JPS63161599A - 不揮発性半導体メモリ - Google Patents
不揮発性半導体メモリInfo
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- JPS63161599A JPS63161599A JP61307949A JP30794986A JPS63161599A JP S63161599 A JPS63161599 A JP S63161599A JP 61307949 A JP61307949 A JP 61307949A JP 30794986 A JP30794986 A JP 30794986A JP S63161599 A JPS63161599 A JP S63161599A
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 4
- 230000004044 response Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 206010000060 Abdominal distension Diseases 0.000 description 2
- 208000024330 bloating Diseases 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 239000002784 hot electron Substances 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
(産業上の利用分野)
本発明は、ゲート絶縁膜中に電荷捕獲手段をもったIG
−FET (絶縁ゲート型電界効果トランジスタ)をメ
モリ・セルとする不揮発性半導体メモリに関する。
−FET (絶縁ゲート型電界効果トランジスタ)をメ
モリ・セルとする不揮発性半導体メモリに関する。
(従来の技術)
ゲート絶縁膜中に電荷捕獲手段を有するIG−FETよ
り構成されるメモリ・セルを有する不揮発性メモリとし
てUVEPROM (ultra violet er
asableprogrammable read
only memory)。
り構成されるメモリ・セルを有する不揮発性メモリとし
てUVEPROM (ultra violet er
asableprogrammable read
only memory)。
1!EPROM(elactrially erasa
ble and prograa++mablerea
d only memory)がある。
ble and prograa++mablerea
d only memory)がある。
電荷捕獲手段としては、ゲート絶縁膜中のブローティン
グ・ゲート、あるいはゲート絶縁膜中のトラップを利用
する。電荷捕獲手段への電荷の注入あるいは放出はトン
ネル電流あるいはホット・エレクトロンによる。電荷捕
獲手段への電荷の注入あるい<i放出によって、前記I
G−Ft!Tのしきい値を変化させることにより、メモ
リ・セルにデータを記憶させるのであるが、通常このメ
モリ・セルにデータをプログラムさせる時間は数ミリ秒
から数十ミリ秒の時間を要し、この時間の間1通常のE
PROM IIEEPRONのアクセスを受は付けるこ
とができなかった。
グ・ゲート、あるいはゲート絶縁膜中のトラップを利用
する。電荷捕獲手段への電荷の注入あるいは放出はトン
ネル電流あるいはホット・エレクトロンによる。電荷捕
獲手段への電荷の注入あるい<i放出によって、前記I
G−Ft!Tのしきい値を変化させることにより、メモ
リ・セルにデータを記憶させるのであるが、通常このメ
モリ・セルにデータをプログラムさせる時間は数ミリ秒
から数十ミリ秒の時間を要し、この時間の間1通常のE
PROM IIEEPRONのアクセスを受は付けるこ
とができなかった。
従来技術の一例としてFlotox(floating
gatetunnei oxide)構造のセルを有
するEEPROMを示す。
gatetunnei oxide)構造のセルを有
するEEPROMを示す。
Flotox構造の1つのセルを第2図に示す。コント
ロールゲート51とうすい酸化膜でつくられたトンネル
領域52の直下のn+領域53との間に高い電場をかけ
ることにより、フローティング・ゲート54とトンネル
領域直下のn十領域との間でFouler−Nordh
sin電流を流すことによりフローティング・ゲートへ
の電子の注入、フローティング・ゲートからの電子の放
出を行なう、55は選択ゲート電極である。
ロールゲート51とうすい酸化膜でつくられたトンネル
領域52の直下のn+領域53との間に高い電場をかけ
ることにより、フローティング・ゲート54とトンネル
領域直下のn十領域との間でFouler−Nordh
sin電流を流すことによりフローティング・ゲートへ
の電子の注入、フローティング・ゲートからの電子の放
出を行なう、55は選択ゲート電極である。
