JPS63162038A - 洗浄水置換方法 - Google Patents
洗浄水置換方法Info
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- JPS63162038A JPS63162038A JP61308300A JP30830086A JPS63162038A JP S63162038 A JPS63162038 A JP S63162038A JP 61308300 A JP61308300 A JP 61308300A JP 30830086 A JP30830086 A JP 30830086A JP S63162038 A JPS63162038 A JP S63162038A
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B7/00—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass
- B08B7/0035—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass by radiant energy, e.g. UV, laser, light beam or the like
- B08B7/0057—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass by radiant energy, e.g. UV, laser, light beam or the like by ultraviolet radiation
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
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- B08B7/0064—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass by temperature changes
- B08B7/0071—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass by temperature changes by heating
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明は精密洗浄方法に係り、特にガラスや金属膜表面
の洗浄水置換方法に関する。
の洗浄水置換方法に関する。
（従来の技術）
従来、精密洗浄における洗浄水の置換は、フカ＼
レオンとか７レオン＋アルコールと％（ＩＰＡナトのア
ルコールによる方法が広く用いられている。例ｔば半導
体装置の製造におけるマスクのガラス板の精密洗浄にお
いては、過酸化水素と硫酸との混合液に浸すとか、過酸
化水素に浸した後硫酸に浸して強酸で汚染物質を分解し
た後、十分に水洗を行なう。この場合汚れの徨類によっ
ては、界面活性剤を使用する場合もある。その後十分に
水洗してＩＰＡ中でリンスし、ＩＰＡ蒸気蒸気水洗水の
置換を行なう。
ルコールによる方法が広く用いられている。例ｔば半導
体装置の製造におけるマスクのガラス板の精密洗浄にお
いては、過酸化水素と硫酸との混合液に浸すとか、過酸
化水素に浸した後硫酸に浸して強酸で汚染物質を分解し
た後、十分に水洗を行なう。この場合汚れの徨類によっ
ては、界面活性剤を使用する場合もある。その後十分に
水洗してＩＰＡ中でリンスし、ＩＰＡ蒸気蒸気水洗水の
置換を行なう。
上述のＩＰＡによる洗浄水の置換乾燥における問題点と
して、ＩＰＡ蒸気の防火対策と、ＩＰＡのガラス表面へ
の吸着などがある。すなわちＩＰＡは可燃物であり、出
火の危険性があるので、工場設備とか、ＩＰＡの乾燥装
置も化学工場並みになり、コスト的にも安全の面でも好
ましくない。しかし、これにもかかわらずＩＰＡが使用
されるのは、その「ぬれ性」がよい点にある。いま、ガ
ラス板を過酸化水素に浸漬し、次に硫Ｍ、に浸漬後十分
洗浄水で洗い、ブラシでスクランブルした後、（イ）Ｉ
ＰＡ蒸気で洗浄水置換を行った場合ｓ＋（ロ）７レオン
リンスに浸漬後フレオン蒸気で水置換した場合、（ハ）
フレオン蒸気だけで水置換した場合の「ぬれ性」を、ガ
ラス板と水滴との接触角により比較した結果第２図のよ
