点着アー・　ム３０内に
形成され点着チップ３５内の空間３５ａにホース３６お
よびノズル体３３を介して連通する通路３１ａを、シリ
ンダ８５内の空間８６に連通させるフレキシブルホース
８７とからなる。ピストン駆動モータ８１の回転運動は
リンク８３によってピストンロッド８４の往復運動に変
えられ、この′ために生ずるピストン８５の往復運動に
よってシリンダ内空間８６の容積が変化し、これがフレ
キシブルホース８７および点着アーム３０内の通路３１
ａ＠を介して点着チップ内空間３５ａに伝えられ、点着
チップ内空間３５ａへの試料液の吸入もしくは吐出がな
されるようになっている。

以上のように構成した自動点着＠置の作動について説明
する。まず、試料液を入れた試料容器５２を置き、コン
トローラ９０の周波数制御回路からの信号により振動子
３４を発振させる。次いで、チップ上下位置制御手段６
０を作動させて、吸引位置にある点着アーム３０ととも
にこのアーム３０の先端に取付けられた点着チップ３５
を下動させる。点着チップ３５が所定距離だけ下動され
点着チップ３５の下端が試料容器５２内の試料液の液面
に接触すると、第６図で示したように撮動子３４の出力
電圧（Ｖ）の極値Ｐ、ＱはＰ’　、Ｑ’　に変化する。

このためこの変化を検出することにより、点着チップ３
５と試料液の接触を確実に検知できる。なお、点着チッ
プ３５の下端の液内への挿入深さに応じ、もとの極ｆｉ
ｌＰＳＱに対する変化後の極値Ｐ’　、Ｑ’の変化量が
異なるため、この変化量によって挿入深さを検知するこ
とも可能である。このようにすれば、′　例えば液面に
泡があって液面位置が見にくいときでも点着チップ３５
の下端と試料液との接触を確実に検知できる。

次いで、このようにして点着チップ３５を試料液の液面
と接触した位置から所定＠ｈだけ下動させ、点着チップ
３５の下端を所定深さｈだけ試料液内へ挿入させる。な
お、この所定深ざｈは点着チップ３５の下端外周への付
着試料液量を少なくするため、できる限り浅くするのが
望ましい。この後、吸引・吐出手段８０を作動させてピ
ストン８４ａを動かせ、点ｎチップ３５の空間３５ａ内
へ試料液を所定量だけ吸引させる。

以上のようにして点着チップ３５内の空間３５ａに規定
量の試料液を吸引すると、チップ上下位置制御手段６０
によって点着アーム３０が上動されて点着チップ３５が
持ら上げられる。この後、チップ移動手段７０によって
点着アーム３０が回転軸３１ａを中心に回動され、点着
チップ３５は吸引位置から点ｎ位置へ移動される。次い
で、点着チップ３５はチップ上下位置＄ＩＪｔｉｌ１手
段６０によって下動され、その先端がスライド１の試薬
層部の上方近傍に位置すると、吸引・吐出手段８０の作
用によって点着チップ３５内の試料液がゆっくり吐出さ
れ点着チップ３５の下端に液域が形成される。そして、
このまま点着チップ３５が下降し、液域はスライド１の
試薬層部上に点着供給されるこの後、点着チップ３５を
上動させれば試料液の点着は完了する。

以上においては、化学分析スライドの試薬層上に試料液
を自動的に点着供給する自動点着装置において、点着チ
ップ３５と試料液との接触を検出して、試料液の液面位
置を検出する液面検出装置について説明したが、本発明
の液面検出装置は上記の例に限るものではなく、種々の
液体の液面位置の検出に用いることができるのは熱論の
ことである。

（発明の効果） 以上説明したように本発明によれば、吸引体上に振動伝
達板を介して保持されたノズル部材が、振動付与手段（
振動子）により所定周波数の振動をスィーブされて付与
され、且つこのスィーブされた周波数に対応する撮動付
与手段の出力電圧（電流）の極値を検出する、すなわち
、インピーダンスの極値を検出するようになっているの
で、この極値の変化を検知すればノズル手段の下端が試
料液に接触したか否かを検知でき液面の検出を行なうこ
とができるのであるが、特に本発明においては、上記振
動付与手段により付与される振動が正弦波状の振動であ
るので、ノズルの下端が試料液に接触してこの試料液内
に挿入されるときに生じる上記極値の変化量が大きく、
このため上記変化の検出が容易であり、液面の検出を確
実に行なえる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る液面検出装置を有する化学分析装
置を示す斜視図、 第２図は上記化学分析装置をカバープレートを取り外し
て示す平面図、 第３図は上記化学分析装置を構成する自動点着ＷＡ置の
１例を示す概略断面図、 第４図は第３図の矢印ＩＶ　−ＩＶに沿った断面図、第
５図は本発明の液面検出装置に用いるコントローラの作
動を示すブロック図、 第６図は本発明の液面検出！！ｉ置において検知される
周波数と電圧との関係を示すグラフである。 １０・・・本体　　　　　　　１１・・・カートリッジ
１６・・・カバープレート　　２０・・・インキュベー
タ３０・・・点着アーム　　　　３２・・・振動伝達板
３３・・・ノズル休　　　　　３４・・・振動子３５・
・・点着チップ　　　　４０・・・搬送・挿入手段５０
・・・自動点着装置 ６０・・・チップ上下位置制御手段 ８０・・・吸引・吐出手段　　９０・・・コントローラ
９１・・・のこぎり波発生器 ９２・・・電圧制御発振器 第１図 第３図 第４図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）試料液が入れられた試料容器と、該試料容器の上方
   に位置し、下端に吸引用ノズル部材を有する吸引体と、
   該吸引体を上下動させる上下位置制御手段とからなる試
   料液吸引装置において、 上記ノズル部材を上記吸引体に対して保持する振動可能
   な振動伝達板と、該振動伝達板に保持された上記ノズル
   部材に所定の周波数を有した正弦波状の振動を付与する
   振動付与手段と、該振動付与手段による上記ノズル部材
   への付与振動の周波数を変化させる周波数制御回路と、
   上記振動付与手段のインピーダンスの変化を検出し、上
   記周波数の変化に対応する上記インピーダンスの極値を
   検知する極値検知手段とからなり、 該極値検知手段による検知された極値の変化に基づいて
   上記ノズル部材と試料液との接触を検出し、試料液の液
   面位置を検出する接触検知手段を設けたことを特徴とす
   る液面検出装置。