Flotox@造のセルをEEFROMのシステムに組
み込んだ図を第4図に示す、セル部の詳細図を第3図に
示すm 1wordは4 bitで構成されている。第
3図には第2図のセルの等価回路図も示されている。
み込んだ図を第4図に示す、セル部の詳細図を第3図に
示すm 1wordは4 bitで構成されている。第
3図には第2図のセルの等価回路図も示されている。
入力アドレス^1,1・・・Anが行アドレス・バッフ
ァ5aに入力し1行デコーダ6でデコードされて行線R
5工・・・R5,の1本R5I (iは1・・・rのう
ちの何れか)を選択して“H”とする。″H”となった
行線R3,のみVPP転送ゲート回路12によってプロ
グラム電圧VPPまで充電される。
ァ5aに入力し1行デコーダ6でデコードされて行線R
5工・・・R5,の1本R5I (iは1・・・rのう
ちの何れか)を選択して“H”とする。″H”となった
行線R3,のみVPP転送ゲート回路12によってプロ
グラム電圧VPPまで充電される。
入力アドレスA0・・・Amが列アドレス・バッファ3
aに入力し列デコーダ4でデコーダされて1列線C8□
・・・C3cのうち1本を選択してH”しする。
aに入力し列デコーダ4でデコーダされて1列線C8□
・・・C3cのうち1本を選択してH”しする。
tt Hvpとなった列線C3j(jは1・・・Cのう
ちの何れか)のみvpp転送ゲート回路9によってプロ
グラム電圧VPPまで充電される。同様にCG、・・・
CGcのうちの1本CGJが選択される。
ちの何れか)のみvpp転送ゲート回路9によってプロ
グラム電圧VPPまで充電される。同様にCG、・・・
CGcのうちの1本CGJが選択される。
以上により行線R5,と列線C5Jの交点にあるメモリ
・セル・ブロックが選択される。
・セル・ブロックが選択される。
まず、消去動作を行なう。
選択されたCGJはVPP転送ゲート回路10によって
プロゲラ、ム電圧VPPまで充電される。
プロゲラ、ム電圧VPPまで充電される。
R3iがVPPレベルであるためデプレッションライブ
(7)MOSFET Qo&:、、よ5JcctJニは
プログラム電圧Vppが充電される。
(7)MOSFET Qo&:、、よ5JcctJニは
プログラム電圧Vppが充電される。
消去時各工へ線は接地レベルとなっている。したがって
選択されたメモリ・セルのトンネル領域下のn” NL
Jo=Nljaは接地レベルとなっている。
選択されたメモリ・セルのトンネル領域下のn” NL
Jo=Nljaは接地レベルとなっている。
したがってコントロール・ゲートCGL、がVPPでト
ンネル領域直下のn+が接地レベルであるため、フロー
ティング・ゲートに電子が注入される。
ンネル領域直下のn+が接地レベルであるため、フロー
ティング・ゲートに電子が注入される。
書き込み動作に移るとCGjは接地レベルとなる。
すなわちフロントロール・ゲートCG、Jは接地レベル
となる。Wが“Hptレベルとなりデータ入力バッファ
1aがI10線へ転送される。′H”レベルのI10線
のみVPP転送ゲート回路7によってVPPまで充電さ
れるC3JはVPPレベルであるからIlo、はrHJ
IlolはrLJであったとするとBJa t NiJ
+は(Vpp−Vth)V BJleNijzはOVト
なる。
となる。Wが“Hptレベルとなりデータ入力バッファ
1aがI10線へ転送される。′H”レベルのI10線
のみVPP転送ゲート回路7によってVPPまで充電さ
れるC3JはVPPレベルであるからIlo、はrHJ
IlolはrLJであったとするとBJa t NiJ
+は(Vpp−Vth)V BJleNijzはOVト
なる。
したがッテ、NIJaは(VPP−Vth)V :I
:/トロール・ゲートCGIJ OVであるためフロー
ティング・ゲートFG1jaから電子が放出される。こ
れに対してNiJ□p CGIJはともにOvであるた
めブローティング・ゲートF(lJzは消去時のままで
電子が残る。
:/トロール・ゲートCGIJ OVであるためフロー
ティング・ゲートFG1jaから電子が放出される。こ
れに対してNiJ□p CGIJはともにOvであるた
めブローティング・ゲートF(lJzは消去時のままで
電子が残る。
以上のようにしてプログラムされるわけであるが、プロ
グラム中、I/(>線は1つの選択されたメモリ・セル
・ブロックに専有されている。
グラム中、I/(>線は1つの選択されたメモリ・セル
・ブロックに専有されている。
上記の説明はFlotox構造の[EIl!PRONに
よってなされたわけではあるが、MNOSを用いたHE
FROMあるいは、EPttOMにおいても、Iへ線が
ビット線Bハ(k=1.2,3.j=1・・・C)にカ
ラム・ゲート8を介して接続してI10線からVPPレ
ベルを充電することやデータのラッチ回路1bがビット
線に対してカラム・ゲート8の外側にあること、あるい
は列アドレスのラッチ回路3bが列アドレスバッファに
接続されていれば、同じようにプログラム期間中I10