うになった。本図は横軸に処理項目（イ）、（ロルヒ→
をとり、縦軸に接触角（、度）をとったものである。こ
れによれば（イ）項、すなわちＩＰＡ処理したものが「
ぬれ性」がすぐれ、清浄度が高く、７レオンを使用した
ものはＩＰＡに比べ接触角が大きく、清浄度は低いと考
えられる。
して、ＩＰＡ蒸気の防火対策と、ＩＰＡのガラス表面へ
の吸着などがある。すなわちＩＰＡは可燃物であり、出
火の危険性があるので、工場設備とか、ＩＰＡの乾燥装
置も化学工場並みになり、コスト的にも安全の面でも好
ましくない。しかし、これにもかかわらずＩＰＡが使用
されるのは、その「ぬれ性」がよい点にある。いま、ガ
ラス板を過酸化水素に浸漬し、次に硫Ｍ、に浸漬後十分
洗浄水で洗い、ブラシでスクランブルした後、（イ）Ｉ
ＰＡ蒸気で洗浄水置換を行った場合ｓ＋（ロ）７レオン
リンスに浸漬後フレオン蒸気で水置換した場合、（ハ）
フレオン蒸気だけで水置換した場合の「ぬれ性」を、ガ
ラス板と水滴との接触角により比較した結果第２図のよ
うになった。本図は横軸に処理項目（イ）、（ロルヒ→
をとり、縦軸に接触角（、度）をとったものである。こ
れによれば（イ）項、すなわちＩＰＡ処理したものが「
ぬれ性」がすぐれ、清浄度が高く、７レオンを使用した
ものはＩＰＡに比べ接触角が大きく、清浄度は低いと考
えられる。
この結果からも、後の工程のレジスト塗布などのために
は、フレオンでは接触角が大きく（ぬれ性がよくない）
密着性、ピンホールなどの点で好ましくないのである。
は、フレオンでは接触角が大きく（ぬれ性がよくない）
密着性、ピンホールなどの点で好ましくないのである。
フレオンにアルコールヲ少量混ぜる方法もあるが、使用
中にアルコールとフレオンの比率が変化し表面が一定の
状態になりに＜＜、量産での使用には適さない。またＩ
ＰＡもレジスト塗布については問題はないが、さらに微
量の雑イオンなどを除去する必要がある場合は、そのガ
ラス而の吸着が問題になる。
中にアルコールとフレオンの比率が変化し表面が一定の
状態になりに＜＜、量産での使用には適さない。またＩ
ＰＡもレジスト塗布については問題はないが、さらに微
量の雑イオンなどを除去する必要がある場合は、そのガ
ラス而の吸着が問題になる。
（発明が解決しようとする問題点）
上述したように、ＩＰＡを用いた洗浄水の置換・法は、
高い清浄度のものが得られるが、ＩＰＡは丁燃物なので
、設備が化学工場並みになる不都合≦あり、一方安全な
フレオンを用いた場合は、十７りな清浄度が得られない
不都合がある。
高い清浄度のものが得られるが、ＩＰＡは丁燃物なので
、設備が化学工場並みになる不都合≦あり、一方安全な
フレオンを用いた場合は、十７りな清浄度が得られない
不都合がある。
本発明は、上述の不都合を除去するためになされたもの
で、安全で、しかも十分な清浄度が得ら・、る洗浄水置
換方法を提供することを目的とする。
で、安全で、しかも十分な清浄度が得ら・、る洗浄水置
換方法を提供することを目的とする。
（問題点を解決するための手段と作用）本発明はガラス
基板や金属基板などの被洗浄物の表面を薬品洗浄した後
の洗浄水置換方法にお１て、 フレオンリンスまたはフレオン蒸気により上記洗浄水の
置換を行なった後被洗浄物を１５０℃以上に刀口熱し酸
素またはイナートガスの存在下で上記被洗浄物の表面に
紫外線を照射することを特徴とす・シ洗浄水置換方法で
ある。
基板や金属基板などの被洗浄物の表面を薬品洗浄した後
の洗浄水置換方法にお１て、 フレオンリンスまたはフレオン蒸気により上記洗浄水の
置換を行なった後被洗浄物を１５０℃以上に刀口熱し酸
素またはイナートガスの存在下で上記被洗浄物の表面に
紫外線を照射することを特徴とす・シ洗浄水置換方法で
ある。
すなわち、安全な７レオンの使用により高価な設備を不
要とし、被洗浄物を１５０’０以上に保って紫外線オゾ
ン洗浄法を行なってより胃い清浄度を得るようにした洗
浄水置換方法である。なお、レジスト塗布などには１５
０°Ｃ以上に加熱しないとピンホールが発生し好ましく
ない〇 （実施例） 以下、本発明の詳細を第３図を参照して一実施例により
説明する。
要とし、被洗浄物を１５０’０以上に保って紫外線オゾ
ン洗浄法を行なってより胃い清浄度を得るようにした洗
浄水置換方法である。なお、レジスト塗布などには１５
０°Ｃ以上に加熱しないとピンホールが発生し好ましく
ない〇 （実施例） 以下、本発明の詳細を第３図を参照して一実施例により