線は1つのメモリ・ブロックに専有されたままとなる。
よってなされたわけではあるが、MNOSを用いたHE
FROMあるいは、EPttOMにおいても、Iへ線が
ビット線Bハ(k=1.2,3.j=1・・・C)にカ
ラム・ゲート8を介して接続してI10線からVPPレ
ベルを充電することやデータのラッチ回路1bがビット
線に対してカラム・ゲート8の外側にあること、あるい
は列アドレスのラッチ回路3bが列アドレスバッファに
接続されていれば、同じようにプログラム期間中I10
線は1つのメモリ・ブロックに専有されたままとなる。
(発明が解決しようとする問題点)
本発明は、EFROM、 EEFROMにおいてプログ
ラム中は外部からアクセスできないという点に対して、
プログラム実行中のメモリ・セルと同一の行アドレスを
もつメモリ・セルに関しては読み出し動作を可能とした
ものである。
ラム中は外部からアクセスできないという点に対して、
プログラム実行中のメモリ・セルと同一の行アドレスを
もつメモリ・セルに関しては読み出し動作を可能とした
ものである。
(問題点を解決するための手段)
プログラム動作にはいった時点でのアドレスをラッチす
る手段と入力データをビット線に転送した後、列アドレ
スのラッチを解除し、 I10線とビット線とをきりは
なす手段と、各ビット線には、プログラム時入力データ
に応じてVpp (プログラム電圧)あるいはVss(
接地レベル)を転送する手段と、入力データをラッチす
る手段とプログラム時の列アドレスを記憶する手段とを
有する。
る手段と入力データをビット線に転送した後、列アドレ
スのラッチを解除し、 I10線とビット線とをきりは
なす手段と、各ビット線には、プログラム時入力データ
に応じてVpp (プログラム電圧)あるいはVss(
接地レベル)を転送する手段と、入力データをラッチす
る手段とプログラム時の列アドレスを記憶する手段とを
有する。
(作用)
上記、手段により、プログラム動作にはいった時点でア
ドレスがラッチされ、行アドレスが示す行線が選択され
、列アドレスが示すビット線がI10線に接続され、そ
れにより、入力データがビット線に転送され、ラッチ回
路にラッチされる。
ドレスがラッチされ、行アドレスが示す行線が選択され
、列アドレスが示すビット線がI10線に接続され、そ
れにより、入力データがビット線に転送され、ラッチ回
路にラッチされる。
その時点で列アドレスのラッチは解除されI10線は他
の列アドレスのビット線に接続することが可能となり次
の読み出し動作に備える。そして別の列アドレスが入力
すると、その列アドレスに応じた同一の行アドレスのメ
モリ・セルが選択されて、そのメモリ・セルのデータが
読み出される。プログラム動作に関しては、データがビ
ット線にラッチされていて、かつI10線ときりはなさ
れていて。
の列アドレスのビット線に接続することが可能となり次
の読み出し動作に備える。そして別の列アドレスが入力
すると、その列アドレスに応じた同一の行アドレスのメ
モリ・セルが選択されて、そのメモリ・セルのデータが
読み出される。プログラム動作に関しては、データがビ
ット線にラッチされていて、かつI10線ときりはなさ
れていて。
各ビット線ごとにVpp(プログラム電圧)あるいはV
ss(接地レベル)をデータに応じて転送する回路が設
けられているため、読み出し動作とは無関係に続行され
る。
ss(接地レベル)をデータに応じて転送する回路が設
けられているため、読み出し動作とは無関係に続行され
る。
(実施例)
従来技術の項と同じ< Flotox構造のメモリ・セ
ルを有するEEFROMに適用した場合を示す。
ルを有するEEFROMに適用した場合を示す。
システム図は第1図に示しである。従来例の第4図に対
応する部分は同じ番号で示しである。
応する部分は同じ番号で示しである。
行アドレスに関しては従来例と同様であって。
プログラム中行アドレスラッチ回路5bによって行アド
レスはラッチされている。
レスはラッチされている。
列アドレスはAo・・・Amで列アドレス・バッファ3
aに入力し列デユーダ4でデユードされて列線C81・
・・C5cのうち1本C8jを選択して# H#lとす
る。
aに入力し列デユーダ4でデユードされて列線C81・
・・C5cのうち1本C8jを選択して# H#lとす
る。
ここまでは従来例と同様であるがI10線からビット線
へVPpを転送する必要がないのでVpp転送ゲート回
路は列線にはつかない。
へVPpを転送する必要がないのでVpp転送ゲート回
路は列線にはつかない。
さらに、プログラム状態であることを選択されたビット
線に伝えたあとは、次の読み出し動作にそなえて1列ア
ドレスラッチ回路3bのラッチは解除されるようになっ
ている。ただしプログラム状態であることを記憶するレ
ジスタ回路17を各列アドレスごとに設ける。
線に伝えたあとは、次の読み出し動作にそなえて1列ア
ドレスラッチ回路3bのラッチは解除されるようになっ
ている。ただしプログラム状態であることを記憶するレ
ジスタ回路17を各列アドレスごとに設ける。
さて、従来例と同様1行線R3,と列線C5Jの交点に
あるメモリ・セル・ブロックが選択され、プログラム状
態となる。
あるメモリ・セル・ブロックが選択され、プログラム状
態となる。
CGJは従来例とは異なり、列線ではなく前記レジスタ
回路によって選択され、VPP転送ゲート回路10によ
ってプログラム電圧VPPまで充電される。
回路によって選択され、VPP転送ゲート回路10によ
ってプログラム電圧VPPまで充電される。
メモリ・セルに加わる電圧は従来例と何ら変わりはない
。
。
ビット線は消去時には前記レジスタ回路によって選択さ
れて接地レベルとなり、書き込み時にはI10線のレベ
ルはデータ・ラッチ回路15によってラッチされていて
そのレベルがrHJのときは各ビット線ごとにつけられ
ているVPP転送ゲート回路16によってVPPまで充
電され、ラッチ回路の出力のレベルが「L」のときには
、前記回路16によって接地レベルとなる。
れて接地レベルとなり、書き込み時にはI10線のレベ
ルはデータ・ラッチ回路15によってラッチされていて
そのレベルがrHJのときは各ビット線ごとにつけられ
ているVPP転送ゲート回路16によってVPPまで充
電され、ラッチ回路の出力のレベルが「L」のときには
、前記回路16によって接地レベルとなる。
以上のようにプログラム動作はI10線から独立して行
なわれるため、あるメモリ・セルがプログラム状態にあ
っても、同一の行アドレスをもつメモリ・セルならば読
み出しを可能にできる。
なわれるため、あるメモリ・セルがプログラム状態にあ
っても、同一の行アドレスをもつメモリ・セルならば読
み出しを可能にできる。
上記の説明はFlotox構造のEEPROMによって
なされたわけではあるが、MNOSを用いたEEFRO
MあるいはEFROMにおいても各ビット線にVPP転
送ゲート回路を独立に設け、またデータのラッチ回路も
各ビット線毎に設け、さらにプログラム状態であること
を記憶するレジスタ回路が各列線からつくられていれば
よい。
なされたわけではあるが、MNOSを用いたEEFRO
MあるいはEFROMにおいても各ビット線にVPP転
送ゲート回路を独立に設け、またデータのラッチ回路も
各ビット線毎に設け、さらにプログラム状態であること
を記憶するレジスタ回路が各列線からつくられていれば
よい。
以上説明した様に、本発明によればプログラム実行中の
メモリセルと同一の行アドレスを持つメモリセルに対し
読出し動作が可能となり、プログラム中、外部からアク
セスすることができる。
メモリセルと同一の行アドレスを持つメモリセルに対し
読出し動作が可能となり、プログラム中、外部からアク
セスすることができる。
第1図は本発明によるFlotox41造のメモリ・セ
ルを用いた場合のEEFROMのシステム図、第2図は
Flotox構造のメモリ・セルの断面図、第3vAは
第1図に対応したメモリ・セル部の詳細図、第4図は従
来例によるFlotox構造のメモリ・セルを用いた場
合のEEFROMのシステム図である。 図において。 1・・・データ人力バッファ、 2・・・センス・アンプ、データ出カバソファ。 3a・・・列アドレス・バッファ、 3b・・・列アドレスラッチ回路、4・・・列デユーダ
。 5a・・・行アドレス中バッファ、 5b・・・行アドレスラッチ回路、6・・・行デユーダ
。 8・・・カラム・ゲート、lO・・・CG、線用VPP
転送回路、12・・・R5線(行線)用VPP転送回路
。 13・・・メモリ・セル・アレイ、 14・・・ソース・バイアス回路、 15・・・データラッチ回路、 16・・・ビット線用VPP転送回路、17・・・プロ
グラム列アドレス・レジスタ。 7・・・I10線用Vpp転送回路、 9・・・C8,線(行線)用Vpp転送回路。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 竹花喜久男 θ 昭 7 曵 (電 −第2図
ルを用いた場合のEEFROMのシステム図、第2図は
Flotox構造のメモリ・セルの断面図、第3vAは
第1図に対応したメモリ・セル部の詳細図、第4図は従
来例によるFlotox構造のメモリ・セルを用いた場
合のEEFROMのシステム図である。 図において。 1・・・データ人力バッファ、 2・・・センス・アンプ、データ出カバソファ。 3a・・・列アドレス・バッファ、 3b・・・列アドレスラッチ回路、4・・・列デユーダ
。 5a・・・行アドレス中バッファ、 5b・・・行アドレスラッチ回路、6・・・行デユーダ
。 8・・・カラム・ゲート、lO・・・CG、線用VPP
転送回路、12・・・R5線(行線)用VPP転送回路
。 13・・・メモリ・セル・アレイ、 14・・・ソース・バイアス回路、 15・・・データラッチ回路、 16・・・ビット線用VPP転送回路、17・・・プロ