説明する。
被洗浄物はガラス基板である。”まず洗浄水の置換乾燥
を爆発の危険のないフレオンで行なう。この場合、はう
水性のあるフレオンを吸着するので水滴の接触角は２０
度前後となる。この後、空気中で低圧水銀ランプにより
７レオンの分解を行なう。
を爆発の危険のないフレオンで行なう。この場合、はう
水性のあるフレオンを吸着するので水滴の接触角は２０
度前後となる。この後、空気中で低圧水銀ランプにより
７レオンの分解を行なう。
その際赤外ａ照射とかホットプレートでガラス基板の温
度を１５０℃以上に保ち、紫外縁ランプの距離を２０１
１１以下にして５〜１０分間照射する。ただし、紫外線
ランプは６５ＷＵ字雪東芝電材株式会社展である。
度を１５０℃以上に保ち、紫外縁ランプの距離を２０１
１１以下にして５〜１０分間照射する。ただし、紫外線
ランプは６５ＷＵ字雪東芝電材株式会社展である。
紫外線ランプの適正照射条件は、ランプ出力。
波長、汚染油脂類の種類などによって異なるが、いずれ
の場合でも１５０’Ｏ以上に保ちながら５分程度の照射
を行なうことで、ガラス基板の表面は十分に清浄化され
る。
の場合でも１５０’Ｏ以上に保ちながら５分程度の照射
を行なうことで、ガラス基板の表面は十分に清浄化され
る。
なお、紫外線十オゾン（０３）による有機物の浄化につ
いては、原理的に不明の点が多いが、次のように理解さ
れている。
いては、原理的に不明の点が多いが、次のように理解さ
れている。
紫外Ｗ （１８４，９ｎｍ） 十〇、−＋ Ｏ−）−０
、０，十〇 −） ０． 。
、０，十〇 −） ０． 。
紫外ｍ （２５３，７ｎｍ） ＋ ｏ、→Ｏ＋０゜→Ｃ
ｏ、、 ＣＯ、Ｈ，０ すなわち、１８４．９ｎｍの光でＯｌを分解し、０．を
作り、２５３．７１ｍの光で０３を活性酸＊（０町とＯ
！にする。
ｏ、、 ＣＯ、Ｈ，０ すなわち、１８４．９ｎｍの光でＯｌを分解し、０．を
作り、２５３．７１ｍの光で０３を活性酸＊（０町とＯ
！にする。
２５３．７ｎｍの光は、ＣｎＨｍＯｘを分解し、これが
ＯＳ、Ｏ。
ＯＳ、Ｏ。
と反応し、ＣＯ２，Ｃｏ、 Ｈ，Ｏとして除去される。
（有機物Ｃ＝Ｃ，Ｃ−Ｃ，ＣＯ，ＣＨ，ＣＨ，、ＯＲな
どの結合エネルギーよす２５３．７ｎｍのエネルギーの
方が大きい。）このように、フレオンの吸着により「ぬ
れ性」は悪くなるが、紫外線とオゾンによりフレオンを
分解することにより、接触角１０度以下の清浄面を作る
ことができる。また加熱することにより、汚染物質の分
子振動が活発になり、反応が促進されるので、紫外線照
射時間が大幅に短縮される。
どの結合エネルギーよす２５３．７ｎｍのエネルギーの
方が大きい。）このように、フレオンの吸着により「ぬ
れ性」は悪くなるが、紫外線とオゾンによりフレオンを
分解することにより、接触角１０度以下の清浄面を作る
ことができる。また加熱することにより、汚染物質の分
子振動が活発になり、反応が促進されるので、紫外線照
射時間が大幅に短縮される。
ｗＪｔ図はこの結果を示すが、本図は横軸に加熱温度を
、縦軸に接触角をとった線図である。曲線Ａが示すよう
に、紫外線照射のみでは接触角が６０度であるが、１５
０’Ｏの加熱により接触角が３０度前後になっている。
、縦軸に接触角をとった線図である。曲線Ａが示すよう
に、紫外線照射のみでは接触角が６０度であるが、１５
０’Ｏの加熱により接触角が３０度前後になっている。
本実施例においては、酸素の存在下に紫外線照射を行っ
たが、イナートガスの存在下でも同様な効果があり、ま
た紫外線をパルス状に照射してもよく、さらにまた、紫
外線照射の前または後にも加熱してもよいことはもちろ
んである。
たが、イナートガスの存在下でも同様な効果があり、ま
た紫外線をパルス状に照射してもよく、さらにまた、紫
外線照射の前または後にも加熱してもよいことはもちろ
んである。
以上詳述したように、本発明の洗浄水置換方法は、フレ
オンまたは７レオン蒸気により洗浄水の置換をしたので
、１めて安全で設備も安価でよい。また、紫外線照射に
際しては温度も高くしたので、反応が活発となり短時間
で高い清浄度のものを得ることができる。
オンまたは７レオン蒸気により洗浄水の置換をしたので
、１めて安全で設備も安価でよい。また、紫外線照射に
際しては温度も高くしたので、反応が活発となり短時間
で高い清浄度のものを得ることができる。
第１図は本実施例における紫外線照射時の温度とぬれ性
とを比較した線図、第２図は洗浄物質とこれにより得ら
れるぬれ性の比較図である。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 竹 花 喜久男
とを比較した線図、第２図は洗浄物質とこれにより得ら
れるぬれ性の比較図である。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 竹 花 喜久男
Claims (1)
- ガラス基板や金属基板などの被洗浄物の表面を薬品洗浄
した後の洗浄水置換方法において、フレオンリンスまた
はフレオン蒸気により上記洗浄水の置換を行なった後被
洗浄物の温度を１５０℃以上に保ち酸素またはイナート
ガスの存在下で上記被洗浄物の表面に紫外線を照射する
ことを特徴とする洗浄水置換方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61308300A JPS63162038A (ja) | 1986-12-26 | 1986-12-26 | 洗浄水置換方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61308300A JPS63162038A (ja) | 1986-12-26 | 1986-12-26 | 洗浄水置換方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63162038A true JPS63162038A (ja) | 1988-07-05 |
Family
ID=17979386
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61308300A Pending JPS63162038A (ja) | 1986-12-26 | 1986-12-26 | 洗浄水置換方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63162038A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0310092A (ja) * | 1989-06-06 | 1991-01-17 | Showa Alum Corp | コイル状金属材の脱脂方法 |
| JPH04369382A (ja) * | 1991-06-14 | 1992-12-22 | Hikari Dento Kogyosho:Yugen | 表面処理加工を行った金属の乾燥方法 |
| JPH06510621A (ja) * | 1990-11-09 | 1994-11-24 | ベル コミュニケーションズ リサーチ インコーポレーテッド | 再充電可能な薄膜状リチウム含有のインターカレーション電極電池 |
| JPH0813175A (ja) * | 1994-06-28 | 1996-01-16 | Hikari Dento Kogyosho:Kk | 表面処理加工を行った金属の乾燥方法、及び表面処理加工を行った金属の乾燥装置 |
-
1986
- 1986-12-26 JP JP61308300A patent/JPS63162038A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0310092A (ja) * | 1989-06-06 | 1991-01-17 | Showa Alum Corp | コイル状金属材の脱脂方法 |
| JPH06510621A (ja) * | 1990-11-09 | 1994-11-24 | ベル コミュニケーションズ リサーチ インコーポレーテッド | 再充電可能な薄膜状リチウム含有のインターカレーション電極電池 |
| JPH04369382A (ja) * | 1991-06-14 | 1992-12-22 | Hikari Dento Kogyosho:Yugen | 表面処理加工を行った金属の乾燥方法 |
| JPH0813175A (ja) * | 1994-06-28 | 1996-01-16 | Hikari Dento Kogyosho:Kk | 表面処理加工を行った金属の乾燥方法、及び表面処理加工を行った金属の乾燥装置 |
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