グラム列アドレス・レジスタ。 7・・・I10線用Vpp転送回路、 9・・・C8,線(行線)用Vpp転送回路。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 竹花喜久男 θ 昭 7 曵 (電 −第2図
Claims (1)
- ゲート絶縁膜中に電荷捕獲手段をもつIG−FETより
構成されるメモリ・セルからなる不揮発性半導体メモリ
において、任意のメモリ・セルをプログラムするときに
、プログラム実行中、前記プログラム実行中のセルと同
一行アドレスを持つセルに関して読み出し動作が可能で
あることを特徴とする不揮発性半導体メモリ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61307949A JPS63161599A (ja) | 1986-12-25 | 1986-12-25 | 不揮発性半導体メモリ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61307949A JPS63161599A (ja) | 1986-12-25 | 1986-12-25 | 不揮発性半導体メモリ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63161599A true JPS63161599A (ja) | 1988-07-05 |
Family
ID=17975110
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61307949A Pending JPS63161599A (ja) | 1986-12-25 | 1986-12-25 | 不揮発性半導体メモリ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63161599A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5204066A (en) * | 1990-07-04 | 1993-04-20 | Ngk Insulators, Ltd. | Method of operating catalytic converter |
WO1998028750A1 (en) * | 1996-12-20 | 1998-07-02 | Advanced Micro Devices, Inc. | Bank architecture for a non-volatile memory enabling simultaneous reading and writing |
WO1998039773A1 (en) * | 1997-03-05 | 1998-09-11 | Advanced Micro Devices, Inc. | Non-volatile memory enabling simultaneous reading and writing by time multiplexing a decode path |
-
1986
- 1986-12-25 JP JP61307949A patent/JPS63161599A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5204066A (en) * | 1990-07-04 | 1993-04-20 | Ngk Insulators, Ltd. | Method of operating catalytic converter |
US5286460A (en) * | 1990-07-04 | 1994-02-15 | Ngk Insulators, Ltd. | Method of operating catalytic converter |
WO1998028750A1 (en) * | 1996-12-20 | 1998-07-02 | Advanced Micro Devices, Inc. | Bank architecture for a non-volatile memory enabling simultaneous reading and writing |
US5867430A (en) * | 1996-12-20 | 1999-02-02 | Advanced Micro Devices Inc | Bank architecture for a non-volatile memory enabling simultaneous reading and writing |
WO1998039773A1 (en) * | 1997-03-05 | 1998-09-11 | Advanced Micro Devices, Inc. | Non-volatile memory enabling simultaneous reading and writing by time multiplexing a decode path |
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